JPS6429646U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6429646U JPS6429646U JP1987123404U JP12340487U JPS6429646U JP S6429646 U JPS6429646 U JP S6429646U JP 1987123404 U JP1987123404 U JP 1987123404U JP 12340487 U JP12340487 U JP 12340487U JP S6429646 U JPS6429646 U JP S6429646U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat insulating
- temperature control
- suction port
- suction
- same size
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
Description
第１図は、本考案のフオトマスク作画装置の作
画テーブルの縦断面図である。第２図は、本考案
のフオトマスク作画装置の平面図である。 １…作画テーブル、２…未露光フイルム、３…
吸着テーブル、４…断熱板、５…（温度調整可能
な）平板、６…吸着口、７…描画部。
画テーブルの縦断面図である。第２図は、本考案
のフオトマスク作画装置の平面図である。 １…作画テーブル、２…未露光フイルム、３…
吸着テーブル、４…断熱板、５…（温度調整可能
な）平板、６…吸着口、７…描画部。
Claims (1)
- 精密写真分野フオトマスク作画装置において、
前記作画装置のフイルム吸着テーブルの上に、前
記吸着テーブルと同一サイズで同一箇所に、吸着
口を有する断熱板と、かつ、前記断熱板上に、前
記断熱板と同一サイズで同一箇所に吸着口を有す
る熱伝導性の大きい、温度調整の可能でかつ、温
調容易な第２の平板を密着させた構造の作画テー
ブルを有する事を特徴とするフオトマスク作画装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987123404U JPS6429646U (ja) | 1987-08-11 | 1987-08-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987123404U JPS6429646U (ja) | 1987-08-11 | 1987-08-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6429646U true JPS6429646U (ja) | 1989-02-22 |
Family
ID=31372226
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987123404U Pending JPS6429646U (ja) | 1987-08-11 | 1987-08-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6429646U (ja) |
-
1987
- 1987-08-11 JP JP1987123404U patent/JPS6429646U/ja active Pending