JPS649475B2 - - Google Patents
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- JPS649475B2 JPS649475B2 JP7725380A JP7725380A JPS649475B2 JP S649475 B2 JPS649475 B2 JP S649475B2 JP 7725380 A JP7725380 A JP 7725380A JP 7725380 A JP7725380 A JP 7725380A JP S649475 B2 JPS649475 B2 JP S649475B2
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- JP
- Japan
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- rotor
- blade
- manufacturing
- turbo
- vane
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Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 19
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 3
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 3
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 230000008094 contradictory effect Effects 0.000 description 1
- 230000001627 detrimental effect Effects 0.000 description 1
- 210000003746 feather Anatomy 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23P—METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; COMBINED OPERATIONS; UNIVERSAL MACHINE TOOLS
- B23P15/00—Making specific metal objects by operations not covered by a single other subclass or a group in this subclass
- B23P15/02—Making specific metal objects by operations not covered by a single other subclass or a group in this subclass turbine or like blades from one piece
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/26—Rotors specially for elastic fluids
- F04D29/32—Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps
- F04D29/321—Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps for axial flow compressors
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、ターボ分子ポンプのロータの環状に
配置された羽根を製作するための製法であつて、
羽根円板の縁範囲に半径方向のスリツトを付け
て、スリツト間に残された区分を該区分の半径方
向の中心軸線を中心としてねじることによつて所
望の羽根を形成する形式のもの及びロータに関す
る。
配置された羽根を製作するための製法であつて、
羽根円板の縁範囲に半径方向のスリツトを付け
て、スリツト間に残された区分を該区分の半径方
向の中心軸線を中心としてねじることによつて所
望の羽根を形成する形式のもの及びロータに関す
る。
上記形式の環状の羽根の製法は、例えば「真空
技術（Vakuumtechnik）」23巻４号、109ベージ
および次のベージ以下の記載から公知である。こ
の場合一方では羽根は、羽根を容易にねじりかつ
羽根の端面をできるだけ小さくするために、でき
るだけ薄くしておきたい。すなわち、羽根自体に
関して考察すると、羽根の端面は羽根の羽根面に
対して垂直な「入射角」を有している。従つて、
羽根の端面にぶつかるすべての分子には、羽根面
自体により与えられる所望の搬送方向とは逆向き
の衝撃力が加えられる。端面によつて分子に逆向
きの衝撃力が加えられるという不都合な作用は、
羽根が厚くなればなるほど大きくなる。
技術（Vakuumtechnik）」23巻４号、109ベージ
および次のベージ以下の記載から公知である。こ
の場合一方では羽根は、羽根を容易にねじりかつ
羽根の端面をできるだけ小さくするために、でき
るだけ薄くしておきたい。すなわち、羽根自体に
関して考察すると、羽根の端面は羽根の羽根面に
対して垂直な「入射角」を有している。従つて、
羽根の端面にぶつかるすべての分子には、羽根面
自体により与えられる所望の搬送方向とは逆向き
の衝撃力が加えられる。端面によつて分子に逆向
きの衝撃力が加えられるという不都合な作用は、
羽根が厚くなればなるほど大きくなる。
他方では上記形式の製法で製作される羽根は、
生じる高い回転数に際しても十分な強度を有して
いるように薄すぎてはならない。のこ引きおよび
それに続くねじりによつて製作される羽根におい
ては、幅ひいては質量が半径方向外側に向かつて
増大しており、その結果強度に関して付加的な要
求が課せられる。さらに、羽根の製作に使用され
る羽根円板が薄すぎてはならない。それというの
は薄すぎる羽根円板は、例えば片側からの加工の
際に振動を惹起し、振動が正確な加工を妨げるこ
とになるからである。
生じる高い回転数に際しても十分な強度を有して
いるように薄すぎてはならない。のこ引きおよび
それに続くねじりによつて製作される羽根におい
ては、幅ひいては質量が半径方向外側に向かつて
増大しており、その結果強度に関して付加的な要
求が課せられる。さらに、羽根の製作に使用され
る羽根円板が薄すぎてはならない。それというの
は薄すぎる羽根円板は、例えば片側からの加工の
際に振動を惹起し、振動が正確な加工を妨げるこ
とになるからである。
冒頭に述べた形式の公知のすべてのターボ分子
ポンプにおいては、羽根の厚さに関する前述の互
いに矛盾する要求に対し、ターボ分子ポンプのポ
ンプ特性を著しく規定するような妥協が計られて
いる。
ポンプにおいては、羽根の厚さに関する前述の互
いに矛盾する要求に対し、ターボ分子ポンプのポ
ンプ特性を著しく規定するような妥協が計られて
いる。
ターボ分子ポンプの別の形式の製法では、羽根
が羽根円板の縁範囲にスリツトを斜めにつけるこ
とによつて製作される（例えばスイス国特許第
532199号明細書、参照）。このような製法は不都
合な作用を生ぜしめる入射角の端面を避けるもの
であるものの、本発明の対象とする冒頭に述べた
形式の製法よりも著しく高価なものである。
が羽根円板の縁範囲にスリツトを斜めにつけるこ
とによつて製作される（例えばスイス国特許第
532199号明細書、参照）。このような製法は不都
合な作用を生ぜしめる入射角の端面を避けるもの
であるものの、本発明の対象とする冒頭に述べた
形式の製法よりも著しく高価なものである。
従つて本発明の課題は、冒頭に述べた形式の製
法に基づくターボ分子ポンプに従来のターボ分子
ポンプよりも著しく良好なポンプ特性を与えるよ
うに、ターボ分子ポンプのロータの製法を改善す
ることにある。
法に基づくターボ分子ポンプに従来のターボ分子
ポンプよりも著しく良好なポンプ特性を与えるよ
うに、ターボ分子ポンプのロータの製法を改善す
ることにある。
上記課題を解決するために本発明の構成では、
環状に配置された羽根の製作に使用される羽根円
板を、該羽根円板の厚さが半径方向外側に向かつ
て連続的に若しくは段階的に減少するように加工
し、次いで羽根円板を半径方向にのこ引きしてス
リツトを付けるようにした。
環状に配置された羽根の製作に使用される羽根円
板を、該羽根円板の厚さが半径方向外側に向かつ
て連続的に若しくは段階的に減少するように加工
し、次いで羽根円板を半径方向にのこ引きしてス
リツトを付けるようにした。
本発明の上記製法に基づき構成されたロータは
著しく高い回転数、即ち著しく高い周速度で運転
可能である。それというのは羽根の厚さが半径方
向外側に向かつて減少しており、ひいては羽根の
質量が同じく半径方向外側に向かつて減少してい
るからである。その結果、ターボ分子ポンプの吸
込能力が著しく高められ、かつ特に例えばH2の
ような軽いガスを圧縮する場合にも圧縮度が高め
られる。羽根の周速度の特に高い外側の縁範囲
で、羽根の厚さひいては不都合な作用を及ぼす端
面が小さくなつており、その結果良好なポンプ特
性が得られる。
著しく高い回転数、即ち著しく高い周速度で運転
可能である。それというのは羽根の厚さが半径方
向外側に向かつて減少しており、ひいては羽根の
質量が同じく半径方向外側に向かつて減少してい
るからである。その結果、ターボ分子ポンプの吸
込能力が著しく高められ、かつ特に例えばH2の
ような軽いガスを圧縮する場合にも圧縮度が高め
られる。羽根の周速度の特に高い外側の縁範囲
で、羽根の厚さひいては不都合な作用を及ぼす端
面が小さくなつており、その結果良好なポンプ特
性が得られる。
有利には羽根のボス範囲の厚さが縁範囲の厚さ
よりも係数５ないし15だけ大きくなつている。羽
根円板の直径がほぼ18cmである場合、羽根の厚さ
はほぼ５mmからほぼ0.5mmに減少していると有利
である。
よりも係数５ないし15だけ大きくなつている。羽
根円板の直径がほぼ18cmである場合、羽根の厚さ
はほぼ５mmからほぼ0.5mmに減少していると有利
である。
ターボ分子ポンプのロータにおいては一般に、
環状の羽根の複数の羽根円板を重ねて配置してあ
り、各羽根円板の環状の羽根の長さ及び／又は入
射角が、それも高真空側から低真空側に向かつて
減少するように多くの場合には部分的に羽根円板
間では異なつている。従つて、互いに無関係な
個々の羽根円板に羽根を製作して、羽根の製作さ
れた羽根円板が所定の順序でロータにまとめられ
る。しかしながら、ロータを一体構成部材から形
成すると特に有利である。そのために、例えばア
ルミニウムから成る円筒形ブロツクにまず軸線に
対して垂直な切り欠きが、それも切り欠き間に環
状の羽根の羽根円板としてのリブを残すように設
けられる。切り欠きを例えば旋削により形成する
製作段階中に同時に、切り欠き間に残されるリブ
がリブの厚さを半径方向外側に向かつて減少させ
られる。次いで自体公知の形式でのこ引きおよび
ねじりによつて羽根の形成が行なわれる。
環状の羽根の複数の羽根円板を重ねて配置してあ
り、各羽根円板の環状の羽根の長さ及び／又は入
射角が、それも高真空側から低真空側に向かつて
減少するように多くの場合には部分的に羽根円板
間では異なつている。従つて、互いに無関係な
個々の羽根円板に羽根を製作して、羽根の製作さ
れた羽根円板が所定の順序でロータにまとめられ
る。しかしながら、ロータを一体構成部材から形
成すると特に有利である。そのために、例えばア
ルミニウムから成る円筒形ブロツクにまず軸線に
対して垂直な切り欠きが、それも切り欠き間に環
状の羽根の羽根円板としてのリブを残すように設
けられる。切り欠きを例えば旋削により形成する
製作段階中に同時に、切り欠き間に残されるリブ
がリブの厚さを半径方向外側に向かつて減少させ
られる。次いで自体公知の形式でのこ引きおよび
ねじりによつて羽根の形成が行なわれる。
次に図面を用いて本発明の実施例を具体的に説
明する。
明する。
第１図に示す羽根円板１は厚さを縁範囲２で連
続的に減少させてある。軸線４を有するボス３の
厚さは、羽根円板１を重ねて相互に固定すること
によつてターボ分子ポンプのためのロータを構成
できるように選ばれている。
続的に減少させてある。軸線４を有するボス３の
厚さは、羽根円板１を重ねて相互に固定すること
によつてターボ分子ポンプのためのロータを構成
できるように選ばれている。
第２図の羽根円板１においては、羽根円板の厚
さが連続的にではなく、段階的に３つの段部５，
６および７で半径方向外側に向かつて減少させら
れている。
さが連続的にではなく、段階的に３つの段部５，
６および７で半径方向外側に向かつて減少させら
れている。
第３図には羽根円板１の一部の平面が示されて
いる。さらに第３図には、のこ引きによつて形成
された若干の半径方向のスリツト９が図示されて
いる。スリツト９間に残された区間１０は、区分
１０の半径方向の中心軸線を中心としてねじられ
て所望の羽根を形成する。羽根は、高真空側に対
する羽根円板の位置に応じて、種々異なつた長
さ、入射角又は幅を有していると有利である。羽
根の長さおよび幅は、スリツト９の長さ若しくは
深さおよび間隔によつて規定される。種々異なつ
た入射角は羽根のねじりのねじり量を種々異なら
せることによつて規定される。殊にロータの高真
空側で羽根の相互間隔をできるだけ大きくするこ
とが望ましい。羽根の相互間隔を大きくすること
は、スリツト９を形成するためのこの幅を広くす
ることによつて可能である。
いる。さらに第３図には、のこ引きによつて形成
された若干の半径方向のスリツト９が図示されて
いる。スリツト９間に残された区間１０は、区分
１０の半径方向の中心軸線を中心としてねじられ
て所望の羽根を形成する。羽根は、高真空側に対
する羽根円板の位置に応じて、種々異なつた長
さ、入射角又は幅を有していると有利である。羽
根の長さおよび幅は、スリツト９の長さ若しくは
深さおよび間隔によつて規定される。種々異なつ
た入射角は羽根のねじりのねじり量を種々異なら
せることによつて規定される。殊にロータの高真
空側で羽根の相互間隔をできるだけ大きくするこ
とが望ましい。羽根の相互間隔を大きくすること
は、スリツト９を形成するためのこの幅を広くす
ることによつて可能である。
第４図は、一体の構成部材から製作されるまだ
完成していないロータ１１を示している。ロータ
を一体の構成部材から製作するためには円筒形の
アルミニウムブロツクに半径方向の切り欠き１２
を設けてあり、これらの切り欠きは、切り欠き間
に残された部分１３から羽根を形成であるような
幅および深さを有している。そのために、切り欠
き１２間に残される部分１３は、旋削によつて切
り欠き１２を形成する際に直接に若しくはあとか
ら旋削バイトを用いた特別の加工段階によつて厚
さを半径方向外側に向かつて減少させられる。第
４図の実施例の場合には、切り欠き１２間の部分
１３は段階的に減少させられている。次いで既に
第２図および第３図に示した形式で部分１３の外
側範囲がのこ引きされて、ねじられ、その結果一
体のロータ１１が形成される。
完成していないロータ１１を示している。ロータ
を一体の構成部材から製作するためには円筒形の
アルミニウムブロツクに半径方向の切り欠き１２
を設けてあり、これらの切り欠きは、切り欠き間
に残された部分１３から羽根を形成であるような
幅および深さを有している。そのために、切り欠
き１２間に残される部分１３は、旋削によつて切
り欠き１２を形成する際に直接に若しくはあとか
ら旋削バイトを用いた特別の加工段階によつて厚
さを半径方向外側に向かつて減少させられる。第
４図の実施例の場合には、切り欠き１２間の部分
１３は段階的に減少させられている。次いで既に
第２図および第３図に示した形式で部分１３の外
側範囲がのこ引きされて、ねじられ、その結果一
体のロータ１１が形成される。
ターボ分子ポンプのために本発明に基づき製作
されたロータは、公知技術に基づくロータ、すな
わち厚さの変わらない羽根を有するロータに比べ
て40％までの高い回転数で運転可能である。例え
ばアルミニウム製ロータが公知技術においては毎
分42000回転数に設計される場合、アルミニウム
製ロータを本発明に基づき製作すると、本発明に
基づくアルミ製ロータはほぼ毎分59000回転数で
運転可能である。従つて、圧縮値が著しく高めら
れ、特に軽いガスのための吸込能力が高められ
る。
されたロータは、公知技術に基づくロータ、すな
わち厚さの変わらない羽根を有するロータに比べ
て40％までの高い回転数で運転可能である。例え
ばアルミニウム製ロータが公知技術においては毎
分42000回転数に設計される場合、アルミニウム
製ロータを本発明に基づき製作すると、本発明に
基づくアルミ製ロータはほぼ毎分59000回転数で
運転可能である。従つて、圧縮値が著しく高めら
れ、特に軽いガスのための吸込能力が高められ
る。
図面は本発明の複数の実施例を示すものであつ
て、第１図は第１実施例の羽根円板の断面図、第
２図は第２実施例の羽根円板の断面図、第３図は
第２図の実施例の羽根円板の一部の平面図、第４
図は第３実施例のロータの縦断面図である。 １…羽根円板、２…縁範囲、３…ボス、４…軸
線、５，６，７…段部、９…スリツト、１０…区
分、１１…ロータ、１２…切り欠き、１３…部
分。
て、第１図は第１実施例の羽根円板の断面図、第
２図は第２実施例の羽根円板の断面図、第３図は
第２図の実施例の羽根円板の一部の平面図、第４
図は第３実施例のロータの縦断面図である。 １…羽根円板、２…縁範囲、３…ボス、４…軸
線、５，６，７…段部、９…スリツト、１０…区
分、１１…ロータ、１２…切り欠き、１３…部
分。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ ターボ分子ポンプのロータの環状に配置され
た羽根を製作するための製法であつて、羽根円板
の縁範囲に半径方向のスリツトを付けて、スリツ
ト間に残された区分を該区分の半径方向の中心軸
線を中心としてねじることによつて所望の羽根を
形成する形式のものにおいて、環状の羽根の製作
に用いられる羽根円板１，１３を該羽根円板の厚
さが半径方向外側に向かつて連続的に若しくは段
階的に減少するように加工し、次いで羽根円板を
半径方向にのこ引きしてスリツトを付けることを
特徴とする、ターボ分子ポンプのロータの製法。 ２ 羽根円板１を個別に加工して１つのロータに
まとめる特許請求の範囲第１項記載のターボ分子
ポンプのロータの製法。 ３ 環状の羽根の製作に用いられる複数の羽根円
板を一体の構成部材から旋削によつて削り出す特
許請求の範囲第１項記載のターボ分子ポンプのロ
ータの製法。 ４ ターボ分子ポンプのロータにおいて、ロータ
の環状に配置された羽根の厚さが半径方向外側に
向かつて連続的に若しくは段階的に減少している
ことを特徴とする、ターボ分子ポンプのロータ。 ５ 羽根のボス範囲の厚さが縁範囲の厚さよりも
係数５ないし15だけ大きくなつている特許請求の
範囲第４項記載のターボ分子ポンプのロータ。 ６ ロータが一体の構成部材から形成されている
特許請求の範囲第４項記載のターボ分子ポンプの
ロータ。 ７ 各羽根円板の環状の羽根の間隔、幅、長さ及
び入射角が羽根円板間で互いに異なつている特許
請求の範囲第４項記載のターボ分子ポンプのロー
タ。
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19792923632 DE2923632A1 (de) | 1979-06-11 | 1979-06-11 | Verfahren zur herstellung eines schaufelkranzes fuer den rotor einer tubomolekularpumpe und mit schaufelkraenzen dieser art ausgeruesteter rotor |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56593A JPS56593A (en) | 1981-01-07 |
| JPS649475B2 true JPS649475B2 (ja) | 1989-02-17 |
Family
ID=6072988
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7725380A Granted JPS56593A (en) | 1979-06-11 | 1980-06-10 | Rotor of turbomolecule pump and its manufacture |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS56593A (ja) |
| CH (1) | CH646229A5 (ja) |
| DE (1) | DE2923632A1 (ja) |
| FR (1) | FR2458351B1 (ja) |
| GB (1) | GB2052317B (ja) |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58190590U (ja) * | 1982-06-14 | 1983-12-17 | 東京ブラインド工業株式会社 | 間仕切り |
| JPS6136479A (ja) * | 1983-11-30 | 1986-02-21 | 八木 清行 | 折戸式自動扉の駆動装置 |
| DE3507274A1 (de) * | 1985-03-01 | 1986-09-04 | Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik Wetzlar Gmbh, 6334 Asslar | Scheiben mit schaufeln hoher stabilitaet fuer turbomolekularpumpen |
| JPH01195992A (ja) * | 1988-01-30 | 1989-08-07 | Naoto Ibarada | ターボ分子ポンプの動翼 |
| IT1238201B (it) * | 1989-11-03 | 1993-07-09 | Varian Spa | Metodo di fabbricazione mediante elettroerosione di una girante o di un rotore a una o piu' giranti di una turbopompa, particolarmente di una pompa turbomolecolare, e prodotti cosi' ottenuti. |
| IT1293907B1 (it) * | 1997-05-28 | 1999-03-11 | Varian Spa | Procedimento di fresatura di rotori di pompe turbomolecolari con inglobamento in resina del particolare da fresare. |
| JP3092063B2 (ja) | 1998-06-17 | 2000-09-25 | セイコー精機株式会社 | ターボ分子ポンプ |
| DE10053664A1 (de) * | 2000-10-28 | 2002-05-08 | Leybold Vakuum Gmbh | Mechanische kinetische Vakuumpumpe |
| EP1249612B1 (en) | 2001-03-15 | 2004-01-28 | VARIAN S.p.A. | Method of manufacturing a stator stage for a turbine pump |
| CN101432525A (zh) * | 2006-04-29 | 2009-05-13 | 欧瑞康莱宝真空公司 | 涡轮分子泵的转子或定子 |
| DE102009015652A1 (de) * | 2009-03-31 | 2010-10-07 | Light Style Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines Gebrauchsproduktes aus Aluminium und danach hergestelltes Produkt |
| DE102011117920B4 (de) * | 2011-11-09 | 2013-08-01 | Voith Patent Gmbh | Verfahren zum Herstellen eines Schaufelrades, sowie danach hergestelltes Schaufelrad |
| DE102014114326A1 (de) * | 2014-10-02 | 2016-04-07 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Verfahren zur Herstellung einer Rotor- oder Statorscheibe für eine Vakuumpumpe sowie Rotor- oder Statorscheibe für eine Vakuumpumpe |
| EP3091235B1 (de) * | 2015-05-04 | 2020-03-11 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Rotorscheibe |
| GB2592618A (en) * | 2020-03-03 | 2021-09-08 | Edwards Ltd | Turbine blades and methods of manufacture of turbine blades |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH159747A (fr) * | 1930-01-11 | 1933-01-31 | Westinghouse Electric Corp | Hélice et procédé pour sa fabrication. |
| FR81075E (fr) * | 1962-01-23 | 1963-07-26 | Snecma | Pompe à vide turbomoléculaire perfectionnée |
| US3623826A (en) * | 1969-10-27 | 1971-11-30 | Sargent Welch Scientific Co | Turbine pump with improved rotor and seal constructions |
| BE757354A (fr) * | 1969-10-27 | 1971-03-16 | Sargent Welch Scientific Co | Pompe turbomoleculaire a stators et rotors perfectionnes |
| JPS5227367Y1 (ja) * | 1975-09-30 | 1977-06-22 | ||
| DE2627309A1 (de) * | 1976-06-18 | 1977-12-22 | Daimler Benz Ag | Verfahren und vorrichtung zur herstellung eines keramischen turbinenrades |
| DE2654055B2 (de) * | 1976-11-29 | 1979-11-08 | Kernforschungsanlage Juelich Gmbh, 5170 Juelich | Rotor- und Statorscheibe für Turbomolekularpumpe |
| DE2717366B2 (de) * | 1977-04-20 | 1979-10-11 | Arthur Pfeiffer-Vakuumtechnik-Wetzlar Gmbh, 6334 Asslar | Laufrad für eine Turbomolekularpumpe |
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