JPS6447045U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6447045U JPS6447045U JP1987141931U JP14193187U JPS6447045U JP S6447045 U JPS6447045 U JP S6447045U JP 1987141931 U JP1987141931 U JP 1987141931U JP 14193187 U JP14193187 U JP 14193187U JP S6447045 U JPS6447045 U JP S6447045U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- storage device
- transport
- wafer storage
- wafers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Description
第１図は本考案の一実施例の側面図、第２図は
一実施例による搬出動作のフローチヤートである
。第３図は本考案の一従来例の側面図である。 なお図面に用いた符号において、１１…ウエハ
収納器、１２…半導体ウエハ、１４…上下駆動ネ
ジ、１６…搬送ベルト、１７…ウエハ検出センサ
、である。
一実施例による搬出動作のフローチヤートである
。第３図は本考案の一従来例の側面図である。 なお図面に用いた符号において、１１…ウエハ
収納器、１２…半導体ウエハ、１４…上下駆動ネ
ジ、１６…搬送ベルト、１７…ウエハ検出センサ
、である。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 複数枚のウエハをそれらの主面同士を平行にし
て且つ上下方向へ並べた状態で収納するウエハ収
納器と、 このウエハ収納器に対して前記ウエハを出し入
れするウエハ搬送手段と、 前記ウエハ収納器と前記ウエハ搬送手段とを上
下方向へ相対的に移動させる移動手段と、 前記ウエハ搬送手段による前記ウエハの搬送の
有無を検出する搬送検出手段と、 この搬送検出手段の検出情報に基いて前記移動
手段による移動量を補正する移動量補正手段とを
夫々具備するウエハ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987141931U JPS6447045U (ja) | 1987-09-17 | 1987-09-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987141931U JPS6447045U (ja) | 1987-09-17 | 1987-09-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6447045U true JPS6447045U (ja) | 1989-03-23 |
Family
ID=31407436
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987141931U Pending JPS6447045U (ja) | 1987-09-17 | 1987-09-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6447045U (ja) |
-
1987
- 1987-09-17 JP JP1987141931U patent/JPS6447045U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4907701A (en) | Apparatus for inspecting the appearance of semiconductor devices | |
| JPS59195740U (ja) | リ−ドレスチツプキヤリヤテストハンドラ− | |
| JPH0648858Y2 (ja) | ウエハ収納容器 | |
| JPS634925U (ja) | ||
| JPS61123460U (ja) | ||
| JPS5351857A (en) | Device for positioning spreader for container handling machine | |
| JPH038644Y2 (ja) | ||
| JPS5972733U (ja) | ウエハ搬送装置 | |
| JPS63122282U (ja) | ||
| JP2511321Y2 (ja) | 収納容器搬送装置 | |
| JPS63169508U (ja) | ||
| JPH01162406U (ja) | ||
| JPS6219740U (ja) | ||
| JPS62106867U (ja) | ||
| JPS64516U (ja) | ||
| JPH0332428U (ja) | ||
| JPS61158809U (ja) | ||
| JPS6099203U (ja) | ビン等の列数変換装置 | |
| JPS5827243U (ja) | シ−ト搬送装置 | |
| JPH05286544A (ja) | ロボットパレタイザ用ワーク位置決め装置 | |
| JPS6292224U (ja) | ||
| JPS62104148U (ja) | ||
| JPS6188240U (ja) | ||
| JPS63116241U (ja) | ||
| JPS59130849U (ja) | 板状材料の自動取出・積載装置 |