JPS64978Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 この考案は水、溶剤などの液体あるいは各種の
気体中に含まれる微粒子などを処理流体から除去
するための精密フイルタに関する。

ICやLSIなどの半導体素子の製造工程では、各
種の薬液、ガスおよび超純水が用いられ、より純
度が高く微粒子の少ないものが要求されている。

医薬品，遺伝子工学あるいは食品，飲料の分野
においても同様であり、0.5μ以下と云つた微粒子
や細菌でも容易に捕捉できる精密フイルタが望ま
れている。

従来のこの種のフイルタを示せば第１図のとお
りであり、弗素系の樹脂，ポリプロピレン、また
はナイロンなどの樹脂成形品で作られ、板面およ
び中央のスペーサボス部d₁に流体通路を形成した
デスクｄの上下面に同じ合成樹脂からなる多孔質
の薄膜ｆを配設し、その内外周縁をデスクｄに溶
着した過エレメンｅを所要段数（通常には20段
程度）積層してセンターパイプｐに嵌挿固定し、
このセンターパイプｐの上端をカバーｃに取付け
て、容器ａ中に収容するようにしている。

ところで、このものでは過エレメントの主要
部品として樹脂成形品からなる厚手なデスクを用
いているために、柔軟性に乏しく容器内径より大
きなものは使用することができず、しかも一定容
積の容積中に占めるデスクの容積が大きく、その
ため材（薄膜）の収納効率が悪く過面積が小
さい。そして、処理能力の少ない割りに部品点数
が多く、組立てに手間がかかりコスト高になつて
いる。

この考案は上記従来品の欠点を改良すべく工夫
されたもので、過エレメントを折り曲げ可能に
形成し、容器の内径よりはるかに大きなものを使
用することができ、積層段数が少ないに拘らず、
過面積が大きく処理能力を向上させることので
きるフイルタを提供するものであり、すべての部
材が耐薬品と耐熱性を有する合成樹脂からなり、
ボス部と該ボス部内に通じる複数の横通孔を有す
る水平片とからなるスペーサの水平片の上下の面
に、薄膜材の両面または片面に可撓性で透過性の
流路部材を添設した二つの材の中心孔の部分を
それぞれ気密に取付け、かつそれら材の周縁部
を密封して過エレメントを形成し、該過エレ
メントを上記スペーサを介してセンターパイプに
複数段取付け、最上段または最下段のエレメント
の直径または一辺の長さを容器内径より大きくな
すと共に、他のエレメントを順次に大きくなし、
上記センターパイプ３の上端をカバー５に固定す
る一方、各過エレメントを折り曲げて容器に収
容したことを特徴としている。

図面参照の上その実施例について説明すれば、
第２図は過エレメントＥを示すものであり、１
はスペーサであつて、弗素系の樹脂，ポリプロピ
レンまたはナイロンのような耐薬品性と耐熱性を
有する合成樹脂からなり、センターパイプに嵌挿
すべき縦孔を設けたボス部１ａと縦孔に連通する
複数の横通孔１ｃを設けた水平片１ｂとで断面十
字をなすボタン状に形成され、このスペーサ１の
ボス部１ａの上下には次のような材２が中心孔
を介してそれぞれ嵌め込まれ、その中心孔周辺部
が水平片１ｂの上下面に溶着されている。

材２は上記スペーサ１と同質の合成樹脂材か
らなるもので、第３図イのように厚さが30〜
250μ程度の多孔質円形の薄膜（メンブレン）２
ａと、との形体保持と密着防止を兼ねて両面に流
路部材２ｂとして添設された網体（30〜50メツシ
ユで厚さは0.2〜２mm程度）からなつていて、中
央にはスペーサのボス部１ａに嵌挿すべき中心孔
２ｃを備え、上下の材２の中央部は個々にスペ
ーサの水平片１ｂの上下面に溶着され、周縁部は
互いに重ね合わされて溶着され、上下材２の間
はボス部１ａの縦孔に通じる空洞になつていて、
可撓性を有し、上下に折り曲げ易く形成されてい
る。

この場合、上記流路部材２ｂは薄膜２ａの両面
でなく、片面だけとし、しかも一つの過エレメ
ントＥを形成したとき、薄膜２ａ同志が直接接触
しないように両者の間に一枚だけが存在するよう
に配設してもよく、また、流路部材２ｂとしては
網体のほかに空隙率が50％以上で厚さが0.2〜２
mm程度の不織布または連続気泡のスポンジを用い
てもよい。

そして、薄膜２ａの外側（原液側）に流路部材
２ｂを設ける場合には、その外側の流路部材２ｂ
は薄膜２ｂに対し、内周縁か外周縁のいずれか一
方で溶着するようにしても差支えなく、処理流体
によつては薄膜２ａは孔径の異なるものを二枚以
上重ねて用いる場合もある。

そして、このような過エレメントＥの複数個
のものが、第４図のようにスペーサ１のボス部１
ａを同効樹脂材のセンターパイプ３に嵌挿させて
積層されるが、図示のものでは最上段の過エレ
メントＥの直径が容器６の内径のほぼ２倍程度に
形成され、それより下段のものは順次に大径に形
成されている。スペーサ１のボス部１ａ同志は互
いに溶着され、センターパイプ３の上半部にはカ
ラー４が嵌挿される。

かくて、センターパイプ３の上端ねじ部が第５
図のように同効樹脂製のカバー５の中央取出し口
部に螺合され、その状態で上記複数段の過エレ
メントＥがセンターパイプ３と共に同効樹脂のコ
ツプ状の容器６中に押し込み収容され、カバー５
の周縁部が容器６の上端縁に溶着される。

その際、センターパイプ３に取付けられている
過エレメントＥは上記のように柔軟な構造に形
成されているので、容器６の内径より相当に大き
なものであつても、スペーサ１の部分を基にして
容易に上向きに折れ曲がり、各エレメントＥは重
なり合い外端縁がカバー５の接合部に揃うように
なつて収容され、第６図のように周囲部は波状に
ひだ付けられ、容器内面との間ならびにエレメン
トＥ同志の間に隙間による多数の流体通路７が形
成される。

そこで、使用に当たり、処理すべき流体を容器
６の下端入口６ａから供給すれば流体は上記の通
路７を通つて順次に上昇し容器６中に充満する。
それと同時に処理流体は各過エレメントＥの多
孔質な薄膜２ａを矢印のように通り抜けて浄化さ
れ、内側空洞を経て中心部に流れ、各スペーサ１
の横通孔１ｃを通つてセンターパイプ３中に入
り、カバー５の取出し口からタンク側に流れてい
く。

なお、材２は第３図ロのように角形にすれば
材料取りに無駄がなくなる。

以上のようにこの考案では、過エレメントを
合成樹脂からなるスペーサと合成樹脂の薄膜の両
面または片面に可撓性で透過性の流路部材を添設
した材とで形成したので、柔軟性があつて折り
曲げ易く、従来のように容器の内径に制限を受け
ることなく折り曲げて使用することができ、そし
て、センターパイプに複数段に取付けた過エレ
メントの最上段または最下段のものの直径または
一辺の長さを容器内径より大きくなし、その他の
ものをこれより順次に大きくしたので、従来品に
比べエレメントの段数を少なくして過面積を格
段に大きくすることができ、（過面積はエレメ
ントの直径または一辺の長さの二乗に比例するの
で、従来と同じ段数であれば過面積は４倍以上
となり、過面積を一定とすれば、エレメントの
段数は1/4以下ですむ）液の処理能力を著しく向
上させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のフイルタの断面図。第２図はこ
の考案に係る過エレメントの断面図。第３図
イ，ロは材の一部の斜視図。第４図はセンター
パイプに過エレメントを取付けた状態の側面
図。第５図は容器に収容した状態の断面図。第６
図は第５図のＡ−Ａ線に沿つた断面図。 図中、１…スペーサ、１ａ…ボス部、１ｂ…水
平片、１ｃ…横通孔、２…材、２ａ…薄膜、２
ｂ…流路部材、３…センターパイプ、５…カバ
ー、６…容器。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 合成樹脂からなり、ボス部１ａと該ボス部内に
   通じる複数の横通孔１ｃを有する水平片１ｂとか
   らなるスペーサ１の水平片１ｂの上下の面に、薄
   膜材２ａの両面または片面に可撓性で透過性の流
   路部材２ｂを添設した二つの材２の中心孔２ｃ
   の部分をそれぞれ気密に取付け、かつそれら材
   ２の周縁部を密着して過エレメントＥを形成
   し、該過エレメントＥを上記スペーサ１を介し
   てセンターパイプ３に複数段取付け、最上段また
   は最下段の過エレメントＥの直径または一辺の
   長さを容器内径より大きくなすと共に他の過エ
   レメントＥを順次に大きくなし、上記センターパ
   イプ３の上端をカバー５に固定する一方、各過
   エレメントＥを折り曲げて容器６に収容したこと
   を特徴とする流体処理用の精密フイルタ。