JPS6446702U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6446702U JPS6446702U JP14201087U JP14201087U JPS6446702U JP S6446702 U JPS6446702 U JP S6446702U JP 14201087 U JP14201087 U JP 14201087U JP 14201087 U JP14201087 U JP 14201087U JP S6446702 U JPS6446702 U JP S6446702U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- photodetector
- reflected beam
- receiving surface
- light receiving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 9
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
図面は本考案の一実施例を示し、第１図ａは本
実施例の概要を説明する正面図、第１図ｂは側面
図、第２図ａは光検知体部分を示す正面図、第２
図ｂは光検知体部分を示す側面図、第２図ｃは受
光面の状態を示す正面図、第２図ｄは光学体によ
る反射ビームの径の変化を示す斜視図、第３図ａ
は基板上の物体への光ビーム照射状態を示す側面
図、第３図ｂは基板上の物体への光ビーム照射状
態を示す正面図、第４図は物体により形成される
影の状態を示す平面図、第５図ａは基板上の凸状
部と反射ビームとの関係を示す側面図、第５図ｂ
は反射ビームと凸シリンドリカルレンズとの関係
を示す側面図である。 ２……光ビーム、３……偏向装置、４，５……
光学部品、６……基板、９……物体、１０……反
射ビーム、１１……光検知体、１２ａ……受光面
、１５……凸シリンドリカルレンズ、ａ……走査
方向。
実施例の概要を説明する正面図、第１図ｂは側面
図、第２図ａは光検知体部分を示す正面図、第２
図ｂは光検知体部分を示す側面図、第２図ｃは受
光面の状態を示す正面図、第２図ｄは光学体によ
る反射ビームの径の変化を示す斜視図、第３図ａ
は基板上の物体への光ビーム照射状態を示す側面
図、第３図ｂは基板上の物体への光ビーム照射状
態を示す正面図、第４図は物体により形成される
影の状態を示す平面図、第５図ａは基板上の凸状
部と反射ビームとの関係を示す側面図、第５図ｂ
は反射ビームと凸シリンドリカルレンズとの関係
を示す側面図である。 ２……光ビーム、３……偏向装置、４，５……
光学部品、６……基板、９……物体、１０……反
射ビーム、１１……光検知体、１２ａ……受光面
、１５……凸シリンドリカルレンズ、ａ……走査
方向。
Claims (1)
- 光ビームを斜め方向から基板上を走査させるよ
うに光学部品と偏向手段とを設け、基板上を走査
した後の反射ビームを受光するように走査方向に
延出する受光面を有する光検知体を設け、基板と
光検知体との間に非集束方向を走査方向に合せて
前記反射ビームを受光面に集光させる凸シリンド
リカルレンズを介在させ、基板上に載置された物
体と基板との高さの差により生じる前記反射ビー
ムのずれを光検知体の受光量の差により検出する
ことを特徴とする光学的位置検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14201087U JPS6446702U (ja) | 1987-09-17 | 1987-09-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14201087U JPS6446702U (ja) | 1987-09-17 | 1987-09-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6446702U true JPS6446702U (ja) | 1989-03-22 |
Family
ID=31407582
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14201087U Pending JPS6446702U (ja) | 1987-09-17 | 1987-09-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6446702U (ja) |
-
1987
- 1987-09-17 JP JP14201087U patent/JPS6446702U/ja active Pending