JPS63129807U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63129807U JPS63129807U JP2395887U JP2395887U JPS63129807U JP S63129807 U JPS63129807 U JP S63129807U JP 2395887 U JP2395887 U JP 2395887U JP 2395887 U JP2395887 U JP 2395887U JP S63129807 U JPS63129807 U JP S63129807U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- light
- receiving surface
- photodetector
- difference
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
図面は本考案の一実施例を示すものであり、第
１図ａは本実施例の概要を説明する正面図、第１
図ｂは側面図、第２図ａは光検知体部分を示す正
面図、第２図ｂは光検知体部分を示す側面図、第
２図ｃは受光面の状態を示す正面図、第２図ｄは
光学体による反射ビームの径の変化を示す斜視図
、第３図ａは基板上の物体への光ビーム照射状態
を示す側面図、第３図ｂは物体への光ビーム照射
状態を示す正面図、第４図は物体により形成され
る影の状態を示す平面図、第５図ａ、第５図ｂは
光ビームの特性の違いを説明するための図である
。 ２……光ビーム、６……基板、９……物体、１
０……反射ビーム、１１……光検知体、１２ａ…
…受光面、１３……反射部、ａ……走査方向。
１図ａは本実施例の概要を説明する正面図、第１
図ｂは側面図、第２図ａは光検知体部分を示す正
面図、第２図ｂは光検知体部分を示す側面図、第
２図ｃは受光面の状態を示す正面図、第２図ｄは
光学体による反射ビームの径の変化を示す斜視図
、第３図ａは基板上の物体への光ビーム照射状態
を示す側面図、第３図ｂは物体への光ビーム照射
状態を示す正面図、第４図は物体により形成され
る影の状態を示す平面図、第５図ａ、第５図ｂは
光ビームの特性の違いを説明するための図である
。 ２……光ビーム、６……基板、９……物体、１
０……反射ビーム、１１……光検知体、１２ａ…
…受光面、１３……反射部、ａ……走査方向。
Claims (1)
- 光ビームを基板上に走査させ、この基板上を走
査した後の反射ビームを複数個の受光面を有する
光検知体に入射させて、前記基板上に載置された
物体と基板との高さの差により生じる光検知体の
受光量の差を検知し、所定位置に対する物体の存
否を検出する光学的位置検出装置において、前記
光検知体の受光面を走査方向に対して平行に延出
し、この受光面の走査方向の両端部に反射ビーム
を受光面方向へ反射させる反射部を設けたことを
特徴とする光学的位置検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2395887U JPS63129807U (ja) | 1987-02-19 | 1987-02-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2395887U JPS63129807U (ja) | 1987-02-19 | 1987-02-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63129807U true JPS63129807U (ja) | 1988-08-24 |
Family
ID=30822748
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2395887U Pending JPS63129807U (ja) | 1987-02-19 | 1987-02-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63129807U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56168104A (en) * | 1980-05-28 | 1981-12-24 | Rikagaku Kenkyusho | Detector for mark position |
| JPS58148904A (ja) * | 1982-02-27 | 1983-09-05 | Matsushita Electric Works Ltd | 寸法計測装置 |
-
1987
- 1987-02-19 JP JP2395887U patent/JPS63129807U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56168104A (en) * | 1980-05-28 | 1981-12-24 | Rikagaku Kenkyusho | Detector for mark position |
| JPS58148904A (ja) * | 1982-02-27 | 1983-09-05 | Matsushita Electric Works Ltd | 寸法計測装置 |