JPS6433566U - - Google Patents

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JPS6433566U
JPS6433566U JP12686487U JP12686487U JPS6433566U JP S6433566 U JPS6433566 U JP S6433566U JP 12686487 U JP12686487 U JP 12686487U JP 12686487 U JP12686487 U JP 12686487U JP S6433566 U JPS6433566 U JP S6433566U
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JP
Japan
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butterfly valve
flow rate
pressure regulating
regulating device
rate control
Prior art date
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Pending
Application number
JP12686487U
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  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案装置の一実施例を示すブロツク
図、第２図及び第３図はそれぞれ従来装置の例を
示すブロツク図、第４図ａ，ｂはそれぞれ従来装
置及び本考案装置を用いた場合の生成圧力パター
ンを示す図、第５図はバタフライバルブの開度と
圧力の関係を示した図である。 １……反応室、３……排気バルブ、４……バタ
フライバルブ、５……スローポンプ（メカニカル
ブースタポンプ）、６……メインポンプ（ロータ
リーポンプ）、９……エアーバルブ、１０……流
量制御装置（マスフローコントローラ）。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. バタフライバルブ４による圧力調整装置におい
    て、バタフライバルブ４の手前に、Ｎ２ガスの流
    量を任意に設定できる流量制御装置１０を接続せ
    しめてなる減圧ＣＶＤ装置における圧力調整装置
    。
JP12686487U 1987-08-19 1987-08-19 Pending JPS6433566U (ja)

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JP12686487U JPS6433566U (ja) 1987-08-19 1987-08-19

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JP12686487U JPS6433566U (ja) 1987-08-19 1987-08-19

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JPS6433566U true JPS6433566U (ja) 1989-03-01

Family

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JP12686487U Pending JPS6433566U (ja) 1987-08-19 1987-08-19

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