KR102799112B1 - 건식 진공 펌프 및 펌핑 설비 - Google Patents

건식 진공 펌프 및 펌핑 설비 Download PDF

Info

Publication number
KR102799112B1
KR102799112B1 KR1020217032804A KR20217032804A KR102799112B1 KR 102799112 B1 KR102799112 B1 KR 102799112B1 KR 1020217032804 A KR1020217032804 A KR 1020217032804A KR 20217032804 A KR20217032804 A KR 20217032804A KR 102799112 B1 KR102799112 B1 KR 102799112B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
vacuum pump
auxiliary
pumping
auxiliary stator
stator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
KR1020217032804A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20210138676A (ko
Inventor
야닉 그르니에
Original Assignee
파이퍼 배큠
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 파이퍼 배큠 filed Critical 파이퍼 배큠
Publication of KR20210138676A publication Critical patent/KR20210138676A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102799112B1 publication Critical patent/KR102799112B1/ko
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C25/00—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
    • F04C25/02—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
    • F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
    • F04C18/123—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with radially or approximately radially from the rotor body extending tooth-like elements, co-operating with recesses in the other rotor, e.g. one tooth
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
    • F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
    • F04C18/126—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with radially from the rotor body extending elements, not necessarily co-operating with corresponding recesses in the other rotor, e.g. lobes, Roots type
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
    • F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
    • F04C18/14—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons
    • F04C18/18—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons with similar tooth forms
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/30—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members
    • F04C18/34—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members
    • F04C18/344—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members with vanes reciprocating with respect to the inner member
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/30—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members
    • F04C18/34—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members
    • F04C18/344—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members with vanes reciprocating with respect to the inner member
    • F04C18/3441—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members with vanes reciprocating with respect to the inner member the inner and outer member being in contact along one line or continuous surface substantially parallel to the axis of rotation
    • F04C18/3442—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members with vanes reciprocating with respect to the inner member the inner and outer member being in contact along one line or continuous surface substantially parallel to the axis of rotation the surfaces of the inner and outer member, forming the inlet and outlet opening
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C23/005—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of dissimilar working principle
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C28/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
    • F04C28/24—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids characterised by using valves controlling pressure or flow rate, e.g. discharge valves or unloading valves
    • F04C28/26—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids characterised by using valves controlling pressure or flow rate, e.g. discharge valves or unloading valves using bypass channels
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2220/00—Application
    • F04C2220/10—Vacuum
    • F04C2220/12—Dry running

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Abstract

본 발명은, 건식 진공 펌프(1)에 관한 것으로, 샤프트들(4) 중의 적어도 하나가 그를 통해 통과하는, 보조 스테이터(13), - 보조 스테이터(13)의 흡입구(17)를 진공 펌프(1)의 배출구(8)와 소통하는 펌핑 스테이지(3f)에 연결하는, 제어 가능한 흡입 밸브(15)를 갖도록 제공되는 흡입 통로(14), 및 - 상기 샤프트(4)에 의해 유지되는 적어도 하나의 보조 로터(16)로서, 상기 보조 로터(16)는, 보조 스테이터(13) 내에서의 그의 회전이, 제어 가능한 흡입 밸브(15)가 개방하도록 명령을 받을 때 펌핑 스테이지(3f) 내의 압력을 낮추기 위해, 보조 스테이터(13)의 흡입구(17)와 배출구(18) 사이에서 기체가 펌핑되는 것을 야기하도록, 구성되는 것인, 적어도 하나의 보조 로터(16)를 포함하는 것인, 건식 진공 펌프(1)에 관한 것이다. 본 발명은 또한, 진공 펌프(1)에 연결되는 로드록(loadlock)을 포함하는, 펌핑 설비에 관한 것이다.

Description

건식 진공 펌프 및 펌핑 설비
본 발명은, 예를 들어, 루츠(Roots) 타입 펌프, 클로(claw) 타입 펌프, 또는 스크류 타입 펌프인, 1차-진공 펌프와 같은, 건식 진공 펌프에 관한 것이다. 본 발명은, 진공 펌프에 연결되는 로드록(loadlock)을 포함하는, 펌핑 설비에 관한 것이다.
기체의 압축을 위해 필요한 전력은, 진공 펌프의 에너지 소비에서 중요한 파라미터들 중의 하나이다. 이러한 압축 전력은, 주로, 루츠 타입 또는 클로 타입의 복수-스테이지 1차-진공 펌프의 경우에서, 마지막 2개의 압축 스테이지에서 사용된다.
로드록 펌핑 적용은, 특히, 상대적으로 높은 에너지 소비를 갖는다. 로드록은, 챔버 내의 임의의 불순물의 존재를 방지하도록 하기 위해, 낮은 압력으로 유지되는 처리 챔버 내로의 그의 방출 이전에, 기판(substrate) 주변의 압력을 낮추기 위해 사용된다. 그에 따라, 기판의 각각의 로딩은, 교호반복적으로 로드록의 격실 내의 압력을 낮추는 것 및 이어서 올리는 것을 필요로 한다. 각각의 압력의 낮춤 이후에, 로드록 내의 압력은, 기판이 처리 챔버 내로 전달될 때까지, 낮춰져 유지된다. 낮은 압력에서의 이러한 휴지 상태(idle phase)는, 상대적으로 길 수 있으며, 그리고 에너지의 관점에서 비용이 많이 든다.
전기 에너지 소비를 줄이기 위한 하나의 공지의 해결책이, 예를 들어 로드록의 이러한 휴지 상태 도중에, 외부 펌핑 장치의 도움으로 마지막 압축 스테이지 내의 압력을 낮추는 것으로 이루어진다.
이러한 외부 펌핑 장치는, 예를 들어, 배출기, 다이어프램 펌프 또는 회전형 베인 펌프이다.
이것의 하나의 단점이, 사용하기에 복잡해지거나, 비용이 많이 들거나, 전기 에너지 또는 가스를 소비하는, 비대한 펌핑 시스템으로 이어질 수 있는, 2개의 별개의 펌핑 장치를 사용할 필요성이다.
유럽 특허출원공개공보 EP 1710440 A2 (2006.10.11.)
본 발명의 하나의 목적은, 종래 기술의 단점들 중의 하나가 적어도 부분적으로 해소되는 것을 가능하게 하는 건식 진공 펌프를 제공하는 것이다.
이를 위해, 본 발명은, 건식 진공 펌프로서:
- 적어도 하나의 펌핑 스테이지,
- 개별적으로 상기 적어도 하나의 펌핑 스테이지 내에서 연장되는, 적어도 하나의 로터를 유지하는 2개의 회전 샤프트로서, 상기 로터들은, 진공 펌프의 흡입구와 배출구 사이에서 펌핑되어야 할 기체를 추진하기 위해 서로 반대 방향으로 동기화된 방식으로 회전하도록 구성되는 것인, 2개의 회전 샤프트
를 더 포함하는 것인, 건식 진공 펌프에 있어서,
- 상기 샤프트들 중의 적어도 하나가 그를 통해 통과하는, 보조 스테이터,
- 상기 보조 스테이터의 흡입구를 진공 펌프의 배출구와 소통하는 펌핑 스테이지에 연결하는, 제어 가능한 흡입 밸브를 갖도록 제공되는 흡입 통로, 및
- 상기 샤프트에 의해 유지되는 적어도 하나의 보조 로터로서, 상기 보조 로터는, 상기 보조 스테이터 내에서의 그의 회전이, 제어 가능한 흡입 밸브가 개방하도록 명령을 받을 때 상기 펌핑 스테이지 내의 압력을 낮추기 위해, 상기 보조 스테이터의 흡입구와 배출구 사이에서 기체가 펌핑되는 것을 야기하도록, 구성되고, 상기 적어도 하나의 보조 로터 및 상기 보조 스테이터는, 상기 제어 가능한 흡입 밸브가 폐쇄하도록 명령을 받을 때 배출구와 소통하는 상기 펌핑 스테이지로부터 유동적으로 격리되는 것인, 적어도 하나의 보조 로터
를 포함하는 것을 특징으로 하는 건식 진공 펌프로 이루어진다.
따라서, 진공 펌프의 로터들을 구동하는 샤프트들의 회전은 또한, 제어 가능한 흡입 밸브가 개방하도록 명령을 받을 때 진공 펌프의 배출 펌핑 스테이지 내의 압력을 낮추도록, 적어도 하나의 보조 로터의 회전을 구동하기 위해 사용된다. 진공 펌프의 전기 소비는 이때, 진공 펌프 외부의 펌핑 장치를 필요로 하지 않는 가운데, 감소될 수 있다. 제어 가능한 흡입 밸브가 폐쇄하도록 명령을 받을 때, 보조 로터는, 진공 펌프의 작동을 방해하지 않는 가운데, 보조 스테이터 내에서 자체를 시동한다. 보조 펌핑 스테이지는 그에 따라, 우회되며, 그리고 더 이상 기체의 펌핑에 참여하지 않는다.
개방하도록 제어 가능한 흡입 밸브에 명령하는 것은, 또한, 정확한 순간의 그리고 선택된 지속기간 동안의 배출 펌핑 스테이지 내의 압력의 낮춤을 가능하게 한다. 그에 따라, 제어 가능한 흡입 밸브의 사용은, 작동의 큰 유연성을 초래한다.
그에 따라, 진공 펌프는, 콤팩트하고, 설치하기에 간단하며, 그리고 제어하기에 간단하다.
진공 펌프는, 예를 들어, 대기압으로 기체를 방출하도록 구성되는, 1차-진공 펌프이다. 로터들은, 예를 들어 루츠 타입 또는 클로 타입의 것이다.
보조 스테이터의 배출구는, 제어 가능한 배출 밸브와 함께 조립되는 보조 배출 통로에 의해, 진공 펌프의 배출구와 소통 상태에 놓일 수 있을 것이다. 제어 가능한 배출 밸브와 더불어, 배출 스테이지 내의 압력을 낮추기 위해 사용되지 않을 때 적어도 하나의 보조 로터를 진공 하에 유지하는 것이 가능하다. 적어도 하나의 보조 로터는, 기체의 새로운 진입을 동반하지 않는 가운데, 매우 적은 에너지를 소모하거나 전혀 소모하지 않는 가운데, 그리고 진공 펌프의 적어도 하나의 펌핑 스테이지 내에서의 펌핑을 방해하지 않는 가운데, 자체를 시동한다.
진공 펌프는, 진공 펌프의 흡입 압력 및/또는 진공 펌프에 의해 소비되는 전력의 측정치의 함수로서, 개방하도록 제어 가능한 흡입 밸브 및/또는 제어 가능한 배출 밸브에 명령하도록 구성되는, 제어 유닛을 포함할 수 있을 것이다.
다른 예에 따르면, 진공 펌프에 연결되는, 로드록과 같은, 격실이, 제어 가능한 흡입 밸브 및/또는 제어 가능한 배출 밸브의 제어 수단을 포함한다. 이러한 수단은, 예를 들어 로드록이 휴지 상태에 놓일 때, 예를 들어 휴지 상태의 시작 및 종료 시에 사전 규정된 지속시간에 걸쳐, 개방하도록 제어 가능한 흡입 밸브 및/또는 제어 가능한 배출 밸브에 명령한다. 제어 가능한 밸브들은 또한, 예를 들어 전력이 전력 임계치 아래로 떨어지자마자, 폐쇄하도록 명령을 받을 수 있을 것이다.
제1 실시예에 따르면, 보조 스테이터는, 자체를 통해 통과하는 2개의 샤프트를 구비하고, 진공 펌프는, 보조 스테이터 내에 배열되며 그리고 개별적인 샤프트에 의해 유지되는 2개의 보조 로터를 포함하며, 보조 로터들은 서로 반대 방향으로 동기화된 방식으로 회전하도록 구성된다. 보조 로터들은, 예를 들어 루츠 타입, 스크류 타입 또는 클로 타입의 것이다. 이러한 실시예에서, 보조 스테이터는, 부가적인 건식 펌핑 스테이지와 유사하다.
제2 실시예에 따르면, 보조 스테이터는, 진공 펌프의 오일 케이스 내에 형성되고, 진공 펌프는, 진공 펌프의 동기화 기어의 개별적인 톱니 형성 휠에 의해 형성되는 2개의 보조 로터를 포함하며, 동기화 기어는, 보조 스테이터와 함께 기어 펌프를 형성하고, 동기화 기어는 추가로, 샤프트들의 회전을 동기화하도록 구성된다. 이러한 실시예에서, 샤프트들의 동기화를 위해 이미 존재하는 동기화 기어는, 배출 스테이지 내의 압력을 낮출 필요가 있을 때, 부가적인 펌핑 수단으로서 사용된다.
제3 실시예에 따르면, 보조 로터는, 보조 스테이터와 함께, 진공 펌프의 오일 케이스의 챔버 내에 수용되는 회전형 베인 펌프를 형성하는, 회전형 베인 펌프 로터이다. 이러한 실시예에서, 통합된 회전형 베인 펌프를 갖는 진공 펌프는, 매우 우수한 압축비와 더불어 배출 스테이지의 압력을 낮추는 것을 가능하게 한다.
본 발명은 또한, 로드록 내의 압력을 교호반복적으로 낮추고 올리기 위해 로드록에 연결되는, 이상에 설명된 바와 같은 건식 진공 펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는, 로드록을 포함하는 펌핑 설비를 구성한다.
다른 이점들 및 특징들이, 본 발명의 하나의 예시적이지만 제한적이지 않은 예의 설명을 읽는 것에 기초하여 그리고 첨부 도면으로부터 명백해질 것이다:
도 1은 펌핑 설비에 대한 도면을 나타낸다.
도 2는, 제1 실시예에 따른, 도 1로부터의 설비의 건식 1차-진공 펌프의 도면을 나타낸다.
도 3은, 제2 실시예에 따른, 건식 1차-진공 펌프의 도면을 나타낸다.
도 4는 오일 케이스의 레벨에서 도 3으로부터의 진공 펌프의 A-A 선 단면도를 도시한다.
도 5는, 제3 실시예에 따른, 건식 1차-진공 펌프의 도면을 나타낸다.
도 6은 오일 케이스의 레벨에서 도 5로부터의 진공 펌프의 A-A 선 단면도를 도시한다.
뒤따르는 설명은, 예들이다. 비록 설명이 하나 이상의 실시예를 참조하지만, 이는 반드시, 각각의 참조가 동일한 실시예에 관련된다는 것, 또는 특징부들이 단지 하나의 실시예에만 적용된다는 것을 의미하지 않는다. 여러 실시예들의 단일 특징부들이 또한, 다른 실시예들을 제공하기 위해, 조합되거나, 또는 교환될 수 있을 것이다.
1차-진공 펌프가, 2개의 로터의 도움으로, 흡입, 전달, 이어서 대기압으로 펌핑될 기체를 방출하는, 용적형 진공 펌프로서 정의된다.
도 1은, 로드록(101) 및 로드록(101) 내의 압력을 교호반복적으로 낮추고 올리기 위해 로드록(101)에 연결되는 건식 진공 펌프(1)를 포함하는, 펌핑 설비(100)를 도시한다. 로드록(101)은, 처리 챔버 내의 임의의 불순물의 존재를 방지하도록 하기 위해, 낮은 압력으로 유지되는 처리 챔버 내로의 그의 방출 이전에, 기판(substrate) 주변의 압력을 낮추기 위해 사용된다. 기판은, 예를 들어, 평판 패널 디스플레이 또는 광전지 기판 또는 반도체 웨이퍼 또는 반도체 제조용 포토마스크이다.
진공 펌프(1)는, 대기압으로 기체를 방출하도록 구성되는, 1차-진공 펌프이다.
도 2에서 확인될 수 있는 바와 같이, 진공 펌프(1)는, 적어도 하나의 펌핑 스테이지(3a-3f) 및 2개의 회전 샤프트(4)를 포함한다.
샤프트들(4)은 개별적으로, 적어도 하나의 펌핑 스테이지(3a-3f) 내로 연장되는 적어도 하나의 로터(5)를 유지한다.
예시적인 예에서, 진공 펌프(1)는, 진공 펌프(1)의 흡입구(7)와 배출구(8) 사이에 직렬로 장착되며 그리고 펌핑될 기체가 그 내부에서 순환할 수 있는, 6개와 같은, 복수의 펌핑 스테이지(3a, 3b, 3c, 3d, 3e, 3f)를 구비한다.
각 펌핑 스테이지(3a-3f)는, 로터들(5)을 수용하는 압축 챔버에 의해 형성되고, 챔버들은, 개별적인 흡입구 및 개별적인 배출구를 구비한다. 연속적인 펌핑 스테이지들(3a-3f)은, 이전 펌핑 스테이지의 배출구를 다음 펌핑 스테이지의 흡입구에 연결하는 개별적인 스테이지-간 통로들에 의해, 직렬로 차례차례 연결된다.
이러한 유형의 복수 스테이지 펌프에서, 그의 흡입구가 진공 펌프(1)의 흡입구(7)와 소통하는, 제1 펌핑 스테이지(3a)는, 또한, 흡입 스테이지로 지칭된다. 그의 배출구가 진공 펌프(1)의 배출구(8)와 소통하는, 마지막 펌핑 스테이지(3f)는, 또한, 방출 스테이지로 지칭되고, 방출 압력은 대체로, 주변(또는 대기) 압력의 정도이다.
작동 시, 로터들(5)은, 흡입구(7)와 배출구(8) 사이에서 펌핑될 기체를 추진하기 위해, 각 스테이지 내에서 반대 방향으로 동기화된 방식으로 회전한다. 회전 도중에, 흡입구로부터의 흡인되는 기체는, 진공 펌프(1)의 로터들(5) 및 스테이터(9)에 의해 생성되는 용적 내에 포획되며, 그리고 이어서 로터들(5)에 의해 다음 스테이지를 향해 추진된다(펌핑되는 기체의 순환 방향은 도 1 및 도 2에서 화살표들에 의해 도시됨).
로터들(5)은 예를 들어, 예를 들어 8자 또는 콩 형상의 단면을 갖는, 예를 들어 루츠 타입의, 클로 타입의, 또는 스크류 타입의, 다른 유사한 용적형 진공 펌프 원리에 따른, 동일한 윤곽을 갖는 로브들을 구비한다.
로터들(5)을 유지하는 샤프트들(4)은, 진공 펌프(1)의 모터(M)에 의해 구동된다. 이들은, 진공 펌프(1)의 적어도 하나의 오일 케이스(10) 내에 수용되는 윤활제에 의해 윤활되는 베어링들에 의해 지지되며 그리고, 또한 윤활되는, 동기화 기어(6)에 의해 동기화된다. 샤프트들(4)이 그 내부에서 항상 회전할 수 있는 밀봉 수단이, 오일 케이스(10)를 건식 펌핑 부분으로부터 격리한다.
일 실시예에 따르면, 진공 펌프(1)는, 마지막 펌핑 스테이지(3f)의 배출구를 배출구(8)에 연결하는, 메인 배출 통로(11)를 구비한다. 체크 밸브(12)가, 펌핑된 기체의 진공 펌프(1) 내로의 복귀를 방지하기 위해, 메인 배출 통로(11) 내에 배열될 수 있을 것이다.
진공 펌프(1)는 추가로, 보조 스테이터(13), 제어 가능한 흡입 밸브(15)를 갖도록 제공되는 흡입 통로(14), 및 보조 스테이터(13) 내에 배열되는 적어도 하나의 보조 로터(16)를 포함한다.
보조 스테이터(13)는, 흡입구(17) 및 배출구(18)를 포함한다. 보조 스테이터는, 자체를 통해 통과되는 샤프트들(4) 중의 적어도 하나를 구비한다.
흡입 통로(14)는, 예를 들어 진공 펌프(1)의 흡입구의 레벨에서, 진공 펌프(1)의 배출구(8)와 소통하는 펌핑 스테이지(3f)에, 보조 스테이터(13)의 흡입구(17)를 연결한다. 이러한 스테이지는, 복수 스테이지 진공 펌프(1)의 경우에서, 펌핑된 기체의 유동 방향에서 마지막 스테이지이거나, 또는 단일 스테이지 스크류 타입 진공 펌프의 경우에 펌핑된 기체의 유동 방향에서 최종 스크류 피치들에 의해 형성된다.
적어도 하나의 보조 로터(16)는, 보조 스테이터(13)를 통해 통과하는 샤프트(4)에 의해 유지된다. 이는, 보조 스테이터(13) 내에서의 그의 회전이, 제어 가능한 흡입 밸브(15)가 개방하도록 명령을 받을 때 배출구(8)와 소통하는 펌핑 스테이지(3f) 내의 압력을 낮추기 위해, 보조 스테이터(13)의 흡입구(17)와 배출구(18) 사이에서 기체가 펌핑되는 것을 야기하도록, 구성된다. 적어도 하나의 보조 로터(16) 및 보조 스테이터(13)는, 제어 가능한 흡입 밸브(15)가 폐쇄하도록 명령을 받을 때, 배출구(8)와 소통하는 펌핑 스테이지(3f)로부터 유동적으로 격리된다.
따라서, 진공 펌프(1)의 로터들(5)을 구동하는 샤프트들(4)의 회전은 또한, 제어 가능한 흡입 밸브(15)가 개방하도록 명령을 받을 때 진공 펌프(1)의 배출 펌핑 스테이지(3f) 내의 압력을 낮추도록, 적어도 하나의 보조 로터(16)의 회전을 구동하기 위해 사용된다. 진공 펌프(1)의 전기 소비는 이때, 진공 펌프(1) 외부의 펌핑 장치를 필요로 하지 않는 가운데, 감소될 수 있다. 제어 가능한 흡입 밸브(15)가 폐쇄하도록 명령을 받을 때, 보조 로터는, 진공 펌프의 작동을 방해하지 않는 가운데, 보조 스테이터 내에서 자체를 시동한다. 보조 펌핑 스테이지는 그에 따라, 우회되며, 그리고 더 이상 기체의 펌핑에 참여하지 않는다.
진공 펌프는, 콤팩트하고, 설치하기에 간단하며, 그리고 제어하기에 간단하다.
제어 가능한 흡입 밸브(15)는, 예를 들어, 공압 밸브 또는, 솔레노이드, 예를 들어 전자기 밸브 또는 압전 밸브, 특히 온/오프 밸브이고: 이는, 개방되거나 폐쇄된다.
제어 가능한 흡입 밸브(15)를 제어하기 위해, 진공 펌프(1)는, 하나 이상의 컨트롤러, 마이크로컨트롤러, 또는 프로세서, 그리고 메모리를 포함하는, 제어 유닛(19)을 포함할 수 있을 것이다.
제어 유닛(19)은, 예를 들어, 진공 펌프(19)의 흡입 압력 및/또는 진공 펌프(1)에 의해 소비되는 전력의 측정치의 함수로서, 제어 가능한 흡입 밸브(15)의 개방을 제어하도록 구성된다.
이를 위해, 제어 유닛(19)은, 예를 들어 진공 펌프(1)의 흡입 압력이 저압 임계치를 교차하는 경우 및/또는 모터(M)의 전력(또는 전류)가 사전 결정된 시간 동안 전력 임계치를 초과하는 경우, 압력의 교차 및/또는 전력 임계치를 모니터링한다. 이러한 상황은 일반적으로, 저압에서의 로드록(101)의 휴지 상태에 대응하고, 진공 펌프(1)는, 제한 진공 펌핑 상황에, 또는 저압에서의 낮은 정화 유동(low purging flow)을 펌핑하는 상황에, 놓인다.
다른 예에 따르면, 로드록(101)은, 직접적으로 제어 가능한 흡입 밸브(15)를 제어할 수 있는 또는 제어 가능한 흡입 밸브(15)를 제어하기 위해 진공 펌프(1)의 제어 유닛(19)에 연결될 수 있는, 제어 가능한 흡입 밸브(15)를 위한 제어 수단(102)을 포함한다.
제어 수단(102)은, 예를 들어 로드록(101)이 휴지 상태에 놓일 때, 제어 가능한 흡입 밸브(15)에 개방하도록 명령한다. 제어 수단(102)은, 예를 들어 전기 스위치로부터 유래하는 신호, 또는 수치적 코드일 수 있을 것이다.
제어 가능한 흡입 밸브(15)는, 제한된 시간 기간 동안, 말하자면 예를 들어 5분 미만의 사전 규정된 지속시간 동안, 개방하도록 명령을 받을 수 있을 것이다. 제어 가능한 흡입 밸브(15)는, 휴지 상태의 시작 및 종료 시에, 촉발될 수 (개방하도록 명령을 받을 수) 있을 것이다. 제어 가능한 흡입 밸브(15)는 또한, 예를 들어 전력이 전력 임계치 아래로 떨어지자마자, 폐쇄하도록 명령을 받을 수 있을 것이다.
개방하도록 제어 가능한 흡입 밸브(15)에 명령하는 것은, 정확한 순간의 그리고 선택된 지속기간 동안의 배출 펌핑 스테이지(3f) 내의 압력의 낮춤을 가능하게 한다. 그에 따라, 제어 가능한 흡입 밸브(15)의 사용은, 작동의 큰 유연성을 달성한다.
일 실시예에 따르면, 보조 스테이터(13)의 배출구(18)는, 제어 가능한 배출 밸브(21)를 갖도록 제공되는 보조 배출 통로(20)에 의해, 진공 펌프(1)의 배출구(8)와 소통 상태에 놓인다.
보조 배출 통로(20)의 배출구는, 예를 들어, 펌핑된 기체의 유동 방향으로 메인 배출 통로(11)의 체크 밸브(12) 하류에서, 진공 펌프(1)의 배출구(8)에 연결된다. 메인 배출 통로(11) 및 보조 배출 통로(20)의 배출구들은, 독립적이다.
제어 가능한 배출 밸브(21)의 제어는, 제어 가능한 흡입 밸브(15)의 제어와 연결되며; 2개의 밸브(15, 21)는, 동시에, 동일한 수단에 의해, 가능하게는, 보조 스테이터(13)의 용적을 이를 격리하기 이전에 비우기 위해, 흡입 밸브(15) 바로 이후에 배출 밸브(21)의 폐쇄를 또는 흡입 밸브(15) 바로 이전에 배출 밸브(21)의 개방을 가능하게 하도록 작은 오프셋을 동반하는 가운데, 개방하도록 그리고 폐쇄하도록 명령을 받는다.
제어 가능한 배출 밸브(21)는, 그에 따라, 예를 들어 진공 펌프(1)의 흡입 압력 및/또는 진공 펌프(1)에 의해 소비되는 전력의 측정치의 함수로서, 제어 유닛(19)에 의해, 또는 예를 들어 로드록(101)이 휴지 상태에 놓일 때 로드록(101)의 제어 수단(102)에 의해, 개방하도록 명령을 받을 수 있을 것이다.
적어도 하나의 보조 로터(16)는, 그에 따라, 배출 스테이지 내의 압력을 낮추기 위해 사용되고 있지 않을 때, 진공 하에서 유지될 수 있다. 적어도 하나의 보조 로터(16)는, 기체의 새로운 진입을 동반하지 않는 가운데, 매우 적은 에너지를 소모하거나 전혀 소모하지 않는 가운데, 그리고 진공 펌프(1)의 펌핑 스테이지들(3a-3f) 내에서의 펌핑을 방해하지 않는 가운데, 자체를 시동한다.
도 2에 나타난 제1 실시예에 따르면, 진공 펌프(1)는, 보조 스테이터(13) 내에 배열되는, 2개의 보조 로터(16)를 포함한다. 보조 로터들(16)은, 개별적인 샤프트(4)에 의해 유지되고, 진공 펌프(1)의 2개의 샤프트(4)는, 보조 스테이터(13)를 통해 통과한다. 보조 로터들(16)은, 보조 스테이터(13)의 흡입구(17)와 배출구(18) 사이에서 펌핑될 기체를 추진하기 위해, 반대 방향으로 동기화된 방식으로 회전하도록 구성된다.
보조 로터들(16)은, 예를 들어, 루츠 타입, 스크류 타입, 또는 클로 타입이다.
보조 스테이터(13)는, 예를 들어, 진공 펌프(1)의 배출 펌핑 스테이지(3f)의 스테이터(9)의 치수들과 유사하거나 또는 그보다 작은 치수들을 갖는다. 보조 스테이터는, 예를 들어, 배출 스테이지의 스테이터(9)보다 더 얇거나, 또는 샤프트들(4)은, 보조 스테이터(13) 내에서 더 큰 직경을 가질 수 있을 것이다.
보조 스테이터(13)는, 예를 들어, 펌핑 스테이지들(3a-3f)의 단부에, 예를 들어 배출 펌핑 스테이지(3f)에 나란하게, 예를 들어 오일 케이스(10)와 펌핑 스테이지(3f) 사이에 배치되도록, 배열된다. 보조 스테이터(13)는 또한, 2개의 연속적인 펌핑 스테이지(3a-3f) 사이에, 예를 들어 마지막 펌핑 스테이지(3f)와 끝에서 2번째의 펌핑 스테이지(3e) 사이에, 배치될 수 있을 것이다.
이러한 실시예에서, 보조 스테이터(13)는, 배출 스테이지 내의 압력을 낮추기 위해 필요할 때에만 사용되는, 부가적인 건식 펌핑 스테이지와 유사하다.
도 3 및 도 4에 나타난 제2 실시예에 따르면, 진공 펌프(1)는, 동기화 기어(6)의 개별적인 톱니 형성 휠(31)에 의해 형성되는, 보조 스테이터(22) 내에 배열되는 2개의 보조 로터(16)를 포함한다.
동기화 기어(6)의 톱니 형성 휠들(31)은, 개별적인 샤프트(4)에 의해 유지되고, 진공 펌프(1)의 2개의 샤프트(4)는, 오일 케이스(10) 내에 형성되는 보조 스테이터(22)를 통해 통과한다.
톱니 형성 휠들(31)은, 샤프트들(4)의 회전을 동기화하도록 그리고 보조 스테이터(22)의 흡입구(17)와 배출구(18) 사이에서 펌핑될 기체를 추진하도록, 구성된다. 동기화 기어(6)의 톱니 형성 휠들(31)은 그에 따라, 보조 스테이터(22)와 함께, 기어 펌프를 형성한다.
기어 펌프는, 펌핑될 기체를 추진하기 위해, 2개의 톱니 형성 휠(31)의 조합된 윤곽을 활용한다. 작동 시, 펌핑될 기체는, 각각의 톱니 형성 휠(31)의 톱니들과 보조 스테이터(22) 사이에 수용된다. 반대 방향의 톱니 형성 휠들(31)의 회전은, 톱니 형성 휠들(31)의 외부 둘레로 기체를 추진한다.
이러한 실시예에서, 샤프트들(4)의 동기화를 위해 이미 존재하는 동기화 기어(6)는, 배출 스테이지 내의 압력을 낮출 필요가 있을 때, 부가적인 펌핑 수단으로서 사용된다.
건식 펌핑 부분 내로의 윤활제의 이동을 방지하기 위해, 보조 스테이터(22)의 흡입구(17)와 제어 가능한 흡입 밸브(15) 사이에 오일 포획부(oil trap)를 부가하는 것이, 가능하다.
도 5 및 도 6에 나타난 제3 실시예에 따르면, 보조 로터(23)는, 회전형 베인 펌프 로터이다.
보조 로터(23)는, 보조 스테이터(24)와 함께, 진공 펌프(1)의 오일 케이스(10)의 챔버(25) 내에 수용되는, 회전형 베인 펌프를 형성한다.
그 자체로 공지된 방식으로, 그리고 도 6의 예에서 확인될 수 있는 바와 같이, 회전형 베인 펌프 로터는, 이들을 서로로부터 밀어내는 스프링에 의해 서로 연결되는, 슬롯 내에서 슬라이딩하는 2개의 베인(26)을 포함한다. 회전형 베인 펌프 로터는, 보조 스테이터(24)의 실린더 내에서 편심 방식으로 회전한다. 보조 스테이터(24)는, 오일 케이스(10)의 챔버(25) 내에 수용되는, 오일과 같은, 액체 윤활제(27) 내에 수용된다. 보조 스테이터(24)의 흡입구(17)는, 챔버(25) 내로 방출하며, 그리고 액체 윤활제(27)로부터 격리된다. 보조 스테이터(24)의 배출구(18)는, 액체 윤활제(27) 내에 잠기는 릴리프 밸브(또는 체크 밸브)(29)를 갖도록 제공된다.
여기서, 회전형 베인 펌프 로터는, 보조 스테이터(24)를 통해 통과하는 진공 펌프(1)의 샤프트(4)에 의해 유지되고 회전 구동된다.
작동 시, 보조 로터(23) 및 보조 스테이터(24)에 의해 한정되는 용적은, 흡입구(17)에서 기체를 흡인하기 위해 증가함으로써 시작된다. 흡인 용적은, 베인들(26)이 수직 위치에 놓일 때, 최대이다. 이러한 용적은 이어서, 베인들(26)의 회전과 더불어 감소하며, 그에 따라 포획된 기체의 압력을 증가시키도록 한다. 이러한 기체는 이어서, 배출구(18)로 배기된다. 기체는, 릴리프 밸브(29)를 통해 탈출하며 그리고, 액체 윤활제(27)를 통해, 보조 배출 통로(20)에 연결되는 챔버(25)의 배출구(30)로 상승한다.
통합된 회전형 베인 펌프를 갖는 진공 펌프(1)는, 매우 우수한 압축비와 더불어 배출 스테이지의 압력을 낮추는 것을 가능하게 한다.
건식 펌핑 부분 내로의 윤활제의 이동을 방지하기 위해, 보조 스테이터(24)의 흡입구(17)와 제어 가능한 흡입 밸브(15) 사이에 오일 포획부를 부가하는 것이, 가능하다.

Claims (11)

  1. 건식 진공 펌프(1)로서:
    - 적어도 하나의 펌핑 스테이지(3a, 3b, 3c, 3d, 3e, 3f),
    - 개별적으로 상기 적어도 하나의 펌핑 스테이지(3a, 3b, 3c, 3d, 3e, 3f) 내에서 연장되는, 적어도 하나의 로터(5)를 지지하는 2개의 회전 샤프트(4)로서, 상기 로터들(5)은, 진공 펌프(1)의 흡입구(7)와 배출구(8) 사이에서 펌핑되어야 할 기체를 구동하기 위해 서로 반대 방향으로 동기화된 방식으로 회전하도록 구성되는 것인, 2개의 회전 샤프트(4)
    를 포함하는 것인, 건식 진공 펌프에 있어서,
    - 상기 회전 샤프트들(4) 중의 적어도 하나가 통과하는 보조 스테이터(13; 22; 24),
    - 상기 보조 스테이터(13; 22; 24)의 흡입구(17)를 진공 펌프(1)의 배출구(8)와 소통하는 펌핑 스테이지(3f)에 연결하는, 제어 가능한 흡입 밸브(15)를 갖도록 제공되는 흡입 통로(14), 및
    - 상기 회전 샤프트(4)에 의해 지지되는 적어도 하나의 보조 로터(16; 23)로서, 상기 제어 가능한 흡입 밸브(15)가 개방하도록 명령을 받을 때, 상기 보조 로터(16; 23)는 상기 보조 스테이터(13; 22; 24) 내에서의 상기 보조 로터(16; 23)의 회전이 상기 보조 스테이터(13; 22; 24)의 흡입구(17)와 배출구(18) 사이에서 기체를 펌핑하도록 하여 상기 펌핑 스테이지(3f) 내의 압력을 낮추도록 구성되고, 상기 제어 가능한 흡입 밸브(15)가 폐쇄하도록 명령을 받을 때, 상기 적어도 하나의 보조 로터(16; 23) 및 상기 보조 스테이터(13; 22; 24)는 상기 배출구(8)와 소통하는 상기 펌핑 스테이지(3f)로부터 유동적으로 격리되는 것인, 적어도 하나의 보조 로터(16; 23)
    를 더 포함하는 것인 건식 진공 펌프.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 보조 스테이터(13)는 2개의 회전 샤프트(4)를 구비하고, 상기 2개의 회전 샤프트(4)는 상기 보조 스테이터(13)를 통과하며, 상기 진공 펌프(1)는, 상기 보조 스테이터(13) 내에 배열되고 개별적인 회전 샤프트(4)에 의해 지지되는 2개의 보조 로터(16)를 포함하며, 상기 보조 로터들(16)은 서로 반대 방향으로 동기화된 방식으로 회전하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 건식 진공 펌프.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 보조 로터들(16)은, 루츠 타입(roots type)인 것을 특징으로 하는 건식 진공 펌프.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 보조 스테이터(22)는, 진공 펌프(1)의 오일 케이스(10) 내에 형성되고, 상기 진공 펌프(1)는, 진공 펌프(1)의 동기화 기어(6)의 개별적인 톱니 형성 휠(31)에 의해 형성되는 2개의 보조 로터를 포함하며, 상기 동기화 기어(6)는 상기 보조 스테이터(22)와 함께 기어 펌프를 형성하고, 상기 동기화 기어(6)는 추가로, 상기 회전 샤프트들(4)의 회전을 동기화하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 건식 진공 펌프.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 보조 로터(23)는, 상기 보조 스테이터(24)와 함께, 진공 펌프(1)의 오일 케이스(10)의 챔버(25) 내에 수용되는 회전형 베인 펌프를 형성하는, 회전형 베인 펌프 로터인 것을 특징으로 하는 건식 진공 펌프.
  6. 제1항 내지 제5항 중의 어느 한 항에 있어서,
    상기 보조 스테이터(13; 22; 24)의 배출구(18)는, 제어 가능한 배출 밸브(21)를 갖도록 제공되는 보조 배출 통로(20)에 의해, 진공 펌프(1)의 배출구(8)와 소통 상태에 놓이는 것을 특징으로 하는 건식 진공 펌프.
  7. 제1항 내지 제5항 중의 어느 한 항에 있어서,
    상기 진공 펌프(1)는 대기압으로 기체를 방출하도록 구성되는, 1차-진공 펌프인 것을 특징으로 하는 건식 진공 펌프.
  8. 제1항 내지 제5항 중의 어느 한 항에 있어서,
    진공 펌프(1)의 흡입 압력 또는 진공 펌프(1)에 의해 소비되는 전력 중 적어도 하나의 측정치를 기초로 하여 상기 제어 가능한 흡입 밸브(15)를 개방하도록 명령하도록 구성되는 제어 유닛(19)을 포함하는 것을 특징으로 하는 건식 진공 펌프.
  9. 제1항 내지 제5항 중의 어느 한 항에 있어서,
    상기 로터들(5)은, 루츠 타입 또는 클로 타입인 것을 특징으로 하는 건식 진공 펌프.
  10. 로드록(101)을 포함하는 펌핑 설비(100)로서,
    상기 로드록(101) 내의 압력을 교호반복적으로 낮추고 올리기 위해 로드록(101)에 연결되는, 제1항 내지 제5항 중의 어느 한 항에 따른 건식 진공 펌프(1)를 포함하는 것을 특징으로 하는 펌핑 설비.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 로드록(101)은, 상기 로드록(101)이 휴지 상태에 있을 때 제어 가능한 흡입 밸브(15)를 개방하도록 명령하기 위해, 제어 가능한 흡입 밸브(15)의 제어 수단(102)을 포함하는 것을 특징으로 하는 펌핑 설비.
KR1020217032804A 2019-04-05 2020-03-30 건식 진공 펌프 및 펌핑 설비 Active KR102799112B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FRFR1903682 2019-04-05
FR1903682A FR3094762B1 (fr) 2019-04-05 2019-04-05 Pompe à vide de type sèche et installation de pompage
PCT/EP2020/058968 WO2020201218A1 (fr) 2019-04-05 2020-03-30 Pompe à vide de type sèche et installation de pompage

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20210138676A KR20210138676A (ko) 2021-11-19
KR102799112B1 true KR102799112B1 (ko) 2025-04-21

Family

ID=67185490

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020217032804A Active KR102799112B1 (ko) 2019-04-05 2020-03-30 건식 진공 펌프 및 펌핑 설비

Country Status (7)

Country Link
JP (1) JP7396561B2 (ko)
KR (1) KR102799112B1 (ko)
CN (1) CN113574277B (ko)
DE (1) DE112020001762T5 (ko)
FR (1) FR3094762B1 (ko)
TW (1) TWI826664B (ko)
WO (1) WO2020201218A1 (ko)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114593055A (zh) * 2020-12-07 2022-06-07 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 多级干式真空泵
WO2023223031A1 (en) * 2022-05-18 2023-11-23 Edwards Limited Multi-stage vacuum pump
WO2026040177A1 (zh) * 2024-08-20 2026-02-26 浙江飞越机电有限公司 复合罗茨转子和旋片转子的流体机械

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101351667B1 (ko) 2005-08-02 2014-01-14 에드워즈 리미티드 진공 펌프
US20140205482A1 (en) 2013-01-18 2014-07-24 Adixen Vacuum Products Multi-stage vacuum pump of the dry pump type

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6097395U (ja) * 1983-12-12 1985-07-03 大亜真空技研株式会社 ドライ真空ポンプ
GB8513684D0 (en) * 1985-05-30 1985-07-03 Boc Group Plc Mechanical pumps
JPS62243982A (ja) * 1986-04-14 1987-10-24 Hitachi Ltd ２段型真空ポンプ装置およびその運転方法
JP2003343469A (ja) * 2002-03-20 2003-12-03 Toyota Industries Corp 真空ポンプ
FR2883934B1 (fr) * 2005-04-05 2010-08-20 Cit Alcatel Pompage rapide d'enceinte avec limitation d'energie
WO2010069320A2 (en) * 2008-12-19 2010-06-24 Stobbe Tech A/S Biopharmaceutical plant in a column
JP2014029115A (ja) * 2010-11-17 2014-02-13 Ulvac Japan Ltd 真空排気装置の接続構造及び真空排気システム
GB2487376A (en) * 2011-01-19 2012-07-25 Edwards Ltd Two material pump stator for corrosion resistance and thermal conductivity
FR2993614B1 (fr) * 2012-07-19 2018-06-15 Pfeiffer Vacuum Procede et dispositif de pompage d'une chambre de procedes
PL3137771T3 (pl) * 2014-05-01 2020-10-05 Ateliers Busch S.A. Sposób pompowania w układzie pompującym i układ pomp próżniowych
DE202014005279U1 (de) * 2014-06-26 2015-10-05 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Vakuumpumpen-System
RU2670640C9 (ru) * 2014-09-26 2018-12-04 Ателье Буш Са Насосная система для создания вакуума и способ откачивания с использованием данной насосной системы

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101351667B1 (ko) 2005-08-02 2014-01-14 에드워즈 리미티드 진공 펌프
US20140205482A1 (en) 2013-01-18 2014-07-24 Adixen Vacuum Products Multi-stage vacuum pump of the dry pump type

Also Published As

Publication number Publication date
FR3094762B1 (fr) 2021-04-09
DE112020001762T5 (de) 2022-01-05
WO2020201218A1 (fr) 2020-10-08
CN113574277B (zh) 2023-06-30
KR20210138676A (ko) 2021-11-19
TWI826664B (zh) 2023-12-21
FR3094762A1 (fr) 2020-10-09
CN113574277A (zh) 2021-10-29
JP7396561B2 (ja) 2023-12-12
TW202041784A (zh) 2020-11-16
JP2022526413A (ja) 2022-05-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102713299B (zh) 具有低功耗的泵送方法和设备
KR102799112B1 (ko) 건식 진공 펌프 및 펌핑 설비
AU2014407987B2 (en) Pumping system for generating a vacuum and method for pumping by means of this pumping system
US11078910B2 (en) Pumping unit and use
CN103502650B (zh) 真空泵、真空排气装置及真空泵的运转控制方法
TWI753219B (zh) 乾式真空泵及用於控制真空泵的同步馬達之方法
JP4180265B2 (ja) 真空排気装置の運転方法
JP2011226368A (ja) 排気ユニット、及びドライ真空ポンプ装置
JP6615132B2 (ja) 真空ポンプシステム
RU2666720C2 (ru) Способ откачивания в системе вакуумных насосов и система вакуумных насосов
US5697771A (en) Vacuum pump with oil separator
AU2014406724B2 (en) Vacuum-generating pumping system and pumping method using this pumping system
KR102235562B1 (ko) 펌핑 시스템에서의 펌핑 방법 및 진공 펌프 시스템
US11815096B2 (en) Pump unit
JP2002070776A (ja) 複合型真空ポンプ
CN210949019U (zh) 组合泵泵体
JP2011226367A (ja) ドライ真空ポンプ装置
JPH04272492A (ja) 多段メカニカルブースタポンプ
RO121395B1 (ro) Dispozitiv de pompare, comprimare sau de vid
KR20170049236A (ko) 드라이진공펌프장치
HK1229406A1 (en) Pumping method in a system for pumping and system of vacuum pumps

Legal Events

Date Code Title Description
PA0105 International application

Patent event date: 20211012

Patent event code: PA01051R01D

Comment text: International Patent Application

PG1501 Laying open of application
E902 Notification of reason for refusal
PE0902 Notice of grounds for rejection

Comment text: Notification of reason for refusal

Patent event date: 20240809

Patent event code: PE09021S01D

E701 Decision to grant or registration of patent right
PE0701 Decision of registration

Patent event code: PE07011S01D

Comment text: Decision to Grant Registration

Patent event date: 20250331

GRNT Written decision to grant
PR0701 Registration of establishment

Comment text: Registration of Establishment

Patent event date: 20250417

Patent event code: PR07011E01D

PR1002 Payment of registration fee

Payment date: 20250417

End annual number: 3

Start annual number: 1

PG1601 Publication of registration