JPS6441134U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6441134U JPS6441134U JP13595087U JP13595087U JPS6441134U JP S6441134 U JPS6441134 U JP S6441134U JP 13595087 U JP13595087 U JP 13595087U JP 13595087 U JP13595087 U JP 13595087U JP S6441134 U JPS6441134 U JP S6441134U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- laser medium
- aligned
- irradiated object
- optical axis
- Prior art date
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- Pending
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案に係る一実施例のレーザマーキ
ング装置の構成図である。第２図は、従来のレー
ザマーキング装置の構成図である。第３図は本考
案の特徴である被照射物の検出方法を説明する図
である。 １……レーザ発生部、６……レーザ媒体｛ＹＡ
Ｇロツド｝、１２……被照射物｛半導体ウエハー
内の不良素子｝、１４……検出光源、１５……光
検出器。
ング装置の構成図である。第２図は、従来のレー
ザマーキング装置の構成図である。第３図は本考
案の特徴である被照射物の検出方法を説明する図
である。 １……レーザ発生部、６……レーザ媒体｛ＹＡ
Ｇロツド｝、１２……被照射物｛半導体ウエハー
内の不良素子｝、１４……検出光源、１５……光
検出器。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ロツド状のレーザ媒体を具備するレーザ発生部
より、前方に射出したレーザ光をその光路系の先
端に配置された被照射体に照射するレーザ装置に
於いて、 上記レーザ媒体の後方にレーザ媒体と一致した
光軸で、かつ、レーザ媒体を透過する検出光源及
び、被照射体よりの反射光光軸に一致して光検出
器を配置したことを特徴とするレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13595087U JPS6441134U (ja) | 1987-09-04 | 1987-09-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13595087U JPS6441134U (ja) | 1987-09-04 | 1987-09-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6441134U true JPS6441134U (ja) | 1989-03-13 |
Family
ID=31396008
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13595087U Pending JPS6441134U (ja) | 1987-09-04 | 1987-09-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6441134U (ja) |
-
1987
- 1987-09-04 JP JP13595087U patent/JPS6441134U/ja active Pending
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