KR102492459B1

KR102492459B1 - 진공 펌프, 주센서, 및, 나사홈 스테이터

Info

Publication number: KR102492459B1
Application number: KR1020197023515A
Authority: KR
Inventors: 다카시 가바사와
Original assignee: 에드워즈 가부시키가이샤
Priority date: 2017-03-23
Filing date: 2018-03-02
Publication date: 2023-01-27
Anticipated expiration: 2038-03-02
Also published as: KR20190133148A; JP2018159632A; CN110382997A; EP3605008B1; EP3605008A1; US20200095998A1; JP6842328B2; CN110382997B; US11346349B2; WO2018173704A1; EP3605008A4

Abstract

[과제] 유로 내의 석출물의 화학 조성을 특정이 아닌 경우여도, 유로 내에 석출물이 소정의 두께까지 퇴적된 것을 검지할 수 있는 센서를 구비한 진공 펌프를 제공한다.
[해결 수단] 진공 펌프(1)는, 사이에 내부 유로가 형성된 회전부 및 고정부와, 가스를 흡입구로부터 내부 유로를 통하여 배기구를 향하여 보내는 배기 기구와, 내부 유로의 검출 대상 위치에 있어서 퇴적물이 소정의 두께에 이른 것을 검출하기 위한 주센서(42)를 갖는 진공 펌프(1)로서, 주센서(42)는, 소정의 두께에 대응하는 간격으로 내부 유로에 배치된 적어도 한 쌍의 전극(54, 56)과, 한 쌍의 전극(54, 56)에 접속되고, 한 쌍의 전극(54, 56) 간의 정전 용량을 검출하는 정전 용량 검출 회로(46)를 갖고, 정전 용량 검출 회로(46)는, 정전 용량의 증가율이 저하한 것에 의거하여, 내부 유로 내의 퇴적물이 소정의 두께에 이르렀다고 판정한다.

Description

진공 펌프, 주센서, 및, 나사홈 스테이터

본 발명은, 퇴적물이 소정의 두께에 이른 것을 검출하기 위한 주센서, 이 주센서를 갖는 진공 펌프, 및, 진공 펌프의 나사홈 스테이터에 관한 것이다.

반도체 제조 장치에서는 반도체의 제조 시에, 진공 펌프에 의해 반응 장치로부터 가루형의 반응성 물질이나 가스형의 반응 원료를 배기하고 있다. 반응 장치로부터 배기된 반응성 물질 등은, 진공 펌프 내의 유로를 통과하는데, 이 때에, 유로의 벽면에 석출한다. 이러한 석출물이 다량으로 퇴적되어 버리면, 진공 펌프 내의 가스의 흐름이 어지럽혀지거나, 퇴적물이 회전부와 충돌하여 파손되거나 한다.

거기서, 예를 들면, 특허 문헌 1, 2에는, 운전에 지장을 발생하기 전에, 미연에 진공 펌프 내의 메인터넌스를 행할 수 있도록, 진공 펌프의 유로에 정전 용량형 막두께 센서를 설치하고, 이 센서에 의해 유로의 벽면에 석출한 석출물의 막두께를 측정할 수 있는 진공 펌프가 개시되어 있다. 정전 용량형 막두께 센서는, 한 쌍 또는 복수 쌍의 전극과, 이 전극 간의 정전 용량을 검출하는 검출 장치를 갖는다. 전극 표면에 석출물이 퇴적되면, 이 석출물의 비유전율에 따라 전극 간의 정전 용량이 변화한다. 이 때문에, 검출 장치에 의해 쌍이 되는 전극 간의 정전 용량을 검출하고, 이 정전 용량에 의거하여 석출물의 두께를 추정하고 있다.

일본국 특허공개 평6-101655호 공보 일본국 특허공개 평6-109409호 공보

여기서, 비유전율은 화학물질에 따라 다르다. 상기의 정전 용량형 막두께 센서에서는, 석출물의 비유전율을 이용하여 석출물의 두께를 추정하고 있기 때문에, 정확하게 석출물의 두께를 추정하기 위해서는, 석출물의 화학 조성을 특정할 필요가 있다. 그러나, 반도체의 제조에 이용되는 원료 등은 반도체에 따라 다르다. 이 때문에, 펌프 내의 유로에 석출하는 석출물의 화학 조성은 일정하지 않으며, 정확하게 석출물의 화학 조성을 특정하는 것은 곤란하다. 이 때문에, 인용 문헌 1, 2에 기재된 정전 용량형 막두께 센서에서는, 정확하게 석출물의 두께를 추정할 수 없으며, 유로 내에 석출물이 소정의 두께까지 퇴적된 것을 검지하는 것이 어려웠다.

본 발명은, 상기의 문제를 감안하여 이루어진 것이며, 그 목적은, 유로 내의 석출물의 화학 조성을 특정하지 않은 경우에도, 유로 내에 석출물이 소정의 두께까지 퇴적된 것을 검지할 수 있는 센서를 구비한 진공 펌프를 제공하는 것이다.

본 발명의 진공 펌프는, 사이에 내부 유로가 형성된 회전부 및 고정부와, 가스를 흡입구로부터 내부 유로를 통하여 배기구를 향하여 보내는 배기 기구와, 내부 유로의 검출 대상 위치에 있어서 퇴적물이 소정의 두께에 이른 것을 검출하기 위한 주센서를 갖는 진공 펌프로서, 주센서는, 소정의 두께에 대응하는 간격으로 내부 유로에 배치된 적어도 한 쌍의 전극과, 한 쌍의 전극에 접속되고, 한 쌍의 전극 간의 정전 용량을 검출하는 정전 용량 검출 회로를 갖고, 정전 용량 검출 회로는, 정전 용량의 증가율이 저하한 것에 의거하여, 내부 유로 내의 퇴적물이 소정의 두께에 이르렀다고 판정하는 것을 특징으로 한다.

주센서를 구성하는 한 쌍의 전극에 퇴적된 석출물의 사이에 간극이 있는 경우(즉, 한 쌍의 전극의 사이가 석출물에 의해 메워지지 않은 경우)에는, 진공 펌프가 구동되고 각 전극의 퇴적물이 퇴적되는 것에 따라 정전 용량이 증가한다. 이것에 대해서, 주센서를 구성하는 한 쌍의 전극의 사이가 퇴적물로 메워져 간극이 없어졌을 경우에는, 진공 펌프를 구동해도, 전극 간의 정전 용량의 거의 증가하지 않게 된다. 이 때문에, 상기 구성의 본 발명에 의하면, 정전 용량의 증가율이 저하한 것을 검지함으로써, 한 쌍의 전극의 사이가 퇴적물로 메워진 상태가 된 것을 검출할 수 있으며, 이것에 의해, 퇴적물의 화학 조성에 관계없이, 내부 유로 내의 퇴적물이 소정의 두께에 이른 것을 검지할 수 있다.

본 발명에 있어서, 바람직하게는, 전극의 간격은, 검출 대상 위치에 있어서의 회전부 및 고정부의 간격의 1~2배로 설정되어 있다.

퇴적물은 각각의 전극의 표면에 퇴적되기 때문에, 정전 용량의 증가율이 저하한 시점에서는, 각 전극에 전극 간의 거리의 절반의 두께까지 퇴적물이 퇴적되었다고 추정할 수 있다. 따라서, 단지 전극의 회전부 및 고정부의 사이가 폐색되는지 여부를 검지하는 경우에는, 전극의 간격은, 검출 대상 위치에 있어서의 회전부 및 고정부의 간격의 2배로 설정하는 것을 생각할 수 있다. 그러나, 이와 같이 회전부 및 고정부의 사이가 폐색되는 정도까지 석출물이 퇴적되어 버리면, 석출물에 의해 회전부가 파손될 우려가 있다. 이것에 대해서, 상기 구성의 본 발명에 의하면, 전극의 간격이 검출 대상 위치에 있어서의 회전부 및 고정부의 간격의 1~2배로 설정되어 있기 때문에, 회전부 및 고정부의 사이가 폐색되기 전에 퇴적물이 소정의 두께까지 퇴적된 것을 검지할 수 있다.

본 발명에 있어서, 바람직하게는, 한 쌍의 전극은 평판형이며, 평행으로 배치되어 있다.

이러한 구성의 본 발명에 의하면, 평판형의 전극의 사이에 퇴적된 퇴적물의 두께가 소정의 두께에 이른 것을 판정할 수 있다.

본 발명에 있어서, 바람직하게는, 한 쌍의 전극은 원통형이며, 동심 동축으로 배치되어 있다.

이러한 구성의 본 발명에 의하면, 원통형의 전극의 사이에 퇴적된 퇴적물의 두께가 소정의 두께에 이른 것을 판정할 수 있다.

본 발명에 있어서, 바람직하게는, 주센서는, 배기 기구의 출구와 진공 펌프의 배기구를 연결하는 배기구측 유로 내에 배치되어 있다.

석출물은, 배기 기구의 출구와 진공 펌프의 배기구의 사이에서 가장 많이 퇴적된다. 이 때문에, 상기 구성의 본 발명에 의하면, 가장 많이 석출물이 퇴적되는 장소에 주센서를 설치함에 따라, 확실하게 석출물이 퇴적됨으로써 불편을 방지할 수 있다.

본 발명에 있어서, 바람직하게는, 주센서는, 배기구측 유로 중, 진공 펌프의 배기구로부터 가장 먼 부분에 배치되어 있다.

석출물은, 배기구측 유로 중에서도, 진공 펌프의 배기구로부터 가장 먼 부분에 퇴적된다.

이 때문에, 상기 구성의 본 발명에 의하면, 가장 많이 석출물이 퇴적되는 장소에 주센서를 설치함에 따라, 확실하게 석출물이 퇴적됨으로써 불편을 방지할 수 있다.

본 발명에 있어서, 바람직하게는, 한 쌍의 전극은, 내부 유로 내를 흐르는 가스의 흐름 방향으로 연장되도록 배치되어 있다.

상기 구성의 본 발명에 의하면, 전극 간에 가스가 원활하게 흐르고, 센서에 의해 가스의 흐름을 방해하는 것을 억제할 수 있다.

본 발명에 있어서, 바람직하게는, 배기 기구는, 최후단에 나사홈 펌프를 포함하고, 나사홈 펌프의 출구 근방에 가스 빼기 구멍이 설치되어 있다.

나사홈 펌프의 출구 근방에서는 압력이 높아진다. 여기서, 석출물은 압력이 높은 부위에서 석출하기 쉽기 때문에, 검출 대상 위치와, 주센서가 설치된 위치에서 압력차가 크면, 정확한 석출물의 두께의 검지를 할 수 없다. 이것에 대해서, 상기 구성의 본 발명에 의하면, 나사홈 펌프의 출구 근방에 가스 빼기 구멍이 설치되어 있기 때문에, 나사홈 펌프의 출구 근방과, 주센서가 설치된 위치와 압력차를 저감하여, 보다 정확한 석출물의 두께의 검지를 행할 수 있다.

본 발명에 있어서, 바람직하게는, 내부 유로 내에 배치되고, 정전 용량 검출 회로에 접속된 한 쌍의 전극을 포함하는 부센서를 추가로 갖고, 부센서의 한 쌍의 전극의 간격은, 주센서의 한 쌍의 전극의 간격보다 짧게 설정되어 있다.

상기 구성의 본 발명에 의하면, 부센서의 사이가 석출물로 메워진 시점의 정전 용량에 의거하여, 석출물의 비유전율(유전율)을 구할 수 있으며, 이 석출물의 비유전율과, 주센서의 전극 간의 정전 용량에 의거하여, 주센서의 전극에 퇴적된 석출물의 두께를 추정할 수 있다.

본 발명에 있어서, 바람직하게는, 주센서의 한 쌍의 전극 간의 인가 전압이 100V 이하가 되도록 구성되어 있다.

파셴의 법칙에 의하면, 전극 간의 인가 전압이 100V를 초과하면, 진공 펌프의 유로 내의 압력에 있어서, 방전이 발생할 우려가 있다. 이것에 대해서, 상기 구성의 본 발명에 의하면, 전극 간의 인가 전압이 100V 이하이기 때문에, 전극 간에서 방전이 발생하는 것을 방지할 수 있다.

본 발명에 있어서, 바람직하게는, 주센서의 한 쌍의 전극의 표면에는 절연층이 형성되어 있다.

상기 구성의 본 발명에 의하면, 전극 표면에 도전성 물질이 퇴적되었다 하더라도, 전극 간에서 단락(短絡)이 발생하는 것을 방지할 수 있다.

본 발명에 있어서, 바람직하게는, 주센서의 정전 용량 검출 회로와 한 쌍의 전극은, 검출 시에만 통전된다.

가루형의 반응성 물질이나 가스형의 반응 원료는 대전(帶電)하는 경우가 있으며, 석출물은 반대의 전하에 대전한 전극에 퇴적되기 쉽다. 이것에 대해서, 상기 구성의 본 발명에 의하면, 전극이 검출 시에만 대전하기 때문에, 입자가 전극에 퇴적되기 쉬워지는 것을 방지할 수 있다.

본 발명의 주센서는, 상기의 진공 펌프에 이용되는 주센서이다.

본 발명의 나사홈 스테이터는, 상기의 진공 펌프에 이용되며, 나사홈 펌프를 구성하는, 나사홈 스테이터이다.

본 발명에 의하면, 유로 내의 석출물의 화학 조성이 일정하지 않은 경우여도, 유로 내에 석출물이 소정의 두께까지 퇴적된 것을 검지할 수 있는 센서를 구비한 진공 펌프가 제공된다.

도 1은, 본 발명의 일실시 형태에 의한 진공 펌프를 나타내는 연직 단면도이다.
도 2는, 본 실시 형태의 진공 펌프의 검지 시스템의 구성을 나타내는 블럭도이다.
도 3은, 본 실시 형태의 진공 펌프의 주센서의 구성을 나타내는 연직 단면도이다.
도 4는, 본 실시 형태의 진공 펌프의 나사홈 스테이터의 나선홈의 배기구측의 단부를 전개하여 나타내는 도면이다.
도 5는, 나사홈 스테이터의 출구에 가스 빼기 구멍이 설치되지 않은 경우의 나선홈 내의 가스의 압력 분포를 나타내는 도면이다.
도 6은, 주센서의 한 쌍의 전극에 퇴적물이 퇴적되는 모습을 나타내는 도면이다.
도 7은, 경과 시간과, 주센서의 한 쌍의 전극의 정전 용량의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 8은, 검출 대상 위치에 있어서의 퇴적물이 소정의 두께까지 퇴적되었는지 여부를 판정하는 방법을 설명하기 위한 플로차트이다.
도 9는, 다른 실시 형태의 주센서의 한 쌍의 전극의 형상을 나타내고, (A)는 중심축에 수직인 평면에 있어서의 단면도이며, (B)는 중심축을 따른 평면에 있어서의 단면도이다.

이하, 본 발명에 의한 진공 펌프의 일실시 형태를 도면을 참조하면서, 상세하게 설명한다.

도 1은, 본 발명의 일실시 형태에 의한 진공 펌프를 나타내는 연직 단면도이다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태의 진공 펌프(1)는, 케이싱(12A) 및 베이스(12B)에 의해 구성된 공간 내에, 터보 분자 펌프부(T) 및 나사홈 펌프부(S)로 이루어지는 배기 기구(8)를 갖고, 케이싱(12A)의 정부(頂部)에 형성된 흡입구(2)로부터 내부 유로(6)를 통하여 베이스(12B)의 측부에 형성된 배기구(4)를 향하여 가스를 보내는 것이다. 진공 펌프(1)는, 케이싱(12A) 및 베이스(12B)에 의해 구성된 공간 내에, 회전부(14)와, 케이싱(12A)에 고정된 고정부(16)를 갖고, 이들 회전부(14)와 고정부(16)의 사이에 흡입구(2)로부터 배기구(4)까지 연장되는 내부 유로(6)가 형성되어 있다.

회전부(14)는, 모터(10)에 의해서 회전되는 샤프트(18)와, 샤프트(18)에 고정된 로터부(20)를 갖는다. 로터부(20)는, 흡입구(2)측에 설치된 복수의 로터 날개(20A)와, 배기구(4)측에 설치된 원통부(20B)를 갖는다. 로터 날개(20A)는, 샤프트(18)의 축선에 수직인 평면에 대해서 경사지도록, 방사형으로 연장된 블레이드로 이루어진다. 원통부(20B)는 원통형의 부위이며, 로터부(20)는 스테인리스나 알루미늄 합금 등의 금속에 의해 구성되어 있다.

모터부(10)는, 예를 들면, DC브러시리스 모터이며, 샤프트(18)의 주위에 설치된 복수의 영구자석(10a)과, 영구자석(10a)의 주위에 설치된 복수의 전자석(10b)을 갖는다. 전자석(10b)의 전류를 순서대로 전환함으로써, 영구자석(10a)의 주위에 회전 자계를 생성함으로써, 영구자석(10a)이 이 회전 자계에 추종하고, 샤프트(18)가 회전된다.

또한, 모터부(10)의 상하에는, 샤프트(18)를 레이디얼 방향으로 축지하는, 레이디얼 축받이부(24, 26)가 설치되어 있다. 레이디얼 축받이부(24, 26)로서는, 샤프트(18)의 주위에 설치된 복수의 전자석(24a, 26a)과, 샤프트(18)의 전자석(24a, 26a)에 대향하는 위치에 설치된 타깃(24b, 26b)에 의해 구성된다. 레이디얼 축받이부(24, 26)는, 타깃(24b, 26b)에 전자석(24a, 26a)이 흡인됨으로써, 샤프트(11)를 레이디얼 방향으로 비접촉으로 지지한다.

또한, 레이디얼 축받이부(26)의 하방에는, 스러스트 축받이부(28)가 설치되어 있다. 스러스트 축받이부(28)는, 샤프트(18)에 설치된 아마추어 디스크(28a)와, 아마추어 디스크(28a)의 상하에 설치된 전자석(28b)을 구비한다. 스러스트 축받이부(28)는, 전자석(28b)의 자력에 의해 아마추어 디스크(28a)가 흡인됨으로써, 샤프트(11)를 스러스트 방향으로 비접촉으로 지지한다. 또한, 레이디얼 축받이부(24) 및 스러스트 축받이부(28)의 근방에는 위치 센서(도시하지 않음)가 설치되어 있으며, 이 위치 센서에 의해 샤프트의 위치를 검출하고, 샤프트(11)가 소정의 위치가 되도록, 레이디얼 축받이부(24, 26) 및 스러스트 축받이부(28)의 전자석(24a, 26a, 28b)으로 공급하는 전력을 제어한다.

고정부(16)는, 흡입구(2)측에 설치된 스테이터 날개(30)와, 배기구(4)측에 설치된 나사홈 스테이터(32)를 갖는다. 스테이터 날개(30)는, 샤프트(18)의 축선에 수직인 평면에 대해서 경사지고, 케이싱(2)의 내주면으로부터 중심을 향하여 연장되는 복수의 블레이드에 의해 구성된다. 터보 분자 펌프부(T) 내에서는, 스테이터 날개(30)와, 로터 날개(20A)가 상하 방향으로 교대로 배치되어 있다.

나사홈 스테이터(32)는, 원통형의 부재이며, 내주면에 나선홈(32a)이 형성되어 있다. 나선홈(32a)은, 흡입구(2)측으로부터 배기구(4)를 향하여, 서서히 홈의 깊이가 작아지고 있다. 도 4는, 본 실시 형태의 진공 펌프의 나사홈 스테이터의 나선홈의 배기구측의 단부를 전개하여 나타내는 도면이다. 같은 도면에 나타내는 바와 같이, 나사홈 스테이터(32)의 나선홈(32a)의 출구(즉, 나사홈 스테이터(32)의 아래 가장자리부)에는, 가스 빼기 구멍으로서의 노치(32b)가 형성되어 있다.

도 5는, 나사홈 스테이터의 출구에 가스 빼기 구멍이 설치되지 않은 경우의 나선홈 내의 가스의 압력 분포를 나타내는 도면이다. 같은 도면에 나타내는 바와 같이, 나선홈 내의 가스는, 출구를 향하여 압력이 높아지고, 출구 근방에 고압의 영역이 발생해 버린다. 이것에 대해서, 상술한 바와 같이, 나사홈 스테이터(32)의 나선홈(32a)의 출구에 노치(32b)를 형성함으로써, 고압의 영역의 발생을 억제할 수 있다.

나사홈 스테이터(32)의 하면과, 베이스(12B)의 사이에는, 나사홈 펌프부(S)의 출구와 배기구(4)를 연결하는 배기구측 유로(40)가 형성되어 있다.

상기 구성에 의해, 진공 펌프(1)는, 모터부(10)에 의해 회전부(14)가 고정부(16)에 대해서 회전되면, 전단의 터보 분자 펌프부(T)에서는, 로터 날개(20A)에 의해 기체 분자가 튕겨져, 스테이터 날개(30)의 사이를 통과하는 방향으로 가스가 보내진다. 그리고, 나사홈 펌프부(S)에 있어서, 나사홈 스테이터(32)의 나선홈(32a)을 따라서 압축되어지면서 보내진다. 이것에 의해, 흡입구(2)로부터 가스가 흡입되고, 배기 기구(8)에 의해 내부 유로(6)를 보내지고, 배기구(4)로부터 배출된다.

또한, 본 실시 형태의 진공 펌프(1)는, 내부 유로(6)의 검출 대상 위치에 있어서의 퇴적물이 소정의 두께에 이른 것을 검지하기 위한 검지 시스템을 갖는다. 배기구측 유로(40)의 진공 펌프의 배기구(4)의 수평 방향 반대측(배기구(4)로부터 가장 먼 부분)에는, 검지 시스템을 구성하는 주센서(42)가 설치되고, 주센서(42)의 근방에는 부센서(도시하지 않음)가 설치되어 있다.

도 2는, 본 실시 형태의 진공 펌프의 검지 시스템의 구성을 나타내는 블럭도이다. 같은 도면에 나타내는 바와 같이, 검지 시스템(50)은, 주센서(42)와, 부센서(44)와, 제어 장치(52)를 갖는다. 제어 장치(52)는, PC 등의 계산 처리 장치이며, 예를 들면, 액정 디스플레이 등의 표시 장치(48)를 갖는다. 또한, 제어 장치(52) 내에는, 정전 용량 검출 회로(46)가 형성되어 있으며, 정전 용량 검출 회로(46)는 표시 장치(48)에 접속되어 있다. 또한, 부센서(44)는 생략하는 것도 가능하다.

도 3은, 본 실시 형태의 진공 펌프의 주센서의 구성을 나타내는 연직 단면도이다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 주센서(42)는, 한 쌍의 전극(54, 56)과, 각 전극(54, 56)에 접속된 커넥터(58, 60)를 갖는다. 하방의 전극(56)은, 절연 소재로 이루어지는 베이스 플레이트(62) 상에 수평으로 재치되어 있으며, 상방의 전극(54)은 하방의 전극(56) 상에 배치된 절연 소재로 이루어지는 스페이서(55)에 의해, 전극(54, 56)의 간격이 소정의 간격이 되도록 수평으로 지지되어 있다. 주센서(42)는, 베이스 플레이트(62)가 나사(64)에 의해 베이스(12B)에 고정되어 있다.

배기구측 유로(40)에서는, 나사홈 스테이터(32)의 나선홈(32a)을 통과한 가스가 둘레 방향으로 흐른다. 상술한 바와 같이, 주센서(42)를 구성하는 전극(54, 56)은 수평으로 지지되어 있으며, 가스의 흐름 방향으로 설치되어 있다.

한 쌍의 전극(54, 56)은, 금속판으로 이루어지며, 표면에는, 예를 들면, 알루마이트나 PTFE(테플론(등록상표)) 등의 절연층이 형성되어 있다. 각 전극(54, 56)에는 베이스(12B)에 매설된 커넥터(58, 60)가 접속되어 있으며, 커넥터(58, 60)로부터 연장되는 전선(66A, 66B)은, 제어 장치(52)의 정전 용량 검출 회로(46)에 접속되어 있다.

부센서(44)는 전극(68, 70)을 갖고, 그 구성은 주센서(42)와 전극 간의 거리만이 다르며, 그 외는 주센서(42)와 동일하다. 전극(68, 70)에 접속된 전선(72A, 72B)은, 제어 장치(52)의 정전 용량 검출 회로(46)에 접속되어 있다.

정전 용량 검출 회로(46)는, 한 쌍의 전극 간의 정전 용량을 검지하기 위한 회로이며, 진공 펌프(1)의 누적 구동 시간(t)을 계측함과 더불어, 구동 시간이 Δt 경과할 때 마다, 주센서(42) 및 부센서(44)의 정전 용량(C_m(t), C_s(t))을 측정한다. 그리고, 정전 용량 검출 회로(46)는, 각 시간에 있어서의 정전 용량(C_m(t), C_s(t))에 의거하여, 정전 용량의 증가율(dC_m(t), dC_s(t))을 산출한다. 또한, 정전 용량 검출 회로(46)는, 이 정전 용량의 증가율(dC_m(t), dC_s(t))에 의거하여, 석출물이 소정의 두께까지 도달했는지 여부를 검출한다.

또한, 정전 용량 검출 회로(46)에 의해 주센서(42)의 정전 용량을 측정할 때에 한 쌍의 전극(54, 56)에 인가하는 인가 전압은 100V 이하가 되도록 설정되어 있다. 또한, 정전 용량 검출 회로(46)에 의해 부센서(44)의 정전 용량을 측정할 때에 한 쌍의 전극(68, 70)에 인가하는 인가 전압도, 100V 이하가 되도록 설정되어 있다. 또한, 정전 용량 검출 회로(46)와, 주센서(42)의 한 쌍의 전극(54, 56) 및 부센서(44)의 한 쌍의 전극(68, 70)은, 정전 용량을 검출하는 동안에만 통전하고 있으며, 정전 용량의 검출 동안에는 차단되어 있다.

본 실시 형태에서는, 검출 대상 위치로서 나선홈(32a)의 출구를 설정하고, 검지 시스템(50)에 의해 나선홈(32a)의 출구에 있어서의 석출물이 소정의 두께까지 도달했는지 여부를 검출하는 경우에 대해 설명한다.

우선, 본 실시 형태의 검지 시스템에 의해, 석출물이 소정의 두께까지 도달했는지 여부를 검출하는 원리에 대해 설명한다.

한 쌍의 평판형의 금속으로 이루어지는 전극의 정전 용량(C)은, C=ε₀×ε_S×S/L에 의해 산출할 수 있다. 상기의 식에 있어서의, ε₀은 진공의 유전율을 나타내고, ε_S는 한 쌍의 전극의 사이의 물질의 비유전율이며, S는 전극의 면적이며, L은 전극의 거리이다.

도 6은, 주센서의 한 쌍의 전극에 퇴적물이 퇴적되는 모습을 나타내는 도면이며, 도 7은, 경과 시간과, 주센서의 한 쌍의 전극의 정전 용량의 관계를 나타내는 그래프이다. 또한, 경과 시간이란, 전극에 퇴적물이 퇴적되어 있지 않는 시점을 t₀로 한 진공 펌프의 구동 시간이다. 도 6 (a)에 나타내는 바와 같이, 초기의 시각(t=t₀)에서는, 전극에는 퇴적물이 퇴적되어 있지 않다. 이 때문에, 도 7에 나타내는 바와 같이, 주센서(42)의 한 쌍의 전극(54, 56)의 사이에는, 진공 펌프(1)에 의해 흡인하는 가스가 존재하고 있으며, 정전 용량은 작은 값으로 되어 있다. 다음으로, 도 6 (b)에 나타내는 바와 같이, 시각(t=t₁)에서는, 전극(54, 56)의 표면에 퇴적물(A)이 석출한다. 이와 같이 전극(54, 56)의 표면에 석출하면, 퇴적물(A)의 비유전율(ε_S)은 진공 펌프(1)의 내부 유로(6)를 흐르는 가스보다 크기 때문에, 도 7에 나타내는 바와 같이 한 쌍의 전극(54, 56)의 정전 용량이 증가한다. 도 6 (b)에 나타내는 바와 같이, 전극(54, 56)에 각각 석출한 퇴적물의 사이에 간극이 있는 동안에는, 정전 용량은 계속 증가한다. 이것에 대해서, 시각(t=t₂)에 있어서, 도 6 (c)에 나타내는 바와 같이 전극(54, 56)에 각각 석출한 퇴적물(A)의 사이에 간극이 없어지면, 전극(54, 56)의 사이의 물질의 비유전율(ε_S)이 변화하지 않게 되므로, 도 7에 나타내는 바와 같이, 시간당 정전 용량의 증가율이 저하한다. 본 실시 형태의 검지 시스템에서는, 정전 용량 검출 회로(46)에 의해 주센서(42) 및 부센서(44)에 있어서의 정전 용량을 검출하고, 이 정전 용량의 시간당 증가율이 저하했을 경우에, 주센서(42) 및 부센서(44)의 각 전극(54, 56, 68, 70)에, 각 전극의 간격의 절반의 두께까지 퇴적물이 퇴적되었다고 판정한다.

이들 주센서(42)의 한 쌍의 전극(54, 56)의 간격(d_m), 및, 부센서(44)의 한 쌍의 전극(68, 70)의 간격(d_s)은 이하와 같이 하고, 검출 대상 위치에 있어서의 퇴적물의 위험이 되는 소정의 두께에 대응하여 결정된다. 상술한 바와 같이, 본 실시 형태에서는, 나선홈(32a)의 출구에 있어서의 석출물이 소정의 두께까지 도달했는지 여부를 검출한다. 나선홈(32a)의 출구와, 주센서(42) 및 부센서(44)가 설치되는 위치가 매우 가깝고, 나선홈(32a)의 출구와, 주센서(42) 및 부센서(44)가 설치되는 위치에서는 가스의 압력이나 온도가 거의 동일한 상태로 되어 있다. 이러한 경우에는, 주센서(42)의 전극(54, 56)의 사이의 간격(d_m)은, 나선홈(32a)의 출구에 있어서의 회전부(14) 및 고정부(16)의 간격(즉, 원통부(20B)와, 나선홈(32a)의 홈바닥부의 간격)의 1~2배로 설정한다. 이것은, 고정부(16)에 퇴적된 석출물이 회전부(14)와 접촉하여 회전부(14)를 파손하지 않기 위해서이다.

또한, 검출 대상 위치와, 주센서(42) 및 부센서(44)가 설치되는 위치가 이격하고 있는 경우에는, 검출 대상 위치와, 주센서(42) 및 부센서(44)가 설치되는 위치에 있어서의 가스의 온도나 압력을 고려하여 결정한다. 이것은, 가스에 포함되는 성분은, 온도나 압력에 의해 석출량이 다르기 때문이다.

또한, 부센서(44)의 전극(68, 70)의 간격(d_s)은, 예를 들면, 주센서(42)의 전극(54, 56)의 간격(d_m)의 0.5배 등, 주센서(42)의 전극(54, 56)의 간격(d_m)보다 작은 간격으로 설정한다. 이것은, 후술하는 바와 같이 부센서(44)의 정전 용량에 의거하여 퇴적물(A)의 비유전율을 추정하기 위해서이다.

이하, 본 실시 형태의 진공 펌프의 검지 시스템에 의해, 검출 대상 위치에 있어서의 퇴적물이 소정의 두께까지 퇴적되었는지 여부를 판정하는 방법을 설명한다. 도 8은, 검출 대상 위치에 있어서의 퇴적물이 소정의 두께까지 퇴적되었는지 여부를 판정하는 방법을 설명하기 위한 플로차트이다.

우선, 진공 펌프의 처음 사용 시, 또는, 내부의 퇴적물을 제거하는 메인터넌스를 행한 후, 정전 용량 검출 회로(46)의 누적 구동 시간(t)을 t=0으로 하고, 정전 용량 검출 회로(46)의 측정 시간(t_m=0)으로 설정한다(S0).

다음으로, 누적 구동 시간(t)이 t_m에 도달하면, 정전 용량 검출 회로(46)와, 주센서(42)의 한 쌍의 전극(54, 56) 및 부센서(44)의 한 쌍의 전극(68, 70)을 통전 상태로 전환하고, 시각(t)에 있어서의 주센서(42) 및 부센서(44)의 정전 용량(C_m(t), C_s(t))을 측정한다(S1). 또한, 주센서(42) 및 부센서(44)의 정전 용량(C_m(t), C_s(t))의 측정이 완료하면, 재차 정전 용량 검출 회로(46)와, 주센서(42)의 한 쌍의 전극(54, 56) 및 부센서(44)의 한 쌍의 전극(68, 70)의 접속을 차단한다.

그리고, t＞0의 경우에는, 측정한 주센서(42) 및 부센서(44)의 정전 용량(C_m(t), C_s(t))에 의거하여, 시각(t)에 있어서의 정전 용량의 증가율(dC_m(t), dC_s(t))을 산출한다(S2). 주센서(42)의 정전 용량의 증가율(dC_m(t))은, 예를 들면, dC_m(t)=(C_m(t)-dC_m(t-Δt))/Δt로 하여 산출하면 되고, 부센서(44)의 정전 용량의 증가율 dC_s(t)=(C_s(t)-dC_s(t-Δt))/Δt로 하여 산출하면 된다.

다음으로, 시각(t)에 있어서의 부센서(44)의 정전 용량의 증가율(dC_s(t))과, 시각(t-Δt)에 있어서의 부센서(44)의 정전 용량의 증가율(dC_s(t-Δt))을 비교한다(S3). 시각(t)에 있어서의 부센서(44)의 정전 용량의 증가율(dC_s(t))이, 시각(t-Δt)에 있어서의 부센서(44)의 정전 용량의 증가율(dC_s(t-Δt))과 동일하거나, 또는, dC_s(t-Δt)보다 큰 경우(dC_s(t)≥dC_s(t-Δt))에는, 후술하는, 주센서(42)의 정전 용량의 증가율(dC_m(t))과, 시각(t-Δt)에 있어서의 주센서(42)의 정전 용량의 증가율(dC_m(t-Δt))을 비교하는 단계(S7)로 진행된다. 또한, S3에 있어서, 시각(t)에 있어서의 부센서(44)의 정전 용량의 증가율(dC_s(t))이, 시각(t-Δt)에 있어서의 부센서(44)의 정전 용량의 증가율(dC_s(t-Δt))보다 작은 경우(dC_s(t)＜dC_s(t-Δt))에는, 부센서(44)의 한 쌍의 전극(68, 70)의 사이가 석출물로 메워졌다고 추정되므로, 퇴적물의 비유전율을 산출하는 단계(S4)로 진행된다.

퇴적물의 비유전율을 산출하는 단계(S4)에서는, 부센서(44)의 한 쌍의 전극(68, 70)의 간격(d_s)과, 측정한 부센서(44)의 정전 용량(C_s)에 의거하여, 한 쌍의 전극(68, 70)의 사이에 퇴적된 석출물의 비유전율(ε_S)을 산출한다. 석출물의 비유전율(ε_S)은, 예를 들면, 상술의 식 C=ε₀×ε_S×S/L에 의거하여 산출할 수 있다. 또한, S1~S8의 단계는, S7에 있어서 dC_m(t)＜dC_m(t-Δt)가 될 때까지 반복되어지는데, 퇴적물의 비유전율을 산출하는 단계(S4)는 한 번 행한 후에는, 생략할 수 있다.

다음으로, 상기 산출한 비유전율(ε_S)과, 주센서(42)의 정전 용량(C_m(t))에 의거하여, 주센서(42)에 퇴적된 석출물의 두께를 추정한다(S5). 그리고, 표시 장치(48)에 추정한 주센서(42)에 퇴적된 석출물의 두께를 표시한다. 이 때, 예를 들면, 석출물의 퇴적의 속도(시간당 퇴적물의 두께의 증가율)에 의거하여, 진공 펌프(1)를, 앞으로 어느 정도의 시간 구동하면, 주센서(42)의 한 쌍의 전극(54, 56)의 사이가 퇴적물로 폐색되는지, 즉, 검출 대상 위치에 있어서 퇴적물이 소정의 두께까지 퇴적되는지, 를 표시하면 된다.

다음으로, 시각(t)에 있어서의 주센서(42)의 정전 용량의 증가율(dC_m(t))과, 시각(t-Δt)에 있어서의 주센서(42)의 정전 용량의 증가율(dC_m(t-Δt))을 비교한다(S7). 시각(t)에 있어서의 주센서(42)의 정전 용량의 증가율(dC_m(t))이, 시각(t-Δt)에 있어서의 주센서(42)의 정전 용량의 증가율(dC_m(t-Δt))과 동일하거나, 또는, dC_m(t-Δt)보다 큰 경우(dC_m(t)≥dC_m(t-Δt))에는, t_m=t_m＋Δt로 하여 (S8), S2로 돌아온다.

또한, S7에 있어서 dC_m(t)＜dC_m(t-Δt)가 되었을 경우에는, 정전 용량 검출 회로(46)에 의해 주센서(42)의 한 쌍의 전극(54, 56)의 사이가 퇴적물에 의해 메워졌다고 판정하여, 표시 장치(48)에 의해 내부 유로(6)의 검출 대상 위치에 있어서의 퇴적물이 소정의 두께에 이른 취지의 표시를 행한다. 작업원은 표시 장치(48)에 내부 유로(6)의 검출 대상 위치에 있어서의 퇴적물이 소정의 두께에 이른 취지, 표시되었을 경우에는, 진공 펌프(1)를 해체하고 메인터넌스를 행한다. 또한, S7은, S3에 있어서 dC_s(t)＜dC_s(t-Δt)로 판정될 때까지 생략하는 것도 가능하다.

이상 설명한 바와 같이, 주센서(42)를 구성하는 한 쌍의 전극(54, 56)에 퇴적된 석출물의 사이에 간극이 있으면, 진공 펌프(1)가 구동되고 퇴적물이 퇴적되는 것에 따라 정전 용량이 증가한다. 이것에 대해서, 주센서(42)를 구성하는 한 쌍의 전극(54, 56)의 사이가 퇴적물로 메워져, 간극이 없어지면, 그 이후는 진공 펌프(1)를 구동해도, 전극(54, 56) 간의 정전 용량의 거의 증가하지 않게 된다. 이 때문에, 본 실시 형태에 의하면, 정전 용량 검출 회로(46)가, 주센서(42)의 한 쌍의 전극(54, 56)의 정전 용량의 증가율이 저하한 것을 검지함으로써, 한 쌍의 전극(54, 56)의 사이가 퇴적물로 메워진 상태가 된 것을 검출할 수 있으며, 이것에 의해, 퇴적물의 화학 조성에 관계없이, 내부 유로(6) 내의 퇴적물이 소정의 두께에 이른 것을 검지할 수 있다.

또한, 상기 실시 형태에서는, 주센서(42)의 한 쌍의 전극(54, 56)의 간격은, 검출 대상 위치에 있어서의 회전부(14) 및 고정부(16)의 간격의 1~2배로 설정되어 있다. 퇴적물(A)은 각각의 전극(54, 56)의 표면에 퇴적되기 때문에, 정전 용량의 증가율이 저하한 시점에서는, 각 전극(54, 56)에 전극 간의 거리의 절반의 두께까지 퇴적물이 퇴적되었다고 추정할 수 있다. 따라서, 단지 전극(54, 56)의 회전부(14) 및 고정부(16)의 사이가 폐색되는지 여부를 검지하는 경우에는, 전극(54, 56)의 간격은, 검출 대상 위치에 있어서의 회전부(14) 및 고정부(16)의 간격의 2배로 설정하는 것을 생각할 수 있다. 그러나, 이와 같이 회전부(14) 및 고정부(16)의 사이가 폐색되는 정도까지 석출물이 퇴적되어 버리면, 석출물에 의해 회전부(16)가 파손될 우려가 있다. 이것에 대해서, 상기 실시 형태에 의하면, 전극(54, 56)의 간격이 검출 대상 위치에 있어서의 회전부(14) 및 고정부(16)의 간격의 1~2배로 설정되어 있기 때문에, 회전부(14) 및 고정부(16)의 사이가 폐색되기 전에 퇴적물이 소정의 두께까지 퇴적된 것을 검지할 수 있다.

또한, 상기 실시 형태에서는, 한 쌍의 전극(54, 56)은, 평판형이며, 평행으로 배치되어 있고, 이것에 의해, 평판형의 전극(54, 56)의 사이에 퇴적된 퇴적물의 두께가 소정의 두께에 이른 것을 판정할 수 있다.

석출물은, 배기 기구(8)의 출구와 진공 펌프(1)의 배기구(4)의 사이에서 가장 많이 퇴적된다. 이것에 대해서, 상기 실시 형태에서는, 주센서(42)가, 배기 기구(8)의 출구와 진공 펌프(1)의 배기구(4)를 연결하는 배기구측 유로(40) 내에 배치되어 있으므로, 확실하게 석출물이 퇴적됨으로써 불편을 방지할 수 있다.

석출물은, 배기구측 유로(40) 중에서도, 진공 펌프(1)의 배기구(4)로부터 가장 먼 부분에 퇴적된다. 이것에 대해서, 상기 실시 형태에서는, 주센서(42)는, 배기구측 유로(40) 중, 진공 펌프(1)의 배기구(4)로부터 가장 먼 부분에 배치되어 있으므로, 확실하게 석출물이 퇴적됨으로써 불편을 방지할 수 있다.

또한, 상기 실시 형태에 의하면, 한 쌍의 전극(54, 56)은, 내부 유로(6) 내를 흐르는 가스의 흐름 방향으로 연장되도록 배치되어 있기 때문에, 전극 간에 가스가 원활하게 흐르고, 센서에 의해 가스의 흐름을 방해하는 것을 억제할 수 있다.

나사홈 펌프부(S)의 출구 근방에서는 압력이 높아진다. 여기서, 석출물은 압력이 높은 부위에서 석출하기 쉽기 때문에, 검출 대상 위치와, 주센서(42)가 설치된 위치에서 압력차가 크면, 정확한 석출물의 두께의 검지를 할 수 없다. 이것에 대해서, 상기 실시 형태에 의하면, 나사홈 펌프부(S)의 나선홈(32a)의 출구 근방에 가스 빼기 구멍으로서 노치(32b)가 설치되어 있기 때문에, 나사홈 펌프부(S)의 출구 근방과, 주센서(42)가 설치된 위치와 압력차를 저감하여, 보다 정확한 석출물의 두께의 검지를 행할 수 있다.

상기 실시 형태에 의하면, 내부 유로(6) 내에 배치되고, 정전 용량 검출 회로(46)에 접속된 한 쌍의 전극(68, 70)을 포함하는 부센서(44)를 추가로 갖고, 부센서(44)의 한 쌍의 전극(68, 70)의 간격은, 주센서(42)의 한 쌍의 전극(54, 56)의 간격보다 짧게 설정되어 있다. 이것에 의해, 부센서(44)의 사이가 석출물로 메워진 시점의 정전 용량에 의거하여, 석출물의 유전율을 구할 수 있으며, 이 석출물의 유전율과, 주센서(42)의 전극(54, 56) 간의 정전 용량에 의거하여, 주센서(42)의 전극(54, 56)에 퇴적된 석출물의 두께를 추정할 수 있다.

파셴의 법칙에 의하면, 전극 간의 인가 전압이 100V를 초과하면, 진공 펌프(1)의 내부 유로(6) 내의 압력에 있어서, 방전이 발생할 우려가 있다. 이것에 대해서, 상기 실시 형태에 의하면, 전극(54, 56) 간의 인가 전압이 100V 이하이기 때문에, 전극(54, 56) 간에서 방전이 발생하는 것을 방지할 수 있다.

상기 실시 형태에 의하면, 주센서(42)의 한 쌍의 전극(54, 56)의 표면에 절연층이 형성되어 있으므로, 전극(54, 56)의 표면에 도전성 물질이 퇴적되었다 하더라도, 전극(54, 56) 간에서 단락(短絡)이 발생하는 것을 방지할 수 있다.

가루형의 반응성 물질이나 가스형의 반응 원료는 대전(帶電)하는 경우가 있으며, 석출물은 반대의 전하에 대전한 전극에 퇴적되기 쉽다. 이것에 대해서, 상기 실시 형태에 의하면, 주센서(42)의 정전 용량 검출 회로(46)와 한 쌍의 전극(54, 56)은, 검출 시에만 통전되기 때문에, 입자가 전극(54, 56)에 퇴적되기 쉬워지는 것을 방지할 수 있다.

또한, 상기 실시 형태에서는, 주센서(42) 및 부센서(44)의 한 쌍 전극으로서 판형의 부재를 이용하고 있었는데, 한 쌍의 전극의 형상은 이것에 한정되지 않는다. 도 9는, 다른 실시 형태의 주센서의 한 쌍의 전극의 형상을 나타내고, (A)는 중심축에 수직인 평면에 있어서의 단면도이며, (B)는 중심축을 따른 평면에 있어서의 단면도이다. 도 9에 나타내는 바와 같이, 주센서(42) 및 부센서(44)의 전극으로서, 동심 동축으로 배치된 반경이 다른 원통형의 금속 부재(154, 156)를 이용해도 된다. 이러한 전극을 이용하여 검출 대상 위치에 있어서 퇴적물이 소정의 두께에 이른 것을 검지하는 경우에는, 외측의 원통형의 금속 부재(154)의 내경과, 내측의 원통형의 금속 부재(156)의 외경의 차를, 소정의 두께에 대응하는 간격으로 설정하면 된다.

상기 실시 형태에 의하면, 원통형의 전극(금속 부재(154, 156))의 사이에 퇴적된 퇴적물의 두께가 소정의 두께에 이른 것을 판정할 수 있다.

또한, 상기 실시 형태에서는, 나사홈 스테이터(32)는, 원통형의 부재이며, 내주면에 나선홈(32a)이 형성되어 있다고 했는데, 이것에 한정되지 않고, 원통부(20B)의 외주면에 나선홈(32a)이 형성되고, 나사홈 스테이터(32)의 내주면에 홈이 없는 경우도 있다.

또한, 나사홈 스테이터(32)가 원통부(20B)의 내측에 배치되는 경우에는, 외주면에 나선홈(32a)이 형성된다.

또한, 본 발명에 관련되는 주센서, 진공 펌프는, 상술한 터보 분자 펌프부와 나사홈 펌프부를 조합한 복합 타입의 진공 펌프 외, 터보 분자 펌프부만의 진공 펌프에도 적용 가능하다.

또한, 본 발명의 실시 형태 및 각 변형예는, 필요에 따라서 조합하는 구성으로 해도 된다. 또한, 본 발명은, 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 한, 여러 가지 개변을 이룰 수 있으며, 본 발명이 당해 개변된 것에도 미치는 것은 당연하다.

1 진공 펌프
2 흡입구
4 배기구
6 내부 유로
8 배기 기구
10 모터
10a 영구자석
10b 전자석
12A 케이싱
12B 베이스
14 회전부
16 고정부
18 샤프트
20 로터부
20A 로터 날개
20B 원통부
24 레이디얼 축받이부
24a 전자석
24b 타깃
26 레이디얼 축받이부
26a 전자석
26b 타깃
28 스러스트 축받이부
28a 아마추어 디스크
28b 전자석
30 스테이터 날개
32 나사홈 스테이터
32a 나선홈
32b 노치
40 배기구측 유로
42 주센서
44 부센서
46 정전 용량 검출 회로
48 표시 장치
50 검지 시스템
52 제어 장치
54, 56 전극
55 스페이서
58, 60 커넥터
62 베이스 플레이트
64 나사
66A, 66B 전선
68, 70 전극
72A, 72B 전선
154, 156 금속 부재
T 터보 분자 펌프부
S 나사홈 펌프부

Claims

사이에 내부 유로가 형성된 회전부 및 고정부와, 가스를 흡입구로부터 상기 내부 유로를 통하여 배기구를 향하여 보내는 배기 기구와, 상기 내부 유로의 검출 대상 위치에 있어서 퇴적물이 소정의 두께에 이른 것을 검출하기 위한 주센서를 갖는 진공 펌프로서,
상기 주센서는,
상기 소정의 두께에 대응하는 간격으로 상기 내부 유로에 배치된 적어도 한 쌍의 전극과,
상기 한 쌍의 전극에 접속되고, 상기 한 쌍의 전극 간의 정전 용량을 검출하는 정전 용량 검출 회로를 갖고,
상기 정전 용량 검출 회로는, 상기 정전 용량의 증가율이 저하한 것에 의거하여, 상기 내부 유로 내의 퇴적물이 상기 소정의 두께에 이르렀다고 판정하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
청구항 1에 있어서,
상기 한 쌍의 전극의 간격은, 상기 검출 대상 위치에 있어서의 상기 회전부 및 상기 고정부의 간격의 1~2배로 설정되어 있는, 진공 펌프.
청구항 1에 있어서,
상기 한 쌍의 전극은 평판형이며, 평행으로 배치되어 있는, 진공 펌프.
청구항 1에 있어서,
상기 한 쌍의 전극은 원통형이며, 동심 동축으로 배치되어 있는, 진공 펌프.
청구항 1에 있어서,
상기 주센서는, 상기 배기 기구의 출구와 상기 진공 펌프의 배기구를 연결하는 배기구측 유로 내에 배치되어 있는, 진공 펌프.
청구항 5에 있어서,
상기 주센서는, 상기 배기구측 유로 중, 상기 진공 펌프의 배기구로부터 가장 먼 부분에 배치되어 있는, 진공 펌프.
청구항 1에 있어서,
상기 한 쌍의 전극은, 상기 내부 유로 내를 흐르는 가스의 흐름 방향으로 연장되도록 배치되어 있는, 진공 펌프.
청구항 1에 있어서,
상기 배기 기구는, 최후단에 나사홈 펌프를 포함하고,
상기 나사홈 펌프의 출구 근방에 가스 빼기 구멍이 설치되어 있는, 진공 펌프.
청구항 1에 있어서,
상기 내부 유로 내에 배치되고, 상기 정전 용량 검출 회로에 접속된 한 쌍의 전극을 포함하는 부센서를 추가로 갖고,
상기 부센서의 한 쌍의 전극의 간격은, 상기 주센서의 한 쌍의 전극의 간격보다 짧게 설정되어 있는, 진공 펌프.
청구항 1에 있어서,
상기 주센서의 상기 한 쌍의 전극 간의 인가 전압이 100V 이하가 되도록 구성되어 있는, 진공 펌프.
청구항 1에 있어서,
상기 주센서의 상기 한 쌍의 전극의 표면에는 절연층이 형성되어 있는, 진공 펌프.
청구항 1 내지 청구항 11 중 어느 한 항에 있어서,
상기 주센서의 상기 정전 용량 검출 회로와 상기 한 쌍의 전극은, 검출 시에만 통전되는, 진공 펌프.
청구항 1에 기재된 진공 펌프에 이용되는, 주센서.
청구항 8에 기재된 진공 펌프에 이용되며, 상기 나사홈 펌프를 구성하는, 나사홈 스테이터.