JPS644091Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS644091Y2 JPS644091Y2 JP7179881U JP7179881U JPS644091Y2 JP S644091 Y2 JPS644091 Y2 JP S644091Y2 JP 7179881 U JP7179881 U JP 7179881U JP 7179881 U JP7179881 U JP 7179881U JP S644091 Y2 JPS644091 Y2 JP S644091Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movable part
- mechanical vibrator
- coil pattern
- contraction
- spring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Optical Transform (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、特定な周波数で共振する共振子や、
周波数選択性を有するフイルター、入力信号の大
きさに対向して光ビームを偏向させる光偏向子、
力や圧力、密度、粘度等の各種物理量の検出素子
として利用可能な機械振動子に関するものであ
る。
周波数選択性を有するフイルター、入力信号の大
きさに対向して光ビームを偏向させる光偏向子、
力や圧力、密度、粘度等の各種物理量の検出素子
として利用可能な機械振動子に関するものであ
る。
第１図は、本願考案者らが先に特願昭55−
44383号で提案したこの種の機械振動子の一例を
示す構成斜視図で、ここでは光偏向子を示す。
44383号で提案したこの種の機械振動子の一例を
示す構成斜視図で、ここでは光偏向子を示す。
この光偏向子は、フレーム１に可動部２を細く
なつたバネ部３１，３２を介して支持するととも
に、可動部２に、反射鏡４とコイルパターン５と
を形成したものである。フレーム１、可動部２お
よびバネ部３１，３２は、例えば厚さが5x10-5m
程度のひとつの水晶基板で構成され、これらの形
状、反射鏡やコイルパターンの作成はホトリング
ラフイ（写真食刻）の技術とエツチングの技術と
を利用して行なわれる。
なつたバネ部３１，３２を介して支持するととも
に、可動部２に、反射鏡４とコイルパターン５と
を形成したものである。フレーム１、可動部２お
よびバネ部３１，３２は、例えば厚さが5x10-5m
程度のひとつの水晶基板で構成され、これらの形
状、反射鏡やコイルパターンの作成はホトリング
ラフイ（写真食刻）の技術とエツチングの技術と
を利用して行なわれる。
このように構成した光偏向子は、コイルパター
ン５を図示する矢印方向の磁界（基板の平面方向
と同一方向の磁界）中に配置させ、コイルパター
ンに電流を流すことによつて、可動部２をバネ部
３１，３２を軸として偏位させ、反射鏡４に入射
する光ビームを偏光することができる。
ン５を図示する矢印方向の磁界（基板の平面方向
と同一方向の磁界）中に配置させ、コイルパター
ンに電流を流すことによつて、可動部２をバネ部
３１，３２を軸として偏位させ、反射鏡４に入射
する光ビームを偏光することができる。
ところで、このような構成の光偏向子は、高性
能で品質の揃つた素子を一度に多数生産すること
ができるという特長がある反面、コイルパターン
に大きな電流を流すと、コイルパターンの抵抗に
よるジユール熱によつて発熱し、コイルパターン
付近が膨張し、第２図に示すように可動部２が反
るという問題点があつた。可動部２が第２図に示
すように反ると、反射鏡が傾斜し、偏光ビーム光
が正しい方向に反射しなくなつてしまう。
能で品質の揃つた素子を一度に多数生産すること
ができるという特長がある反面、コイルパターン
に大きな電流を流すと、コイルパターンの抵抗に
よるジユール熱によつて発熱し、コイルパターン
付近が膨張し、第２図に示すように可動部２が反
るという問題点があつた。可動部２が第２図に示
すように反ると、反射鏡が傾斜し、偏光ビーム光
が正しい方向に反射しなくなつてしまう。
ここにおいて、本考案はこのような可動部の反
りによる問題点を解決することを目的としてなさ
れたものである。
りによる問題点を解決することを目的としてなさ
れたものである。
本考案に係る機械振動子は、第１図に示すよう
な構造において、可動部２を支持するバネ部を、
伸び縮み吸収用のバネ部を介してフレームに固定
するようにした点に構成上の特徴がある。
な構造において、可動部２を支持するバネ部を、
伸び縮み吸収用のバネ部を介してフレームに固定
するようにした点に構成上の特徴がある。
第３図および第４図は、本考案に係る機械振動
子の構成斜視図で、いずれも光偏向子を構成した
場合を例示する。
子の構成斜視図で、いずれも光偏向子を構成した
場合を例示する。
第３図の実施例は、可動部２を支持するバネ部
３１，３２を、フレーム１の上下辺と平行する伸
び縮み吸収用のバネ部３８，３９を介してフレー
ム１の両側辺に固定させるようにしたものであ
る。
３１，３２を、フレーム１の上下辺と平行する伸
び縮み吸収用のバネ部３８，３９を介してフレー
ム１の両側辺に固定させるようにしたものであ
る。
第４図の実施例は、可動部２を持するバネ部３
１，３２の途中に、内側が打抜かれた矩形状の伸
び縮み吸収バネ３８，３９を設けるようにしたも
のである。なお、ここでは矩形状のバネ３８，３
９は、可動部２の上下に２組連らなるものを示し
たが、矩形状バネの数は更に多数個としてもよ
い。
１，３２の途中に、内側が打抜かれた矩形状の伸
び縮み吸収バネ３８，３９を設けるようにしたも
のである。なお、ここでは矩形状のバネ３８，３
９は、可動部２の上下に２組連らなるものを示し
たが、矩形状バネの数は更に多数個としてもよ
い。
このように構成される機械振動子によれば、可
動部のコイルパターン５に流れる電流のジユール
熱による膨張は、伸び縮み吸収バネ部３８，３９
が可動部２の伸び縮み方向に柔軟な構造であるこ
とから、第５図あるいは第６図に示すように変形
し、この膨張を効果に吸収することができる。
動部のコイルパターン５に流れる電流のジユール
熱による膨張は、伸び縮み吸収バネ部３８，３９
が可動部２の伸び縮み方向に柔軟な構造であるこ
とから、第５図あるいは第６図に示すように変形
し、この膨張を効果に吸収することができる。
第７図は第４図に示すような構造の機械振動子
において、コイルパターン５における消費電力と
偏光角（反り角）との関係を示した線図で、イ
は本考案を適用した場合であり、ロは適用しない
場合を示す。
において、コイルパターン５における消費電力と
偏光角（反り角）との関係を示した線図で、イ
は本考案を適用した場合であり、ロは適用しない
場合を示す。
この実験データから明らかなように、本考案を
適用したことによつて、ジユール熱による可動部
の反りはほとんど無視できる程度に改善された。
適用したことによつて、ジユール熱による可動部
の反りはほとんど無視できる程度に改善された。
なお、本考案において、伸び縮み吸収バネ部３
８，３９は、バネ３１，３２やフレーム１ととも
に、ひとつの絶縁基板から、ホトリングラフイの
技術とエツチングの技術とを利用すれば、同一工
程で形成できるものであるから、製作工程が複雑
になるようなことはない。
８，３９は、バネ３１，３２やフレーム１ととも
に、ひとつの絶縁基板から、ホトリングラフイの
技術とエツチングの技術とを利用すれば、同一工
程で形成できるものであるから、製作工程が複雑
になるようなことはない。
以上説明したように、本考案によれば、ジユー
ル製等による可動部の反りを効果的に吸収するこ
とができ、高性能の機械振動子を実現できる。
ル製等による可動部の反りを効果的に吸収するこ
とができ、高性能の機械振動子を実現できる。
第１図は本願考案者らが先に提案した機械振動
子の一例を示す構成斜視図、第２図はその問題点
を説明するための側面図、第３図および第４図は
本考案に係る機械振動子の構成斜視図、第５図及
び第６図はその動作を説明するための要部説明
図、第７図は本考案の効果を説明するための実験
結果の一例を示す線図である。 １……フレーム、２……可動部、３１，３２…
…バネ部、４……反射鏡、５……コイルパター
ン、３８，３９……伸び縮み吸収バネ部。
子の一例を示す構成斜視図、第２図はその問題点
を説明するための側面図、第３図および第４図は
本考案に係る機械振動子の構成斜視図、第５図及
び第６図はその動作を説明するための要部説明
図、第７図は本考案の効果を説明するための実験
結果の一例を示す線図である。 １……フレーム、２……可動部、３１，３２…
…バネ部、４……反射鏡、５……コイルパター
ン、３８，３９……伸び縮み吸収バネ部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ひとつの絶縁基板によつてフレームと、この
フレームにバネ部を介して支持される可動部と
を構成するとともに、前記可動部にコイルパタ
ーンを形成させ、前記絶縁基板と同一方向の磁
界を与えるとともに前記コイルパターンに電流
を流し、可動部を振動させるようにした機械振
動子において、前記バネ部に伸び縮み吸収用の
バネ部を設けるようにしたことを特徴とする機
械振動子。 (2) 伸び縮み吸収用のバネ部は、内側が打抜かれ
た矩形状で形成される実用新案登録請求の範囲
第１項記載の機械振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7179881U JPS644091Y2 (ja) | 1981-05-18 | 1981-05-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7179881U JPS644091Y2 (ja) | 1981-05-18 | 1981-05-18 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57183515U JPS57183515U (ja) | 1982-11-20 |
| JPS644091Y2 true JPS644091Y2 (ja) | 1989-02-02 |
Family
ID=29867588
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7179881U Expired JPS644091Y2 (ja) | 1981-05-18 | 1981-05-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS644091Y2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000013210A2 (en) * | 1998-09-02 | 2000-03-09 | Xros, Inc. | Micromachined members coupled for relative rotation by torsional flexure hinges |
| US6315423B1 (en) * | 1999-07-13 | 2001-11-13 | Input/Output, Inc. | Micro machined mirror |
| WO2004049035A1 (ja) * | 2002-11-26 | 2004-06-10 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | 光走査装置および画像形成装置 |
| JP4581847B2 (ja) * | 2005-05-27 | 2010-11-17 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエータ |
| JP2011027973A (ja) * | 2009-07-24 | 2011-02-10 | Fujitsu Ltd | マイクロ素子 |
-
1981
- 1981-05-18 JP JP7179881U patent/JPS644091Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57183515U (ja) | 1982-11-20 |
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