JPS6437465U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6437465U JPS6437465U JP13377887U JP13377887U JPS6437465U JP S6437465 U JPS6437465 U JP S6437465U JP 13377887 U JP13377887 U JP 13377887U JP 13377887 U JP13377887 U JP 13377887U JP S6437465 U JPS6437465 U JP S6437465U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- glow discharge
- film
- aluminum
- mask body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案グロー放電分解装置の説明図、
第２図はマスク体の外観図、第３図はマスク体が
載置された基板端部の説明図、第４図Ａはマスク
体を用いて成膜された場合の基板端部の概略図、
第４図Ｂはマスク体を用いなくて成膜された場合
の基板端部の概略図である。 １……反応容器、２……グロー放電用電極板、
４……成膜用筒状基板、４ａ……段差、１５……
マスク体、１５ａ……鍔部。
第２図はマスク体の外観図、第３図はマスク体が
載置された基板端部の説明図、第４図Ａはマスク
体を用いて成膜された場合の基板端部の概略図、
第４図Ｂはマスク体を用いなくて成膜された場合
の基板端部の概略図である。 １……反応容器、２……グロー放電用電極板、
４……成膜用筒状基板、４ａ……段差、１５……
マスク体、１５ａ……鍔部。
Claims (1)
- 成膜用ガスが導入される反応室内部にアルミニ
ウムから成る円筒状基板が設置され、該基板と対
向してグロー放電用電極板が配置されており、グ
ロー放電により基板周面上に成膜されるグロー放
電分解装置において、前記基板周面端部に段差を
形成し、アルミニウムから成るマスク体を該段差
に載置して該端部面が成膜されないようにしたこ
とを特徴とするグロー放電分解装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13377887U JPH0543095Y2 (ja) | 1987-08-31 | 1987-08-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13377887U JPH0543095Y2 (ja) | 1987-08-31 | 1987-08-31 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6437465U true JPS6437465U (ja) | 1989-03-07 |
| JPH0543095Y2 JPH0543095Y2 (ja) | 1993-10-29 |
Family
ID=31391955
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13377887U Expired - Lifetime JPH0543095Y2 (ja) | 1987-08-31 | 1987-08-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0543095Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-08-31 JP JP13377887U patent/JPH0543095Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0543095Y2 (ja) | 1993-10-29 |