JPS649208U - - Google Patents

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JPS649208U
JPS649208U JP10468987U JP10468987U JPS649208U JP S649208 U JPS649208 U JP S649208U JP 10468987 U JP10468987 U JP 10468987U JP 10468987 U JP10468987 U JP 10468987U JP S649208 U JPS649208 U JP S649208U
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JP
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epi
deflection member
illumination device
field illumination
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JP10468987U
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【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例を示す断面図、第２
図は偏向部材を示す一部を切り欠いた斜視図、第
３図は偏向部材の変形例を示す断面図、第４図は
従来の落射暗視野照明装置を示す断面図である。 １１…顕微鏡本体、１２…リング状反射鏡、１
３…レボルバ、１４…対物レンズ、１５…鏡筒、
１６…偏向部材としての輪帯状プリズム、１６Ｂ
，１６Ｃ…反射面、１７…リング状集光部材、１
８…検査対象物、３１Ａ，３１Ｂ…偏向部材とし
ての輪帯状反射鏡、Ｓ…観察光軸。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 顕微鏡本体に設けられ複数種の対物レンズ
    を観察光軸上に選択的に切り換えるためのレボル
    バを備えるとともに、リング状平行光束の口径を
    前記対物レンズの周囲を通過させるために拡大さ
    せる偏向部材およびこの偏向部材で拡大されたリ
    ング状平行光束を検査対象物の表面上に集光させ
    る集光部材を有する顕微鏡の落射暗視野照明装置
    において、前記偏向部材を、前記レボルバの切換
    作動に関わりなく前記観察光軸上に固定的に設け
    たことを特徴とする顕微鏡の落射暗視野照明装置
    。 (2) 実用新案登録請求の範囲第１項において、
    前記偏向部材は、前記レボルバ内の固定部材側に
    設けられていることを特徴とする顕微鏡の落射暗
    視野照明装置。 (3) 実用新案登録請求の範囲第１項において、
    前記偏向部材は、前記顕微鏡本体に設けられてい
    ることを特徴とする顕微鏡の落射暗視野照明装置
    。 (4) 実用新案登録請求の範囲第１項ないし第３
    項のいずれかにおいて、前記偏向部材は、光軸が
    前記観察光軸と一致しかつ内周面側および外周面
    側に互いに平行な傾斜状の反射面を有する輪帯状
    プリズムによつて形成されていることを特徴とす
    る顕微鏡の落射暗視野照明装置。
JP10468987U 1987-07-07 1987-07-07 Pending JPS649208U (ja)

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JP10468987U JPS649208U (ja) 1987-07-07 1987-07-07

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015219261A (ja) * 2014-05-14 2015-12-07 株式会社ミツトヨ 照明装置および顕微鏡ユニット

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015219261A (ja) * 2014-05-14 2015-12-07 株式会社ミツトヨ 照明装置および顕微鏡ユニット

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