JPS645093Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、管球やマホービン等のように真空封
止の必要なワークのエアーの抜き取りを効率良く
行なうために使用される真空排気装置に関するも
のである。

従来、この種の真空排気装置として、第１図に
示すように、多数の気体流入口１ａ…を有してな
る排気マニフオルド１を複数本並列に設けてお
き、これら各排気マニフオルド１…の気体流出口
１ｂ…に、油拡散ポンプ２、メカニカルブースト
ポンプ３および油回転真空ポンプ４等を直列に介
設してなる排気系路５を各別なバルブ６…を介し
て接続したものがある。しかして、このものは、
前記各排気マニフオルド１の各気体流入口１ａ…
に管球等のワーク７をそれぞれチツプ管８を介し
て装着し、使用中のマニフオルド１に対応するす
べてのバルブ６を開いた上で前記各ポンプ２，
３，４を作動させて前記ワーク７内の真空排気を
行ない、その真空排気運転を継続したままで、各
ワークを順次にチツプオフ（チツプ管の中間部を
気密に封止した状態で切断すること）するように
している。

しかし、このような装置では、１つのワークで
もそのチツプオフに失敗すると、いまだチツプオ
フされていない全ワーク内に外気を侵入させてし
まう結果、チツプオフの失敗は、残りのワークの
すべてを不良品にしてしまうというゆゆしき問題
がある。

そこで、このような問題を解決するために、エ
アーの抜き取り完了後、前記バルブ６を選択的に
閉じて各々の排気マニフオルド１ごとに独立して
チツプオフするようにし、これによつてチツプオ
フの失敗が他の排気マニフオルド１…に装着され
たワーク７…へ波及することを防止出来るように
したものもある。

ところが、このような装置によるときは、チツ
プオフに失敗がなくても各々の排気マニフオルド
１に多数のワーク７が装着されている場合にはワ
ーク７…内での放出ガスや種々の接続部における
リーク等が影響して各排気マニフオルド１…にお
いてチツプオフが最後になるワーク７ほど真空度
が低下することとなり、均一な真空度の製品を得
難いという新たな問題が生じる。

本考案は、このような事情に着目してなされた
もので、各排気マニフオルドと単一の主排気系路
との間に介設したメインバルブを適宜開閉して
各々の排気マニフオルドごとに独立してワークの
チツプオフ作業を行なうことができようにすると
ともにメインバルブを閉じてチツプオフを行なつ
ている排気マニフオルド内のガスを主排気系路か
ら独立した単の補助排気系路を通して真空排気し
続けることができるように構成することによつ
て、ワークのチツプオフ時の失敗による他ワーク
への波及を最大限に抑制するだけでなく、チツプ
オフされるすべてのワークの真空度を均一かつ適
正にして不良品の発生を極力防止できるようにし
た真空排気装置を提供するものである。

以下、本考案の一実施例を第２図は参照して説
明する。なお、第１図に示す従来例と同一の部分
には同一の記号を付して説明を省略する。

第１図に示すものと同様な装置に、主排気系路
５から独立した補助排気系路９を付設している。
補助排気系路９は、油拡散ポンプ１１と油回転真
空ポンプ１２とを直列に介設してなる幹管路１３
の始端部から排気マニフオルド１…の本数に対応
する数の枝管路１４…を分岐させ、これら各枝管
路１４…の先端を各別なサブバルブ１５…を介し
て前記各排気マルフオルド１…の気体流出口１ｂ
…にそれぞれ接続してなるものである。なお１６
は真空計である。

次いで、この装置の作動を説明する。

まず、前述したように、各排気マニフオルド１
の各気体流入口１ａ…に管球等のワーク７…のチ
ツプ管８の先端部を装着し、使用中のマニフオル
ド１に対応するすべてのメインバルブ６…を開い
た上で、主排気系路５の各ポンプ２，３，４を作
動させて前記各ワーク７…内を真空排気する。こ
の時、サブバルブ１５…をも同時に全開して補助
排気系路９のポンプ１１，１２を作動させ、２つ
の排気系路５，９を協働させてもよい。このよう
にしてワーク７…内の真空排気が完了すると、次
にチツプオフ作業に移る。すなわち、例えば、１
列目の排気マニフオルド１に装着したワーク７…
からチツプオフを行なう場合には、前記各排気系
路５，９のポンプ２，３，４，１１，１２をそれ
ぞれ作動させたままで、１列目のサブバルブ１５
を開く、（他の列のサブバルブ１５…は閉じてお
く）とともに、１列目のメインバルブ６を閉じ
（他の列のメインバルブ６…は開いておく）、この
状態で１列目のマニフオルド１のワーク７…を順
次にチツプオフしてゆく。そして、１列目のチツ
プオフがすべて完了すると、次に２列目のサブバ
ルブ１５を開く（３列目以後のサブバルブ１５…
は閉じておく。１列目のサブバルブ１５も安全の
ため閉じておくのがよい）とともに、２列目のメ
インバルブ６を閉じ（３列目以後のメインバルブ
６…は開いておく）、この状態で２列目のマニフ
オルド１のワーク７…を順次にチツプオフしてゆ
く。そして、このような操作を各列ごとに順次行
なうことによつて、すべての排気マニフオルド１
…に装着されたワーク７…をチツプオフすること
ができるものである。

したがつて、このようなものであれば、複数本
の排気マニフオルド１…を単一の主排気系路５に
より排気しながらチツプオフ作業を行うようにし
た真空排気装置に特有の問題点を、簡単な構成に
より確実に解消することができるものである。す
なわち、この装置は、複数本の排気マニフオルド
１…に、単一の主排気系路５と、単一の補助排気
系路９とを、チツプオフ作業時に関連させて切替
えられるメインバルブ６…およびサブバルブ１５
…を介して接続するという簡単な構成をなしてお
り、その構成によつて、チツプオフに失敗した場
合に未だチツプオフされていない全てのワーク７
…内に外気を侵入させてしまうという不具合が生
じたり、チツプオフが最後になるワーク７…ほど
真空度が低下するという不都合が発生するのを有
効に防止することができる。

なお、本考案は前記実施例のものに限定されな
いのは勿論であり、例えば、前記実施例の構成に
加えて、各排気マニフオルド１の全気体流入口１
ａ…部に電磁弁等の常開形安全バルブ（図示せ
ず）を設けるとともに、補助排気系路９の真空計
１６に圧力警報接点を設けておき、チツプオフ作
業の失敗により補助排気系路９内の真空度が設定
値よりも悪化した場合に前記安全バルブを直ちに
閉止させるようにしてもよい。このようにすれば
チツプオフの失敗に帰因するワークの損失をチツ
プオフに失敗したものだけに止めることが可能と
なる。

以上、説明したように、本考案は、各排気マニ
フオルドと主排気系路との間に介設したメインバ
ルブの開閉操作により各々の排気マニフオルドご
とに独立してワークのチツプオフ作業を行なうこ
とができるようにしているので、チツプオフに失
敗して排気マニフオルド内に外気が侵入するよう
なことになつても、末だワークのチツプオフのな
されていない他の排気マニフオルド内にまで外気
侵入の影響が及ぶのを防止することができる。そ
のため、ワークのチツプオフ時の失敗による他ワ
ークへの被害を最小限に抑制することができる。
しかも、メインバルブを閉じてチツプオフを行な
つている排気マニフオルド内のガスを主排気系路
から独立した補助排気系路を通して真空排気し続
けることができるようにしているので、チツプオ
フ作業中に排気マニフオルド内の真空度がしだい
に低下するという不都合もない。そのため、すべ
てのワークの真空度を均一かつ適正に維持して不
良品の発生を極力防止することができる真空排気
装置を提供できるものである。

しかも、本発明の装置は、複数本の排気マニフ
オルドに対して単一の主排気系路と単一の補助排
気系路とをチツプオフ作業に関連させて切替えら
れるメインバルブおよびサブバルブを介して接続
したものであるため、部品点数が少なく簡単な構
成によつて前述した目的を確実に達成することが
できるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来例を示す回路説明図、第２図は本
考案の一実施例を示す回路説明図である。 １……排気マニフオルド、１ａ……気体流入
口、１ｂ……気体流出口、５……主排気系路、６
……メインバルブ、７……ワーク、８……チツプ
管、９……補助排気系路、１５……サブバルブ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 真空排気処理を施すべきワークのチツプ管端部
   を接続するための多数の気体流入口を有してなる
   複数本の排気マニフオルドと、これら各排気マニ
   フオルドの気体流出口にチツプオフ作業時に各別
   に閉成されるメインバルブを介して接続され開い
   ているメインバルブに対応する排気マニフオルド
   内の気体を逐次外部へ排出する単一の主排気系路
   と、前記各排気マニフオルドの気体流出口に少な
   くともチツプオフ作業時に開成される各別なサブ
   バルブを介して接続され開いているサブバルブに
   対応する排気マニフオルド内の気体を逐次外部へ
   排出する単一の補助排気系路とを具備してなるこ
   とを特徴とする真空排気装置。