JPS6450334U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6450334U JPS6450334U JP14586287U JP14586287U JPS6450334U JP S6450334 U JPS6450334 U JP S6450334U JP 14586287 U JP14586287 U JP 14586287U JP 14586287 U JP14586287 U JP 14586287U JP S6450334 U JPS6450334 U JP S6450334U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- gauge
- semiconductor
- generating section
- piezo
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Description
第１図は本考案の１実施例の構成を示す縦断面
図、第２図は第１図に示す実施例の動作を説明す
る特性図、第３図は従来の半導体圧力センサの構
成を示す構成図、第４図は第３図に示す半導体圧
力センサの問題点を説明する特性図である。 １，２１，２５…ダイヤフラム、２，２０，２
４…凹部、３…起歪部、８，２２，２６…剪断形
ゲージ、１３…ケース、１４…隔壁、１５，１６
，１８…導圧孔、１９…開放孔、２８…変換部。
図、第２図は第１図に示す実施例の動作を説明す
る特性図、第３図は従来の半導体圧力センサの構
成を示す構成図、第４図は第３図に示す半導体圧
力センサの問題点を説明する特性図である。 １，２１，２５…ダイヤフラム、２，２０，２
４…凹部、３…起歪部、８，２２，２６…剪断形
ゲージ、１３…ケース、１４…隔壁、１５，１６
，１８…導圧孔、１９…開放孔、２８…変換部。
Claims (1)
- 起歪部のゲージ面に形成されたピエゾゲージに
測定圧力が印加される半導体の第１ダイヤフラム
と、前記ゲージ面にピエゾゲージが形成されこの
ゲージ面とは反対面の前記起歪部に前記測定圧力
が印加される半導体の第２ダイヤフラムと、これ
等の第１ダイヤフラムと第２ダイヤフラムの出力
を加算して出力する加算手段とを具備することを
特徴とする半導体圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14586287U JPS6450334U (ja) | 1987-09-24 | 1987-09-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14586287U JPS6450334U (ja) | 1987-09-24 | 1987-09-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6450334U true JPS6450334U (ja) | 1989-03-28 |
Family
ID=31414824
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14586287U Pending JPS6450334U (ja) | 1987-09-24 | 1987-09-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6450334U (ja) |
-
1987
- 1987-09-24 JP JP14586287U patent/JPS6450334U/ja active Pending