JPS6427698U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6427698U JPS6427698U JP12263787U JP12263787U JPS6427698U JP S6427698 U JPS6427698 U JP S6427698U JP 12263787 U JP12263787 U JP 12263787U JP 12263787 U JP12263787 U JP 12263787U JP S6427698 U JPS6427698 U JP S6427698U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- window frame
- shaft
- plate
- window
- disc spring
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 4
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 3
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims 3
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims 3
Landscapes
- Particle Accelerators (AREA)
Description
第1図はこの考案の一実施例を示す側面図、第
2図aは第1図の部分拡大断面図、第2図bは同
図aの動作を示す説明図、第2図cは同図bの側
面図である。 1……走査管、2……窓枠板、3……押さえ板
、4……金属箔、5……貫通孔、6……貫通軸、
7……ストツパー、8……皿バネ、9……係止部
、10,13……エヤシリンダ、12……スペー
サ。
2図aは第1図の部分拡大断面図、第2図bは同
図aの動作を示す説明図、第2図cは同図bの側
面図である。 1……走査管、2……窓枠板、3……押さえ板
、4……金属箔、5……貫通孔、6……貫通軸、
7……ストツパー、8……皿バネ、9……係止部
、10,13……エヤシリンダ、12……スペー
サ。
Claims (1)
- 加速した電子線を、照射窓を形成する金属箔を
介して大気中に引き出すように構成した電子線照
射装置において、照射窓の縁部の外側に延出して
周設された窓枠板と、その窓枠板との間に金属箔
を挾んで下面から装着される窓付きの押さえ板と
、前記窓枠板と前記押さえ板とを貫通する複数の
貫通孔と、前記各貫通孔を貫通する貫通軸と、前
記貫通軸に設けられ前記貫通軸の上下端がそれぞ
れ前記窓枠板上面と前記押さえ板下面に突出する
ように前記窓枠上面に係止するストツパーと、前
記貫通軸の下端突出部に挿入される皿バネと、前
記窓枠板と前記押さえ板との間に所定の間隔を有
して前記皿バネ上面が前記が押さえ板を支持する
ように前記皿バネの下面を前記貫通軸の下端に係
止する係止具と、前記窓枠板上面に設けられ前記
貫通軸を引き上げて前記窓枠板に前記押さえ板を
前記皿バネによつて弾性的に密着させる上下移動
手段と、前記ストツパーと前記窓枠板上面との間
に着脱可能に挿入されるスペーサと、前記スペー
サを前記ストツパーに着脱させる駆動手段とを備
えたことを特徴とする電子線照射装置の金属箔固
定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12263787U JPS6427698U (ja) | 1987-08-10 | 1987-08-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12263787U JPS6427698U (ja) | 1987-08-10 | 1987-08-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6427698U true JPS6427698U (ja) | 1989-02-17 |
Family
ID=31370750
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12263787U Pending JPS6427698U (ja) | 1987-08-10 | 1987-08-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6427698U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0415422U (ja) * | 1990-05-29 | 1992-02-07 |
-
1987
- 1987-08-10 JP JP12263787U patent/JPS6427698U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0415422U (ja) * | 1990-05-29 | 1992-02-07 |