JPS646044U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS646044U JPS646044U JP10146587U JP10146587U JPS646044U JP S646044 U JPS646044 U JP S646044U JP 10146587 U JP10146587 U JP 10146587U JP 10146587 U JP10146587 U JP 10146587U JP S646044 U JPS646044 U JP S646044U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- semiconductor wafer
- stage
- cleaning member
- testing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
図面はいずれも本考案の一実施例であり、第１
図は上面図、第２図は断面図、第３図は全体構成
図である。 １……移動台、２……ステージ、３……サブス
テージ、４……半導体ウエハ、５……クリーニン
グ部材、６……検査用プローブ、７……プローブ
カード、８……ヘツドステージ。
図は上面図、第２図は断面図、第３図は全体構成
図である。 １……移動台、２……ステージ、３……サブス
テージ、４……半導体ウエハ、５……クリーニン
グ部材、６……検査用プローブ、７……プローブ
カード、８……ヘツドステージ。
Claims (1)
- 半導体ウエハチツプの検査に用いるプローブ検
査装置において、半導体ウエハチツプと電気的接
触を採り得る検査用プロープと、半導体ウエハを
設置するステージと、このステージの周辺に設け
られクリーニング部材が載置されたサブステージ
とから成り、前記検査用プローブと前記クリーニ
ング部材が接触可能であることを特徴とするプロ
ーブ検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10146587U JPS646044U (ja) | 1987-06-30 | 1987-06-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10146587U JPS646044U (ja) | 1987-06-30 | 1987-06-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS646044U true JPS646044U (ja) | 1989-01-13 |
Family
ID=31330486
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10146587U Pending JPS646044U (ja) | 1987-06-30 | 1987-06-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS646044U (ja) |
-
1987
- 1987-06-30 JP JP10146587U patent/JPS646044U/ja active Pending
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