JPS648590B2 - - Google Patents
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- JPS648590B2 JPS648590B2 JP17524683A JP17524683A JPS648590B2 JP S648590 B2 JPS648590 B2 JP S648590B2 JP 17524683 A JP17524683 A JP 17524683A JP 17524683 A JP17524683 A JP 17524683A JP S648590 B2 JPS648590 B2 JP S648590B2
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B17/00—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
- B05B17/04—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
- B05B17/06—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
- B05B17/0607—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
- B05B17/0638—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers spray being produced by discharging the liquid or other fluent material through a plate comprising a plurality of orifices
- B05B17/0646—Vibrating plates, i.e. plates being directly subjected to the vibrations, e.g. having a piezoelectric transducer attached thereto
Landscapes
- Special Spraying Apparatus (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、灯油などの液体燃料、水・薬液など
の液体の霧化ポンプに関するものであり、さらに
詳しくは、圧電振動子などの電気振動子を利用し
た霧化ポンプに関するものである。
の液体の霧化ポンプに関するものであり、さらに
詳しくは、圧電振動子などの電気振動子を利用し
た霧化ポンプに関するものである。
従来例の構成とその問題点
従来この種の霧化ポンプは、第１図に示すよう
に構成されている。すなわち電気振動子１の相対
向する平滑面には、電極膜２ａ，２ｂが形成さ
れ、電極膜２ｂとノズル板３とは半田層４ａを介
して接合がされていた。さらにノズル板３の他方
の面と、ボイー５は半田層４ｂを介して接合され
ていた。
に構成されている。すなわち電気振動子１の相対
向する平滑面には、電極膜２ａ，２ｂが形成さ
れ、電極膜２ｂとノズル板３とは半田層４ａを介
して接合がされていた。さらにノズル板３の他方
の面と、ボイー５は半田層４ｂを介して接合され
ていた。
電気振動子１は主成分がPbO、TiO2、ZrO2、
NbO、MgOからなるセラミツク体で、円形中央
部に開口部を設けたリング形状を有し、電極膜２
ａ，２ｂは、銀系の厚膜用導電性ペーストの焼結
体、ノズル板３は厚さ約50μm程度のステンレス
やチタンなど、半田付に不活性な金属板が選ば
れ、その中央部には、ノズル６の貫通孔（孔径約
70〜100μm）が、１つまたは複数個設けられてい
る。尚、ノズル板３は、各構成部材と半田で接合
されるため、第２図に示す様にノズル板３表面
を、予め半田付に活性な、銅、金、銀、洋白、コ
バールなどの金属薄膜層３１，３２で形成されて
いた。この金属薄膜層３１は、電気振動子１を接
合する被着部であり、ほぼ電気振動子１と同形状
の被着パターンからなつていた。被着パターン
は、第３図に示す様に、電気振動子１の加振によ
り、ノズル板３が、図中点線の様に振動運動する
際、この振動特性の変動の原因になる、接合部の
半田流れを阻止し、半田層４ａを定形化するもの
である。金属薄膜層３２は、ボデイー５を接合す
る被着部で、上記と同様に被着パターンが設けら
れている。金属薄膜層３１，３２の膜厚は約0.5
〜1.5μm適度で、この層とノズル板３との間は、
付着強度を高めるため、クロム、ニクロム、チタ
ン等の金属の薄膜による中間層（膜厚約0.5μm前
後）３１ａ，３２ａを設けるなどしている。次に
電極膜２ａは、印加電源及び電気回路（図省略）
からのリード線接続用電極であり、ボデイー５に
は液体通路７および液体室８が設けられ、この様
にして霧化ポンプは構成されていた。
NbO、MgOからなるセラミツク体で、円形中央
部に開口部を設けたリング形状を有し、電極膜２
ａ，２ｂは、銀系の厚膜用導電性ペーストの焼結
体、ノズル板３は厚さ約50μm程度のステンレス
やチタンなど、半田付に不活性な金属板が選ば
れ、その中央部には、ノズル６の貫通孔（孔径約
70〜100μm）が、１つまたは複数個設けられてい
る。尚、ノズル板３は、各構成部材と半田で接合
されるため、第２図に示す様にノズル板３表面
を、予め半田付に活性な、銅、金、銀、洋白、コ
バールなどの金属薄膜層３１，３２で形成されて
いた。この金属薄膜層３１は、電気振動子１を接
合する被着部であり、ほぼ電気振動子１と同形状
の被着パターンからなつていた。被着パターン
は、第３図に示す様に、電気振動子１の加振によ
り、ノズル板３が、図中点線の様に振動運動する
際、この振動特性の変動の原因になる、接合部の
半田流れを阻止し、半田層４ａを定形化するもの
である。金属薄膜層３２は、ボデイー５を接合す
る被着部で、上記と同様に被着パターンが設けら
れている。金属薄膜層３１，３２の膜厚は約0.5
〜1.5μm適度で、この層とノズル板３との間は、
付着強度を高めるため、クロム、ニクロム、チタ
ン等の金属の薄膜による中間層（膜厚約0.5μm前
後）３１ａ，３２ａを設けるなどしている。次に
電極膜２ａは、印加電源及び電気回路（図省略）
からのリード線接続用電極であり、ボデイー５に
は液体通路７および液体室８が設けられ、この様
にして霧化ポンプは構成されていた。
この構成では、ノズル板３と電気振動子１を接
合する際、ノズル板３の表面に設けられた、金属
薄膜層３１が、電気振動子１とほぼ同形状からな
るため、半田付する半田量をかなり精度良く管理
する必要があつた。また、過剰の半田が供給され
た場合は、半田層４ａの接合端部（電気振動子と
ノズル板との界面端部）に余剰の半田９が球状に
残り、振動特性を変動させるなどの問題があつ
た。
合する際、ノズル板３の表面に設けられた、金属
薄膜層３１が、電気振動子１とほぼ同形状からな
るため、半田付する半田量をかなり精度良く管理
する必要があつた。また、過剰の半田が供給され
た場合は、半田層４ａの接合端部（電気振動子と
ノズル板との界面端部）に余剰の半田９が球状に
残り、振動特性を変動させるなどの問題があつ
た。
発明の目的
本発明は、かかる従来の欠点を除去するもの
で、霧化ポンプの構成において、各構成部材の接
合を容易にし、特性の信頼性を高め、生産性の良
い霧化ポンプを提供することを目的とする。
で、霧化ポンプの構成において、各構成部材の接
合を容易にし、特性の信頼性を高め、生産性の良
い霧化ポンプを提供することを目的とする。
発明の構成
この目的を達成するために本発明は、電気振動
子とノズル板と、これらを支持するボデイーと
が、それぞれ半田層で接合された構成からなり、
前記のノズル板の表面には、前記電気振動子を接
合するための被着部と、半田溜のための被着部
を、相互に連結した構成で半田被着パターンを設
け、この半田被着パターンは、半田付に活性な金
属薄膜層を形成したものである。
子とノズル板と、これらを支持するボデイーと
が、それぞれ半田層で接合された構成からなり、
前記のノズル板の表面には、前記電気振動子を接
合するための被着部と、半田溜のための被着部
を、相互に連結した構成で半田被着パターンを設
け、この半田被着パターンは、半田付に活性な金
属薄膜層を形成したものである。
この構成によつて、ノズル板と電気振動子との
接合界面の余乗半田は、振動系の影響の少ない半
田溜部へ流れ吸収される。従つて、ノズル板と電
気振動子との接合界面の半田層は形状的に均一化
できる。ノズル板中央部を中心とした振動系の、
半田層を均一化することにより、振動特性の安定
化が図れるものである。
接合界面の余乗半田は、振動系の影響の少ない半
田溜部へ流れ吸収される。従つて、ノズル板と電
気振動子との接合界面の半田層は形状的に均一化
できる。ノズル板中央部を中心とした振動系の、
半田層を均一化することにより、振動特性の安定
化が図れるものである。
実施例の説明
以下、本発明の一実施例を、第４図、第５図を
用いて説明する。尚、これらの図において、第１
図〜第３図と同じものについては、同一番号を付
している。
用いて説明する。尚、これらの図において、第１
図〜第３図と同じものについては、同一番号を付
している。
第４図において、電気振動子１は外径φ10mm開
口径φ3.5mm、厚さ約10mmのリング状で、従来例と
同様のもので、電極膜２ａ，２ｂが形成されてい
る。ノズル板３は、半田付に不活性なステンレ
ス、チタンなどの金属薄板で、従来と同様のもの
を選んだ。ノズル板３の両面の一部には、半田付
に活性な銅、金、銀、洋白、コバール等の金属薄
膜層３３，３４が、真空蒸着法、スパツタ法、メ
ツキ法、溶射法などにより形成されている。この
金属薄膜層３３，３４の形状は、ノズル板３面上
で、電気振動子１ならびにボデイー５との接合を
要す部分のみに、被着部としてパターン形成がな
されている。尚、金属薄膜層３３を形成したノズ
ル板３面上には、第５図に示す様な振動系への影
響の少ない外周部位置に、半田溜を目的とした金
属薄膜層３５が設けられ、金属薄膜層３３と相互
に連結した半田被着パターンから構成されてい
る。
口径φ3.5mm、厚さ約10mmのリング状で、従来例と
同様のもので、電極膜２ａ，２ｂが形成されてい
る。ノズル板３は、半田付に不活性なステンレ
ス、チタンなどの金属薄板で、従来と同様のもの
を選んだ。ノズル板３の両面の一部には、半田付
に活性な銅、金、銀、洋白、コバール等の金属薄
膜層３３，３４が、真空蒸着法、スパツタ法、メ
ツキ法、溶射法などにより形成されている。この
金属薄膜層３３，３４の形状は、ノズル板３面上
で、電気振動子１ならびにボデイー５との接合を
要す部分のみに、被着部としてパターン形成がな
されている。尚、金属薄膜層３３を形成したノズ
ル板３面上には、第５図に示す様な振動系への影
響の少ない外周部位置に、半田溜を目的とした金
属薄膜層３５が設けられ、金属薄膜層３３と相互
に連結した半田被着パターンから構成されてい
る。
ついで、電気振動子１の電極膜２ｂと、ノズル
板３の金属薄膜層３３、ならびにノズル板３の金
属薄膜層３４とボデイー５は、半田層４ａおよび
半田層４ｂを介して接合される。また、ボデイー
５の液体通路７、液体室８などは、従来と同じ構
造にしている。
板３の金属薄膜層３３、ならびにノズル板３の金
属薄膜層３４とボデイー５は、半田層４ａおよび
半田層４ｂを介して接合される。また、ボデイー
５の液体通路７、液体室８などは、従来と同じ構
造にしている。
上記構成において、発振回路（図省略）からの
電圧印加により、電気振動子１は発振され、半田
層４ｂを介して、ノズル板３を加振する。ノズル
板３は、第３図の点線で示した様に、振動運動を
する。その結果、液体室９に充填された液体は加
圧され、ノズル孔６を介して噴霧化される。
電圧印加により、電気振動子１は発振され、半田
層４ｂを介して、ノズル板３を加振する。ノズル
板３は、第３図の点線で示した様に、振動運動を
する。その結果、液体室９に充填された液体は加
圧され、ノズル孔６を介して噴霧化される。
噴霧化は振動特性に依存されるため、ノズル板
３の振動運動を安定にすることが必要であつた。
従つて、本発明の構成では、ノズル板３の表面
に、半田に活性な金属薄膜層３３，３５の相互を
連結した被着パターンを形成しているため、電気
振動子１を接合時、金属薄膜層３３の余剰半田
は、金属薄膜層３５へ流れ、振動系の影響の少な
いこの部分で、冷却後、固着される。その結果、
金属薄膜層３３からなる被着部の半田層４ａ界面
は、定形化できる。そのため、ノズル板３の振動
運動を、安定にすることが出来る。また、上述の
様に、接合に不必要な余剰の半田は、金属薄膜層
３５で、その量に比例し吸収することができるた
め、従来の様な精度の良い半田量の管理が不要と
できる。
３の振動運動を安定にすることが必要であつた。
従つて、本発明の構成では、ノズル板３の表面
に、半田に活性な金属薄膜層３３，３５の相互を
連結した被着パターンを形成しているため、電気
振動子１を接合時、金属薄膜層３３の余剰半田
は、金属薄膜層３５へ流れ、振動系の影響の少な
いこの部分で、冷却後、固着される。その結果、
金属薄膜層３３からなる被着部の半田層４ａ界面
は、定形化できる。そのため、ノズル板３の振動
運動を、安定にすることが出来る。また、上述の
様に、接合に不必要な余剰の半田は、金属薄膜層
３５で、その量に比例し吸収することができるた
め、従来の様な精度の良い半田量の管理が不要と
できる。
発明の効果
以上のように、本発明の霧化ポンプによれば、
ノズル板の表面に、電気振動子を接合するための
被着部と、半田溜のための被着部を、相互に連結
した構成で半田被着パターンを形成しているた
め、半田接合時、前者の被着部に対し余剰の半田
は、後者の被着部で相当量を吸収できる。結果と
して、前者の被着部の半田界面は、定形化でき
る。従つて、ノズル板の振動運動を安定化する効
果が得られ、また、半田の供給量を精度良く管理
することが不要となる効果が得られる。
ノズル板の表面に、電気振動子を接合するための
被着部と、半田溜のための被着部を、相互に連結
した構成で半田被着パターンを形成しているた
め、半田接合時、前者の被着部に対し余剰の半田
は、後者の被着部で相当量を吸収できる。結果と
して、前者の被着部の半田界面は、定形化でき
る。従つて、ノズル板の振動運動を安定化する効
果が得られ、また、半田の供給量を精度良く管理
することが不要となる効果が得られる。
第１図は従来の構成による霧化ポンプを示す断
面図、第２図ａ，ｂは従来の構成による要部の平
面図及び断面図、第３図は霧化ポンプ基本動作を
説明する断面図、第４図は本発明の一実施例を示
す霧化ポンプの断面図、第５図ａ，ｂは本発明の
構成による要部の平面図及び断面図である。 １…電気振動子、２ａ…電極膜、２ｂ…電極
膜、３…ノズル板、４ａ…半田層、４ｂ…半田
層、５…ボデイー、６…ノズル孔、７…液体通
路、８…液体室、３１，３２，３３，３４，３５
…金属薄膜層、３１ａ，３２ａ…中間層。
面図、第２図ａ，ｂは従来の構成による要部の平
面図及び断面図、第３図は霧化ポンプ基本動作を
説明する断面図、第４図は本発明の一実施例を示
す霧化ポンプの断面図、第５図ａ，ｂは本発明の
構成による要部の平面図及び断面図である。 １…電気振動子、２ａ…電極膜、２ｂ…電極
膜、３…ノズル板、４ａ…半田層、４ｂ…半田
層、５…ボデイー、６…ノズル孔、７…液体通
路、８…液体室、３１，３２，３３，３４，３５
…金属薄膜層、３１ａ，３２ａ…中間層。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 相対向する略平滑面上に電極膜を設けた電気
振動子と、この電気振動子によつて加振されるノ
ズル板と、これらを支持するボデイーとが、それ
ぞれ半田層で接合された構成からなり、前記ノズ
ル板の表面には、前記電気振動子を接合するため
の被着部と、半田溜のための被着部を、相互に連
結した構成で半田被着パターンを設け、この半田
被着パターンは、半田付に活性な金属薄膜層で形
成した霧化ポンプ。 ２ ノズル板は、半田付に不活性なステンレス、
チタンなどの金属薄板である特許請求の範囲第１
項記載の霧化ポンプ。 ３ 半田付に活性な金属薄膜層は、銅、金、銀、
洋白、コバールなどの金属から成る特許請求の範
囲第１項記載の霧化ポンプ。 ４ 半田溜のための被着部は、ノズル板が電気振
動子により加振され振動する際、ノズル板の振動
を抑えた部分に設けた特許請求の範囲第１項記載
の霧化ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58175246A JPS6068071A (ja) | 1983-09-21 | 1983-09-21 | 霧化ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58175246A JPS6068071A (ja) | 1983-09-21 | 1983-09-21 | 霧化ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6068071A JPS6068071A (ja) | 1985-04-18 |
| JPS648590B2 true JPS648590B2 (ja) | 1989-02-14 |
Family
ID=15992812
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58175246A Granted JPS6068071A (ja) | 1983-09-21 | 1983-09-21 | 霧化ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6068071A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5828394A (en) | 1995-09-20 | 1998-10-27 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Fluid drop ejector and method |
| US7954730B2 (en) * | 2005-05-02 | 2011-06-07 | Hong Kong Piezo Co. Ltd. | Piezoelectric fluid atomizer apparatuses and methods |
| WO2010089822A1 (ja) * | 2009-02-09 | 2010-08-12 | 株式会社村田製作所 | 霧化部材及びそれを備える霧化器 |
| CN102527565A (zh) * | 2011-12-27 | 2012-07-04 | 重庆科技学院 | 一种高速离心式雾化器雾化盘 |
| KR102581043B1 (ko) * | 2021-01-25 | 2023-09-22 | 한국과학기술연구원 | 다공성 박막을 이용한 메쉬형 분무 장치 및 이의 제조방법 |
-
1983
- 1983-09-21 JP JP58175246A patent/JPS6068071A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6068071A (ja) | 1985-04-18 |
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