KR102715526B1 - 접촉 감응 소자, 이를 포함하는 표시 장치 및 이의 제조 방법 - Google Patents

접촉 감응 소자, 이를 포함하는 표시 장치 및 이의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

접촉 감응 소자 및 이의 제조 방법이 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 접촉 감응 소자의 제조 방법은 기판 상에 전기 활성 폴리머 용액을 도포하여 전기 활성 폴리머 코팅층을 형성하는 단계, 핫-프레스 롤러를 사용하여 전기 활성 폴리머 코팅층을 가열 및 가압시켜 전기 활성층을 형성하는 단계 및 전기 활성층 상에 전극을 형성하는 단계를 포함한다.

Description

접촉 감응 소자, 이를 포함하는 표시 장치 및 이의 제조 방법{TOUCH SENSITIVE DEVICE, DISPLAY DEVICE COMPRISING THE SAME AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}
본 발명은 접촉 감응 소자, 이를 포함하는 표시 장치 및 이의 제조 방법에 관한 것으로서, 진동 강도가 향상된 접촉 감응 소자 및 이를 포함하는 표시 장치에 관한 것이다.
최근, 액정 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치를 비롯한 다양한 디스플레이 장치를 간편하게 사용하려는 사용자들의 요구에 따라, 디스플레이 장치를 터치하여 입력하는 터치 방식의 표시 장치의 사용이 보편화되고 있다. 이에 따라 사용자에게 직접적이고 다양한 터치 피드백(feedback)을 제공하기 위해 햅틱(haptic) 장치를 활용하는 연구가 계속되고 있다. 특히, 종래의 햅틱 장치는 표시 패널 후면에 부착되어 있으므로, 사용자의 터치에 대한 즉각적이고 미세한 피드백을 제공하기 어려웠다. 따라서, 표시 패널의 상부에 햅틱 장치를 위치시킴으로써, 사용자의 터치에 민감하고 다양하며 직접적인 피드백을 제공하려는 연구가 활발히 진행되고 있다.
종래에는, 이러한 햅틱 장치로 표시 장치에 편심 모터(Eccentric Rotating Mass; ERM), 선형 공진 모터(Linear Resonant Actuator; LRA)와 같은 진동 모터가 사용되었다. 진동 모터는 표시 장치 전체를 진동시키도록 구성되어, 진동 강도를 증가시키기 위해서는 질량체의 크기를 증가시켜야 하는 문제점이 있었고, 진동의 정도를 조절하기 위한 주파수 변조가 어려우며, 응답 속도가 매우 느리다는 단점이 있다. 또한, 편심 모터와 선형 공진 모터는 불투명한 물질로 이루어지므로, 표시 패널의 상부에 배치되는 것이 불가능하였다.
상술한 바와 같은 문제점들을 개선하기 위하여, 햅틱 장치의 재료로서 형상 기억 합금(Shape Memory Alloy; SMA) 및 압전성 세라믹(Electro-Active Ceramics; EAC)이 개발되어 왔다. 그러나, 형상 기억 합금(SMA)은 반응속도가 느리고 수명이 짧으며 불투명한 물질로 이루어진다. 또한, 압전성 세라믹(EAC)은 외부 충격에 대한 내구성이 낮아 외부 충격에 의해 쉽게 깨지며, 불투명하고 박형화가 어렵다는 문제점이 있다.
상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해, 전기 활성 폴리머(Electro Active Polymer; EAP)를 사용한 햅틱 장치가 연구되고 있다. 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해, 전기 활성 폴리머(Electro Active Polymer; EAP)를 사용한 햅틱 장치가 연구되고 있다. 전기 활성 폴리머를 이용한 햅틱 장치는 얇고, 플렉서블하므로, 다양한 표시 장치에 용이하게 적용될 수 있다. 전기 활성 폴리머를 이용한 햅틱 장치는 얇고, 플렉서블하므로, 다양한 표시 장치에 용이하게 적용될 수 있다.
전기 활성 폴리머를 이용하여 햅틱 장치를 구현하기 위해서, 전기 활성 폴리머를 용매에 녹여 용액화를 시킨 다음, 용액을 코팅 공정 및 건조(baking) 공정을 통해 전기 활성 필름 또는 전기 활성층을 형성하는 방법을 고려할 수 있다. 그러나, 상술한 공정을 이용하는 경우, 용매의 휘발 특성에 의해 전기 활성 필름 또는 전기 활성층에 기공이 발생하여 누설 전류가 증가하거나 밀도 및 저항이 저하되어 충분한 진동 세기를 구현하지 못한다는 문제점이 있다.
[관련기술문헌]
1. ERM 액추에이터를 이용한 햅틱 효과 발생 방법 및 햅틱 지원 시스템 (한국특허출원번호 제10-2013-0011958호)
이에, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 전기 활성층 내부에 기공의 형성을 억제함으로써 누설 전류 및 쇼트의 발생을 방지할 수 있는 접촉 감응 소자 및 이의 제조 방법을 제공하는 것이다.
또한, 본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 전기 활성층의 밀도를 향상시켜 우수한 진동 강도를 갖는 접촉 감응 소자 및 이의 제조 방법을 제공하는 것이다.
또한, 본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 과제는 두께 및 저항이 균일한 전기 활성층을 포함하는 접촉 감응 소자 및 이의 제조 방법을 제공하는 것이다.
또한, 본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 과제는 전기 활성층을 형성하는 과정에서 전기 활성층이 β-상(β-phase)의 구조를 가지며, 별도의 폴링 공정이 필요 없는 접촉 감응 소자의 제조 방법을 제공하는 것이다.
또한, 본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 과제는 구동 가능 전압의 범위가 증가된 접촉 감응 소자를 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
전술한 바와 같은 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 접촉 감응 소자의 제조 방법은 기판 상에 전기 활성 폴리머 용액을 도포하여 전기 활성 폴리머 코팅층을 형성하는 단계, 핫-프레스 롤러를 사용하여 전기 활성 폴리머 코팅층을 가열 및 가압시켜 전기 활성층을 형성하는 단계 및 전기 활성층 상에 전극을 형성하는 단계를 포함한다.
전술한 바와 같은 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 접촉 감응 소자는 전기 활성 폴리머로 이루어진 전기 활성층 및 전기 활성층의 적어도 일면에 배치되는 전극을 포함하고, 하기 수학식 1로 표시되는 전기 활성층의 저항값 편차가 20% 이하이고, 구동 가능 전압이 50V 내지 2000V이다.
[수학식 1]
Figure 112016120643793-pat00001
전술한 바와 같은 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 접촉 감응 소자는 전기 활성 폴리머로 이루어진 전기 활성층 및 전기 활성층의 적어도 일면에 배치되는 전극을 포함하고, 전기 활성층의 두께에 대한 저항값이 1X109 Ω/m 내지 1X1015 Ω/m이고, 구동 가능 전압이 50V 내지 2000V이다.
기타 실시예의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명은 핫-프레스 롤러를 이용하여, 공정 중 전기 활성층 내부에 기공이 발생하는 현상을 최소화함으로써, 기공에 의해 발생하는 누설 전류 및 쇼트의 발생을 방지하고 전기 활성층의 밀도를 향상시켜, 접촉 감응 소자의 성능을 개선할 수 있다.
또한, 본 발명은 두께 및 저항이 균일한 전기 활성층을 형성함으로써, 접촉 감응 소자의 성능 신뢰도를 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명은 별도의 폴링 공정 없이 전기 활성층을 형성하는 과정에서 전기 활성층이 β-상 구조를 갖도록함으로써, 접촉 감응 소자의 성능을 개선할 수 있다.
또한, 본 발명은 넓은 전압 범위에서 접촉 감응 소자를 구동하게 할 수 있다.
본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.
도 1a은 본 발명의 일 실시예에 따른 접촉 감응 소자의 제조 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 접촉 감응 소자의 제조 방법을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 2은 본 발명의 일 실시예에 따른 접촉 감응 소자를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 3a 및 도 3b는 실시예 1 및 비교예 1에 따른 전기 활성층의 표면을 촬영한 SEM 사진이다.
도 4는 실시예 1 및 비교예 1에 따른 전기 활성층에 교류 전압을 인가하였을 때 전기 활성층 사이에서 전류가 흐르는지 여부를 설명하기 위한 그래프이다.
도 5은 실시예 1 및 비교예 1에 따른 접촉 감응 소자의 진동 세기를 설명하기 위한 그래프이다.
도 6a은 본 발명의 다른 실시예에 따른 접촉 감응 소자의 제조 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 6b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 접촉 감응 소자의 제조 방법을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 7은 실시예 1, 실시예 2 및 비교예 1의 전기 활성 폴리머의 XRD 분석 결과를 나타낸 그래프이다.
도 8은 실시예 1, 실시예 2 및 비교예 3에 따른 접촉 감응 소자의 전기 활성층의 두께 균일도 및 저항 균일도를 측정하는 방법을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 9a은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 접촉 감응 소자의 제조 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 9b는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 접촉 감응 소자의 제조 방법을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치를 설명하기 위한 개략적인 사시도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
본 발명의 실시예를 설명하기 위한 도면에 개시된 형상, 크기, 비율, 각도, 개수 등은 예시적인 것이므로 본 발명이 도시된 사항에 한정되는 것은 아니다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다. 본 명세서 상에서 언급된 '포함한다', '갖는다', '이루어진다' 등이 사용되는 경우 '~만'이 사용되지 않는 이상 다른 부분이 추가될 수 있다. 구성 요소를 단수로 표현한 경우에 특별히 명시적인 기재 사항이 없는 한 복수를 포함하는 경우를 포함한다.
구성 요소를 해석함에 있어서, 별도의 명시적 기재가 없더라도 오차 범위를 포함하는 것으로 해석한다.
위치 관계에 대한 설명일 경우, 예를 들어, '~상에', '~상부에', '~하부에', '~옆에' 등으로 두 부분의 위치 관계가 설명되는 경우, '바로' 또는 '직접'이 사용되지 않는 이상 두 부분 사이에 하나 이상의 다른 부분이 위치할 수도 있다.
소자 또는 층이 다른 소자 또는 층 "위 (on)"로 지칭되는 것은 다른 소자 바로 위에 또는 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않는다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있다.
명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 도시된 것이며, 본 발명이 도시된 구성의 크기 및 두께에 반드시 한정되는 것은 아니다.
본 발명의 여러 실시예들의 각각 특징들이 부분적으로 또는 전체적으로 서로 결합 또는 조합 가능하고, 기술적으로 다양한 연동 및 구동이 가능하며, 각 실시예들이 서로에 대하여 독립적으로 실시 가능할 수도 있고 연관 관계로 함께 실시할 수도 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 다양한 실시예들을 상세히 설명한다.
도 1a은 본 발명의 일 실시예에 따른 접촉 감응 소자의 제조 방법을 설명하기 위한 순서도이다. 또한, 도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 접촉 감응 소자의 제조 방법을 설명하기 위한 개략적인 도면이다. 한편, 도 2은 본 발명의 일 실시예에 따른 접촉 감응 소자를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다. 도 2에 도시된 접촉 감응 소자는 본 발명의 일 실시예에 따른 접촉 감응 소자의 제조 방법에 의해 제조된 것이다.
도 1a을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 접촉 감응 소자(100)의 제조 방법은, 전기 활성 폴리머 용액을 마련하는 단계(S110), 기판(110) 상에 전기 활성 폴리머 용액을 도포하여 전기 활성 폴리머 코팅층(121)을 형성하는 단계(S120), 핫-프레스 롤러를 사용하여 전기 활성 폴리머 코팅층(121)을 가열 및 가압시켜 전기 활성층(122)을 형성하는 단계(S130) 및 전기 활성층(122) 상에 전극(130)을 형성하는 단계(S140)를 포함한다.
먼저, 전기 활성 폴리머 용액을 마련한다(S110).
전기 활성 폴리머 용액은 접촉 감응 소자(100)를 구성하는 전기 활성층(122)을 형성하는 재료로서, 전기 활성 폴리머를 포함하는 용액을 의미한다. 구체적으로, 전기 활성 폴리머 용액은 전기 활성 폴리머 및 용매를 포함하고, 기타 첨가제를 더 포함할 수 있다.
전기 활성 폴리머는 전기적인 자극에 의하여 변형되는 고분자 재료이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 접촉 감응 소자(100)의 제조 방법에서 전기 활성 폴리머로는 전기 활성의 성질을 갖고 용매에 녹는 고분자라면 특별히 제한되지는 않으나, 예를 들어, 유전성 엘라스토머(Dielectric Elastomer) 또는 강유전성 폴리머(Ferroelectric Polymer)일 수 있다. 구체적으로, 유전성 엘라스토머는 아크릴계 중합체, 우레탄계 중합체 및 실리콘계 중합체로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않는다. 또한, 강유전성 폴리머는 폴리 플루오르화비닐리덴(Polyvinylidene fluoride, 이하 PVDF)계 폴리머일 수 있다. PVDF계 폴리머는 폴리머의 주쇄에 PVDF 반복 단위를 포함하는 폴리머를 의미하며, 예를 들어, PVDF 호모폴리머(homopolymer), PVDF 코폴리머(copolymer) 또는 PVDF 터폴리머(terpolymer)일 수 있다. 일반적으로 강유전성 폴리머가 유전성 엘라스토머 보다 우수한 유전율을 가지고 있다는 점을 고려할 때, 전기 활성층(122)은 강유전성 폴리머로 구성되는 것이 바람직하나, 이에 제한되지 않는다.
이때, PVDF 코폴리머는 VDF 단량체와 TrFE(trifluoroethylene), CTFE(chlorotrifluoroethylene), TFE(tetrafluoroethylene), CFE(chlorofluoroethylene), HFP(hexafluoropropene) 및 PMVE(Perfluoromethylvinylether)로 이루어진 군에서 선택된 1종의 단량체의 2원 공중합체이고, PVDF 터폴리머는 VDF 단량체와 TrFE, TFE, CFE, CTFE, HFP 및 PMVE로 이루어진 군에서 선택된 2종의 단량체의 3원 공중합체일 수 있다. 예를 들어, PVDF 코폴리머 또는 PVDF 터폴리머는 P(VDF-CTFE), P(VDF-CFE), P(VDF-HFP), P(VDF-CDFE), P(VDF-TrFE- CTFE), P(VDF-TrFE-CFE), P(VDF-TrFE-HFP), P(VDF-TrFE-CDFE), P(VDF- TFE-CTFE), P(VDF-TFE-CFE), P(VDF-TFE-HFP), 및 P(VDF-TFE-CDFE)로 이루어진 군으로부터 선택된 것일 수 있다.
용매는 전기 활성 폴리머를 녹일 수 있는 용매라면 특별히 제한되지는 않으나, 예를 들어, 디메틸포름아마이드(dimethyl formamide, DMF), 디메틸설폭사이드(dimethyl sulfoxide, DMSO), 메틸렌 클로라이드(Methylene Chloride, MC), 디메틸 아세트아미드(Dimethyl Acetamide, DMAC), 테트라 하이드로퓨란(Tetra Hydrofuran, THF), 아세톤(Acetone) 또는 에틸 아세테이트(Ethyl Acetate, EA)와 같은 유기 용매를 사용할 수 있다.
다음으로, 제조된 전기 활성 폴리머 용액을 기판(110) 상에 도포하여 전기 활성 폴리머 코팅층(121)을 형성한다(S120).
기판(110)은 열과 압력에도 충분한 강성을 나타내는 물질이라면 특별히 제한되지 않는다. 기판(110)은 플라스틱, 금속 또는 도전성 산화물로 이루어질 수 있다. 다만, 플라스틱을 기판(110)으로 사용하는 경우, 다음 단계에서 수행되는 가열 및 가압 공정 중에 변형되지 않도록 충분히 높은 녹는점을 갖는 것이 바람직하다.
금속 또는 도전성 산화물로 이루어진 기판(110)으로 사용하는 경우, 기판(110)은 최종 제품인 접촉 감응 소자(100)에서 전기 활성층(122)에 전압을 인가하는 전극(130)으로 사용될 수 있다. 이 경우, 전기 활성층(122)에 별도의 전극(130)을 형성하는 공정을 줄이거나 생략할 수 있다. 이 경우, 기판(110)은 단일 금속층일 수 있고, 복수의 패턴 구조를 가질 수도 있다.
기판(110) 상에 전기 활성 폴리머 용액을 도포한다. 전기 활성 폴리머 용액을 도포하는 방법은 본 기술이 속하는 기술분야에서 사용될 수 있는 것이면 특별히 제한되지 않으며, 예를 들면, 스핀 코팅 방식, 바코팅 방식, 나이프 코팅 방식, 롤 코팅 방식, 블레이드 코팅 방식, 다이 코팅 방식, 마이크로 그라비아 코팅 방식, 콤마 코팅 방식, 슬롯다이 코팅 방식 또는 립 코팅 방식 등을 이용할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 접촉 감응 소자(100)의 제조 방법에서, 전기 활성 폴리머 용액은 기판(110)에 코팅 후 흘러내지 않도록 충분히 큰 점도를 가질 수 있다. 따라서, 핫-프레스 롤러 공정 이전에 별도의 경화 공정을 필요로 하지 않는다. 즉, 기판(110) 상에 전기 활성 폴리머 용액을 도포한 후 전기 활성 폴리머 코팅층(121)을 형성하기 위해 별도의 가열 또는 경화 공정을 수행하지 않을 수 있다. 따라서, 기판(110) 상에 전기 활성 폴리머 용액을 도포하여 형성된 전기 활성 폴리머 코팅층(121)은 후술한 핫-프레스 롤러 공정 만으로도 전기 활성층(122)으로 형성될 수 있다. 다만, 전기 활성 폴리머 용액의 점도를 조절하기 위하여, 전기 활성 폴리머 용액을 기판(110) 상에 코팅한 다음 핫-프레스 롤러 공정 이전에 필요에 따라 가열하는 단계를 더 포함할 수도 있다.
이어서, 핫-프레스 롤러를 사용하여 전기 활성 폴리머 코팅층(121)을 가열 및 가압시켜 전기 활성층(122)을 형성한다(S130). 본 S130 단계를 보다 구체적으로 설명하기 위하여, 도 1b를 참조한다.
도 1b를 참조하면, 도 1b에서 좌측에 도시된 바와 같은 전기 활성 폴리머 코팅층(121)이 형성된 기판(110)을 도 1b에서 중앙에 도시된 바와 같은 핫-프레스 롤러(hot press roller)에 통과시킨다. 전기 활성 폴리머 코팅층(121)을 핫-프레스 롤러를 사용하여 가열하고 가압함으로써, 전기 활성층(122)이 형성된다. 이때, 전기 활성층(122)은 필름 형태일 수 있다.
핫-프레스 롤러는 전기 활성 폴리머 코팅층(121)을 가열하고 가압하기 위한 구성이다. 구체적으로, 핫-프레스 롤러는 상부 롤러(131)와 하부 롤러(132)로 구성된다. 상부 롤러(131)와 하부 롤러(132)는 일정한 간격 두고 이격되고, 기판(110)과 전기 활성 폴리머 코팅층(121)을 상부 롤러(131)와 하부 롤러(132) 사이의 간격을 통과시킴으로써 전기 활성 폴리머 코팅층(121)이 가압된다. 이 때, 상부 롤러(131)와 하부 롤러(132) 사이의 간격을 조절함으로써 전기 활성 폴리머 코팅층(121)에 인가되는 압력을 조절할 수 있다.
전기 활성 폴리머 코팅층(121)에 인가되는 압력은 전기 활성 폴리머 코팅층(121)의 조성, 점도, 두께에 따라 다양하게 설정될 수 있고, 최종 생산하고자하는 전기 활성층(122)의 구조 및 성질에 따라 적절하게 조절될 수 있다. 이로써 제한되는 것은 아니나, 전기 활성 폴리머 코팅층(121)에 인가되는 압력은 1kg/cm 내지 50kg/cm일 수 있고, 바람직하게는 5kg/cm 내지 25kg/cm일 수 있다. 전기 활성 폴리머 코팅층(121)에 인가되는 압력이 상기 범위를 만족하는 경우 접촉 감응 소자(100)가 충분한 진동 세기를 구현할 수 있을 정도의 적절한 두께의 전기 활성층(122)을 형성할 수 있으며, 전기 활성층(122) 형성 과정에서 발생할 수 있는 기공 형성 및 각종 제조 불량을 최소화할 수 있다.
상부 롤러(131) 및 하부 롤러(132)에는 가열 수단이 내장될 수 있다. 상부 롤러(131) 및 하부 롤러(132)의 온도를 조절함으로써 전기 활성 폴리머 코팅층(121)에 인가되는 열을 조절할 수 있다.
전기 활성 폴리머 코팅층(121)에 인가되는 온도는 전기 활성 폴리머 코팅층(121) 및 전기 활성 폴리머 코팅층(121)을 구성하는 전기 활성 폴리머의 성질에 따라 다양하게 조절될 수 있다. 이로써 제한되는 것은 아니나, 전기 활성 폴리머 코팅층(121)에 인가되는 온도는 전기 활성 폴리머 코팅층(121)에 포함되는 전기 활성 폴리머의 녹는점(melting point) 이상일 수 있다. 전기 활성 폴리머 코팅층(121)에 전기 활성 폴리머의 녹는점 이상의 온도의 열을 인가함으로써, 전기 활성 폴리머의 연성을 향상시켜 용이하게 전기 활성층(122)을 형성할 수 있다. 전기 활성 폴리머 코팅층(121)에 인가되는 온도는 전기 활성 폴리머 물질에 따라 상이할 수 있으나 100℃ 내지 400℃인 것이 바람직하다. 전기 활성 폴리머 코팅층(121)에 인가되는 온도가 상기 범위를 만족하는 경우, 전기 활성층(122)의 성형성이 향상되고 전기 활성 폴리머 코팅층(121)을 가압하는 과정에서 전기 활성 폴리머 코팅층(121) 내부의 기공을 제거할 수 있어 형성되는 전기 활성층(122)의 밀도를 향상시킬 수 있다.
상부 롤러(131) 및 하부 롤러(132)는 기판(110)의 재질에 따라, 롤러의 표면이 금속으로 구성된 메탈 롤러(Metal Roller) 또는 표면이 고무로 구성된 고무 롤러(Rubber roller)를 사용할 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.
이어서, 전기 활성층(122) 상에 전극(130)을 형성한다(S140). 구체적으로, 핫-프레스 롤러를 사용하여 형성된 전기 활성층(122)의 적어도 일면에 전극(130)을 형성한다. 전극(130)은 스퍼터링(sputtering), 프린팅(printing), 슬릿 코팅(slit coating) 등과 같은 방법으로 전기 활성층(122) 상에 형성될 수 있다.
도 2을 참조하면, 전기 활성층(122)의 양면에 전극(130)이 배치된다. 따라서, S140 단계를 거쳐 전기 활성층(122)이 형성되면 전기 활성층(122)의 하면에 배치된 기판(110)을 박리한 다음, 전기 활성층(122)의 하면 및 상면에 전극(130)을 형성한다. 전극(130)은 활성층(122)의 하면 및 상면에 각각 독립적으로 복수의 전극으로 구성될 수 있다.
구체적으로, 전기 활성층(122)의 상면 및 하면에 각각 전극(130)이 배치될 수 있다. 이때, 전기 활성층(122)의 상면 및 하면에 배치되는 전극(130)은 각각 단일층일 수 있다. 또한, 전기 활성층(122)의 상면에 배치되는 전극(130)은 X축 방향으로 연장되고, 전기 활성층(122)의 하면에 배치되는 전극(130)은 Y측 방향으로 연장되어, 서로 교차하여 매트릭스 형태로 배치되는 수직 배치 구조일 수 있다.
한편, 전극(130)은 전기 활성층(122)의 일면에만 배치된 수평 배치 구조일 수도 있다. 예를 들어, 전기 활성층(122)의 하면에 배치된 기판(110)을 박리한 다음, 전기 활성층(122)의 상면 또는 하면에 기판(110)을 형성할 수 있다.
또한, 전기 활성 폴리머 코팅층(121)을 형성하는 단계(S120)에서 언급한 바와 같이, 전기 활성 폴리머 코팅층의 하부에 배치되는 기판(110)은 접촉 감응 소자(100)의 전극(130)으로 사용될 수 있다. 즉, 기판(110)이 도전성 산화물이거나 금속으로 이루어지는 경우, 기판(110)은 박리되지 않고 전기 활성층(122)의 하부 전극(130)으로 사용될 수 있다.
전극(130)은 도전성 물질로 이루어진다. 또한, 접촉 감응 소자(100)의 광투과율을 확보하기 위해, 전극(130)은 투명 도전성 물질로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 전극(130)은 인듐 주석 산화물(Induim Tin Oxide, ITO), 인듐 아연 산화물 (Indium Zinc Oxide, IZO), 그래핀(Graphene), 금속 나노 와이어 및 투명 도전성 산화물(TCO)등과 같은 투명 도전성 물질로 이루어질 수 있다. 또한, 전극(130)은 메탈 메쉬(metal mesh)로 이루어질 수도 있다. 즉, 전극(130)은 금속 물질이 메쉬 형태로 배치되는 메탈 메쉬로 구성되어, 실질적으로 투명하게 시인될 수 있는 전극(130)으로 구성될 수도 있다. 다만, 전극(130)의 구성 물질은 상술한 예에 제한되지 않고, 다양한 투명 도전성 물질이 전극(130)의 구성 물질로 사용될 수 있다. 전극(130)이 복수로 구성되는 경우 전극(130) 각각은 동일한 물질로 이루어질 수도 있고, 서로 상이한 물질로 이루어질 수도 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 접촉 감응 소자(100)의 제조 방법은 전기 활성 폴리머를 포함하는 용액을 코팅한 다음, 핫-프레스 롤러를 사용하여 가열 및 가압을 동시에 진행한다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 접촉 감응 소자(100)의 제조 방법에 의해, 밀도 및 저항이 크게 향상된 전기 활성층(122)을 형성할 수 있다. 전기 활성층(122)의 밀도가 크면 전기 활성층(122)의 응력이 증가하고 전극들 사이의 쇼트를 방지할 수 있고, 전기 활성층(122)의 저항이 크면 누설 전류를 방지할 수 있으므로, 접촉 감응 소자(100)의 진동 세기가 개선될 수 있다. 일반적으로 비도전성 물질에 있어서, 밀도가 증가하면 저항도 함께 증가하는 경향을 보인다.
보다 구체적으로, 전기 활성 폴리머를 포함하는 전기 활성층을 형성하기 위해서, 종래에는 전기 활성 폴리머를 포함하는 용액을 코팅한 다음 가열하여 코팅층을 경화하는 솔루션 캐스팅(solution casting) 방법이 주로 사용되어 왔다. 그러나, 솔루션 캐스팅 방법을 이용하는 경우 가열에 의해 코팅층을 경화하는 과정에서 용매가 휘발되면서 전기 활성층(122)에 내부에 기공이 형성될 수 있다. 또한, 코팅층의 최외곽부터 경화되어 용매가 모두 휘발되지 못하고 전기 활성층(122) 내부에 용매가 잔류하게 된다. 이러한 경우, 전기 활성층(122) 내부의 기공에 의해 전기 활성층(122) 상부 및 하부에 형성된 전극(130)이 서로 연결되어 쇼트될 수 있다. 또한, 전기 활성층(122) 내부의 잔류 용매에 의해 누설 전류가 발생하여 접촉 감응 소자(100)의 성능이 크게 저하되는 문제점이 발생할 수 있다. 또한, 전기 활성층(122) 내부의 기공에 의해 전기 활성층(122)의 내부의 밀도 및 저항이 감소되어 전기 활성층(122)의 물리적 강도를 저하시켜 접촉 감응 소자(100)의 진동 세기를 저하시키는 문제점이 발생할 수 있다.
그러나, 용액을 코팅하여 전기 활성층(122)을 형성하는 과정에서, 핫-프레스 롤러를 사용하는 경우, 코팅층이 복수의 롤러 사이를 통과하면서 코팅층 일측 모서리부터 타측 모서리까지 선압축하게되므로, 코팅층에 일정한 온도와 동일한 압력이 인가될 수 있다. 단순히 열을 가하여 코팅층을 경화시키는 경우와 달리, 열과 압력을 동시에 인가하고 코팅층의 일측 모서리부터 압력을 인가하므로 용매의 증발에도 불구하고 압력에 의해 전기 활성층(122) 내부에 기공 및 잔류 용매가 형성되는 것을 최소화할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 접촉 감응 소자(100)의 제조 방법에 의해, 전기 활성층(122)의 두께 및 저항이 균일한 전기 활성층(122)을 형성할 수 있다. 즉, 전기 활성층(122)의 두께 편차 및 저항값 편차를 최소화할 수 있다. 전기 활성층(122)을 균일하게 형성함으로써 전기 활성층(122) 표면에 전극(130)을 균일하게 형성할 수 있다. 이로 인해, 전극(130) 간의 쇼트를 예방할 수 있다. 또한, 전기 활성층(122)의 두께 및 물성이 균일하므로 위치에 따른 진동 강도 또한 균일하고, 이로 인해, 접촉 감응 소자(100)의 성능 신뢰도가 향상된다.
이하에서는 실시예를 통하여 본 발명을 보다 상세히 설명한다. 그러나, 이하의 실시예는 본 발명의 예시를 위한 것이며, 하기 실시예에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
실시예 1
ITO로 형성된 전극 상에 PVDF 코폴리머를 포함하는 용액을 170㎛의 두께로 코팅하였다. ITO 및 ITO 상에 형성된 코팅층을 포함한 조립체를 핫-프레스 롤러에 통과시켜 전기 활성층을 형성하였다. 이때, 핫-프레스 롤러를 통해 ITO 상에 형성된 코팅층에 160℃의 열 및 10kg/cm의 압력을 인가하였다. 이후 전기 활성층의 상면에 ITO를 증착시켜 접촉 감응 소자를 제조하였다.
비교예 1
ITO로 형성된 전극 상에 PVDF 코폴리머를 솔루션 케스팅 공정을 이용하여, 실시예 1과 동일한 두께의 전기 활성층을 형성하였다. 이후 전기 활성층의 상면에 ITO를 증착시켜 접촉 감응 소자를 제조하였다.
실험예 1 - 전기 활성층 표면 관찰
실시예 1 및 비교예 1에 따른 접촉 감응 소자의 전기 활성층의 표면을 전자현미경(SEM)으로 촬영하였다. 비교예 1에 따른 전기 활성층의 표면을 1800 배율로 확대한 SEM 사진은 도 3a에 표시하였고, 실시예 1에 따른 전기 활성층의 표면을 6000 배율로 확대한 SEM 사진은 도 3b에 표시하였다.
도 3a를 참조하면, 비교예 1에 따른 접촉 감응 소자의 전기 활성층에는 기공(P)이 형성된 것을 확인할 수 있다. 이러한 기공은 솔루션 케스팅 공정 중 가열하는 단계에서 용매가 증발하면서 형성된 것으로, 전극 간의 쇼트 및 전기 활성층의 성능 저하를 야기한다. 이와 달리, 도 3b를 참조하면, 실시예 1에 따른 접촉 감응 소자의 전기 활성층에는 기공이 전혀 형성되지 않은 것을 확인할 수 있으며, 전기 활성층의 표면이 매우 고르게 형성된 것을 확인할 수 있다.
실험예 2 - 절연성 평가
실시예 1 및 비교예 1에 따른 접촉 감응 소자에 100Hz 주파수를 갖는 교류 전압을 인가하였을 때, 전기 활성층 사이에서 전류가 흐르는지 여부를 측정하였다. 측정 결과는 도 4에 도시하였다.
도 4를 참조하면, 비교예 1에 따른 접촉 감응 소자는 교류 전압을 인가하는 경우 상부 전극과 하부 전극 사이에서 전류가 흐르는 것을 확인할 수 있다. 즉, 전기 활성층에 전극을 증착할 때, 전기 활성층에 형성된 기공으로 전극 물질이 흘러들어가 쇼트가 발생하거나 전기 활성층의 저항이 낮아져 전류가 흐르는 형상이 발생한다. 그러나, 실시예 1에 따른 접촉 감응 소자는 교류 전압을 인가하는 경우 전류가 거의 흐르지 않는 것을 확인할 수 있다. 즉, 실시예 1에 따른 전기 활성층이 비교예 1에 따른 전기 활성층에 비해 동일한 두께에서 저항이 높아 우수한 절연성을 갖는다.
실험예 3 - 진동 가속도 평가
실시예 1 및 비교예 1에 따른 접촉 감응 소자에 100Hz 주파수를 갖는 교류 전압을 세기를 달리하여 인가하면서 진동 가속도를 측정하였다. 측정 결과는 도 5에 도시하였다.
도 5을 참조하면, 동일한 전압을 인가하였을 때 실시예 1에 따른 접촉 감응 소자의 진동 가속도가 비교예 1에 다른 접촉 감응 소자의 진동 가속도에 비하여 현저히 큰 것을 확인할 수 있다. 동일 전압에 대비하여 실시예 1에 따른 접촉 감응 소자의 진동 가속도가 비교예 1에 비하여 약 8배 이상 크게 측정되었다. 이는 실시예 1에 따른 접촉 감응 소자의 전기 활성층은 기공이 거의 없어 밀도가 크기 때문이다.
도 6a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 접촉 감응 소자의 제조 방법을 설명하기 위한 순서도이다. 또한, 도 6b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 접촉 감응 소자의 제조 방법을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 6a를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 접촉 감응 소자의 제조 방법은, 전기 활성 폴리머 용액을 마련하는 단계(S210), 기판(110) 상에 전기 활성 폴리머 용액을 도포하여 전기 활성 폴리머 코팅층(121)을 형성하는 단계(S220), 핫-프레스 롤러를 사용하여 전기 활성 폴리머 코팅층(121)을 가열 및 가압시키는 동시에 전압을 인가하여 전기 활성층(222)을 형성하는 단계(S230) 및 전기 활성층(222) 상에 전극(130)을 형성하는 단계(S240)를 포함한다.
도 6a에 따른 접촉 감응 소자의 제조 방법은 S230 단계를 제외한 S210, S220 및 S240 단계가 도 1a에 따른 접촉 감응 소자의 제조 방법과 동일한 방법으로 수행되므로, 중복되는 단계에 대한 설명은 생략한다.
구체적으로, 본 발명의 다른 실시예에 따른 접촉 감응 소자의 제조 방법에서는 기판(110) 상에 전기 활성 폴리머 코팅층(121)을 형성한 다음, 핫-프레스 롤러를 사용하여 전기 활성 폴리머 코팅층(121)을 가열 및 가압시키는 동시에 전압을 인가하여 전기 활성층(222)을 형성한다(S230). 본 S230 단계를 보다 구체적으로 설명하기 위하여, 도 6b를 참조한다.
도 6b를 참조하면, 도 6b에서 좌측에 도시된 바와 같은 전기 활성 폴리머 코팅층(121)이 형성된 기판(110)을 도 6b에서 중앙에 도시된 바와 같은 핫-프레스 롤러에 통과시킨다. 이때, 핫-프레스 롤러는 전기 활성 폴리머 코팅층(121)을 가열하고 가압할 뿐만 아니라, 동시에 전압을 인가한다.
도 6a에 따른 접촉 감응 소자의 제조 방법은 전기 활성층(222)을 형성하는 과정에서 전압을 인가함으로써, 전기 활성층(222)이 β-상(β-phase)의 구조를 갖게 된다. 즉, 핫-프레스 롤러는 폴링(polling) 공정과 동일한 기능을 한다.
예를 들어, PVDF계 폴리머는 유전율 및 압전성을 부여하기 위해서 폴링 공정이 수행될 수 있다. 일반적으로, PVDF계 폴리머는 폴리머의 주쇄에 따라 플루오로기(-F)가 트랜스(trans) 형태 및 비틀림(gauche) 형태가 혼합되어 있는 상태로 배치된 α-상(α-phase)의 구조를 가진다. α-상에서는 PVDF계 폴리머의 플루오로기가 서로 마주보게 배열되어 있으므로, α-상의 총 분극도가 상쇄되고, 유전율 및 압전성이 매우 작아진다. 따라서, 전기 활성 폴리머 코팅층(121)이 핫-프레스 롤러를 통과할 때, PVDF계 폴리머에 항전계(Coercive Field)보다 큰 전기장이 형성되도록 높은 전압을 인가함으로써, α-상에서 플루오로기가 모두 트랜스(all-trans) 형태로 되어있는 β-상 구조로 변경될 수 있다. 이로 인해, 전기 활성층(222)의 전기 활성 폴리머는 분극도가 극대화되고 높은 진동 가속도를 구현할 수 있게 된다.
특히, PVDF 코폴리머와 같이 폴링 공정을 필요로 하는 전기 활성 폴리머의 경우, 본 단계를 통해 접촉 감응 소자의 전기 활성층으로 사용될 수 있다.
전기 활성 폴리머 코팅층(121)에 전압을 인가하기 위하여, 핫-프레스 롤러의 상부 롤러(231) 또는 하부 롤러(232)에는 전원 및 전압을 인가할 수 있는 수단이 내장될 수 있다. 도 6b를 참조하면, 상부 롤러(231)는 전압 인가가 가능하도록 상부 롤러(231) 표면에 도전성 물질이 코팅된 도전성 코팅층(233)이 형성된다. 도전성 코팅층(233)은 도전성 물질이면 제한없이 사용될 수 있다. 예를 들어, 도전성 코팅층(233)을 구성하는 도전성 물질은 PEDOT[Poly(3,4-EthyleneDiOxyThiophene)]:PSS [Poly(4-StyreneSulfonic acid)], 폴리피롤(polypyrrole), 폴리아닐린(polyaniline)과 같은 물질일 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.
한편, 상부 롤러(231)에 전압을 인가하기 위해서 와이어(wire)를 사용할 수 있다. 구체적으로, 상부 롤러(231)를 통해 전기 활성 폴리머 코팅층(121)에 전압을 인가하기 위해서, 상부 롤러(231)의 도전성 코팅층(233)의 적어도 일 부분이 와이어와 접촉할 수 있다. 와이어는 전원으로부터 상부 롤러(231)에 전압을 인가할 수 있다.
전기 활성 폴리머 코팅층(121)에 인가되는 전압은 전기 활성 폴리머 종류 및 물성에 따라 다양하게 조절될 수 있다. 이로써 제한되는 것은 아니나, 전기 활성 폴리머 코팅층(121)에 인가되는 전압은 50 V/㎛ 내지 500V/㎛일 수 있다. 전기 활성 폴리머 코팅층(121)에 인가되는 전압이 상기 범위를 만족하는 경우 전기 활성 폴리머에 물리적 손상을 주지 않고 전기 활성층(222)이 β-상(β-phase)의 구조를 가질 수 있다.
도 6a에 따른 접촉 감응 소자의 제조 방법은 전기 활성 폴리머를 포함하는 용액을 코팅한 다음, 핫-프레스 롤러를 사용하여, 가열 및 가압을 인가하는 동시에 전압을 함께 인가한다. 따라서, 전기 활성층(222)의 밀도 및 저항이 향상될 뿐만 아니라 β-상이 크게 증가하여, 전기 활성층(222)의 압전성 또는 유전율이 크게 향상될 수 있다.
특히, 전기 활성 폴리머 코팅층(121)에 가열과 동시에 전압을 인가한다는 점에서 유리한 효과가 있다. 구체적으로, 전기 활성층(222) 형성시 전기 활성 폴리머 코팅층(121)을 가열하는 경우 전기 활성 폴리머의 유동성이 커지게 되므로, 가열하지 않는 경우와 비교하여 동일한 전압에 대해 폴링 공정에 의한 효과가 극대화될 수 있다. 이러한 효과는 PVDF 호모 폴리머를 사용하여 전기 활성층(222)을 형성하는 경우 보다 두드러질 수 있다.
상술한 바와 같이, PVDF계 폴리머는 β-상 구조를 형성하기 위하여 일반적으로 폴링 공정을 포함할 수 있다. 그러나, PVDF 호모 폴리머는 고분자 구조상 β-상이 형성될 수 있는 공간이 부족하여 이를 확보하기 위해, 종래의 공정에서는 PVDF 호모폴리머를 제막하여 먼저 필름 형태로 제조한 다음 연신(stretching) 공정을 수행하였다. 필름의 연신 공정을 통하여, 폴리머의 주쇄를 신장시켜 탄소 원자에 연결된 플루오로기 간의 입체장애(steric hindrance)를 해소한 다음 폴링 공정을 수행하여야 한다. 그러나, 제막된 PVDF계 폴리머를 연신하는 경우, 헤어 라인(hair line)과 같은 미세한 스크레치가 발생하고 헤이즈가 높아져 전기 활성층(222)의 투명성이 저하된다는 문제점이 있었다. 이와 달리, 본 발명의 다른 실시예에 따른 접촉 감응 소자의 제조 방법은 연신 공정 없이, PVDF 코폴리머가 β-상 구조를 형성할 수 있으므로 전기 활성층(222)에 스크레치가 발생하지 않고 헤이즈도 낮게 유지될 수 있다.
또한, 전압이 인가됨에 따라 전기 활성층(222)이 β-상 구조를 가짐으로써, 전기 활성층(222)의 저항이 추가적으로 향상되는 효과가 있다. 플루오로기(-F)가 트랜스(trans) 형태 및 비틀림(gauche) 형태로 혼합된 α-상의 구조에서 플루오로기가 모두 트랜스(all-trans) 형태로 되어있는 β-상 구조로 변경됨으로써, 전기 활성층(222) 내부의 다이폴 모멘트(dipole moment)가 동일한 방향으로 정렬되므로 전기 활성층(222)에 전류가 흐르기 어렵기 때문이다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 접촉 감응 소자의 제조 방법에 의해, 전기 활성층(222)의 두께 및 저항이 균일한 전기 활성층(222)을 형성할 수 있다. 즉, 전기 활성층(222)의 두께 편차 및 저항값 편차를 최소화할 수 있다. 전기 활성층(222)을 균일하게 형성함으로써 전기 활성층(222) 표면에 전극(130)을 균일하게 형성할 수 있다. 또한, 전기 활성층(222)의 두께 및 물성이 균일하므로 위치에 따른 진동 강도 또한 균일하고, 이로 인해, 접촉 감응 소자의 성능 신뢰도가 향상된다.
이하에서는 실시예를 통하여 본 발명을 보다 상세히 설명한다. 그러나, 이하의 실시예는 본 발명의 예시를 위한 것이며, 하기 실시예에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
실시예 2
ITO로 형성된 전극 상에 PVDF 코폴리머를 포함하는 용액을 170㎛의 두께로 코팅하였다. ITO 및 ITO 상에 형성된 코팅층을 포함한 조립체를 핫-프레스 롤러에 통과시켜 전기 활성층을 형성하였다. 이때, 핫-프레스 롤러를 통해 ITO 상에 형성된 코팅층에 160℃의 열 및 10kg/cm의 압력을 인가함과 동시에, 300V/㎛의 전압을 인가하였다. 이후 전기 활성층의 상면에 ITO를 증착시켜 접촉 감응 소자를 제조하였다.
비교예 2
PVDF 호모폴리머를 공압출하여 필름 형태로 제막한 다음 연신 공정 및 300V/㎛의 전압으로 폴링 공정을 거쳐 전기 활성층을 형성하였다.
비교예 3
ITO로 형성된 전극 상에 PVDF 코폴리머를 포함하는 용액을 170㎛의 두께로 코팅하였다. 이후 핫-프레스 공정을 통해 ITO 상에 형성된 코팅층에 160℃의 열 및 25kg/cm2의 압력으로 면 가압하여 전기 활성층을 형성하였다. 이후 전기 활성층의 상면에 ITO를 증착시켜 접촉 감응 소자를 제조하였다.
실험예 4 - X선 회절 분석( XRD 측정)
실시예 2뿐만 아니라 상술한 실시예 1 및 비교예 1에 따른 접촉 감응 소자의 전기 활성층의 XRD를 분석하였다. 측정 결과는 도 7에 도시하였다.
PVDF 코폴리머의 경우, β-상이 증가할수록, 20.5deg에서의 피크가 크게 생성된다. 도 7을 참조하면, 핫-프레스 롤러를 통해 전압을 인가하여 전기 활성층을 형성한 실시예 2의 경우, 솔루션 케스팅 공정을 이용하여 전기 활성층을 형성한 비교예 1 및 핫-프레스 롤러를 통해 열과 압력만 인가하여 전기 활성층을 형성한 실시예 1에 비하여 20.5deg에서의 피크가 현저히 높은 것을 확인할 수 있다.
실험예 5 - 전기 활성층의 투명성 평가
실시예 2 및 비교예 2에 따른 접촉 감응 소자의 전기 활성층의 투명성을 측정하였다. 구체적으로 실시예 2 및 비교예 2의 전기 활성층을 절단하여 광학 분석기를 이용하여 헤이즈 및 광투과율을 측정하였다. 구체적인 값은 하기 표 1에 기재하였다.
구분 헤이즈 (%) 광투과율 (%)
실시예 2 2.1 92.1
비교예 2 9.0 85.0
표 1을 참조하면 실시예 1에 따른 접촉 감응 소자의 전기 활성층은 비교예 2에 따른 접촉 감응 소자의 전기 활성층과 비교하여 낮은 헤이즈 값을 가지며, 우수한 광투과율을 가진다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 접촉 감응 소자의 투명성이 우수하므로, 표시 패널 상부에 배치시키기에 용이하다는 장점이 있다.
실험예 6 - 전기 활성층의 균일도 평가
실시예 1, 실시예 2 및 비교예 3에 따른 접촉 감응 소자의 전기 활성층의 두께 균일도 및 저항 균일도를 측정하였다. 측정 방법을 이해하기 위해 도 8을 참조한다. 도 8을 참조하면, 실시예 1, 실시예 2 및 비교예 3에 따른 접촉 감응 소자의 전기 활성층을 300mm X 400mm 절단하여 시편(400)을 제조하였다. 도 9에 표시된 각각의 지점에서의 전기 활성층의 두께 및 밀도를 측정하였고, 측정된 값을 기초하여, 전기 활성층의 두께 편차 및 저항값 편차를 계산하였다. 측정 결과는 표 2에 기재하였다.
Figure 112016120643793-pat00002
표 2를 참조하면, 핫-프레스를 이용하여 1축으로 면가압하여 형성한 비교예 3의 전기 활성층은 실시예 1 및 실시예 2의 전기 활성층에 비하여 각 지점에 따른 두께 및 저항의 차이가 큰 것으로 확인되었다. 즉, 핫-프레스를 이용하여 전기 활성층을 형성하게 되면, 가압에 의해 전기 활성층의 중앙부가 얇고 저항이 높은 반면에 전기 활성층의 가장자리부는 두껍고 저항이 낮다.
보다 구체적으로 상기 표 2의 측정값을 기준으로 두께 편차 및 저항값 편차를 측정하였다. 이때, 두께 편차는 하기 수학식 2로 표시되고, 저항값 편차는 하기 수학식 1로 표시된다.
[수학식 1]
Figure 112016120643793-pat00003
[수학식 2]
Figure 112016120643793-pat00004
표 2에 기술된 두께 및 저항값으로부터 계산된 비교예 1의 전기 활성층의 두께 편차는 20.42%이고, 저항값 편차는 499.7%이다. 이와 달리, 실시예 1의 전기 활성층의 두께 편차는 2.69%이고 저항값 편차는 15.0%이고, 실시예 2의 전기 활성층의 두께 편차는 1.56%이고 저항값 편차는 6.7%이다. 특히, 비교예 1의 경우, 중앙부에서 가장자리부로 이동할수록 전기 활성층의 두께는 증가하고 저항 값은 작아지는 경향을 보인다. 그러나, 실시예 1 및 실시예 2의 경우 전체적으로 균일한 두께 및 저항값을 갖는다. 이로부터 알 수 있듯이, 핫-프레스 롤러를 이용하여 전기 활성층을 형성하는 경우 두께 및 저항이 매우 균일하다. 이를 통해, 전기 활성층의 표면 특성이 개선되고 및 진동 세기가 크게 증가할 수 있다.
실험예 7 - 구동 가능 전압 측정
실시예 1, 실시예 2, 비교예 1 및 비교예 3에 따른 접촉 감응 소자의 구동 가능 전압을 측정하였다. 구동 가능 전압이란, 접촉 감응 소자가 미세 구동을 시작하는 전압부터 구동이 멈추는(breakdown) 전압까지의 범위를 의미한다. 본 실험예에서는 실시예 1, 실시예 2, 비교예 1 및 비교예 3에 따른 접촉 감응 소자에 100Hz의 전압을 0V부터 올려가면서 접촉 감응 소자의 구동이 멈추는 지점의 전압을 확익하였다. 측정 결과는 표 3에 기재하였다.
구분 평균 두께 (㎛) Breakdown 전압 (V) 구동 가능 전압 범위 (V)
실시예 1 26.0 2000 이상 50~2000
실시예 2 25.1 2000 이상 50~2000
비교예 1 31.2 300 100~300
비교예 3 29.8 550 50~550
표 3을 참조하면, 실시예 1 및 실시예 2에 따른 접촉 감응 소자의 구동 가능 전압 범위는 50V에서 2000V인 것을 확인할 수 있다. 그러나, 솔루션 케스팅 방식으로 전기 활성층을 형성한 비교예 1에 따른 접촉 감응 소자는 구동 가능 전압 범위가 100V 내지 300V로 매우 좁은 것을 확인할 수 있다. 즉, 솔루션 케스팅 방식으로 전기 활성층을 형성하는 경우, 전기 활성층의 밀도가 매우 낮아 구동이 시작할 때 필요한 구동 전압이 높으며, 전기 활성층 내부의 기공 및 잔류 용매 등에 의해 300V 정도에서 스파크가 발생하거나 다량의 전류가 흐르면서 동작이 멈추게 된다. 또한 핫-프레스를 사용하여 전기 활성층을 형성한 비교예 3에 따른 접촉 감응 소자는 비교예 1의 접촉 감응 소자에 비하여 개선되었으나 구동 전압 범위가 50V 내지 550V로 실시예 1 및 실시예 2의 접촉 감응 소자에 비하여 현저히 좁다. 실험예 6에서 상술한 바와 같이, 면압력을 가하는 핫-프레스를 사용하여 전기 활성층을 형성하는 경우, 전기 활성층이 불균일하게 형성되고, 전기 활성층 내부에 기공 및 용매가 남아 있어 550V 정도의 전압에 구동이 멈추게 된다. 그러나, 이와 달리, 실시예 1 및 실시예 2에 따른 접촉 감응 소자는 전기 활성층 내부에 기공 및 용매가 거의 존재하지 않고, 두께 및 저항값이 균일하여 2000V 가까이 전압을 올려도 전극 쇼트 및 전류가 흐르지 않아 우수한 구동 범위를 보인다.
도 9a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 접촉 감응 소자의 제조 방법을 설명하기 위한 순서도이다. 또한, 도 9b는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 접촉 감응 소자의 제조 방법을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 9a를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 접촉 감응 소자의 제조 방법은, 전기 활성 폴리머 용액을 마련하는 단계(S310), 기판(110) 상에 전기 활성 폴리머 용액을 도포하여 전기 활성 폴리머 코팅층(121)을 형성하는 단계(S320), 핫-프레스 롤러를 사용하여 전기 활성 폴리머 코팅층(121)을 예비적으로 가열 및 가압시키는 전처리 단계(S325), 핫-프레스 롤러를 사용하여 전기 활성 폴리머 코팅층(121)을 가열 및 가압시키는 동시에 전압을 인가하여 전기 활성층(322)을 형성하는 단계(S330) 및 전기 활성층(322) 상에 전극을 형성하는 단계(S340)를 포함한다.
도 9a에 따른 접촉 감응 소자의 제조 방법은 S330 단계 이전에 S325 단계를 더 포함하는 것을 제외하고는 도 6a 따른 접촉 감응 소자의 제조 방법과 동일한 방법으로 수행되므로, 중복되는 단계에 대한 설명은 생략한다.
구체적으로, 도 9a에 따른 접촉 감응 소자의 제조 방법은 전기 활성 폴리머 코팅층(121)을 형성하는 단계(S320)와 핫-프레스 롤러를 사용하여 가열 및 압력을 인가하는 동시에 전압을 인가하여 전기 활성층(322)을 형성하는 단계(S330) 사이에 핫-프레스 롤러를 사용하여 전기 활성 폴리머 코팅층(121)에 가열 및 가압을 하는 전처리 단계(S325)를 수행한다. 본 S325 단계를 보다 구체적으로 설명하기 위하여, 도 9b를 참조한다.
도 9b를 참조하면, 전기 활성 폴리머 코팅층(121)이 형성된 기판(110)을 1차 핫-프레스 롤러(341, 342)에 통과시킨(S325)다. 이때, 1차 핫-프레스 롤러(341, 342)는 예비적으로 전기 활성 폴리머 코팅층(121)을 1차 가열하고 1차 가압하여 중간 코팅층(323)을 형성한다. 본 공정(S325)을 통해 전기 활성 폴리머 코팅층(121)의 기공의 일부를 제거한다. 이후, 전처리 공정을 거친 중간 코팅층(323)을 2차 핫-프레스 롤러(231, 232)에 통과시킨다(S330). 이때, 2차 핫-프레스 롤러(231, 232)는 전기 활성 폴리머 코팅층(121)을 가열하고 가압할 뿐만 아니라, 동시에 전압을 인가한다. 본 공정(S330)을 통해 S325 단계 이후 코팅층 내부에 존재하는 나머지 기공을 제거하고, 전기 활성층(322)이 β-상의 구조를 갖도록 한다.
도 9a에 따른 접촉 감응 소자의 제조 방법은 도 6a에 따른 접촉 감응 소자의 제조 방법과 비교하여, 열, 압력 및 전압을 동시에 인가하는 핫-프레스 롤러를 이용하여 전기 활성층(322)을 형성하는 단계(S330) 이전에 전처리 단계(S325)를 더 포함함으로써, 가열 과정에서 발생하는 기공의 일부를 제거한다. 전기 활성층(322)을 형성하는 과정에서 기공이 많이 발생하는 경우, 전압을 인가해주는 과정에서 스파크가 발생할 수 있다. 스파크는 전기 활성 폴리머 및 전기 활성층(322)에 물리적인 손상을 주게 되어, 진동 특성을 약화시킬 수 있다. 따라서 전처리 단계(S325)를 통해 1차적으로 기공을 제거함으로써 상술한 문제점을 미리 예방할 수 있는 효과가 있다.
도 2은 본 발명의 일 실시예에 따른 접촉 감응 소자를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다. 도 2을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 다른 접촉 감응 소자는 전기 활성층(122) 및 전기 활성층(122)의 상면 및 하면에 배치된 전극(130)을 포함한다. 도 2에 도시된 접촉 감응 소자의 구성은 도 1a 및 도 1b에서 설명한 구성과 동일하므로, 이에 대한 중복 설명은 생략한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 접촉 감응 소자는 도 1a에 도시된 접촉 감응 소자의 제조 방법에 의해 제조된 접촉 감응 소자이나, 도 6a 및 도 9a에 도시된 접촉 감응 소자의 제조 방법에 의해 제조된 접촉 감응 소자일 수도 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 접촉 감응 소자는 구동 가능 전압이 50V 내지 2000V이다. 구동 가능 전압이란, 접촉 감응 소자가 미세 구동을 시작하는 전압부터 구동이 멈추는(breakdown) 전압까지의 범위를 의미한다. 솔루션 캐스팅 공정 또는 핫-프레스를 이용한 면가압 공정을 이용하여 형성된 전기 활성층을 포함하는 접촉 감응 소자의 경우, 약 500V 이상에서는 구동이 어려운 반면, 본 발명의 접촉 감응 소자는 전기 활성층 내부에 기공 및 잔류 용매가 최소화되고 전기 활성층의 두께 및 저항값의 편차가 낮으므로, 우수한 구동 범위 및 구동 성능을 갖는다.
본 발명의 일 실시예에 따른 접촉 감응 소자는 두께 편차 및 저항값 편차가 작은 전기 활성층을 포함한다. 구체적으로, 전기 활성층은 하기 수학식 1로 표시되는 저항값 편차가 20% 이하인 것이 바람직하고, 하기 수학식 2로 표시되는 두께 편차가 5% 이하인 것이 바람직하다.
[수학식 1]
Figure 112016120643793-pat00005
[수학식 2]
Figure 112016120643793-pat00006
이때, 상기 최대 저항값은 전기 활성층의 중앙부의 저항값이고, 최소 저항값은 전기 활성층의 가장자리부의 저항값일 수 있다. 또한, 상기 최대 두께는 전기 활성층의 가장자리부의 두께이고, 최소 두께는 전기 활성층의 중앙부의 두께일 수 있다. 전기 활성층의 가장자리부는 전기 활성층의 모서리로부터 일정 거리를 갖는 영역이다. 보다 구체적으로, 전기 활성층의 가장자리부는 전기 활성층의 모서리로부터 전기 활성층의 가로 또는 세로 길이의 10% 거리를 갖는 영역일 수 있다. 전기 활성층의 중앙부는 가장자리부의 내부의 영역이다.
핫-프레스를 이용한 면가압 공정을 이용하여 형성된 전기 활성층이 중앙부로부터 가장자리부로 이동할수록 두께가 증가하고 저항값이 감소하는 경향을 보이는 것과 달리, 본 발명의 일 실시예에 따른 접촉 감응 소자의 제조 방법에 의해 제조된 접촉 감응 소자는 두께 편차 및 저항값 편차가 상기 범위를 만족시키는 전기 활성층을 포함할 수 있다. 전기 활성층의 두께 편차 및 저항값 편차가 상기 범위를 만족시키는 경우, 전기 활성층이 균일하기 때문에 전극 쇼트의 발생이 최소화되며, 진동 강도이 균일하고 신뢰도가 높은 접촉 감응 소자를 제공할 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 접촉 감응 소자에서, 전기 활성층은 두께에 대한 저항값이 1X109 Ω/m일 수 있다. 보다 구체적으로, 전기 활성층의두께에 대한 저항값이 1X109 Ω/m 내지 1X1015 Ω/m일 수 있고, 1X1010 Ω/m 내지 1X1014 Ω/m일 수 있다. 여기서 전기 활성층의 두께에 대한 저항값은 전기 활성층의 각 부분에서 측정한 저항값의 평균을 전기 활성층의 평균 두께로 나눈 값을 의미한다. 따라서, 전기 활성층의 두께에 대한 저항값이 크다는 것은 전기 활성층의 두께와 무관하게 전기 활성층의 저항이 크다는 것을 의미한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 접촉 감응 소자는 상술한 바와 같이, 핫-프레스 롤러를 사용하여 전기 활성층을 형성함으로써, 전기 활성층의 기공이 감소하여 밀도 및 저항이 크게 증가한다. 전기 활성층의 저항값이 상기 범위를 만족하는 경우, 누설 전류 및 쇼트의 발생이 최소화되고 진동 세기가 향상될 수 있다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 접촉 감응 소자를 포함하는 표시 장치의 개략적인 분해 사시도이다.
도 10를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치(500)는 하부 커버(510), 표시 패널(520), 접촉 감응 소자(100), 터치 패널(530) 및 상부 커버(540)를 포함한다.
하부 커버(510)는 표시 패널(520), 접촉 감응 소자(100) 및 터치 패널(530)의 하부를 덮도록 표시 패널(520) 아래에 배치된다. 하부 커버(510)는 표시 장치(500) 내부의 구성들을 외부의 충격 및 이물질이나 수분의 침투로부터 보호한다. 예를 들어, 하부 커버(510)는 열 성형이 가능하고 가공성이 좋은 플라스틱이나 표시 장치(500)의 형상 변화에 따라 함께 변형될 수 있는 물질로 이루어질 수 있으나, 이에 제한되지는 않는다.
표시 패널(520)은 표시 장치(500)에서 영상을 표시하기 위한 표시 소자가 배치된 패널을 의미한다. 표시 패널(520)로서, 예를 들어, 유기 발광 표시 패널, 액정 표시 패널, 전기 영동 표시 패널 등과 같은 다양한 표시 패널이 사용될 수 있다. 바람직하게는, 표시 패널(520)은 유기 발광 표시 장치일 수 있다. 유기 발광 표시 장치는 유기 발광층에 전류를 흐르게 함으로써 유기 발광층이 발광하도록 하는 표시 장치이며, 유기 발광층을 사용하여 특정 파장의 빛을 발광한다. 유기 발광 표시 장치는 적어도 캐소드, 유기 발광층 및 애노드를 포함한다.
유기 발광 표시 장치도 연성을 갖고 변형될 수 있도록 구성될 수 있다. 즉, 유기 발광 표시 장치는 연성을 갖는 플렉서블(flexible) 유기 발광 표시 장치로서, 플렉서블 기판을 포함한다. 플렉서블 유기 발광 표시 장치는 외부에서 가해지는 힘에 의해 다양한 방향 및 각도로 변형될 수 있다.
접촉 감응 소자(100)는 표시 패널(520) 상에 배치될 수 있다. 접촉 감응 소자(100)는 표시 패널(520)의 상면에 직접 접촉되도록 배치될 수도 있고, 표시 패널(520)의 상면과 접촉 감응 소자(100)의 하면 사이에 접착제를 이용하여 배치될 수도 있다. 예를 들어, 접착제는 OCA(optical clear adhesive) 또는 OCR(optical clear resin)이 사용될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
한편, 도 10에서는 표시 패널(520) 상에 배치된 접촉 감응 소자(100)를 도시하였으나, 필요에 따라 접촉 감응 소자(100)는 표시 패널(520) 아래에 배치될 수도 있다.
도 10에 도시된 접촉 감응 소자(100)는 전기 활성층(122) 및 전극(130)을 포함한다. 접촉 감응 소자(100)의 구체적인 구성요소는 도 1a 및 도 2에서 설명한 접촉 감응 소자(100)와 동일하므로, 자세한 설명은 생략하기로 한다.
접촉 감응 소자(100)는 표시 패널(520)과 전기적으로 연결될 수도 있다. 예를 들어, 표시 패널(520)에 배치된 FPCB(Flexible Printed Circuit Board)와 접촉 감응 소자(100)의 전극이 배선에 의해 서로 전기적으로 연결될 수도 있다.
접촉 감응 소자(100) 상에는 터치 패널(530)이 배치된다. 터치 패널(530)은 표시 장치(500)에 대한 사용자의 터치 입력을 감지하고, 터치 좌표를 제공하는 기능을 수행하는 패널을 의미한다. 터치 패널(530)은 표시 패널(520)상에 별도로 배치되는 애드온(add-on) 타입일 수 있다. 도 10에는 도시하지 않았으나, 별도의 터치 패널 대신 터치 센서가 표시 패널(520)에 일체화되도록 구비된 인-셀(in-cell) 타입의 터치 센서가 구성될 수도 있다.
터치 패널(530)은 작동 방식에 따라 구분될 수도 있다. 예를 들어, 정전 용량 방식, 저항막 방식, 초음파 방식, 적외선 방식 등이 사용될 수 있으나, 바람직하게는 정전 용량 방식의 터치 패널이 터치 패널(530)로서 사용될 수 있다.
또한, 터치 패널(530)은 접촉 감응 소자(100)와 전기적으로 연결될 수 있다. 구체적으로, 터치 패널(530)은 접촉 감응 소자(100)의 전극들과 전기적으로 연결되어, 터치 패널(530)에서 입력된 다양한 터치 신호 또는 전압이 접촉 감응 소자(100)로 전달될 수 있다.
상부 커버(540)는 접촉 감응 소자(100), 표시 패널(520) 및 터치 패널(530)의 상부를 덮도록 터치 패널(530) 상에 배치된다. 상부 커버(540)는 하부 커버(510)와 동일한 기능을 할 수 있다. 또한, 상부 커버(540)도 하부 커버(510)와 마찬가지로 동일한 물질로 이루어질 수 있다.
본 발명의 표시 장치(500)는 내부에 기공이 최소화되어 밀도 및 저항이 향상된 전기 활성층(122)을 사용함으로서 진동 세기가 우수한 접촉 감응 소자(100)를 포함한다. 또한, 표시 장치(500)는 두께 및 저항이 균일한 전기 활성층(122)을 포함함으로써, 진동 성능이 균일하고 수명이 긴 접촉 감응 소자(100)를 포함한다. 이로 인해, 표시 장치(500)는 사용자에게 우수하 촉각 피드백을 전달할 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예는 다음과 같이 설명될 수 있다.
전술한 바와 같은 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 접촉 감응 소자의 제조 방법은 기판 상에 전기 활성 폴리머 용액을 도포하여 전기 활성 폴리머 코팅층을 형성하는 단계, 핫-프레스 롤러를 사용하여 전기 활성 폴리머 코팅층을 가열 및 가압시켜 전기 활성층을 형성하는 단계 및 전기 활성층 상에 전극을 형성하는 단계를 포함한다.
전기 활성층을 형성하는 단계는 전기 활성 폴리머 코팅층에 전기 활성 폴리머의 녹는점(melting point) 이상의 온도를 인가하는 단계를 포함할 수 있다.
전기 활성층을 형성하는 단계는 전기 활성 폴리머 코팅층에 1kg/cm 내지 50kg/cm의 압력을 인가하는 단계를 포함할 수 있다.
전기 활성층을 형성하는 단계는 전기 활성 폴리머 코팅층을 가열 및 가압시키는 동시에 전압을 인가할 수 있다.
전기 활성층을 형성하는 단계는 핫-프레스 롤러를 통해 전기 활성 폴리머 코팅층에 50V/㎛ 내지 500V/㎛으로 전압을 인가하는 단계를 포함할 수 있다.
핫-프레스 롤러는 전압 인가가 가능하도록 표면에 도전성 물질이 코팅될 수 있다.
전기 활성층을 형성하는 단계 이전에, 전기 활성 폴리머 코팅층을 핫-프레스 롤러에 통과시켜 예비적으로 가열 및 가압시키는 전처리 단계를 더 포함할 수 있다.
전기 활성 폴리머 용액은 PVDF 코폴리머 또는 PVDF 터폴리머를 포함할 수 있다.
전술한 바와 같은 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 접촉 감응 소자는 전기 활성 폴리머로 이루어진 전기 활성층 및 전기 활성층의 적어도 일면에 배치되는 전극을 포함하고, 하기 수학식 1로 표시되는 전기 활성층의 저항값 편차가 20% 이하이고, 구동 가능 전압이 50V 내지 2000V이다.
[수학식 1]
Figure 112016120643793-pat00007
최대 저항값은 전기 활성층의 중앙부의 저항값이고, 최소 저항값은 전기 활성층의 가장자리부의 저항값일 수 있다.
하기 수학식 2로 표시되는 전기 활성층의 두께 편차는 5% 이하일 수 있다.
[수학식 2]
Figure 112016120643793-pat00008
전기 활성 폴리머는 PVDF 코폴리머 또는 PVDF 터폴리머이고, 전기 활성층의 두께에 대한 저항값은 1X109 Ω/m 내지 1X1015 Ω/m일 수 있다.
전기 활성층은 β-상(β-phase)의 구조를 가질 수 있다.
전술한 바와 같은 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 접촉 감응 소자는 전기 활성 폴리머로 이루어진 전기 활성층 및 전기 활성층의 적어도 일면에 배치되는 전극을 포함하고, 전기 활성층의 두께에 대한 저항값이 1X109 Ω/m 내지 1X1015 Ω/m이고, 구동 가능 전압이 50V 내지 2000V이다.
하기 수학식 1로 표시되는 전기 활성층의 저항값 편차는 20% 이하일 수 있다.
[수학식 1]
Figure 112016120643793-pat00009
하기 수학식 2로 표시되는 전기 활성층의 두께 편차는 5% 이하일 수 있다.
[수학식 2]
Figure 112016120643793-pat00010
전기 활성 폴리머는 PVDF 코폴리머 또는 PVDF 터폴리머일 수 있다.
전기 활성층은 β-상(β-phase)의 구조를 가질 수 있다.
전술한 바와 같은 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치는 표시 패널 및 접촉 감응 소자를 포함하고, 접촉 감응 소자는, 전기 활성 폴리머로 이루어지고, 하기 수학식 1로 표시되는 전기 활성층의 저항값 편차가 20% 이하인 전기 활성층 및 전기 활성층의 적어도 일면에 배치되는 전극을 포함하며, 접촉 감응 소자의 구동 가능 전압이 50V 내지 2000V이다.
[수학식 1]
Figure 112016120643793-pat00011
최대 저항값은 전기 활성층의 중앙부의 저항값이고, 최소 저항값은 전기 활성층의 가장자리부의 저항값일 수 있다.
하기 수학식 2로 표시되는 전기 활성층의 두께 편차는 5% 이하인 표시 장치.
[수학식 2]
Figure 112016120643793-pat00012
전기 활성층의 두께에 대한 저항값은 1X109 Ω/m 내지 1X1015 Ω/m일 수 있다.
전기 활성 폴리머는 PVDF 코폴리머 또는 PVDF 터폴리머일 수 있다.
전기 활성층은 β-상(β-phase)의 구조를 가질 수 있다.
표시 패널은 패널 내에 일체화되도록 구성된 터치 센서를 포함하고, 접촉 감응 소자는 표시 패널 하부에 배치될 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 더욱 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 실시예로 국한되는 것은 아니고, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100: 접촉 감응 소자
110: 기판
121: 전기 활성 폴리머 코팅층
122, 222, 322: 전기 활성층
323: 중간 코팅층
131, 231, 341: 상부 롤러
132, 232, 342: 하부 롤러
233: 도전성 코팅층
130: 전극
500: 표시 장치
510: 하부 커버
520: 표시 패널
530: 터치 패널
540: 상부 커버

Claims (25)

  1. 기판 상에 전기 활성 폴리머 용액을 도포하여 전기 활성 폴리머 코팅층을 형성하는 단계;
    핫-프레스 롤러를 사용하여 상기 전기 활성 폴리머 코팅층을 가열 및 가압시키는 동시에 전압을 인가하여 전기 활성층을 형성하는 단계; 및
    상기 전기 활성층 상에 전극을 형성하는 단계를 포함하는 접촉 감응 소자의 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 전기 활성층을 형성하는 단계는 상기 전기 활성 폴리머 코팅층에 상기 전기 활성 폴리머의 녹는점(melting point) 이상의 온도를 인가하는 단계를 포함하는 접촉 감응 소자의 제조 방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 전기 활성층을 형성하는 단계는 상기 전기 활성 폴리머 코팅층에 1kg/cm 내지 50kg/cm의 압력을 인가하는 단계를 포함하는 접촉 감응 소자의 제조 방법.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 전기 활성층을 형성하는 단계는 핫-프레스 롤러를 통해 상기 전기 활성 폴리머 코팅층에 50V/㎛ 내지 500V/㎛으로 전압을 인가하는 단계를 포함하는 접촉 감응 소자의 제조 방법.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 핫-프레스 롤러는 전압 인가가 가능하도록 표면에 도전성 물질이 코팅된 접촉 감응 소자의 제조 방법.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 전기 활성층을 형성하는 단계 이전에, 상기 전기 활성 폴리머 코팅층을 핫-프레스 롤러에 통과시켜 예비적으로 가열 및 가압시키는 전처리 단계를 더 포함하는 접촉 감응 소자의 제조 방법.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 전기 활성 폴리머 용액은 PVDF 코폴리머 또는 PVDF 터폴리머를 포함하는 접촉 감응 소자의 제조 방법.
  9. 삭제
  10. 삭제
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  24. 삭제
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104678619A (zh) * 2015-03-23 2015-06-03 合肥鑫晟光电科技有限公司 一种滚压机及其滚压方法
JP7711047B2 (ja) * 2020-04-14 2025-07-22 大阪有機化学工業株式会社 圧電材料、圧電膜、および圧電材料用組成物
CN118373496B (zh) * 2024-04-02 2025-12-09 厦门百霖净水科技有限公司 一种电吸附导电电极片的加工方法

Family Cites Families (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA1043289A (en) * 1974-06-17 1978-11-28 Allen L. Taylor Poling machine
US6011855A (en) * 1997-03-17 2000-01-04 American Technology Corporation Piezoelectric film sonic emitter
US20050244016A1 (en) * 1997-03-17 2005-11-03 American Technology Corporation Parametric loudspeaker with electro-acoustical diaphragm transducer
US20040052387A1 (en) * 2002-07-02 2004-03-18 American Technology Corporation. Piezoelectric film emitter configuration
JP3702961B2 (ja) * 2002-10-04 2005-10-05 東洋通信機株式会社 表面実装型ｓａｗデバイスの製造方法
US7892466B2 (en) * 2004-08-19 2011-02-22 Univation Technologies, Llc Oxygen tailoring of polyethylene resins
US7834527B2 (en) * 2005-05-05 2010-11-16 SmartMotion Technologies, Inc. Dielectric elastomer fiber transducers
WO2009038501A1 (en) * 2007-09-17 2009-03-26 Micromuscle Ab Systems, device and object comprising electroactive polymer material, methods and uses relating to operation and provision thereof
JP2009155506A (ja) * 2007-12-27 2009-07-16 Sumitomo Rubber Ind Ltd 導電性エラストマー材料、該材料からなる導電性シートおよび導電性シームレスベルト
EP2239793A1 (de) * 2009-04-11 2010-10-13 Bayer MaterialScience AG Elektrisch schaltbarer Polymerfilmaufbau und dessen Verwendung
KR101908113B1 (ko) * 2009-11-16 2018-10-15 삼성전자 주식회사 전기활성 폴리머 엑츄에이터 및 그 제조방법
JP5714235B2 (ja) * 2010-03-11 2015-05-07 株式会社クレハ Ｐｖｄｆを含む無添加・無延伸の圧電体および圧電センサ
GB201015399D0 (en) * 2010-09-15 2010-10-27 Univ Bolton Piezoelectric polymer element and production method and apparatus therefor
KR101703281B1 (ko) * 2010-12-07 2017-02-06 삼성전자주식회사 다층 전기활성 폴리머 디바이스 및 그 제조방법
KR20140041727A (ko) * 2011-06-16 2014-04-04 바이엘 인텔렉쳐 프로퍼티 게엠베하 전기활성 중합체 액추에이터를 갖는 오디오 장치
JP6125852B2 (ja) 2012-02-01 2017-05-10 イマージョン コーポレーションＩｍｍｅｒｓｉｏｎ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ ハプティック効果のための偏心回転質量アクチュエータ最適化
KR20130101833A (ko) * 2012-03-06 2013-09-16 삼성전자주식회사 Ｐｖｄｆ계 폴리머 필름 제조방법 및 이를 이용한 적층형 폴리머 액츄에이터 제조방법
EP2870189A1 (de) * 2012-07-03 2015-05-13 Bayer Materialscience AG Verfahren zur herstellung eines mehrschichtigen dielektrischen polyurethanfilmsystems
DE102012222992A1 (de) * 2012-12-12 2014-06-12 Wacker Chemie Ag Herstellung dünner Siliconfolien
JP6071932B2 (ja) * 2013-04-01 2017-02-01 富士フイルム株式会社 電気音響変換フィルム
KR102225054B1 (ko) 2013-12-12 2021-03-08 엘지디스플레이 주식회사 햅틱 디스플레이
KR102143352B1 (ko) * 2013-12-13 2020-08-11 엘지디스플레이 주식회사 햅틱 일체형 터치스크린, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 표시장치
KR20150087753A (ko) * 2014-01-22 2015-07-30 제일모직주식회사 투명 도전체의 제조방법, 이에 사용되는 프레싱 롤, 이로부터 제조된 투명 도전체 및 이를 포함하는 표시장치
KR20160034746A (ko) * 2014-09-22 2016-03-30 울산대학교 산학협력단 고분자 막의 제조방법
KR102431597B1 (ko) * 2014-12-31 2022-08-11 엘지디스플레이 주식회사 전기활성 필름을 포함하는 접촉 감응 소자, 이를 포함하는 표시 장치 및 전기활성 필름의 제조 방법
EP3040388B1 (en) * 2014-12-31 2017-08-23 LG Display Co., Ltd. Touch sensitive device comprising electroactive film, display device comprising the same, and method of manufacturing the electroactive film
KR102399830B1 (ko) * 2015-03-16 2022-05-20 삼성디스플레이 주식회사 전기활성 폴리머 액츄에이터의 제조 방법
JP6404153B2 (ja) * 2015-03-19 2018-10-10 三菱製紙株式会社 光透過性導電材料
CN104760395B (zh) * 2015-05-06 2017-03-08 合肥京东方光电科技有限公司 一种压膜装置及压膜方法
CN105389058B (zh) * 2015-12-07 2018-11-06 上海中航光电子有限公司 一种集成触控显示面板和集成触控显示装置

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