KR20030031995A - 모듈식 2방향 체크 밸브 구조체 - Google Patents

모듈식 2방향 체크 밸브 구조체 Download PDF

Info

Publication number
KR20030031995A
KR20030031995A KR10-2003-7002850A KR20037002850A KR20030031995A KR 20030031995 A KR20030031995 A KR 20030031995A KR 20037002850 A KR20037002850 A KR 20037002850A KR 20030031995 A KR20030031995 A KR 20030031995A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
flow passage
sealing surface
plunger
liquid flow
check valve
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
KR10-2003-7002850A
Other languages
English (en)
Inventor
가쉬가에이라즈
Original Assignee
마이크롤리스 코포레이션
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 마이크롤리스 코포레이션 filed Critical 마이크롤리스 코포레이션
Publication of KR20030031995A publication Critical patent/KR20030031995A/ko
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K15/00—Check valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K11/00—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves
    • F16K11/10—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves with two or more closure members not moving as a unit
    • F16K11/105—Three-way check or safety valves with two or more closure members
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K15/00—Check valves
    • F16K15/02—Check valves with guided rigid valve members
    • F16K15/021—Check valves with guided rigid valve members the valve member being a movable body around which the medium flows when the valve is open
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K17/00—Safety valves; Equalising valves, e.g. pressure relief valves
    • F16K17/02—Safety valves; Equalising valves, e.g. pressure relief valves opening on surplus pressure on one side; closing on insufficient pressure on one side
    • F16K17/04—Safety valves; Equalising valves, e.g. pressure relief valves opening on surplus pressure on one side; closing on insufficient pressure on one side spring-loaded
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K17/00—Safety valves; Equalising valves, e.g. pressure relief valves
    • F16K17/02—Safety valves; Equalising valves, e.g. pressure relief valves opening on surplus pressure on one side; closing on insufficient pressure on one side
    • F16K17/04—Safety valves; Equalising valves, e.g. pressure relief valves opening on surplus pressure on one side; closing on insufficient pressure on one side spring-loaded
    • F16K17/0473—Multiple-way safety valves
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/7722—Line condition change responsive valves
    • Y10T137/7837—Direct response valves [i.e., check valve type]
    • Y10T137/7838—Plural
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/7722—Line condition change responsive valves
    • Y10T137/7837—Direct response valves [i.e., check valve type]
    • Y10T137/7838—Plural
    • Y10T137/7842—Diverse types
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/8593—Systems
    • Y10T137/87917—Flow path with serial valves and/or closures
    • Y10T137/88054—Direct response normally closed valve limits direction of flow

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Check Valves (AREA)
  • Details Of Reciprocating Pumps (AREA)
  • Ink Jet (AREA)
  • Valve Housings (AREA)
  • Multiple-Way Valves (AREA)

Abstract

체크 밸브 구조체는 제1 유동 통로와 제2 유동 통로를 구비하는 하우징을 포함한다. 액체 유동은 하우징 내의 플런저의 이동 길이를 제어하는 복수의 돌출부와 밀봉면을 구비하는 이동 가능한 플런저에 의해 제1 유동 통로 및 제2 유동 통로 내에서 제어된다. 플런저들 중의 하나는 액체 유동을 가능하게 하고, 플런저들 중의 나머지는 유동 통로들 내의 압력에 반응하여 액체 유동을 방해한다.

Description

모듈식 2방향 체크 밸브 구조체{MODULAR TWO WAY CHECK VALVE CONSTRUCTION}
다양한 산업에서 정확한 체적의 액체를 사용 구역으로 운반하는 것을 필요로 한다. 예를 들어, 정확한 체적의 포토레지스트 합성물은 웨이퍼 상에 균일한 두께의 포토레지스트층을 형성하기 위해 실리콘 웨이퍼 기판으로 운반된다. 정확한 체적의 운반을 위해 필요한 것은 오랜 시간동안 반복적으로 동일한 체적의 샘플을 운반할 수 있는 장치에 의해 수행되어야 한다는 것이다.
현재 펌프 및 체크 밸브 장치를 사용하는 매우 다양한 장치가 액체의 운반을 위해 사용 가능하다. 체크 밸브는 액체용 저장조와 액체의 사용 지점 사이에 개재되고, 펌프에 의해 제공된 액체 상의 압력에 반응하여 저장조로부터 액체 유동을 제어하는 기능을 한다. 일반적으로, 전기적 제어기로부터의 신호에 반응하는 모터에 의해 작동되는 3방향 밸브가 사용된다. 3방향 밸브는 고착되는(seize) 경향을 가지고 있고, 이러한 장치는 비싸고 파손되기 쉬운 벨트 전동 장치와 모터를 필요로 하므로, 이러한 장치의 사용은 바람직하지 않다.
따라서, 정확한 체적의 액체를 반복적으로 운반할 수 있는 2방향 체크 밸브 장치를 제공하는 것이 바람직하다. 또한, 체크 밸브 장치를 제어하는 보조 모터의 필요없이 오랜 시간동안 정확한 체적의 액체를 운반하면서, 유체의 방향을 자동으로 변화시킬 수 있는 체크 밸브 장치를 제공하는 것이 바람직하다.
본 발명은 정확한 체적의 액체를 반복하여 운반하기 위한 모듈식 2방향 체크 밸브 구조체에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 유체 유동 방향을 자동으로 변화시키는 체크 밸브 구조체에 관한 것이다.
도1은 본 발명의 체크 밸브 구조체의 일실시예의 분해도이다.
도2a는 본 발명의 체크 밸브 구조체에 사용되는 자유 부동 플런저의 사시도이다.
도2b는 도2a의 자유 부동 플런저의 정면도이다.
도3a는 본 발명의 체크 밸브 구조체에 사용되는 스프링식 플런저의 사시도이다.
도3b는 도3a의 스프링식 플런저의 정면도이다.
도4는 본 발명의 체크 밸브 구조체에 사용되는 플런저 하우징의 단면도이다.
도5는 본 발명의 체크 밸브 구조체에 사용되는 액체 운반 장치의 사시도이다.
본 발명은 각각 분리된 액체 유동 통로 내에 위치되는 2개의 자유 부동(floating) 플런저 또는 각각 분리된 액체 유동 통로 내에 위치되는 하나의 자유 부동 플런저와 스프링식 플런저(spring loaded plunger)를 사용하는 체크 밸브 구조체를 제공한다. 자유 부동 플런저는 액체 저장조와 펌프 사이의 액체 유동 통로에 위치된다. 제2 자유 부동 플런저 또는 스프링식 플런저는 펌프와 액체의 사용 지점 사이의 액체 유동 통로에 위치된다. 자유 부동 플런저와 스프링식 플런저는 펌프에 의해 발생된 압력에 반응하여 액체 유동을 허용하거나 방해하는 기능을 한다. 자유 부동 플런저와 스프링식 플런저는 개방되었을 때 액체 유동을 제한하지 않는 크기로 된다. 본 발명의 체크 밸브는 상기 체크 밸브를 작동시키기 위한 모터와 이에 수반되는 모터 지지 수단이 필요하지 않도록 한다.
본 발명의 체크 밸브 구조체는 밀봉면을 갖는 적어도 하나의 자유 부동 플런저와, 상기 밀봉면에 대향되는 표면 상에 위치되는 적어도 2개의, 바람직하게는 3개 또는 4개의 돌출부(prong)를 포함한다. 밀봉면은 편평면이거나 또는 밀봉면의 주연부 주위로 연장되는 승강 립부(lip)를 포함한다. 사용될 때, 승강 립부는 밀봉면으로 기능한다. 돌출부는 액체 유동 통로 내의 플런저의 위치를 안정화시키는 수단을 제공하여, 액체 유동 통로 내의 액체 유동을 선택적으로 허용하거나 방지하도록 배치된다. 돌출부는 유동 통로 내의 안착부와 상호협동하여, 밀봉면을 위한 안착부와 함께 액체 유동 통로 내의 플런저 이동의 허용 길이를 한정한다. 자유 부동 플런저는 액체 저장조와 펌프 사이의 액체 유동 통로 내에 위치된다.
상술한 자유 부동 플런저 또는 스프링식 플런저는 펌프와 액체의 사용 지점 사이의 액체 유동 통로 내에 위치된다. 스프링식 플런저는 편평하거나 또는 밀봉면의 주연부 주위로 승강 립부를 갖는 밀봉면을 갖는다. 적어도 2개의, 바람직하게는 3개 또는 4개의 돌출부가 밀봉면의 대향 표면 상에 고정된다. 돌출부는 펌프에 의해 가해진 압력에 반응하여 스프링식 플런저가 액체 유동 통로를 개방 또는 폐쇄하는 것이 가능하도록 스프링과 접촉된다. 돌출부는 스프링식 플런저를 배열시켜서, 스프링식 플런저가 상기 스프링식 플런저가 위치되는 액체 유동 통로를 개방 또는 폐쇄하는 기능을 수행하게 한다.
자유 부동 플런저는 액체 저장조 및 펌프 사이의 액체 유동 통로에 사용된다. 펌프와 액체의 사용 지점 사이의 액체 유동 통로 내에 스프링식 플런저를 사용하는 것이 바람직하다.
도1을 참조하면, 본발명의 체크 밸브 구조체는 액체 유동 통로(18, 20)를 형성하도록 개구(12), 개구(14), 개구(16)를 갖는 하우징(10)을 포함한다. 자유 부동 플런저(22)는 개구(12)에 끼워지도록 크기가 정해진다. 스프링식 플런저(24)는 개구(14)에 끼워지도록 크기가 정해진다. 스프링식 플런저(24)는 스프링(26)과 접촉한다. 자유 부동 플런저(22)는 피팅(28) 내에 끼워져서, 플런저(22)는 피팅(28) 및 하우징(10) 내에서 자유로이 이동한다. 커넥터(32, 34)는 각각 피팅(30, 28) 안으로 끼워지고, 너트(36, 38)에 의해 고정된다. 너트(36, 38)는 튜브가 지주 커넥터(32, 34) 상에 위치되도록 삽입되는 개구(40, 42)를 포함한다. 커넥터(34)는 (도시되지 않은) 액체 저장조와 유체 연통된다. 커넥터(32)는 (도시되지 않은) 액체의 사용 지점과 유체 연통된다. 커넥터(44)는 너트(46)에 의해 개구(16) 내로 고정되고 (도시되지 않은) 펌프와 유체 연통된다.
도2a 및 도2b를 참조하면, 자유 부동 플런저(22)는 커넥터(10)로의 액체 유동을 방지하도록 커넥터(28) 내의 밀봉면 상에 안착하는 편평 밀봉면(50)을 포함한다. 플런저(22)는 커넥터(10) 내에 플런저(22)를 위치시키는 레그(48)를 포함한다. 돌출부(48)는 일반적으로 약 10.8 mm(0.425 inch)와 약 11 mm(0.435 inch) 사이의 길이를 갖는다. 플런저(22)는 상기 플런저(22)로 액체를 우회시키는 공간을 형성하는 오목면(51)을 포함한다. 오목면(51)과 커넥터(28) 또는 커넥터(10)의 내부면 사이의 공간의 전체 단면적은 커넥터(28)의 액체 유동 통로의 단면적 및 커넥터(10)의 액체 유동 통로의 단면적과 같거나 이를 초과한다. 도2a 및 도2b에 도시된 바와 같이, 4개의 오목면이 사용된다. 적어도 2개의, 바람직하게는 3개 또는 4개의 오목면이 사용됨을 알 수 있다. 따라서, 플런저(22)는 플런저가 위치되는 액체 유동 통로 내의 액체 유동을 제한하지 않는다. 개구(16)와 유체 연통하는 (도시되지 않은) 펌프에 의해 진공이 될 때, 플런저(22)는 개구(12)를 통해 커넥터(10)로 이동되어, 커넥터(28)로부터 커넥터(10)로의 액체 유동을 허용한다. 이와 동시에, 스프링(26)은 커넥터(10) 안으로 플런저(24)를 위치시키도록 팽창되어, 커넥터(30)로의 액체 유동을 방지한다. (도시되지 않은) 펌프가 압력을 증가시킬 때, 플런저(22)의 이동 방향은 역전되어, 커넥터(28) 내의 액체를 밀봉하고 스프링(26)을 압축하여, 액체를 플런저(24)를 지나 액체의 사용 지점으로 유도하도록 플런저(24)를 포함하는 유동 통로 내의 유동을 가능하게 한다.
도3a 및 도3b에 도시된 바와 같이, 스프링식 플런저(24)는 표면(53)의 주연부 주위로 연장되는 승강 립부(55)를 지지하는 편평면(53)을 포함하는 밀봉면을 포함한다. 스프링식 플런저(24)는 또한 돌출부(52)와 오목면(54)을 포함한다. 돌출부(52)는 편평면(53)에 대향하는 표면에 부착된다. 돌출부(52)는 약 0.216mm(0.0085 inch) 내지 약 2.41 mm(0.095 inch)의 길이를 갖는다. 오목면(54)과 커넥터(30) 또는 커넥터(10)의 내부면에 의해 한정되는 전체 공간은 커넥터(10 또는 30), 커넥터(32) 및 너트(40)의 가장 작은 단면적과 같거나 큰 전체 단면적의 액체를 갖는다. 도3a 및 도3b에 도시된 바와 같이, 4개의 오목면이 사용됨을 알 수 있다. 적어도 2개의, 바람직하게는 3개 또는 4개의 오목면이 사용됨을 알 수 있다. 또한, 플런저(22)의 밀봉면(50)은 도3a 및 도3b를 참조하여 기술된 바와 같이, 밀봉을 형성하도록 그 주연부 주위로 립부를 포함함을 알 수 있다. 또한, 표면(53)은 표면(50) 또는 도2a 및 도2b를 참조하여 기술된 바와 같이, 밀봉면으로서 기능하도록 립부(55)가 없을 수도 있음을 알 수 있다.
도4를 참조하면, 안착부(56)는 플런저(22)의 이동을 멈추게 하도록 플런저 레그(48)와 상호협동하는 표면을 포함한다. 안착부(58)는 플런저(22)의 밀봉면(53)과 상호협동하여 개구(14) 내의 밀봉을 수행한다.
도5를 참조하면, 도시된 본 발명의 체크 밸브 구조체(62)를 이용하는 분배 조립체(60)가 도시되고 있다. 조립체(60)는 하우징(64) 내에 위치된 (도시되지 않은) 펌프를 포함한다. 너트(46)는 도관(68), 저장조(66) 및 도관(72)을 통해 (도시되지 않은) 액체를 위한 사용 지점에 연결된 도관(66)을 연결시킨다. 너트(38)는 (도시되지 않은) 공급 액체 저장조에 연결된다.

Claims (8)

  1. 체크 밸브 구조체이며,
    제1 개구와 제2 개구 사이에서 제1 하우징을 통과하는 제1 액체 유동 통로와, 상기 제1 액체 유동 통로와 상기 제1 하우징의 제3 개구 사이의 제2 액체 유동 통로를 포함하는 제1 하우징과,
    상기 제1 하우징과 제1 커넥터 사이에서 상기 제1 유동 통로 내에 위치되는 제1 이동 가능한 플런저와,
    상기 제2 액체 유동 통로 내에 위치되는 제2 이동 가능한 스프링식 플런저를 포함하고,
    상기 제1 이동 가능한 플런저는 제1 밀봉면, 상기 제1 밀봉면에 대향하는 표면에 부착되는 적어도 2개의 돌출부 및 상기 제1 밀봉면의 주연부 주위로 위치되는 복수의 오목면을 구비하고,
    상기 제2 이동 가능한 스프링식 플런저는 제2 밀봉면, 상기 제2 밀봉면에 대향하는 표면에 부착되는 적어도 2개의 돌출부 및 상기 제2 밀봉면의 주연부 주위로 위치되는 복수의 오목면을 구비하고,
    상기 제1 액체 유동 통로 및 상기 제2 액체 유동 통로는 상기 유동 통로들 내의 압력을 변화시키기 위한 수단과 유체 연통되는 것을 특징으로 하는 체크 밸브 구조체.
  2. 체크 밸브 구조체이며,
    제1 개구와 제2 개구 사이에서 제1 하우징을 통과하는 제1 액체 유동 통로와, 상기 제1 액체 유동 통로와 상기 제1 하우징의 제3 개구 사이의 제2 액체 유동 통로를 포함하는 제1 하우징과,
    상기 제1 하우징과 제1 커넥터 사이에서 상기 제1 유동 통로 내에 위치되는 제1 이동 가능한 플런저와,
    상기 제1 하우징과 제2 커넥터 사이에서 상기 제2 유동 통로 내에 위치되는 제2 이동 가능한 플런저를 포함하고,
    상기 제1 이동 가능한 플런저는 제1 밀봉면, 상기 제1 밀봉면에 대향하는 표면에 부착되는 적어도 2개의 돌출부 및 상기 제1 밀봉면의 주연부 주위로 위치되는 복수의 오목면을 구비하고,
    상기 제2 이동 가능한 플런저는 제2 밀봉면, 상기 제2 밀봉면에 대향하는 표면에 부착되는 적어도 2개의 돌출부 및 상기 제2 밀봉면의 주연부 주위로 위치되는 복수의 오목면을 구비하고,
    상기 제1 액체 유동 통로 및 상기 제2 액체 유동 통로는 상기 유동 통로들 내의 압력을 변화시키기 위한 수단과 유체 연통되는 것을 특징으로 하는 체크 밸브 구조체.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1 이동 가능한 플런저는 4개의 제1의 상기 오목면들을 구비하고, 상기 제2 이동 가능한 플런저는 4개의 제2의 상기 오목면들을 구비하는 것을 특징으로 하는 체크 밸브 구조체.
  4. 제2항에 있어서, 상기 제1 이동 가능한 플런저는 4개의 제1의 상기 오목면들을 구비하고, 상기 제2 이동 가능한 플런저는 4개의 제2의 상기 오목면들을 구비하는 것을 특징으로 하는 체크 밸브 구조체.
  5. 제1항에 있어서, 상기 제1 밀봉면은 사실상의 편평면을 포함하는 것을 특징으로 하는 체크 밸브 구조체.
  6. 제2항에 있어서, 상기 제1 밀봉면은 사실상의 편평면의 주연부 주위로 연장되는 립부를 포함하는 것을 특징으로 하는 체크 밸브 구조체.
  7. 제1항에 있어서, 상기 제2 밀봉면은 사실상의 편평면을 포함하는 것을 특징으로 하는 체크 밸브 구조체.
  8. 제2항에 있어서, 상기 제2 밀봉면은 사실상의 편평면의 주연부 주위로 연장되는 립부를 포함하는 것을 특징으로 하는 체크 밸브 구조체.
KR10-2003-7002850A 2000-08-31 2001-08-28 모듈식 2방향 체크 밸브 구조체 Ceased KR20030031995A (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US22921300P 2000-08-31 2000-08-31
US60/229,213 2000-08-31
PCT/US2001/026719 WO2002018822A2 (en) 2000-08-31 2001-08-28 Modular two way check valve construction

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20030031995A true KR20030031995A (ko) 2003-04-23

Family

ID=22860262

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR10-2003-7002850A Ceased KR20030031995A (ko) 2000-08-31 2001-08-28 모듈식 2방향 체크 밸브 구조체

Country Status (7)

Country Link
US (1) US6832626B2 (ko)
EP (1) EP1313974B1 (ko)
JP (1) JP2004507693A (ko)
KR (1) KR20030031995A (ko)
DE (1) DE60125193T2 (ko)
TW (1) TW562906B (ko)
WO (1) WO2002018822A2 (ko)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1313974B1 (en) 2000-08-31 2006-12-13 Entegris, Inc. Modular two way check valve construction
KR100440332B1 (ko) 2002-06-28 2004-07-15 현대자동차주식회사 유압 회로용 투웨이 오리피스 첵밸브 장치
MA26325A1 (fr) * 2004-03-05 2004-10-01 Plaxats Oller Salvador Valve a clapet avec systeme d'ouverture et fermeture par levier incorporé et bouchon de sécurité avec témoin d'inviolabilite pour récipients a gaz ou liquides
US20080127742A1 (en) * 2006-12-04 2008-06-05 Andre Mueller Pressure sensor having a check valve
DE102011015604B4 (de) * 2011-03-30 2013-10-02 Voswinkel Entwicklungs- Und Verwaltungs-Gmbh & Co. Kg Kupplungsteil einer Druckmittel-Leitungskupplung sowie Ventilkörper für ein Kupplungsteil
CN105730505A (zh) * 2016-04-18 2016-07-06 金龙联合汽车工业（苏州）有限公司 新能源客车转向系统用液压式双通单向阀

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US852334A (en) * 1906-01-25 1907-04-30 Raymond W Lewis Check-valve.
US1889122A (en) * 1930-11-24 1932-11-29 Westinghouse Air Brake Co Check valve device
US2444182A (en) 1947-02-11 1948-06-29 Albert W Calvin Check valve
US2684080A (en) * 1950-06-22 1954-07-20 Gordon W Crowell Check valve
US4111228A (en) 1975-07-23 1978-09-05 Institutul Oncologic Bucuresti Respiratory valve, especially for anaesthetic circuits
US4142675A (en) * 1977-06-08 1979-03-06 Eaton Corporation Three port thermal vacuum valve with electrical switch
US4432386A (en) * 1977-11-21 1984-02-21 Butterworth, Inc. Valve assembly for reciprocating plunger pump
US4373550A (en) * 1980-07-28 1983-02-15 Cla-Val Co. Valve having a bias-mounted elastomeric sealing element, and method of constructing the same
JPS57167572A (en) * 1981-04-08 1982-10-15 Hitachi Ltd Check valve
FR2528936B1 (fr) * 1982-06-16 1986-04-11 Gachot Jean Obturateur, procede pour le fabriquer, clapet ainsi equipe et procede pour realiser ce dernier
US4930664A (en) * 1987-01-15 1990-06-05 Root-Lowell Manufacturing Company Self-pressurizing sprayer
US4848729A (en) * 1988-02-01 1989-07-18 Dresser Industries, Inc. Valve seal
US5297576A (en) * 1992-10-16 1994-03-29 Halkey-Roberts Corporation Oral inflation and relief tube
EP1313974B1 (en) 2000-08-31 2006-12-13 Entegris, Inc. Modular two way check valve construction

Also Published As

Publication number Publication date
WO2002018822A2 (en) 2002-03-07
DE60125193T2 (de) 2007-09-20
TW562906B (en) 2003-11-21
EP1313974B1 (en) 2006-12-13
EP1313974A2 (en) 2003-05-28
JP2004507693A (ja) 2004-03-11
DE60125193D1 (de) 2007-01-25
US6832626B2 (en) 2004-12-21
US20030205276A1 (en) 2003-11-06
WO2002018822A3 (en) 2002-05-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20020036017A1 (en) Three-way plastic valve
US5660370A (en) Valve with flexible sheet member and two port non-flexing backer member
US6837484B2 (en) Anti-pumping dispense valve
US4530486A (en) Valve
JP3663463B2 (ja) 弁座内のハードなチューブの流体チャンネルとフレシブルな密封ダイアフラムとを有するソレノイドバルブ
US5337785A (en) Valve
US6026860A (en) Solenoid valve apparatus for two end-users
JPS63243575A (ja) マイクロエレクトロバルブ
WO2000069386A3 (en) Hydraulic control apparatus for a hospital bed
JPH10153269A (ja) パイロットチェック弁付スピードコントローラ
KR20050006072A (ko) 흡인 밸브
JPH10512351A (ja) 三方ポペットバルブ装置
US20010032946A1 (en) Diaphragm-type solenoid valve
EP0859155A3 (en) Fluid control apparatus
KR0173500B1 (ko) 진공식 양변기 시스템과 이것의 배출밸브
JPH03291547A (ja) 分析のための液体分配用ピペット及び液体輸送装置
US6302387B1 (en) Vacuum tightening system
KR20030031995A (ko) 모듈식 2방향 체크 밸브 구조체
US4852612A (en) Fluid flow control device
CN111594642B (zh) 转换阀装置
US3814133A (en) Solenoid operated compressed air valve
ATE350612T1 (de) Durchflussregelventil mit hoher verstärkung
US6796323B1 (en) Dual seat valve
US3354897A (en) Diaphragm valve with venting apertures in body
JPH0238768A (ja) 流体制御弁

Legal Events

Date Code Title Description
PA0105 International application

Patent event date: 20030227

Patent event code: PA01051R01D

Comment text: International Patent Application

PG1501 Laying open of application
N231 Notification of change of applicant
PN2301 Change of applicant

Patent event date: 20060131

Comment text: Notification of Change of Applicant

Patent event code: PN23011R01D

A201 Request for examination
PA0201 Request for examination

Patent event code: PA02012R01D

Patent event date: 20060727

Comment text: Request for Examination of Application

E902 Notification of reason for refusal
PE0902 Notice of grounds for rejection

Comment text: Notification of reason for refusal

Patent event date: 20070823

Patent event code: PE09021S01D

E601 Decision to refuse application
PE0601 Decision on rejection of patent

Patent event date: 20080624

Comment text: Decision to Refuse Application

Patent event code: PE06012S01D

Patent event date: 20070823

Comment text: Notification of reason for refusal

Patent event code: PE06011S01I