JPH07171374A - 排気系バルブの操作方法 - Google Patents
排気系バルブの操作方法Info
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- JPH07171374A JPH07171374A JP6458992A JP6458992A JPH07171374A JP H07171374 A JPH07171374 A JP H07171374A JP 6458992 A JP6458992 A JP 6458992A JP 6458992 A JP6458992 A JP 6458992A JP H07171374 A JPH07171374 A JP H07171374A
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- 230000007257 malfunction Effects 0.000 abstract description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000011017 operating method Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 バルブの動作不良が確実に発見でき、バルブ
がスルーリークを生じているときでも反応室のリークチ
ェックが行える。 【構成】 両端に反応室５と排気ポンプ６が接続された
排気系ラインのバルブ１の両側に三方バルブ３，４を配
置し、これら三方バルブ３，４によってバルブ１に並列
にバイパスライン２をつなぎ、反応室５と三方バルブ３
との間に圧力計７を配置した。バルブ１を開け反応室５
を減圧しようとしても、圧力計７の表示が変わらない場
合、三方バルブ３，４をバイパスライン２側に開放して
反応室５を減圧する。このとき圧力計７の表示が変化す
れば、バルブ１に動作不良が生じており、変化しない場
合には、圧力計７に故障が生じている。また、三方バル
ブ３をバイパスライン２側に、三方バルブ４をバルブ１
側に切り換えると、バルブ１がスルーリークを生じてい
るときでも反応室５のリークチェックが行える。
がスルーリークを生じているときでも反応室のリークチ
ェックが行える。 【構成】 両端に反応室５と排気ポンプ６が接続された
排気系ラインのバルブ１の両側に三方バルブ３，４を配
置し、これら三方バルブ３，４によってバルブ１に並列
にバイパスライン２をつなぎ、反応室５と三方バルブ３
との間に圧力計７を配置した。バルブ１を開け反応室５
を減圧しようとしても、圧力計７の表示が変わらない場
合、三方バルブ３，４をバイパスライン２側に開放して
反応室５を減圧する。このとき圧力計７の表示が変化す
れば、バルブ１に動作不良が生じており、変化しない場
合には、圧力計７に故障が生じている。また、三方バル
ブ３をバイパスライン２側に、三方バルブ４をバルブ１
側に切り換えると、バルブ１がスルーリークを生じてい
るときでも反応室５のリークチェックが行える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体製造装置など排気
系ラインを備えたものに用いる排気系バルブの操作方法
に関するものである。
系ラインを備えたものに用いる排気系バルブの操作方法
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体の製造において成膜時の膜
質向上や均一性の向上のために真空系が用いられてい
る。ドライエッチング、プラズマによる成膜のためのプ
ラズマ発生のためにも用いられている。また、安全面か
らも真空によるガス排気が行なわれている。排気系のバ
ルブは、ラインの切り替えや反応室への空気、塵の逆流
を防止するために用いられている。
質向上や均一性の向上のために真空系が用いられてい
る。ドライエッチング、プラズマによる成膜のためのプ
ラズマ発生のためにも用いられている。また、安全面か
らも真空によるガス排気が行なわれている。排気系のバ
ルブは、ラインの切り替えや反応室への空気、塵の逆流
を防止するために用いられている。
【０００３】以下図面を参照しながら、上記した従来の
排気系バルブの操作方法の一例について説明する。
排気系バルブの操作方法の一例について説明する。
【０００４】図４は従来の排気ラインを示すものであ
る。図４において、１は電気や高圧エアー等により開閉
可能なバルブである。５は反応室で、ここでウェハの処
理を行なう。６は排気用のポンプであり、７は反応室５
の内部圧力を測定するための圧力計である。８はバルブ
１を開閉制御する制御器である。
る。図４において、１は電気や高圧エアー等により開閉
可能なバルブである。５は反応室で、ここでウェハの処
理を行なう。６は排気用のポンプであり、７は反応室５
の内部圧力を測定するための圧力計である。８はバルブ
１を開閉制御する制御器である。
【０００５】いま、バルブ１を開け反応室５を真空引き
しようとした時に、圧力計７の表示が変わらない場合を
考える。このとき、制御器８からはバルブ１に開の信号
が送られている。しかし、例えばバルブ１が動作不良を
生じて、開状態にならなければ反応室５内の圧力は低下
せず、圧力計７の表示は変化しない。また、圧力計７が
故障している場合でも圧力計７の表示は変化することは
ない。このように、外部からではバルブ１が動作不良を
生じているのか、圧力計７が故障しているのかを判断す
ることはできない。
しようとした時に、圧力計７の表示が変わらない場合を
考える。このとき、制御器８からはバルブ１に開の信号
が送られている。しかし、例えばバルブ１が動作不良を
生じて、開状態にならなければ反応室５内の圧力は低下
せず、圧力計７の表示は変化しない。また、圧力計７が
故障している場合でも圧力計７の表示は変化することは
ない。このように、外部からではバルブ１が動作不良を
生じているのか、圧力計７が故障しているのかを判断す
ることはできない。
【０００６】反応室５のリークチェックを行なう時、ま
ずは反応室５を十分に真空引きする。その後、バルブ１
を閉じる。反応室５がリークしている場合、バルブ１が
正常ならば反応室５内の圧力は徐々に上昇する。これに
より反応室５がリークを生じていると判断できる。
ずは反応室５を十分に真空引きする。その後、バルブ１
を閉じる。反応室５がリークしている場合、バルブ１が
正常ならば反応室５内の圧力は徐々に上昇する。これに
より反応室５がリークを生じていると判断できる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】いま、バルブ１がスル
ーリークを生じている時の反応室５のリークチェックを
考える。この時には、バルブ１を閉じていてもスルーリ
ークにより反応室５の排気が行なわれることになる。反
応室５がリークしている場合でも、バルブ１のスルーリ
ークによる排気で反応室５内の圧力は上昇しないことに
なる。すなわち、リークチェック時に、反応室５内の圧
力上昇がないから、反応室５がリークしていないと断定
することはできない。
ーリークを生じている時の反応室５のリークチェックを
考える。この時には、バルブ１を閉じていてもスルーリ
ークにより反応室５の排気が行なわれることになる。反
応室５がリークしている場合でも、バルブ１のスルーリ
ークによる排気で反応室５内の圧力は上昇しないことに
なる。すなわち、リークチェック時に、反応室５内の圧
力上昇がないから、反応室５がリークしていないと断定
することはできない。
【０００８】従来技術ではバルブ１の動作不良を特定す
ることができず、リークチェックが完全に行えない等の
問題点を有していた。
ることができず、リークチェックが完全に行えない等の
問題点を有していた。
【０００９】本発明は上記問題点に鑑み、バイパスライ
ンを設けた排気系バルブの操作方法を提供するものであ
る。
ンを設けた排気系バルブの操作方法を提供するものであ
る。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに本発明の排気系ラインは、バルブとその前後に設け
られた第１，第２の三方バルブと、前記第１，第２の三
方バルブによって前記バルブに並列につないだバイパス
ラインを設けたという構成で、前記第１，第２の三方バ
ルブを前記バイパスライン側に開放する、または、前記
第１の三方バルブを前記バイパスライン側に、前記第２
の三方バルブを前記バルブ側に開放するという方法を備
えたものである。
めに本発明の排気系ラインは、バルブとその前後に設け
られた第１，第２の三方バルブと、前記第１，第２の三
方バルブによって前記バルブに並列につないだバイパス
ラインを設けたという構成で、前記第１，第２の三方バ
ルブを前記バイパスライン側に開放する、または、前記
第１の三方バルブを前記バイパスライン側に、前記第２
の三方バルブを前記バルブ側に開放するという方法を備
えたものである。
【００１１】
【作用】本発明は上記した構成によって、バルブを経ず
に反応室内の排気を行なうことができ、これを利用して
バルブの動作不良の発見を行なうことができる。
に反応室内の排気を行なうことができ、これを利用して
バルブの動作不良の発見を行なうことができる。
【００１２】また、設けられた三方バルブの位置によっ
て、バルブがスルーリークを生じているときでも反応室
のリークチェックを確実に行なうことができるようにな
る。
て、バルブがスルーリークを生じているときでも反応室
のリークチェックを確実に行なうことができるようにな
る。
【００１３】
【実施例】図１は本発明の実施例における排気系ライン
の構成を示すものである。なお、図１において、図４に
示した構成要素と対応する要素には同じ符号を付した。
の構成を示すものである。なお、図１において、図４に
示した構成要素と対応する要素には同じ符号を付した。
【００１４】図１において、１は排気系ラインのバルブ
である。バルブ１は、電気や高圧エアー等によって開閉
可能なものとする。プロセスを制御するソフトウェアか
らの電気信号によって、バルブ１を自由に開閉制御でき
るようになっている。２はバルブ１と並列に設けられた
バイパスラインである。３，４は、バルブ１とバイパス
ライン２を切り換えるための手動式の三方バルブであ
る。５は成膜などのプロセスを行なう反応室であり、６
は反応室５を排気するための排気ポンプである。排気系
ラインの一方は反応室５につながれており、もう一方は
排気ポンプ６につながれている。７は反応室５の内部圧
力を測定するための圧力計である。８はバルブ１を開閉
制御する制御器である。バイパスライン２は、バルブ１
の前後の配管に三方バルブ３，４を配して、バルブ１に
対して並列に設けられている。バルブ１に対して並列に
バイパスライン２を設けることにより、排気ポンプ６を
用いてバルブ１を経ずに反応室５内の排気が可能とな
る。
である。バルブ１は、電気や高圧エアー等によって開閉
可能なものとする。プロセスを制御するソフトウェアか
らの電気信号によって、バルブ１を自由に開閉制御でき
るようになっている。２はバルブ１と並列に設けられた
バイパスラインである。３，４は、バルブ１とバイパス
ライン２を切り換えるための手動式の三方バルブであ
る。５は成膜などのプロセスを行なう反応室であり、６
は反応室５を排気するための排気ポンプである。排気系
ラインの一方は反応室５につながれており、もう一方は
排気ポンプ６につながれている。７は反応室５の内部圧
力を測定するための圧力計である。８はバルブ１を開閉
制御する制御器である。バイパスライン２は、バルブ１
の前後の配管に三方バルブ３，４を配して、バルブ１に
対して並列に設けられている。バルブ１に対して並列に
バイパスライン２を設けることにより、排気ポンプ６を
用いてバルブ１を経ずに反応室５内の排気が可能とな
る。
【００１５】以上のように構成された排気系ラインにつ
いて、以下図１及び図２を用いてその操作方法を説明す
る。
いて、以下図１及び図２を用いてその操作方法を説明す
る。
【００１６】図２は本発明の排気系ラインの操作方法に
おける第一の実施例であり、三方バルブ３，４をともに
バイパスライン２側に切り換えたときの構成を示す図で
ある。
おける第一の実施例であり、三方バルブ３，４をともに
バイパスライン２側に切り換えたときの構成を示す図で
ある。
【００１７】いま、バルブ１を開け反応室５を真空引き
しようとした時に、圧力計７の表示が変わらない場合を
考える。このとき、制御器８からはバルブ１に開の信号
が送られている。しかし、例えばバルブ１が動作不良を
生じて、開状態にならなければ反応室５内の圧力は低下
せず、圧力計７の表示は変化しない。また、圧力計７が
故障している場合でも圧力計７の表示は変化することは
ない。このように、外部からではバルブ１が動作不良を
生じているのか、圧力計７が故障しているのかを判断す
ることはできない。
しようとした時に、圧力計７の表示が変わらない場合を
考える。このとき、制御器８からはバルブ１に開の信号
が送られている。しかし、例えばバルブ１が動作不良を
生じて、開状態にならなければ反応室５内の圧力は低下
せず、圧力計７の表示は変化しない。また、圧力計７が
故障している場合でも圧力計７の表示は変化することは
ない。このように、外部からではバルブ１が動作不良を
生じているのか、圧力計７が故障しているのかを判断す
ることはできない。
【００１８】そこで、三方バルブ３，４を図２に示す位
置にし、バイパスライン２を通して反応室５を真空引き
する。この場合には、必ず反応室５は真空状態にするこ
とができる。もし、この状態で圧力計７の表示が変化し
たのならば前述の結果と併せて考えて、バルブ１が動作
不良を生じていると断定することができる。また、この
状態でも圧力変化が見られない場合には、圧力計７の故
障であると断定できる。
置にし、バイパスライン２を通して反応室５を真空引き
する。この場合には、必ず反応室５は真空状態にするこ
とができる。もし、この状態で圧力計７の表示が変化し
たのならば前述の結果と併せて考えて、バルブ１が動作
不良を生じていると断定することができる。また、この
状態でも圧力変化が見られない場合には、圧力計７の故
障であると断定できる。
【００１９】以上のように本実施例によればバルブ１を
経ずに反応室５内の排気を行なうことができ、これを利
用してバルブ１の動作不良の発見を行なうことができ
る。
経ずに反応室５内の排気を行なうことができ、これを利
用してバルブ１の動作不良の発見を行なうことができ
る。
【００２０】次に本発明の第２の実施例について、以下
図１及び図３を用いてその動作を説明する。
図１及び図３を用いてその動作を説明する。
【００２１】図３は本発明の排気系バルブの操作方法に
おける第２の実施例を示している。三方バルブ３をバイ
パスライン２側に、三方バルブ４をバルブ１側に切り換
えたときの構成を示す図である。
おける第２の実施例を示している。三方バルブ３をバイ
パスライン２側に、三方バルブ４をバルブ１側に切り換
えたときの構成を示す図である。
【００２２】反応室５のリークチェックを行なう時、ま
ずは反応室５を十分に真空引きする。その後、バルブ１
を閉じる。反応室５がリークしている場合、バルブ１が
正常ならば反応室５内の圧力は徐々に上昇する。これに
より反応室５がリークを生じていると判断できる。
ずは反応室５を十分に真空引きする。その後、バルブ１
を閉じる。反応室５がリークしている場合、バルブ１が
正常ならば反応室５内の圧力は徐々に上昇する。これに
より反応室５がリークを生じていると判断できる。
【００２３】いま、バルブ１がスルーリークを生じてい
る時の反応室５のリークチェックを考える。この時に
は、バルブ１を閉じていてもスルーリークにより反応室
５の排気が行なわれることになる。反応室５がリークし
ている場合でも、バルブ１のスルーリークによる排気で
反応室５内の圧力は上昇しないことになる。すなわち、
リークチェック時に、反応室５内の圧力上昇がないか
ら、反応室５がリークしていないと断定することはでき
ない。
る時の反応室５のリークチェックを考える。この時に
は、バルブ１を閉じていてもスルーリークにより反応室
５の排気が行なわれることになる。反応室５がリークし
ている場合でも、バルブ１のスルーリークによる排気で
反応室５内の圧力は上昇しないことになる。すなわち、
リークチェック時に、反応室５内の圧力上昇がないか
ら、反応室５がリークしていないと断定することはでき
ない。
【００２４】そこで、バルブ３，４を図３に示した位置
にしてリークチェックを行なう場合を考える。排気ポン
プ側は三方バルブ３で遮断されており、反応室側は三方
バルブ４で遮断されている。これにより排気系ラインは
完全に遮断されたことになる。バルブ１がスルーリーク
を生じていても三方バルブ３，４によって配管が遮断さ
れているため、リークチェックを完全に行なうことがで
きる。
にしてリークチェックを行なう場合を考える。排気ポン
プ側は三方バルブ３で遮断されており、反応室側は三方
バルブ４で遮断されている。これにより排気系ラインは
完全に遮断されたことになる。バルブ１がスルーリーク
を生じていても三方バルブ３，４によって配管が遮断さ
れているため、リークチェックを完全に行なうことがで
きる。
【００２５】以上のように本実施例によれば図３のよう
な三方バルブの位置によって、バルブ１がスルーリーク
を生じているときでも反応室５のリークチェックを確実
に行なうことができる。
な三方バルブの位置によって、バルブ１がスルーリーク
を生じているときでも反応室５のリークチェックを確実
に行なうことができる。
【００２６】なお、第２の実施例において三方バルブ３
をバイパスライン側に、三方バルブ４をバルブ１側にし
ているが、三方バルブ４をバイパスライン側に、三方バ
ルブ３をバルブ１側にしても同様の効果を得ることがで
きる。
をバイパスライン側に、三方バルブ４をバルブ１側にし
ているが、三方バルブ４をバイパスライン側に、三方バ
ルブ３をバルブ１側にしても同様の効果を得ることがで
きる。
【００２７】
【発明の効果】以上のように本発明は、バルブを経ずに
反応室内の排気を行なうことができ、これを利用してバ
ルブの動作不良の発見を行なうことができる。また、設
けられた三方バルブの位置によって、バルブがスルーリ
ークを生じているときでも反応室のリークチェックを確
実に行なうことができるようになる。
反応室内の排気を行なうことができ、これを利用してバ
ルブの動作不良の発見を行なうことができる。また、設
けられた三方バルブの位置によって、バルブがスルーリ
ークを生じているときでも反応室のリークチェックを確
実に行なうことができるようになる。
【図１】本発明の第１，第２の実施例における排気系ラ
インの構成図
インの構成図
【図２】本発明の第１の実施例における操作方法説明の
ための構成図
ための構成図
【図３】本発明の第２の実施例における操作方法説明の
ための構成図
ための構成図
【図４】従来の排気系ラインの概略図
１ オペレーションバルブ ２ バイパスライン ３，４ 三方バルブ ５ 反応室 ６ 排気ポンプ ７ 圧力計 ８ 制御器
Claims (2)
- 【請求項１】バルブと、その前後に設けられた第１，第
２の三方バルブと、前記第１，第２の三方バルブによっ
て前記バルブに並列につないだバイパスラインを備え、
前記第１，第２の三方バルブを前記バイパスライン側に
開放することを特徴とする排気系バルブの操作方法。 - 【請求項２】前記第１三方バルブをバイパスライン側
に、前記第２の三方バルブを前記バルブ側に開放するこ
とを特徴とする請求項１記載の排気系バルブの操作方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6458992A JPH07171374A (ja) | 1992-03-23 | 1992-03-23 | 排気系バルブの操作方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6458992A JPH07171374A (ja) | 1992-03-23 | 1992-03-23 | 排気系バルブの操作方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07171374A true JPH07171374A (ja) | 1995-07-11 |
Family
ID=13262594
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6458992A Pending JPH07171374A (ja) | 1992-03-23 | 1992-03-23 | 排気系バルブの操作方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07171374A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008510093A (ja) * | 2004-08-11 | 2008-04-03 | ザ・ビーオーシー・グループ・インコーポレーテッド | 一体型高真空ポンピングシステム |
-
1992
- 1992-03-23 JP JP6458992A patent/JPH07171374A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008510093A (ja) * | 2004-08-11 | 2008-04-03 | ザ・ビーオーシー・グループ・インコーポレーテッド | 一体型高真空ポンピングシステム |
| JP4931811B2 (ja) * | 2004-08-11 | 2012-05-16 | エドワーズ・バキューム・インコーポレーテッド | 一体型高真空ポンピングシステム |
| KR101224337B1 (ko) * | 2004-08-11 | 2013-01-21 | 에드워즈 배큠 인코포레이티드 | 가스 운반용 일체형 진공 펌핑 시스템, 가스 운반용 장치 및 가스 운반 방법 |
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