JPS643120B2 - - Google Patents
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- JPS643120B2 JPS643120B2 JP4494783A JP4494783A JPS643120B2 JP S643120 B2 JPS643120 B2 JP S643120B2 JP 4494783 A JP4494783 A JP 4494783A JP 4494783 A JP4494783 A JP 4494783A JP S643120 B2 JPS643120 B2 JP S643120B2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
- G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G10K11/00—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
- G10K11/02—Mechanical acoustic impedances; Impedance matching, e.g. by horns; Acoustic resonators
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Measurement Of Velocity Or Position Using Acoustic Or Ultrasonic Waves (AREA)
Description
産業上の利用分野
本発明は、距離計測装置用超音波センサなどに
用いられる超音波トランスジユーサに関する。 従来例の構成とその問題点 従来、圧電セラミツク振動子又は磁歪振動子を
超音波トランスジユーサとして、特には空中用に
用いる場合、上記振動子は固有音響インピーダン
スが空気よりも大きいため空気との固有音響イン
ピーダンスの不整合を改善するために、第１図に
示すように圧電セラミツク振動子又は磁歪振動子
１に金属製半波長ホーン２を接合し、ホーン２の
先端に比較的大きな面積の金属板３を取付け、金
属板３の面積を広くすることによつて負荷を大き
くし、圧電振動子又は磁歪振動子１と空気負荷と
の間の整合をとる方法が行なわれていた。あるい
は別の方法として第２図に示すように、屈曲振動
を行なうバイモルフ型圧電セラミツク振動子４に
結合棒５を介して円錐形のアルミコーン６を接合
し、アルミコーン６によつて圧電セラミツク振動
子４と空気との音響インピーダンスの整合をはか
つていた。しかしながら、これらは共に金属板３
又は圧電セラミツク振動子の屈曲振動を用いてい
るため、共振周波数を高くすることは困難であ
り、一般に100KHz以下の空中超音波の発生に用
いられているにすぎない。100KHz以上の超音波
の発生には圧電セラミツク振動子の厚み振動が用
いられる事が多いが、従来は圧電セラミツク振動
子と空気負荷との固有音響インピーダンスの整合
を取るためにエポキシ樹脂やシリコーン系樹脂な
どの合成樹脂母材に直径数百μm以下のガラス微
小中空球を充てんした材料が整合層材料として用
いられていた。ここで固有音響インピーダンスの
大きさを考えると、圧電セラミツク振動子の音速
v1は約3500m/s、密度ρ1は8000Kg/m3程度の値で
あり、従つてそれらの積で表わされる固有音響イ
ンピーダンスz1は、大体３×107N・Ｓ／m3程度
の値となる。一方空気の常温における固有音響イ
ンピーダンスz2は約400N・Ｓ／m3であるので一
層整合層を用いる場合、一般によく知られる整合
条件から、整合層の固有音響インピーダンスを
znaとすると、整合層はzna＝√1・2＝1.1×
105N・Ｓ／m3なる固有音響インピーダンスを有
し、その厚さが1/4波長であることが望ましい。 しかるに、従来用いられているガラス微小中空
球を合成樹脂母材に充てんした整合層材料の場
合、ガラス微小中空球の密度ρgは約300Kg/m3、合
成樹脂母材としてシリコーン系樹脂を用いたとき
密度ρ0は約1000Kg/m3となるので、ガラス微小中
空球の充てん重量比率をrnとしたとき、上記ガラ
ス微小中空球を充てんしたのちの複合材料の密度
は、 ρ＝ρgρ0／（１−rn）ρg＋rnρ0 ……(1) なる式で表わされ、rnに対して密度ρは第３図の
実線のように変化する。また第３図において破線
は充てんしたガラス微小中空球の混合後の全体積
に対する体積比率rvの重量比率に対する変化を表
わすもので、rvは次式で表わされる。 rv＝rnρ0／（１−rn）ρg＋rnρ0 ……(2) 第３図から分るように、例えばガラス微小中空
球の重量比率rnが0.30のとき、その体積比率は
0.59となり、この時の混合後の複合材料の密度は
590Kg/m3である。rnをより大きくすれば複合材料
の密度ρの値は小さくなるが逆に充てんすべきガ
ラス微小中空球の体積比率rvが大きくなり母材へ
の均一な混合、充てんが困難になる。次に密度
300Kg/m3のガラス微小中空球を密度1000Kg/m3の
シリコーン系樹脂に混合し、密度、音速を実測し
た結果を第１表に示す。
用いられる超音波トランスジユーサに関する。 従来例の構成とその問題点 従来、圧電セラミツク振動子又は磁歪振動子を
超音波トランスジユーサとして、特には空中用に
用いる場合、上記振動子は固有音響インピーダン
スが空気よりも大きいため空気との固有音響イン
ピーダンスの不整合を改善するために、第１図に
示すように圧電セラミツク振動子又は磁歪振動子
１に金属製半波長ホーン２を接合し、ホーン２の
先端に比較的大きな面積の金属板３を取付け、金
属板３の面積を広くすることによつて負荷を大き
くし、圧電振動子又は磁歪振動子１と空気負荷と
の間の整合をとる方法が行なわれていた。あるい
は別の方法として第２図に示すように、屈曲振動
を行なうバイモルフ型圧電セラミツク振動子４に
結合棒５を介して円錐形のアルミコーン６を接合
し、アルミコーン６によつて圧電セラミツク振動
子４と空気との音響インピーダンスの整合をはか
つていた。しかしながら、これらは共に金属板３
又は圧電セラミツク振動子の屈曲振動を用いてい
るため、共振周波数を高くすることは困難であ
り、一般に100KHz以下の空中超音波の発生に用
いられているにすぎない。100KHz以上の超音波
の発生には圧電セラミツク振動子の厚み振動が用
いられる事が多いが、従来は圧電セラミツク振動
子と空気負荷との固有音響インピーダンスの整合
を取るためにエポキシ樹脂やシリコーン系樹脂な
どの合成樹脂母材に直径数百μm以下のガラス微
小中空球を充てんした材料が整合層材料として用
いられていた。ここで固有音響インピーダンスの
大きさを考えると、圧電セラミツク振動子の音速
v1は約3500m/s、密度ρ1は8000Kg/m3程度の値で
あり、従つてそれらの積で表わされる固有音響イ
ンピーダンスz1は、大体３×107N・Ｓ／m3程度
の値となる。一方空気の常温における固有音響イ
ンピーダンスz2は約400N・Ｓ／m3であるので一
層整合層を用いる場合、一般によく知られる整合
条件から、整合層の固有音響インピーダンスを
znaとすると、整合層はzna＝√1・2＝1.1×
105N・Ｓ／m3なる固有音響インピーダンスを有
し、その厚さが1/4波長であることが望ましい。 しかるに、従来用いられているガラス微小中空
球を合成樹脂母材に充てんした整合層材料の場
合、ガラス微小中空球の密度ρgは約300Kg/m3、合
成樹脂母材としてシリコーン系樹脂を用いたとき
密度ρ0は約1000Kg/m3となるので、ガラス微小中
空球の充てん重量比率をrnとしたとき、上記ガラ
ス微小中空球を充てんしたのちの複合材料の密度
は、 ρ＝ρgρ0／（１−rn）ρg＋rnρ0 ……(1) なる式で表わされ、rnに対して密度ρは第３図の
実線のように変化する。また第３図において破線
は充てんしたガラス微小中空球の混合後の全体積
に対する体積比率rvの重量比率に対する変化を表
わすもので、rvは次式で表わされる。 rv＝rnρ0／（１−rn）ρg＋rnρ0 ……(2) 第３図から分るように、例えばガラス微小中空
球の重量比率rnが0.30のとき、その体積比率は
0.59となり、この時の混合後の複合材料の密度は
590Kg/m3である。rnをより大きくすれば複合材料
の密度ρの値は小さくなるが逆に充てんすべきガ
ラス微小中空球の体積比率rvが大きくなり母材へ
の均一な混合、充てんが困難になる。次に密度
300Kg/m3のガラス微小中空球を密度1000Kg/m3の
シリコーン系樹脂に混合し、密度、音速を実測し
た結果を第１表に示す。
【表】
第１表から分るように、母材に混合するガラス
微小中空球の重量比率を大きくしても、混合後の
複合材料の固有音響インピーダンスの値は、圧電
セラミツク振動子と空気との整合層に要求される
固有音響インピーダンス1.1×105N・Ｓ／m3に対
して約１桁大きな値であり、整合層材料として適
当ではないことが分る。 発明の目的 本発明は、従来の整合層材料の欠点を除去し、
圧電セラミツク振動子又は磁歪振動子と空気負荷
との整合を取るための最適な固有音響インピーダ
ンスを有する整合層材料を備えた超音波トランス
デユーサを提供することを目的とする。 発明の構成 本発明は、従来充てん材として用いられたガラ
ス微小中空球に代わつて、熱膨張性プラスチツク
微小中空球を合成樹脂母材に混合した複合材料を
整合層として用いるものである。 実施例の説明 以下に本発明の実施例を図面を用いて説明す
る。 本発明の熱膨張性プラスチツク微小中空球とし
て、例えば熱膨張性気体入りプラスチツク微小中
空球（以下熱膨張性バルーンと呼ぶ）が用いら
れ、この球殻は塩化ビニリデン共重合体等のプラ
スチツク材料から成つており、球殻内部には低沸
点炭化水素等を内包している。熱膨張性バルーン
は常温では直径数十μm以下の微小中空球であり
これを100℃前後に加熱することにより体積を数
十倍に膨張させることができる。このことにより
熱膨張性バルーンの密度を極めて小さくすること
ができる。 本発明は熱膨張性バルーンをエポキシ樹脂、シ
リコーン系樹脂等の合成樹脂を母材として、その
中に混合、充てんした後、100℃前後に加熱し母
材に充てんされた熱膨張性バルーンを膨張させ、
この複合材料の密度を低くすることにより、合成
樹脂母材単体の固有音響インピーダンスより小さ
い固有音響インピーダンスを有する整合層材料を
得るものである。 第４図に本発明の一実施例を示す。第４図にお
いて、７は圧電セラミツク振動子又は磁歪振動
子、９は音響波放射面８に接着された本発明によ
る複合材料から成る整合層である。整合層９の厚
さは整合層９内を伝搬する音波の波長の1/4の奇
数倍（１倍も含む）に選ばれる。１０はパツキン
材である。 第４図に示す整合層９は、シリコーン系樹脂を
母材として熱膨張性バルーンを混合して複合材料
を形成し、これを115℃に加熱して熱膨張性バル
ーンを膨張させたのち、複合材料を硬化させて得
た。このときの複合材料の密度および音響インピ
ーダンスの実測結果を第５図に、熱膨張性バルー
ンの重量比率が0.2のとき複合材料の加熱温度を
変化させたときの実測結果を第６図に示す。第５
図から分る通り熱膨張性バルーンの重量比率が
0.3のとき、母材と熱膨張性バルーンの複合材料
の固有音響インピーダンスは1.6×105N・Ｓ／m3
となり、圧電セラミツク振動子と空気との整合層
材料に要求される固有音響インピーダンスの値
1.1×105N・Ｓ／m3に極めて近い値を得ることが
できた。 また第６図より複合材料の加熱温度を高めるこ
とにより、熱膨張性バルーンの重量比率が0.2の
ときにも、複合材料の固有音響インピーダンスの
値として0.98×105N・Ｓ／m3を得ることができ
た。なお磁歪振動子についても全く同様にして、
複合材料を整合層材料として用いることが可能で
ある。 以上説明したように本実施例によれば、合成樹
脂を母材として熱膨張性バルーンを混合した複合
材料を加熱して熱膨張性バルーンを膨張させた
後、複合材料を硬化させることにより、固有音響
インピーダンスが1.1×105N・Ｓ／m3近傍の値を
有する整合層材料を容易に実現することができ
る。また複合材料の加熱温度あるいは加熱時間を
コントロールすることにより密度のコントロール
が可能であり従つて固有音響インピーダンスのコ
ントロールが可能である。また熱膨張性バルーン
の大きさが複合材料内を伝搬する音波の波長に比
べて十分小さくないときは複合材料内における音
波の減衰が大となるが、本実施例では複合材料の
加熱温度あるいは加熱時間をコントロールするこ
とにより、熱膨張性バルーンの大きさをコントロ
ールできるので、使用周波数の波長に応じて音波
の減衰の少ないようなバルーンの大きさとするべ
く加熱条件を設定することができる。 本発明の第２の実施例として熱膨張性気体入り
プラスチツク微小中空球をあらかじめ加熱膨張さ
せ、密度を20Kg/m3〜50Kg/m3程度に小さくしたの
ちにエポキシ樹脂あるいはシリコーン系樹脂等の
合成樹脂母材に混合することによつて、密度の小
さい複合材料を得ることができる。例えば加熱膨
張後のプラスチツク微小中空球の密度を30Kg/m3、
混合重量比率を0.1とすると、微小中空球を充て
ん後の複合材料の密度ρは(1)式によつて、ρ≒
240Kg/m3となり、第２の実施例で得た複合材料の
密度は、ガラス微小中空球を充てん材料として用
いた時よりかなり小さい値が得られ、従つて整合
層材料として適していることが分る。 以上のように本実施例によれば、熱膨張性バル
ーンを母材に混合する前にあらかじめ加熱膨張さ
せることにより、極めて密度の小さい充てん材を
得ることができるので、これを母材に混合するこ
とにより、混合後の密度の小さい複合材を得るこ
とができ、整合層材料として適した材料を実現で
きる。また、熱膨張性バルーンの加熱温度、加熱
時間によつて密度のコントロールが可能であるの
で、固有音響インピーダンスのコントロールも可
能である。また、熱膨張性バルーンの加熱時間、
加熱温度のコントロールによつて、その大きさを
コントロールして、音波の減衰を少なくすること
も可能である。 なお母材となる合成樹脂の硬化前の粘度は、実
施例におけるシリコーン系樹脂の場合、常温で25
ポイズであるが100ポイズ程度に粘度が高くなる
と熱膨張性バルーンを母材に混合できる重量比率
は10％程度となり、更に高粘度になると熱膨張性
バルーンの混合比率は10％以下しか混合できなく
なるため、混合後の複合材料の密度を十分小さく
することができない。従つて母材となる流動性合
成樹脂の粘度は常温において大体100ポイズ以下
であることが望ましい。 発明の効果 以上説明したように本発明は、合成樹脂に熱膨
張性微小中空球を混合した後加熱膨張するか、あ
らかじめ加熱膨張した後混合して得られた複合材
料を音響整合層として用いるため、熱膨張性微小
中空球の密度を低くして音響整合層の固有音響イ
ンピーダンスを従来よりも小さくでき、圧電セラ
ミツク振動子または磁歪振動子と空気負荷との音
響的な整合を十分とることができ、特性の向上を
図ることができる。また、熱膨張性微小中空球の
加熱温度、加熱時間をコントロールすることによ
つて、音響インピーダンスのコントロールがで
き、音波の減衰も小さくすることができる。
微小中空球の重量比率を大きくしても、混合後の
複合材料の固有音響インピーダンスの値は、圧電
セラミツク振動子と空気との整合層に要求される
固有音響インピーダンス1.1×105N・Ｓ／m3に対
して約１桁大きな値であり、整合層材料として適
当ではないことが分る。 発明の目的 本発明は、従来の整合層材料の欠点を除去し、
圧電セラミツク振動子又は磁歪振動子と空気負荷
との整合を取るための最適な固有音響インピーダ
ンスを有する整合層材料を備えた超音波トランス
デユーサを提供することを目的とする。 発明の構成 本発明は、従来充てん材として用いられたガラ
ス微小中空球に代わつて、熱膨張性プラスチツク
微小中空球を合成樹脂母材に混合した複合材料を
整合層として用いるものである。 実施例の説明 以下に本発明の実施例を図面を用いて説明す
る。 本発明の熱膨張性プラスチツク微小中空球とし
て、例えば熱膨張性気体入りプラスチツク微小中
空球（以下熱膨張性バルーンと呼ぶ）が用いら
れ、この球殻は塩化ビニリデン共重合体等のプラ
スチツク材料から成つており、球殻内部には低沸
点炭化水素等を内包している。熱膨張性バルーン
は常温では直径数十μm以下の微小中空球であり
これを100℃前後に加熱することにより体積を数
十倍に膨張させることができる。このことにより
熱膨張性バルーンの密度を極めて小さくすること
ができる。 本発明は熱膨張性バルーンをエポキシ樹脂、シ
リコーン系樹脂等の合成樹脂を母材として、その
中に混合、充てんした後、100℃前後に加熱し母
材に充てんされた熱膨張性バルーンを膨張させ、
この複合材料の密度を低くすることにより、合成
樹脂母材単体の固有音響インピーダンスより小さ
い固有音響インピーダンスを有する整合層材料を
得るものである。 第４図に本発明の一実施例を示す。第４図にお
いて、７は圧電セラミツク振動子又は磁歪振動
子、９は音響波放射面８に接着された本発明によ
る複合材料から成る整合層である。整合層９の厚
さは整合層９内を伝搬する音波の波長の1/4の奇
数倍（１倍も含む）に選ばれる。１０はパツキン
材である。 第４図に示す整合層９は、シリコーン系樹脂を
母材として熱膨張性バルーンを混合して複合材料
を形成し、これを115℃に加熱して熱膨張性バル
ーンを膨張させたのち、複合材料を硬化させて得
た。このときの複合材料の密度および音響インピ
ーダンスの実測結果を第５図に、熱膨張性バルー
ンの重量比率が0.2のとき複合材料の加熱温度を
変化させたときの実測結果を第６図に示す。第５
図から分る通り熱膨張性バルーンの重量比率が
0.3のとき、母材と熱膨張性バルーンの複合材料
の固有音響インピーダンスは1.6×105N・Ｓ／m3
となり、圧電セラミツク振動子と空気との整合層
材料に要求される固有音響インピーダンスの値
1.1×105N・Ｓ／m3に極めて近い値を得ることが
できた。 また第６図より複合材料の加熱温度を高めるこ
とにより、熱膨張性バルーンの重量比率が0.2の
ときにも、複合材料の固有音響インピーダンスの
値として0.98×105N・Ｓ／m3を得ることができ
た。なお磁歪振動子についても全く同様にして、
複合材料を整合層材料として用いることが可能で
ある。 以上説明したように本実施例によれば、合成樹
脂を母材として熱膨張性バルーンを混合した複合
材料を加熱して熱膨張性バルーンを膨張させた
後、複合材料を硬化させることにより、固有音響
インピーダンスが1.1×105N・Ｓ／m3近傍の値を
有する整合層材料を容易に実現することができ
る。また複合材料の加熱温度あるいは加熱時間を
コントロールすることにより密度のコントロール
が可能であり従つて固有音響インピーダンスのコ
ントロールが可能である。また熱膨張性バルーン
の大きさが複合材料内を伝搬する音波の波長に比
べて十分小さくないときは複合材料内における音
波の減衰が大となるが、本実施例では複合材料の
加熱温度あるいは加熱時間をコントロールするこ
とにより、熱膨張性バルーンの大きさをコントロ
ールできるので、使用周波数の波長に応じて音波
の減衰の少ないようなバルーンの大きさとするべ
く加熱条件を設定することができる。 本発明の第２の実施例として熱膨張性気体入り
プラスチツク微小中空球をあらかじめ加熱膨張さ
せ、密度を20Kg/m3〜50Kg/m3程度に小さくしたの
ちにエポキシ樹脂あるいはシリコーン系樹脂等の
合成樹脂母材に混合することによつて、密度の小
さい複合材料を得ることができる。例えば加熱膨
張後のプラスチツク微小中空球の密度を30Kg/m3、
混合重量比率を0.1とすると、微小中空球を充て
ん後の複合材料の密度ρは(1)式によつて、ρ≒
240Kg/m3となり、第２の実施例で得た複合材料の
密度は、ガラス微小中空球を充てん材料として用
いた時よりかなり小さい値が得られ、従つて整合
層材料として適していることが分る。 以上のように本実施例によれば、熱膨張性バル
ーンを母材に混合する前にあらかじめ加熱膨張さ
せることにより、極めて密度の小さい充てん材を
得ることができるので、これを母材に混合するこ
とにより、混合後の密度の小さい複合材を得るこ
とができ、整合層材料として適した材料を実現で
きる。また、熱膨張性バルーンの加熱温度、加熱
時間によつて密度のコントロールが可能であるの
で、固有音響インピーダンスのコントロールも可
能である。また、熱膨張性バルーンの加熱時間、
加熱温度のコントロールによつて、その大きさを
コントロールして、音波の減衰を少なくすること
も可能である。 なお母材となる合成樹脂の硬化前の粘度は、実
施例におけるシリコーン系樹脂の場合、常温で25
ポイズであるが100ポイズ程度に粘度が高くなる
と熱膨張性バルーンを母材に混合できる重量比率
は10％程度となり、更に高粘度になると熱膨張性
バルーンの混合比率は10％以下しか混合できなく
なるため、混合後の複合材料の密度を十分小さく
することができない。従つて母材となる流動性合
成樹脂の粘度は常温において大体100ポイズ以下
であることが望ましい。 発明の効果 以上説明したように本発明は、合成樹脂に熱膨
張性微小中空球を混合した後加熱膨張するか、あ
らかじめ加熱膨張した後混合して得られた複合材
料を音響整合層として用いるため、熱膨張性微小
中空球の密度を低くして音響整合層の固有音響イ
ンピーダンスを従来よりも小さくでき、圧電セラ
ミツク振動子または磁歪振動子と空気負荷との音
響的な整合を十分とることができ、特性の向上を
図ることができる。また、熱膨張性微小中空球の
加熱温度、加熱時間をコントロールすることによ
つて、音響インピーダンスのコントロールがで
き、音波の減衰も小さくすることができる。
第１図、第２図は従来の空中用超音波トランス
ジユーサを示す概略構成図、第３図は従来の空中
用超音波トランスジユーサにおける音響整合層の
混合物の重量比率と、体積比率及び複合材料の密
度との関係を示す図、第４図は本発明の一実施例
を示す断面図、第５図は同実施例の重量比率と密
度及び固有音響インピーダンスとの関係を示す
図、第６図は同実施例の加熱温度と密度及び固有
音響インピーダンスとの関係を示す図である。 ７……圧電セラミツク振動子又は磁歪振動子、
９……整合層、１０……バツキング材。
ジユーサを示す概略構成図、第３図は従来の空中
用超音波トランスジユーサにおける音響整合層の
混合物の重量比率と、体積比率及び複合材料の密
度との関係を示す図、第４図は本発明の一実施例
を示す断面図、第５図は同実施例の重量比率と密
度及び固有音響インピーダンスとの関係を示す
図、第６図は同実施例の加熱温度と密度及び固有
音響インピーダンスとの関係を示す図である。 ７……圧電セラミツク振動子又は磁歪振動子、
９……整合層、１０……バツキング材。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 熱膨張性プラスチツク微小中空球を合成樹脂
中に混合してなる複合材料を、超音波振動子の音
響整合層として用いたことを特徴とする超音波ト
ランスジユーサ。 ２ 超音波振動子が、圧電セラミツク振動子また
は磁歪振動子からなる特許請求の範囲第１項記載
の超音波トランスジユーサ。 ３ 熱膨張性プラスチツク微小中空球の密度が、
50Kg/m3程度より小さいことを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載の超音波トランスジユーサ。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58044947A JPS59171296A (ja) | 1983-03-17 | 1983-03-17 | 超音波トランスジユ−サ |
| DE8484301823T DE3478357D1 (en) | 1983-03-17 | 1984-03-16 | Ultrasonic transducers having improved acoustic impedance matching layers |
| US06/590,465 US4523122A (en) | 1983-03-17 | 1984-03-16 | Piezoelectric ultrasonic transducers having acoustic impedance-matching layers |
| EP84301823A EP0119855B2 (en) | 1983-03-17 | 1984-03-16 | Ultrasonic transducers having improved acoustic impedance matching layers |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58044947A JPS59171296A (ja) | 1983-03-17 | 1983-03-17 | 超音波トランスジユ−サ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59171296A JPS59171296A (ja) | 1984-09-27 |
| JPS643120B2 true JPS643120B2 (ja) | 1989-01-19 |
Family
ID=12705674
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58044947A Granted JPS59171296A (ja) | 1983-03-17 | 1983-03-17 | 超音波トランスジユ−サ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59171296A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0716280B2 (ja) * | 1985-02-08 | 1995-02-22 | 松下電器産業株式会社 | 超音波探触子 |
| JPS61184099A (ja) * | 1985-02-08 | 1986-08-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波探触子 |
| JPS61283661A (ja) * | 1985-05-20 | 1986-12-13 | プレセイ オ−ストラリア プロプライアトリ リミテツド | 硬化樹脂組成物および音響トランスデユ−サ− |
| US7808156B2 (en) * | 2006-03-02 | 2010-10-05 | Visualsonics Inc. | Ultrasonic matching layer and transducer |
| JP5956157B2 (ja) * | 2012-01-06 | 2016-07-27 | 日本セラミック株式会社 | 音響整合層を用いた空中用超音波送受波器。 |
-
1983
- 1983-03-17 JP JP58044947A patent/JPS59171296A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59171296A (ja) | 1984-09-27 |
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