KR20020004814A

KR20020004814A - 반송시스템

Info

Publication number: KR20020004814A
Application number: KR1020010027193A
Authority: KR
Inventors: 후쿠시마마사즈미
Original assignee: 무라타 기카이 가부시키가이샤
Priority date: 2000-07-04
Filing date: 2001-05-18
Publication date: 2002-01-16
Also published as: JP2002019917A; SG89406A1; US20020048503A1; JP3558012B2; TW541269B

Abstract

공정내의 스태커크레인을 백업하기 위한 보조대차(20)를 설치하고, 평상시에는 통로(12)측에서 대기시킨다. 사용시에는 보조대차(20)에 매뉴얼대차(22)를 탑재시키고, 매뉴얼대차(22)로부터 보조대차(20)를 제어해서 공정내에서의 이동적재나 반송을 행한다.

공정내의 스태커크레인이 고장나도 매뉴얼대차를 보조대차에 탑재해서 공정내에 진입시킴으로써 백업할 수 있다.

Description

반송시스템{TRANSFER SYSTEM}

본 발명은 반도체공장이나 액정공장 등에 이용하는 반송시스템에서의 주반송장치의 백업에 관한 것이다.

반도체공장이나 액정공장 등에서는 1공정분의 처리장치의 열에 스태커 등을 추가해서 배치하고, 이들사이에서의 물품의 반송을 스태커크레인 등의 반송장치로 행하고, 공정간의 반송을 천정주행차나 유궤도대차 등의 다른 반송장치로 행하도록 한 반송시스템이 알려져 있다. 여기에서 스태커크레인에 트러블이 발생하면, 그 공정이 정지해버리고, 공장전체에 영향을 미치게 된다.

본 발명의 과제는 간단한 구성의 보조대차이며 또한 주반송장치의 주행레일을 이용해서 주반송장치의 고장시에 백업을 행하는 동시에, 보조대차가 주반송장치의 방해가 되지 않도록 하는 데에 있다.

또한, 보조대차와 자(子)대차의 구체적인 구성을 제공하는 데에 있다.

또, 매뉴얼대차의 통로상에서 보조대차에 매뉴얼대차가 탑재할 수 있도록 하고, 또한 매뉴얼대차측으로부터 보조대차를 제어할 수 있도록 하는 데에 있다.

도 1은 실시예의 반송시스템의 레이아웃을 나타낸 평면도이다.

도 2는 실시예에서의 문앞에서의 매뉴얼대차와 보조대차를 나타낸 사시도이다.

도 3은 실시예에서 보조대차상에 매뉴얼대차를 탑재시키고, 문안으로 진입하려고 하고 있는 모습을 나타낸 도이다.

도 4는 실시예에서 문안에서의 보조대차상의 매뉴얼대차를 나타낸 도이다.

도 5는 변형예에서의 통로내에서 대기하고 있는 보조대차와 매뉴얼대차를 나타낸 도이다.

도 6은 제2변형예의 레이아웃을 나타낸 평면도이다.

(부호의 설명)

2:공정 4:스태커크레인

6:주행레일 8:주행스페이스

9:문 10:이동스테이션

12:통로 14:천정주행차의 궤도

16:천정주행차 20,50:보조대차

22:매뉴얼대차 24:주행부

26:적재부 28,30:커넥터

32:안전울타리 격납부 34:트롤리선

36,38:커플러 40:이동적재장치

42:제어패널 44:오목부

46:물품 52:그레이팅바닥

54:구멍 56:호출스위치

본 발명은 평상시에는 주반송장치의 주행범위밖이며, 또한 상기 주반송장치의 주행레일을 따른 위치에서 대기하는 동시에, 주반송장치를 백업할 때에는 자대차를 싣고 상기 주행레일을 따라 주행하는 보조대차를 설치한 반송시스템에 있다.

바람직하게는 상기 자대차가 매뉴얼제어의 대차이고, 상기 보조대차의 대기위치가 상기 매뉴얼대차의 통로바닥아래이며, 또한 적어도 상기 통로의 바닥아래의 보조대차의 대기위치까지 상기 주행레일을 부설한다.

특히 바람직하게는 상기 보조대차에서의 상기 매뉴얼대차의 적재면의 높이를, 상기 통로의 바닥의 높이와 거의 동일레벨로 하고, 상기 매뉴얼대차로부터의 제어신호를 상기 보조대차로 전송하기 위한 커넥터를 설치하고, 그 커넥터를 상기 통로상에서 접속/분리가능하게 한다.

본 발명에서는 주반송장치를 백업할 필요가 있을 때, 보조대차에 자대차를 싣고 주반송장치의 주행레일을 따라 주행시켜 반송을 행한다. 그리고 보조대차는 평상시에는 주반송장치의 주행범위밖에서 대기시킨다. 이 때문에 주반송장치가 고장났을 때의 백업이 가능할 뿐만 아니라, 주반송장치의 주행레일을 보조대차의 주행으로 겸용할 수 있고, 평상시에는는 보조대차가 주반송장치의 방해가 되지 않는다. 또 백업시에는 보조대차에 자대차를 싣고 반송을 행하므로, 보조대차에 이동적재장치 등을 설치할 필요가 없고, 간단한 구조의 보조대차로 바람직하다.

또한, 매뉴얼제어의 대차를 자대차로서 이용하고, 매뉴얼대차의 통로의 바닥아래까지 주행레일을 연장해서, 매뉴얼대차의 통로의 바닥아래에서 보조대차를 대기시킨다. 이를 위해서, 보조대차의 대기용으로 여분의 공간을 할애할 필요가 없고, 백업시에는 매뉴얼대차를 보조대차상에 탑재하므로, 매뉴얼제어로 백업을 용이하게 행할 수 있고, 매뉴얼대차를 보조대차로부터 내린 후에는 매뉴얼대차로 물품을 반송할 수 있다.

또한, 보조대차에서의 매뉴얼대차의 적재면의 높이를 매뉴얼대차의 통로의 바닥의 높이와 거의 동일 레벨로 하고, 매뉴얼대차로부터 보조대차로 제어신호를 전송하기 위한 커넥터를 설치하고, 이 커넥터를 매뉴얼대차의 통로상에서 접속/분리가능하게 한다. 이 때문에, 매뉴얼대차의 통로상에서 커넥터를 접속해서 매뉴얼대차측으로부터 보조대차를 제어할 수 있고, 매뉴얼대차의 통로상에서 보조대차에 매뉴얼대차를 적재할 수 있다. 또 매뉴얼대차의 통로상에서 매뉴얼대차를 보조대차로부터 분리할 수 있다.

(실시예)

도 1 내지 도 4에 실시예를 나타낸다. 도 1에 실시예의 반송시스템의 전체구성을 나타내면, 2는 공정으로, 반도체의 제조나 액정패널의 제조, 또는 의약품의 제조 등에서의 정리된 하나의 공정을 의미한다. 각 공정에는 각종의 처리장치를 배열하는 동시에, 제작품을 보관하기 위한 스태커나 자동창고의 선반 등을 설치한다. 4는 스태커크레인으로, 공정(2)내에서의 제작품의 반송에 주반송장치로서 이용한다. 스태커크레인이외의 반송장치를 주반송장치로서 이용해도 좋다. 6은 주행레일이며, 8은 스태커크레인(4)의 주행스페이스이며, 9는 공정(2)의 문이다. 또 10은 후술하는 천정주행차로의 이동적재스테이션이고, 천정부근의 높이레벨로 설치되어 있다.

12는 공정(2)에 접한 통로이고, 14는 천정주행차의 궤도이며, 16은 상기 천정주행차이며, 이동적재스테이션(10)을 통해 스태커크레인(4)과의 사이에서 물품의 교환을 행한다. 이렇게 실시예에서는 공정내에서의 반송을 스태커크레인(4)으로 행하고, 공정간의 반송을 천정주행차(16)로 행한다. 도 1에서는 통로(12)의 우측에만 공정(2) 등을 나타냈지만, 통로(12)의 좌측에도 마찬가지로 공정(2) 등을 배치해도 좋다. 또 공정(2)이나 통로(12) 등은 클린룸안에 배치하고, 공정(2)측의 클린도를 통로(12)측 클린도보다 높게 하고, 통로(12)측으로부터 공정(2)측으로 먼지가 침입하는 것을 방지하기 위해 상기 문(9)을 이용한다.

20은 보조대차이며, 주행모터 등을 구비하고, 상기 주행레일(6)을 따라 주행할 수 있지만, 이동적재장치나 승강장치 등은 구비하고 있지 않은 간단한 대차로 한다. 그리고 보조대차(20)는 평상시에는 스태커크레인(4)의 주행범위의 밖에서, 예를 들면 도 1에 나타낸 바와 같이 통로(12)내에서 대기시킨다. 22는 매뉴얼대차이며, 통로(12)상을 이동하고, 사람이 직접 눌러 운동하는 수동으로 미는 대차이어도, 혹은 조종용 핸들 등과 배터리와 주행모터를 구비한 동력대차이어도 좋다. 매뉴얼대차(22)에는 종래적으로는, CCD카메라 등으로 주위의 풍경을 촬영하고, 컨트롤실로 촬영한 화상을 전송하고, 컨트롤실에서 매뉴얼에 의해 제어해서 운동하는것도 이용할 수 있다.

도 2에, 보조대차(20)와 매뉴얼대차(22)의 관계를 나타낸다. 보조대차(20)에는 주행부(24)가 있고, 여기에 주행모터나 차륜 등이 설치되어 있다. 보조대차(20)의 상부에는 판상의 적재부(26)가 있고, 주위의 통로(12)의 바닥과 마찬가지로 그레이팅처리를 해서 통로(12)내의 공간으로부터 바닥아래로의 기류를 확보할 수 있도록 한다. 그리고 적재부(26)의 상면을 주위의 통로(12)의 바닥면과 동일레벨의 높이로 하고, 주행레일(6)을 바닥면보다 낮은 위치에 부설한다. 28은 보조대차(20)측의 커넥터이며, 30은 매뉴얼대차(22)측의 커넥터이고, 커넥터(28, 30)를 접속하면 보조대차(20)로부터 매뉴얼대차(22)에 전력을 공급하는 동시에, 매뉴얼대차(22)측으로부터 보조대차(20)를 조종할 수 있게 된다.

32, 32는 보조대차(20)의 대기위치 양측의 안전울타리격납부이며, 보조대차(20)상에 매뉴얼대차(22)가 탑재하고, 공정(2)안으로 진입하면, 통로(12)에 구멍이 남게 되므로, 굴러떨어짐방지용 안전울타리를 격납하는 장소이다. 또 34는 주행레일(6)과 평행하게 설치한 트롤리선이며, 스태커크레인(4)이나 보조대차(20)로의 전력공급에 이용한다. 36은 고정 커플러, 38은 매뉴얼대차(22)에 설치한 커플러이며, 커플러(36, 38)를 결합하면, 보조대차(20)이외의 위치에서도 매뉴얼대차(22)로 급전할 수 있고, 슬라이드포크 등의 이동적재장치(40)를 구동할 수 있다. 42는 제어패널이며, 이동적재장치(40)를 제어하는 동시에, 커넥터(28, 30)를 접속한 경우, 보조대차(20)를 조종하기 위해 이용한다. 44는 공정(2)내의 스테이션에 설치한 오목부로, 그 상부에 물품(46)을 적재한다.

도 3, 도 4에 보조대차(20)로의 매뉴얼대차(22)의 탑재(도 3)나, 주행스페이스(8)내의 주행(도 4)을 나타낸다. 보조대차(20)의 적재부(26)는 통로(12)의 바다면과 같은 높이에 있고, 예를 들면 수동으로 밀려 온 매뉴얼대차(22)가 자연스럽게 적재부(26)에 탑재하도록 되어 있다. 그리고, 커넥터(28, 30)을 접속하면, 보조대차(20)와 매뉴얼대차(22)가 기구적으로 접속되고, 또한 제어패널(42)로부터 보조대차(20)를 조종할 수 있도록 된다. 또 적재부(26)상에 매뉴얼대차(22)를 위치결정하기 위한 차량궤도이탈방지장치를 설치해도 좋다. 매뉴얼대차(22)가 보조대차(20)상에 탑재하면, 제어패널(42)로부터 보조대차(20)를 제어해서, 공정(2)내로 진입시키고, 이동적재장치(40)를 이용해서 포크를 오목부(44)안에 끼워넣고, 물품(46)을 이동적재한다.

보조대차(20) 또는 매뉴얼대차(22) 중 어느 하나에 사람이 조종하기 위해 타기 위한 스페이스를 설치하는 것이 바람직하다. 클린룸내에서의 기류는 도 3, 도 4에 나타내듯이 클린에어(흰색화살표)가 그레이팅처리를 한 바닥이나, 적재부(26)의 그레이팅을 통해 흐르고, 바닥아래에서부터 검은색화살표와 같이 흡인된다. 보조대차(20)가 공정내로 진입하면, 통로(12)에는 보조대차(20)가 이동한 후에 구멍이 남게 되므로, 안전울타리격납부(32, 32)로부터 안전울타리를 꺼내서 셋트해 둔다.

이렇게 하면, 스태커크레인(4)에 트러블이 발생한 경우라도, 보조대차(20)와 간섭하지 않는 위치까지 후퇴할 수만 있으면, 보조대차(20)를 이용해서 물품의 반송이나 이동적재를 속행할 수 있다. 이 때문에, 문제의 공정을 정지할 필요가 없어지고, 공장전체로서의 생산의 지연을 최소한도로 줄일 수 있다. 또 보조대차(20)는주행레일(6)상을 주행할 뿐인 간단한 구성이며, 이동적재장치도 승강장치도 필요하지 않으므로, 설치는 용이하다. 그리고 보조대차(20)의 주행에는 스태커크레인(4)용 주행레일(6)과 주행스페이스(8)를 이용할 수 있다.

공정(2)내에서는 보조대차(20)를 매뉴얼대차(22)측으로부터 조종할 수 있고, 물품(46)의 이동적재에는 매뉴얼대차(22)의 이동적재장치(40)를 그대로 이용할 수 있다. 그리고 비상시의 백업용 운전이므로, 사람이 보조대차(20)상에 승차해서 조종하고, 이동적재장치(40)도 매뉴얼로 제어하는 것이 바람직하다. 공정(2)내에서 통로(12)로 되돌아온 보조대차(20)로부터는 커넥터(28, 30)를 분리해서, 매뉴얼대차(22)를 통로(12)를 따라 이동시킬 수 있다. 이 때문에 같은 매뉴얼대차(22)로 다음 공정 등으로 물품을 반송할 수 있다.

도 5에 변형예를 나타낸다. 도 1 내지 도 4의 실시예에서는 보조대차(20)의 적재부(26)가 통로(12)의 바닥면과 같은 높이이므로, 통로(12)에 적재부(26)를 덮는 커버를 설치하지 않고, 보조대차(20)가 공정(2)내에 진입하면, 통로(12)에 구멍이 남게 되었다. 이에 반해, 도 5의 변형예에서는 적재부(26)의 상면을 통로(12)의 그레이팅바닥(52)의 하면보다 약간 낮은 높이로 한다. 그리고, 커넥터(28)주위에 주행스페이스(28)측에 개구가 형성된 구멍(54)을 형성하고, 매뉴얼대차(22)의 커넥터(30)와 접속할 수 있도록 한다. 또 변형예의 경우, 특히 지적한 부분이외는 도 1 내지 도 4의 실시예와 동일하다.

도 5의 변형예의 경우, 통로(12)를 수동으로 진행해 온 매뉴얼대차(22)는 그레이팅바닥(52)의 이면에 감추고 있는 보조대차(50)의 상부에서 정지하고,커넥터(28, 30)를 접속한다. 이 상태에서 제어패널(42)을 이용해서 보조대차(50)를 발진시키면, 매뉴얼대차(22)는 커넥터(28, 30)를 통해 보조대차(20)에 견인되고, 보조대차(20)상으로 옮겨타며, 통로(12)측에는 구멍(54)의 부분이 개구로서 남지만, 다른 큰 구멍은 남지 않는다.

도 6에 제2변형예를 나타낸다. 도 1 내지 도 4의 실시예나 도 5의 변형예에서는 공정과 1:1로 대응시켜 보조대차를 설치하고, 문(9)의 바로 외측에서 대기시켰다. 이에 반해, 도 6의 변형예에서는 통로(12)의 중앙부의 바닥아래에서 보조대차(50)를 대기시키고, 이것에 따라 스태커크레인(4)의 주행레일을 통로(12)를 관통하도록 연장한 주행레일(58)로 하고, 상기 구멍(54)을 통로(12)의 양단부근에 설치하고, 보조대차(50)를 통로(12)의 좌우 어느측으로 진입시킬 지를 입력하기 위한 호출스위치(56)를 설치했다. 도 6의 변형예의 경우, 어느 하나의 공정에서 스태커크레인(4)에 트러블이 발생하면, 스위치(56)를 눌러 보조대차(50a)를 호출하고, 커넥터(28)를 구멍(54)으로부터 노출시키고, 매뉴얼대차(22)의 커넥터와 결합하고, 나중에는 도 5의 변형예와 마찬가지로 해서 공정내에서의 이동적재나 반송 등의 작업을 행한다.

실시예나 변형예에서는 매뉴얼대차(22)를 통로(12)상에서 보조대차(20, 50)상에 탑재시켰지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면 스태커크레인(4)에 트러블이 발생하면 보조대차를 공정내의 주행스페이스(8)에서의 통로(12)측단으로 이동시키고, 매뉴얼대차(22)를 수동을 밀어 문(9)을 통과시키고, 주행스페이스(8)내의 보조대차상에 적재하도록 해도 좋다. 그러나 이렇게 하면, 매뉴얼대차(22)의방향을 갑자기 바꿀 필요가 있고, 발진의 원인이 되어 작업도 번거롭게 된다.

본 발명에서는 주반송장치를 백업할 필요가 있을 때, 보조대차에 자대차를 싣고 주반송장치의 주행레일을 따라 주행시켜 반송을 행한다. 그리고 보조대차는 평상시에는 주반송장치의 주행범위밖에서 대기시킨다. 이 때문에 주반송장치가 고장났을 때의 백업이 가능할 뿐만 아니라, 주반송장치의 주행레일을 보조대차의 주행으로 겸용할 수 있고, 평상시에는 보조대차가 주반송장치의 방해가 되지 않는다. 또 백업시에는 보조대차에 자대차를 싣고 반송을 행하므로, 보조대차에 이동적재장치 등을 설치할 필요가 없고, 간단한 구조의 보조대차로 바람직하다.

또한, 보조대차에서의 매뉴얼대차의 적재면의 높이를 매뉴얼대차의 통로의 바닥의 높이와 거의 동일 레벨로 하고, 매뉴얼대차로부터 보조대차로 제어신호를 전송하기 위한 커넥터를 설치하고, 이 커넥터를 매뉴얼대차의 통로상에서 접속/분리가능하게 한다. 이 때문에, 매뉴얼대차의 통로상에서 커넥터를 접속해서 매뉴얼대차측으로부터 보조대차를 제어할 수 있고, 매뉴얼대차의 통로상에서 보조대차에매뉴얼대차를 적재할 수 있다. 또 매뉴얼대차의 통로상에서 매뉴얼대차를 보조대차로부터 분리할 수 있다.

Claims

평상시에는 주반송장치의 주행범위밖이며, 또한 상기 주반송장치의 주행레일을 따른 위치에서 대기하는 동시에, 주반송장치를 백업할 때에는 자대차를 싣고 상기 주행레일을 따라 주행하는 보조대차를 설치한 것을 특징으로 하는 반송시스템.
제1항에 있어서, 자대차가 매뉴얼제어의 대차이고, 상기 보조대차의 대기위치가 상기 매뉴얼대차의 통로바닥아래이며, 또한 적어도 상기 통로의 바닥아래의 보조대차의 대기위치까지 상기 주행레일을 부설한 것을 특징으로 하는 반송시스템.
제2항에 있어서, 상기 보조대차에서의 상기 매뉴얼대차의 적재면의 높이를 상기 통로의 바닥의 높이와 거의 동일레벨로 하고, 상기 매뉴얼대차로부터의 제어신호를 상기 보조대차로 전송하기 위한 커넥터를 설치하고, 그 커넥터를 상기 통로상에서 접속/분리가능한 것을 특징으로 하는 반송시스템.