JPWO2024166344A5 - - Google Patents

Description

【０００２】
ンと、少なくとも一つの前記クリーンルームの側壁の外側に設けられるダクトシャフトと、を備え、前記ダクトシャフトのうちで前記所定の部屋に面しているものには、前記チャンバに連通しないように当該ダクトシャフトの上端が閉塞され、さらに、メンテナンスカバーが設けられるものが複数含まれ、前記チャンバに連通していない前記ダクトシャフトに前記クリーンルームから空気が導かれ、当該ダクトシャフトを介して排気され、前記ダクトシャフトを介して前記クリーンルームから排気される際の排気先は、前記所定の部屋であることとした。
発明の効果
［０００７］
本発明によれば、クリーンルームの空調を適切に行うクリーンルーム施設を提供できる。
図面の簡単な説明
［０００８］
［図１］第１実施形態に係るクリーンルーム施設の各部屋の間取りを示す説明図である。
［図２］第１実施形態に係るクリーンルーム施設の模式的な断面図である。
［図３］第１実施形態に係るクリーンルーム施設において、作業室や前室の滅菌時の処理の例を示す説明図である。
［図４］第１実施形態に係るクリーンルーム施設において、作業室や前室の滅菌時の処理の別の例を示す説明図である。
［図５］第１実施形態の第１の変形例に係るクリーンルーム施設の模式的な断面図である。
［図６］第１実施形態の第２の変形例に係るクリーンルーム施設の模式的な断面図である。
［図７］第２実施形態に係るクリーンルーム施設の模式的な断面図である。
［図８］比較例に係るクリーンルーム施設の模式的な断面図である。
発明を実施するための形態
［０００９］
≪第１実施形態≫
＜クリーンルーム施設の構成＞
図１は、第１実施形態に係るクリーンルーム施設１００の各部屋の間取りを示す説明図である。
なお、図１では、空気が流れる向きを矢印で示している。クリーンルーム

Claims (11)

1. 所定の部屋の内部に設けられる複数のクリーンルームと、
   前記所定の部屋に供給される空気の温度を調整する第１エアハンドリングユニットと、
   複数の前記クリーンルームの天井裏に１つの共通の空間として設けられ、前記所定の部屋から空気が導かれるチャンバと、
   複数の前記クリーンルームのそれぞれに設けられ、前記チャンバから当該クリーンルームへの給気を行う給気ファンと、
   少なくとも一つの前記クリーンルームの側壁の外側に設けられるダクトシャフトと、を備え、
   前記ダクトシャフトのうちで前記所定の部屋に面しているものには、前記チャンバに連通しないように当該ダクトシャフトの上端が閉塞され、さらに、メンテナンスカバーが設けられるものが複数含まれ、
   前記チャンバに連通していない前記ダクトシャフトに前記クリーンルームから空気が導かれ、当該ダクトシャフトを介して排気され、
   前記ダクトシャフトを介して前記クリーンルームから排気される際の排気先は、前記所定の部屋である、クリーンルーム施設。
3. 前記所定の部屋の天井には、前記第１エアハンドリングユニットで温度が調整された空気が吹き出される第１吹出口が設けられ、
   前記チャンバの付近には、前記所定の部屋から前記チャンバに向かう空気が吸い込まれる第１吸込口が設けられ、
   前記第１吸込口に対して、空気の流れ方向の上流側に前記第１吹出口が設けられること
   を特徴とする請求項１に記載のクリーンルーム施設。
4. 前記ダクトシャフトには、当該ダクトシャフトから前記所定の部屋に排気される空気を導く第２ダンパ又は第２排気口が設けられ、
   前記所定の部屋から前記第１エアハンドリングユニットに向かう空気が吸い込まれる第２吸込口がダクトに設けられ、
   前記第２ダンパ又は前記第２排気口に対して、空気の流れ方向の下流側に前記第２吸込口が設けられること
   を特徴とする請求項１に記載のクリーンルーム施設。
5. 前記ダクトシャフトには、前記チャンバに連通しているものが含まれること
   を特徴とする請求項１に記載のクリーンルーム施設。
6. 前記所定の部屋と前記チャンバとの間の連通又は遮断を切り替える第１ダンパを備えるとともに、
   前記ダクトシャフトと前記所定の部屋との間の連通又は遮断を切り替える第２ダンパを備え、
   複数の前記クリーンルームの空調が行われているとき、前記第１ダンパ及び前記第２ダンパは開状態で維持されること
   を特徴とする請求項１に記載のクリーンルーム施設。
7. 前記所定の部屋と前記チャンバとの間の連通又は遮断を切り替える第１ダンパを備えるとともに、
   前記ダクトシャフトと前記所定の部屋との間の連通又は遮断を切り替える第２ダンパを備え、
   滅菌ガスを用いて複数の前記クリーンルームの滅菌が行われているとき、前記第１ダンパ及び前記第２ダンパは閉状態で維持されること
   を特徴とする請求項１に記載のクリーンルーム施設。
8. 複数の前記クリーンルームを滅菌する際、複数の前記クリーンルームのうちの少なくとも一つに配置される滅菌ガス発生装置を備えること
   を特徴とする請求項７に記載のクリーンルーム施設。
9. 複数の前記クリーンルームを滅菌する際、複数の前記クリーンルームのうちの少なくとも一つに外側からホースを介して滅菌ガスを供給する滅菌ガス発生装置を備えること
   を特徴とする請求項７に記載のクリーンルーム施設。
10. 前記チャンバが共通である複数の前記クリーンルームを含むクリーンユニットが、前記所定の部屋の内部に少なくとも一つ設けられ、
    前記所定の部屋の空気を吸い込んで温度を調整し、温度が調整された空気を前記チャンバに供給する第２エアハンドリングユニットを備えること
    を特徴とする請求項１に記載のクリーンルーム施設。
11. 前記所定の部屋は、清浄度が管理されていない通常の部屋であること
    を特徴とする請求項１に記載のクリーンルーム施設。