JPS644021Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、クリームルームなどの空気吹出面を
形成するためのフイルタユニツトに関する。

層流方式のクリーンルームでは、広に面積の空
気吹出面にHEPA（高性能フイルタ）を配置し、
この広い面積のフイルタ面から清浄空気を均等に
吹出すことが必要とされるが、この広面積のフイ
ルタ吹出面を形成するには小面積のフイルタユニ
ツトを同一面上に互いに多数隣接させて配設する
のが施工上も構造上も都合がよい。しかし、フイ
ルタユニツトの集合体でフイルタ吹出面を形成す
ると、各ユニツトから吹出される空気吹出流の調
整が不可欠であり、この調整を行なうには、例え
ば垂直層流式クリーンルームでは天井面に配置し
たフイルタユニツトの背面（つまり天井裏）に作
業員が入り込み、各ユニツトへの風量調整、より
具体的には各ユニツトに取付けたダンパの開度調
整、を行なわねばならず、この望ましい層流を形
成するための風量調整作業が極めてやつかいであ
る。加えてクリーンルーム稼動中にフイルタの経
時変化や風量変化が生じた場合には、メインテナ
ンス時にも天井裏に入り込んで調整作業を行なわ
ねばならず、設置時のみならず設置後にもこの調
整作業の頻雑の問題がある。

本考案はこのような問題の解決を目的としてな
されたものである。図面に従つて本考案のフイル
タユニツトを以下に説明する。

第１図は本考案のフイルタユニツトを用いて垂
直層流式クリーンルームを形成する場合の天井部
の一部を示したものである。図示のように、クリ
ーンルームCRの天井面Ｃに、本考案のフイルタ
ユニツトＵを多数水平方向に配置し、各ユニツト
ＵからクリーンルームCR内に向けて清浄空気を
均等に吹出すようにする。

第２図は本考案フイルタユニツトの一断面を示
している。この図に見られるように、本考案のフ
イルタユニツトは、空気吹出面を形成するフイル
タ１と、このフイルタ１の背面に空気チヤンバー
２を形成するためのケーシング３と、このケーシ
ング３内に空気を送気するダクト口４と、からな
つており、ダクト口４に風量調整用ダンパ５が設
置され、このダンパ５の調整作業用開口６がフイ
ルタ１に設けてある。

フイルタ１はいわゆるHEPA（高性能フイル
タ）を使用し、これを枠体７の中に収容して一体
品としたものをケーシング３に取付ける。ケーシ
ング３は、第３図の斜視図に見られるように先広
がりの箱体形状を有しており、底面にフイルタ１
が、また上面にダクト口４が接続される。ダクト
口４はケーシング３の上面中央に接続された円筒
体からなり、この中にダンパ５が設置されてい
る。

第４図はこのダンパ５の詳細を示したもので、
ダンパ翼はコーン形状の円盤からなり、これをそ
の中心に取付けたスクリユーボルト８で支持し、
このスクリユーボルトを固定ナツト９に通す。ダ
クト口４とケーシング３の境いにはダンパ翼より
若干経小の開口が設けてあり、スクリユーボルト
８の回転動作によりダンパ翼を上下させると、こ
の開口に流れる空気量の調整ができることにな
る。１０はスプリングであり、振動や風圧によつ
て開度が変化しないように、ダンパ翼に押圧を与
えておくものである。一方、フイルタ１には、該
スクリユーボルト８と整合する位置に貫通する開
口６を設けておき、この開口６の外側、つまりク
リーンルームCRの側、から操作バンドル１１を
差込んでこのスクリユーボルト８を回転動作でき
るようにしてある。操作ハンドル１１はドライバ
ー方式を使用し、スクリユーボルト８の先端にこ
のドライバーに適合する溝を付けておく方式が実
際上便宜である。開口６には、第２図に示すよう
に、平常時はプラグ１２を差込んでめくらにして
おく。

このプラグとして、第５図に示すように、先端
部に横穴１７をもつ管１６を差し込んだプラグ１
２′を用い、この管１６の他端をパイプ１８でマ
ノメータ（図示せず）に接続すれば、フイルタ１
の圧損の計測やフイルタ１の目詰の調査を簡単に
行なうことができる。これを第６図および第７図
に従つて具体的に説明すると、平常時は第６図の
ように、穴１７をもつ空気連通管１６を差し込ん
だプラグ１２′を用いてフイルタ１の開口６を閉
塞し、空気連通管１６の下端開口を栓１９で蓋を
しておく、そして、フイルタの圧損の計測や目詰
りの調査の際には、第７図に示すように、空気連
通管１６の下端開口に前記の栓１９を外してパイ
プ１８を接続し、このパイプ１８にマノメータ２
０を接続する。マノメータ２０はＵ字管２１内に
液体２２を入れた通常の液柱式圧力計であり、液
体２２の液柱差を計測することによつてそのフイ
ルタユニツトの圧損状況（目詰り状況）を把握す
ることができる。この計測は、どのフイルタユニ
ツトのダンパ５を調整すべきかの判断と、ダンパ
の調整作業にあたつてその調整が正確に行われた
か否かの検定に重要な役割を果たす。

なお、第２図および第４図における１３は整流
板を示しており、これは例えばパンチングメタル
板を使用してフイルタ１に流れる風速分布を均等
にするものである。

以上のように本考案によると、層流式クリーン
ルームの空気吹出面をフイルタユニツトの集合体
で構成する場合に、各ユニツトの風量調整がクリ
ーンルーム内から適宜行なうことができ、設置時
およびメインテナンス時の冒頭に述べた問題が一
掃されるので極めて有益である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案のフイルタユニツトを用いて垂
直層流式クリーンルームを形成するさいの天井部
の１部を示す略断面図、第２図は本考案のフイル
タユニツトの実施例を示す縦断面図、第３図は本
考案フイルタユニツトの実施例を示す斜視図、第
４図はダンパ部分の拡大図、第５図は開口６に挿
入する管付きプラグの例を示す略断面図、第６図
は第５図の管付きプラグの平常時の状態を示す断
面図、第７図は第５図の管付きプラグの圧力測定
時の状態を示す断面図である。 １……フイルタ、２……空気チヤンバー、３…
…ケーシング、４……ダクト口、５……ダンパ、
６……開口、７……枠体、８……スクリユーボル
ト、９……固定ナツト、１０……スプリンク、１
１……操作ハンドル、１２……プラグ、１３……
整流板、１４……フレキシブルダクト、１６……
空気連通管、１８……連結パイプ、２０……圧力
計（マノメータ）。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 空気吹出面を形成するフイルタ１と、このフイ
   ルタ１の背面に空気チヤンバー２を形成するため
   のケーシング３と、このケーシング３内に空気を
   送気するダクト口４と、このダクト口４に設置さ
   れた風量調整用ダンパ５とからなるフイルタユニ
   ツトにおいて、該フイルタ１に該ダンパ５の風量
   調整作業用開口６を設け、この開口６に空気連通
   管１６を備えたプラグ１２′を挿入し、この空気
   連通管１６に圧力計を接続するようにしたことを
   特徴とするフイルタユニツト。