KR20070119480A

KR20070119480A - 반송 시스템

Info

Publication number: KR20070119480A
Application number: KR1020070013665A
Authority: KR
Inventors: 히로시 후카자와; 마사즈미 후쿠시마; 마코토 야마모토
Original assignee: 무라타 기카이 가부시키가이샤
Priority date: 2006-06-14
Filing date: 2007-02-09
Publication date: 2007-12-20
Also published as: CN101088893A; JP4333701B2; JP2007335555A; EP1867591A1; US20070292256A1; TW200806554A

Abstract

클린도를 유지하면서, 트레이 단위로의 취급의 자동화, 다품종 소로트에의 대응, 반송효율의 향상을 가능하게 하는 반송 시스템을 제공한다.

복수단 적층된 트레이(1)를 포드(5)에 대하여 출납하는 트레이 출납수단(20)과, 이 포드(5)를 반송하는 포드 반송수단(10)을 설치했다.

Description

반송 시스템{TRANSFER SYSTEM}

[도 1] (a)는 본 발명의 반송 시스템의 일례를 나타내는 전체 배치도, (b)는 (a)의 주요부 단면도

[도 2] (a)는 도 1의 포드의 횡단면을 개념적으로 나타내는 도면, (b)는 (a)의 종단면을 개념적으로 나타내는 도면, (c)는 (a)의 포드의 바닥덮개 폐지상태의 주요부 상세도, (d)는 동바닥덮개 개방상태의 주요부 상세도

[도 3] (a), (b)는 도 1의 트레이 출납수단의 작용 효과를 설명하는 도면

[도 4] (a)는 도 1의 트레이단 적층단 분해수단의 평면도, (b)는 (a)의 측면도, (c)는 트레이단 적층단 분해수단이 트레이를 파지한 상태의 주요부 단면도

(부호의 설명)

1 트레이

2 바닥덮개

3 상부 셸

5 포드

10 포드 반송수단

20 트레이 출납수단

30 트레이 반송수단

40 트레이단 적층단 분해수단

50 반송 시스템

본 발명은, 반도체 기판이나 액정 표시판 등을 제조하는 공장에 있어서, 그 소재가 되는 평판상 워크(반도체 웨이퍼나, 유리판)에 클린룸내에서 여러가지의 가공처리를 실시할 때에, 평판상 워크를 1장씩 트레이에 수용한 상태로 복수장 단위로, 또는, 1장 단위로 반송하는 반송 시스템에 관한 것이다.

반도체 기판이나 액정 표시판 등을 제조하는 공장에 있어서는, 그 소재가 되는 평판상 워크(반도체 웨이퍼나, 유리판)의 평면상태를 최대한 유지함과 아울러, 손상을 주지 않도록 하기 위해서, 또한 취급 스페이스의 절약의 점으로부터 쌓아 올림을 가능하게 함과 아울러 그 쌓아 올림 높이를 가능한 한 작게 하기 위해서, 이 평판상 워크(이후, 단순하게 「워크」라고도 한다.)를 수용하는 트레이가 제안되고 있다.

또한, 이 단적층된 트레이를 수용하는 격납용기도 제안되고 있고, 그 일례로서, 특허문헌1에는, 반도체 웨이퍼를 트레이에 1장씩 수용하고, 이 트레이를 복수단 적층해서 수용하는 격납용기가 제안되고 있다.

그러나, 이 특허문헌1에는, 이렇게 단적층된 트레이를 격납용기(이후, 본 발명에 있어서는, 「포드」라고 칭한다.)에 수용하기 위한 트레이 출납수단이나, 단 적층된 트레이를 각 가공처리를 위해서 1장씩 단분해하거나, 가공처리후의 워크를 수용한 트레이를 또 쌓아 올리기 위한 수단의 기재는 없었다.

한편, 상기 공장에 있어서는, 생산효율의 향상의 점에서, 클린도를 유지하면서, 상기 트레이의 특징을 살린 트레이 출납수단이나, 트레이단 적층단 분해수단 등에 의한 클린룸내에서의 트레이 취급의 자동화의 요청은 높고, 또한 이들 트레이 취급수단은, 다품종 소로트에의 대응을 가능하게 하고, 반송효율의 향상에도 대응할 수 있는 것이 요청되고 있다.

[특허문헌1] 일본 특허공개 2005-191419호 공보(도 1~도 4)

본원 발명은, 상기 문제를 해결하고자 하는 것이며, 클린도를 유지하면서, 트레이 단위로의 취급의 자동화, 다품종 소로트에의 대응, 반송효율의 향상을 가능하게 하는 반송 시스템을 제공하는 것을 과제로 하고 있다.

제1항에 기재된 반송 시스템은, 복수단 적층된 트레이를 포드에 대하여 출납 하는 트레이 출납수단과, 이 포드를 반송하는 포드 반송수단을 설치한 것을 특징으로 한다.

제2항에 기재된 반송 시스템은, 제1항에 종속되고, 트레이를 반송하는 트레이 반송수단과, 이 트레이 반송수단과 포드 반송수단 사이에, 트레이를 복수단 적층하거나, 혹은 복수단 적층된 트레이를 단분해하는 트레이단 적층단 분해수단을 설치한 것을 특징으로 한다.

제3항에 기재된 반송 시스템은, 제1항 또는 제2항에 종속되고, 포드는 복수단 적층된 트레이를 그 바닥덮개에 적재하는 구성으로서, 트레이 출납수단은 상기 포드의 상부 셸에 대하여 상대적으로 상기 바닥덮개를 승강시키는 것임을 특징으로 한다.

이하에, 본 발명의 실시형태(실시예)에 대해서, 도면을 이용해서 설명한다.

(실시예1)

도 1의 (a)는, 본 발명의 반송 시스템의 일례를 나타내는 전체 배치도, (b)는 (a)의 주요부 단면도이다.

이 반송 시스템(50)은, 반도체 기판이나 액정 표시판 등을 제조하는 공장에 있어서, 그 소재가 되는 평판상 워크(반도체 웨이퍼나, 유리판)에 클린룸내에서 여러가지의 가공처리를 실시할 때에, 평판상 워크를 1장씩 트레이에 수용한 상태로 복수장 단위로, 또는, 1장 단위로 반송하는 것이다.

또한, 이하에서는, 반도체 기판을 제조하는 공장에 있어서, 원형의 반도체 웨이퍼인 평판상 워크(W)(이하, 단순하게 「워크」라고 한다.)를 마찬가지로 원형형상의 트레이(1)에 수용해서 취급하는 예를 설명하지만, 본 발명의 대상으로 하는 평판상 워크, 트레이의 형상 등은 이들에 한정되는 것은 아니다.

반송 시스템(50)은, 워크(W)를 1장씩 수용한 트레이(1)와, 이 트레이(1)를 복수단 적층한 것을 적재하는 바닥덮개(2)와, 이 트레이(1)를 복수단 적층한 상태의 바닥덮개(2)에 대하여 기밀하게 상방으로부터 설치되는 상부 셸(3)(바닥덮개(2)와 상부 셸(3)로 구성되는 트레이 수납용기를 포드(5)로 한다.)과, 이 포드(5)를 반송하는 포드 반송수단(10)과, 복수단 적층된 트레이를 포드에 대하여 출납하는 트레이 출납수단(20)과, 트레이를 반송하는 트레이 반송수단(30)과, 트레이단 적층단 분해수단(40)을 구비하고 있다.

도면 중에서, 부호 S는 이 반송 시스템(50)이 설치되고, 반도체 제조공정의 각 가공처리 중 하나를 담당하는 가공처리 스테이션이며, 도면 중 하단 좌측끝으로부터, 반시계 방향으로 각 스테이션을 S(1), …, S(4), S(5) 등으로 표기한다.

이 가공처리 스테이션(S)에서는, 트레이(1)로부터 워크(W)를 꺼내어, 소정의 가공처리를 실시한 후, 다시 트레이(1)로 되돌리도록 하고 있다.

트레이(1), 바닥덮개(2)와 상부 셸(3)로 구성되는 포드(5)에 대해서는, 도 2를 이용해서 나중에 상세하게 서술한다.

포드 반송수단(10)은 각 가공처리 공정간을 어느 정도의 통합으로 워크(W), 즉, 트레이(1)를 반송하는 것으로, 구체적으로는, 상술한 바와 같이, 워크(W)를 1장씩 수용한 트레이(1)를 복수단 적층한 것(1M)을 수용한 포드(5)를 반송하는 것이다.

이 포드 반송수단(10)은, 바닥면 주행의 대차 타입으로서, 결정된 주행로(6)와, 이 주행로(6)를 자동 제어해서 주행하는 복수의 대차(7)를 구비하고 있다.

따라서, 이 포드 반송수단(10)은, 공정간 반송 스페이스(C1)라고 하는, 클린도가 비교적 낮은 클린환경 속에서 이용되는 것이지만, 워크(W)와 트레이(1)는, 기밀한 포드(5)에 수용된 상태로 반송되므로, 클린도가 낮은 공정간 반송 스페이스(C1) 중의 파티클(먼지 등의 입자를 말한다.)에 오염되는 일이 없다.

또한, 포드 반송수단으로서는, 여기에서는 바닥면 주행의 대차 타입을 예시했지만, 이것에 한정되지 않고, 천정주행 타입이나, 컨베이어식이여도 좋다.

트레이 출납수단(20)에 대해서는, 도 3을 이용하여, 나중에 상세하게 서술한다.

트레이 반송수단(30)은, 각 가공처리 스테이션(S(1)~S(8))에 트레이(1)를 반송하는 트레이 반송수단(30A)과, 트레이단 적층단 분해수단(40)으로부터 트레이 반송수단(30A)으로 트레이(1)를 반송하는 트레이 반송수단(30B)과, 트레이 반송수단(30A)으로부터 트레이단 적층단 분해수단(40)으로 트레이(1)를 반송하는 트레이 반송수단(30C)을 구비하고 있다.

이 트레이 반송수단(30)은 롤러 컨베이어나, 벨트 컨베이어 등을 이용하면 좋지만, 이들에 한정되지 않고, 클린환경하에서, 트레이(1)를 곡선부를 포함해서 원활하게 반송할 수 있는 것이면 좋다.

또한, 트레이 반송수단(30)으로 반송하는 트레이(1)는 1장씩이여도 좋고(매엽반송), 복수단 적층된 상태이여도 좋다.

트레이단 적층단 분해수단(40)에 대해서는, 도 4를 이용해서, 나중에 상세하게 서술한다.

또한, 트레이 출납수단(20), 트레이 반송수단(30), 트레이단 적층단 분해수단(40)이 설치된 스페이스는, 각 가공처리 스테이션(S(1)~S(8))내와 마찬가지로, 포드 반송수단(10)이 설치된 클린도가 낮은 공정간 반송 스페이스(C1)에 비해서, 보다 클린도가 높은 공간이며, 공정내 반송 스페이스(C0)라고 칭한다.

도 2의 (a)는 도 1의 포드의 횡단면을 개념적으로 나타내는 도면, (b)는 (a)의 종단면을 개념적으로 나타내는 도면, (c)는 (a)의 포드의 바닥덮개 폐지상태의 주요부 상세도, (d)는 동바닥덮개 개방상태의 주요부 상세도이다. 이것으로부터 이미 설명한 부분에는, 동일한 부호를 붙여서 중복 설명을 생략한다.

포드(5)를 구성하는 바닥덮개(2)는 정방형의 판상이며, 그 위에 복수단 적층된 트레이(1)를 적재할 수 있고, 그 네변 외측 가장자리를 따라, 에어튜브 시일수단(4)이 설치되어 있다.

에어튜브 시일수단(4)은 상기 네변 외측 가장자리를 따라, 한변의 일부가 개구된 사각통을 둘러감은 수용통체(4a)와, 이 수용통체(4a)에 수용되어, 수축·팽창되는 에어튜브(4b)와, 이 에어튜브(4b)의 수축·팽창에 따라, 그 돌기부(4d)가 수용통체(4a)의 개구부분 대하여, 내측 위치와 돌출된 위치로 이동하는 밀봉체(4c)를 구비하고 있다.

바닥덮개(2)의 하측, 즉, 트레이(1)를 적재하는 측과는 반대측에는, 포드(5)를 상하로 겹쳐 쌓을 때에, 포드(5) 상호간의 수평방향의 위치 결정을 하기 위한 끼워 넣음 오목부(2a)가 형성되어 있다. 이 끼워 넣음 오목부(2a)는, 포드(5)를 상하로 겹쳐 쌓을 필요가 없는 경우에는 불필요한 것이다.

상부 셸(3)은 트레이(1) 수납상태의 포드(5)를 상하로 겹쳐 쌓아도 견딜 수 있는 강도를 갖는 구조체이며, 또한 그 자체로 기밀을 유지할 수 있는 것이다.

상부 셸(3)의 하부 개구부는 에어튜브 시일수단(4)을 포함한 바닥덮개(2)의 외측 가장자리를 따른 형상이지만, 이 하부 개구부 내측 가장자리와, 덮개(2)의 외 측 가장자리 사이에는, 자유로운 공기의 유통을 저지하지 않는 정도의 간극이 있고, 이 간극은 에어튜브 시일수단(4)에 의해 개폐되도록 되어 있다.

상부 셸(3)의 상측 가장자리에는 상기 바닥덮개(2)의 끼워 넣음 오목부(2a)에 대응해서, 포드(5)를 상하로 겹쳐 쌓을 때에, 포드(5) 상호간의 수평방향의 위치 결정을 하기 위한 끼워 넣음 볼록부(3a)가 형성되어 있다. 이 끼워 넣음 볼록부(3a)도 포드(5)를 상하로 겹쳐 쌓을 필요가 없는 경우에는 불필요한 것이다.

상부 셸(3)의 측면에는 외측으로 돌출된 손잡이(5a)가 설치되어 있다. 이 손잡이(5a)는 바닥덮개(2) 이외의 부분으로, 포드(5)를 들어 올리거나 하는 경우에 이용되는 것으로, 예를 들면 수용한 트레이(1)를 포함한 포드(5)의 중량이 그다지 무겁지 않은 경우에는, 현장에서 사람의 손으로 들어 올리는데에 편리하다. 그러나, 이 손잡이(5a)는 그 필요가 없는 경우에는 불필요한 것이다.

상부 셸(3)의 높이는 포드(5) 안에 수용해야 하는 트레이(1)의 단적층 매수에 대응시켜서 자유롭게 바꿀 수 있다. 이 때, 바닥덮개(2)(에어튜브 시일수단(4)을 포함한다.)와의 사이에는 상기 간극이 있으므로, 같은 바닥덮개(2)에 어느 상부 셸(3)로도 사용가능하며, 바닥덮개(2)에 의존하지 않고, 그 높이를 바꿀 수 있어, 포드(5)의 높이, 즉, 트레이(1)의 수용 매수의 자유도가 높아진다.

이러한 자유도의 높이는 종래 이용되고 있던 트레이를 이용하지 않고, 워크를 적재하는 복수의 선반판을 설치한 측면 개구식의 카세트에서는, 대응 불가능한 것이다.

또한, 여기에서 이용하는 트레이(1)는 도 4에서 후술하는 바와 같은 구조에 의해, 상기 종래 방식의 카세트에 비해서, 워크(W)간의 쌓아 올림 높이를 수분의 1정도로 작게 할 수 있는 것이며, 종래의 같은 매수의 워크(W)를 수용하기 위한, 상부 셸(3)의 높이를 수분의 1정도로 할 수 있다.

여기에서, 본 발명의 반송 시스템의 발명자는, 이러한 트레이(1)의 특징을 살리고, 단순하게 상부 셸(3)의 높이를 종래의 카세트와 마찬가지로 해서, 트레이(1)(나아가서는, 워크(W))의 수용 매수를 늘리는 것은 아니고, 보다 적은 매수를 기본 단위로 해서, 1개의 포드(5)에 수용가능하게 하고, 다량 반송의 경우에는, 이 포드(5) 자체를 상술의 끼워 넣음 오목부(2a), 끼워 넣음 볼록부(3a) 등을 설치해서, 다단 쌓아 올림 가능하게 하는 것을 착안한 것이다.

그렇게 하면, 보다 소구분의 반송이 가능하며, 다품종 소로트 대응이 가능하게 되어, 반송효율이 향상된다.

즉, 본 발명의 포드(5)는 상기와 같은 트레이(1)를 복수단 쌓아 적재하는 바닥덮개(2)와, 그것에 대해서, 에어튜브 시일수단(4)에 의해 호환성이 있으면서, 기밀성을 유지하는 상부 셸(3)과의 조합이며, 상기한 바와 같이, 다품종 소로트 대응을 가능하게 하여, 반송효율을 향상시키는 것을 가능하게 하는 것이다.

도 3의 (a), (b)는 도 1의 트레이 출납수단의 작용 효과를 설명하는 도면이다.

본 발명에 있어서는, 포드(5)로부터, 트레이(1M)를 출납하는 트레이 출납수단(20)은 포드(5) 자체가 상술한 바와 같이, 바닥덮개(2)에 트레이(1)를 복수단쌓아 적재하고, 상부 셸(3)에 대해서는, 에어튜브 시일수단(4)에 의해, 용이하게 시 일 해제와 저항없이 이탈이 가능한 것이므로, 도 1의 (b)에서도 알 수 있듯이, 트레이 출납수단(20)은 이 바닥덮개(2)를 승강시키는 매우 간단한 구조인 것으로 충분하다.

여기에서는, 보다 구체적으로 그 구조를 나타내고 있고, 트레이 출납수단(20)은 통상, 클린룸에서 이용하는 것이 가능한 승강수단(12)의 상부에 포드(5)의 바닥덮개(2)에 맞춘 포드 수용판(11)을 적재한 것이다.

포드 수용판(11)은 바닥덮개(2)에 끼워 넣음 오목부(2a)가 있는 경우에는, 이것에 끼워 맞춰지는 끼워 넣음 돌기(11a)를 형성하는 것이 좋고, 그 경우에는, 트레이 출납수단(20)과 포드(5) 사이의 수평방향의 위치 결정이 보다 확실해진다.

또한, 이 트레이 출납수단(20)은 클린도가 낮은 공정간 반송 스페이스(C1)와 클린도가 높은 공정내 반송 스페이스(C0)를 가로막는 격벽(CA)의 수평부분에 설치되고, 그 개구부(13)에 포드 수용판(11)이 끼워 넣어지도록 되어 있다.

이 개구부(13)의 주변에는, 여기에 적재되는 포드(5)의 상부 셸(3)의 하측 가장자리 부분을 누르는, 진퇴가능한 누름판(14)이 설치되어 있다.

그런데, 이러한 구성의 트레이 출납수단(20)은, 이하와 같이 작용하고, 효과를 발휘한다.

격벽(CA)의 트레이 출납수단(20)이 설치되어 있는 부분에 포드(5)가 적재되면, 누름판(14)으로 상부 셸(3)이 고정된다. 이 상태는, 트레이 출납수단(20)의 포드 수용판(11)에 포드(5)의 바닥덮개(2)가 적재되어 있는 상태이기도 하다.

계속해서, 에어튜브 시일수단(4)에 의해, 바닥덮개(2)와 상부 셸(3) 사이의 시일이 해제되고, 바닥덮개(2)가 저항없이 상부 셸(3)에 대해서 이탈이 가능한 상태로 된다. 이 상태를 나타내는 것이 도 3의 (a)이다.

여기에서 승강수단(12)에 의해, 포드 수용판(11)을 내리면, 도 3의 (b)의 상태로 되고, 바닥덮개(2)상에 단적층된 트레이(1M)는 꺼내져, 클린도가 높은 공정내 반송 스페이스(C0)내에 수용된 상태로 된다. 즉, 이 트레이 출납수단(20)은, 매우 용이하게 트레이(1)를 포드(5)로부터 출납할 수 있다.

이 때, 바닥덮개(2)의 하강에 따라, 상부 셸(3)의 하방 개구가 개방되게 되고, 상부 셸(3)내가 부압으로 되기 쉬워지지만, 수축된 에어튜브 시일수단(4)과 상부 셸(3) 사이에는 공기의 유통에 저항을 주지 않는 정도의 간극이 있으므로, 이 부압 발생을 억제할 수 있고, 아직 상부 셸(3)내에 있는 트레이(1M), 나아가서는 각각의 트레이(1)에 수용된 워크(W)에 이 부압에 의해 발생되는 기류를 타고 부착될 가능성이 있는 파티클의 부착을 억제할 수 있다.

또한 이 기류는 클린도가 높은 공정내 반송 스페이스(C0)측으로부터 발생되므로, 파티클의 영향을 보다 적게 할 수 있다.

즉, 본 발명의 포드(5)와, 이것에 대응한 포드 반송수단(10)과 트레이 출납수단(20)에 의하면, 상술의 포드(5)의 효과와, 상술의 클린도가 낮은 공정간 반송 스페이스(C1)에 있어서의 포드 반송수단(10)의 효과에 추가해서, 공정간 반송 스페이스(C1)로부터 공정내 반송 스페이스(C0)에의 트레이 출납수단(20)의 상기 효과를 아울러 발휘하고, 전체로서, 트레이 단위로의 취급의 자동화를 가능하게 하고, 깨끗한 상태로, 트레이(1)를 효율적으로 반송할 수 있다.

또한, 바닥덮개(2)가 떼어진 상태에서는, 상부 셸(3)이 공정간 반송 스페이스(C1)와 공정내 반송 스페이스(C0) 사이의 격벽의 역할을 하고 있고, 양자간의 공기의 유통을 저지하여, 공정내 반송 스페이스(C0)의 클린도가 공정간 반송 스페이스(C1)의 클린도에 영향을 주지 않도록 하고 있다.

또한, 상부 셸(3)은 바닥덮개(2)에 대하여 상술한 바와 같이 호환성이 있으므로, 이 상태로 대기하고, 가공처리가 끝난 트레이(1)를 복수단 적층한 바닥덮개(2)를 준비할 수 있던 경우에는, 그 바닥덮개(2)가 트레이 출납수단(20)에 의해 들어 올려져, 이 외부 셸(3)에 수용되고, 포드(5)로서, 포드 반송수단(10)의 반송 대상이 된다.

이렇게 해서, 본 발명의 호환성이 있는 바닥덮개(2)와, 상부 셸(3)을 조합한 포드(5)와, 이 바닥덮개(2)만을 승강시키는 트레이 출납수단(20)의 조합으로, 그 호환성을 이용한 유연성이 높은 반송이 가능해지고 있다.

도 4의 (a)는 도 1의 트레이단 적층단 분해수단의 평면도, (b)는 (a)의 측면도, (c)는 트레이단 적층단 분해수단이 트레이를 파지한 상태의 주요부 단면도이다.

이 트레이단 적층단 분해수단(40)은 트레이(1)를 1장씩 파지가능한 한쌍의 트레이 파지수단(31)과, 이 한쌍의 트레이 파지수단(31)을 그 대향거리를 가변으로 유지하는 슬라이드 유지수단(32)과, 슬라이드 유지수단(32)을 방향 제어 가능하게, 그 일단에 설치한 프리암(33)과, 이 프리암(33)의 기단을 승강가능하게 지지하는 승강수단(34)을 구비하고 있다.

또한, 이 트레이단 적층단 분해수단(40)은, 단적층된 트레이를 적재한 바닥덮개(2)를 승강가능하게 적재하는 바닥덮개 승강수단(35)을 구비하고 있지만, 트레이 파지수단(31)측이 승강가능하면, 이 바닥덮개 승강수단(35)은 승강가능한 것이 아니여도 좋다.

여기에서, 트레이단 적층단 분해수단(40)을 적용가능한 본 발명의 트레이(1)의 주요부 구성에 대해서, 도 4의 (c)를 이용하여 설명한다. 이 트레이(1)는 본 출원인에 의한 선원: 일본 특허출원 2005-214156호에 기재된 트레이의 주요부를 계승하는 것이다.

이 트레이(1)는 전체로서, 아래쪽이 넓어지는 원추 사다리꼴 형상의 차양이 부착된 모자 모양의 형상을 하고 있고, 그 상변부(1a)의 위에 워크(W)를 적재하고, 사변부(1b)에서 전체의 구조적 강도를 유지하고, 하변 하단부(1c)에서 트레이(1)의 파지를 가능하게 하고, 이 하변 하단부(1c)에 쌓아 올림 블록체(1d)를 부착한 것이다.

쌓아 올림 블록체(1d)는 겹쳐 쌓아야 하는 상하의 트레이(1)의 쌓아 올림 블록체(1d)와의 위치 결정을 위한 끼워 맞춤 돌기(1e) 및 끼워 맞춤 오목부(1f)와, 상하의 블록체(1d) 사이에 소정의 간극을 주는 파지 노치부(1g)를 구비하고 있다.

이 트레이(1)는 그 쌓아 올림에 대해서는, 그 위에 적층되는 트레이(1)의 하중을 쌓아 올림 블록체(1d)에서만 받으므로, 이 트레이(1)에 적재된 워크(W)에는 전혀 영향을 주지 않는다.

경사부(1b)에서 트레이(1)의 강도를 유지하면서, 이 경사부(1b)가 상하의 트 레이(1)로 서로 끼워 넣어지므로, 워크(W)의 쌓아 올려진 높이(H1)를 트레이(1) 자체의 높이(H0)보다 작게 할 수 있다.

경사부(1b)에서 트레이(1)의 강도가 유지되고, 쌓아 올림 블록체(1d)에는 파지 노치부(1g)가 있으므로, 이 부분에 트레이 파지수단(31)의 파지돌기(31a, 31b)를 끼워 넣어지게 하는 것만으로, 트레이(1)를 변형시키지 않고, 나아가서는, 트레이(1)에 적재된 워크(W)에 악영향을 주지 않고, 트레이(1)를 1개만 파지할 수 있다.

또한 이 때, 파지한 트레이(1) 위에 복수 트레이(1)가 단적층되어 있는 경우라도, 그 영향을 받지 않고, 단적층된 채로, 트레이(1)를 파지할 수 있다.

또한, 이러한 파지의 방법이 가능하게 됨으로써 워크(W)를 직접 파지하는 경우에는, 그 변형을 적게 하기 위해서, 워크(W)의 전체면을 탑재시키도록 취출수단을 출납하는 필요로부터, 워크(W)의 상하간에 그것을 위한 간극이 필요했던 것이, 그러한 간극이 전혀 필요 없어지고 있다.

결과적으로, 상술한 바와 같이, 이 트레이(1)를 이용한 경우, 종래의 직접 워크(W)를 각 단에 적재하는 카세트에 비해서, 쌓아 올림 높이를 수분의 1로 할 수 있는 것이다.

그런데, 상기의 설명으로부터 자명한 것이지만, 이러한 트레이(1)를 트레이단 적층단 분해수단(40)으로 단적층, 단분해하는 경우에는, 트레이 파지수단(31)을 소정의 높이로 하고, 그 파지돌기(31a, 31b)가 트레이(1)의 파지 노치부(1g)에 들어가도록 해서, 1장씩 트레이(1)를 파지한 후, 단적층하고, 단분해하면 좋다.

이 때, 파지한 트레이(1) 위에 단적층되어 있는 트레이(1)의 매수에 의하면, 2장 단위, 3장 단위 등 임의의 매수로, 단쌓기, 단분해가 가능하다.

이 트레이단 적층단 분해수단(40)은 트레이 반송수단(30)과 포드 반송수단(10) 사이에 설치되어 있으므로, 결과적으로, 필요에 따라, 트레이(1) 단위의 반송(1장씩의 매엽반송을 포함한다.)과, 포드(5)에 의힌 벌크반송(일정량 통합한 반송)을 선택할 수 있다.

또한, 트레이단 적층단 분해수단(40)으로, 단적층된 트레이(1M)로부터, 임의의 상하위치의 트레이(1)를 선택적으로 단분해하고 싶은 경우에는, 트레이단 적층단 분해수단(40)을 1대 더 설치해서, 불필요한 상단의 복수의 트레이(1)를 한쪽의 트레이단 적층단 분해수단(40)으로 빼낸 후에, 다른쪽의 트레이단 적층단 분해수단(40)으로 필요한 단수의 트레이(1)를 파지하고, 단분해하면 좋다.

혹은, 1대의 경우에는, 임시로 탑재할 장소를 만들어, 일시적으로 불필요한 트레이(1)를 대피시키고 나서, 필요한 트레이(1)를 단분해하도록 하면 좋다.

또한, 본 발명의 반송 시스템의 발명사상은, 종래, 반송측으로서는 클린도가 낮은 공정간 반송 스페이스(C1)내에 수비 범위가 한정되어 있던 것을 전체로서의 반송의 클린도의 향상과 효율화를 꾀하기 위해서, 그 수비 범위를 클린도가 높은 공정내 반송 스페이스(C0)에까지 미치게 한 점에도 나타나 있고, 이 점에서는, 종래의 반송 시스템의 틀을 깨는 획기적인 것이다.

이상, 실시예에 있어서 본 발명의 구체예를 상세하게 설명했지만, 이들은 예시에 지나지 않고, 특허청구범위를 한정하는 것은 아니다. 특허청구범위에 기재된 기술, 즉, 본원 특허발명의 기술적 범위에는, 각 소에 적당하게 기재되어 있는 바와 같이, 이상에 예시한 구체예를 다양하게 변형, 변경한 것이 포함된다.

본 발명의 반송 시스템은 클린도를 유지하면서, 트레이 단위로의 취급의 자동화, 다품종 소로트에의 대응, 반송효율의 향상을 가능하게 하는 것이 요청되는 산업분야에 이용할 수 있다.

제1항에 기재된 반송 시스템 의하면, 복수단 적층된 트레이를 포드에 대하여 출납하는 트레이 출납수단과, 이 포드를 반송하는 포드 반송수단을 설치했으므로, 트레이 단위로의 취급의 자동화를 가능하게 하고, 깨끗한 상태로, 트레이를 효율적으로 반송할 수 있다.

제2항에 기재된 반송 시스템에 의하면, 제1항의 효과에 추가해서, 트레이를 반송하는 트레이 반송수단과, 이 트레이 반송수단과 포드 반송수단 사이에, 트레이를 복수단 적층하거나, 혹은 복수단 적층된 트레이를 단분해하는 트레이단 적층단 분해수단을 설치했으므로, 필요에 따라, 트레이의 매엽반송과, 벌크반송을 선택할 수 있다.

제3항에 기재된 반송 시스템에 의하면, 제1항 또는 제2항의 효과에 추가해서, 포드는 복수단 적층된 트레이를 그 바닥덮개에 적재하는 구성으로서, 트레이 출납수단은, 상기 포드 상부 셸에 대하여 상대적으로 상기 바닥덮개를 승강시키는 것이므로, 단적층된 트레이를 용이하게 출납할 수 있다.

Claims

복수단 적층된 트레이를 포드에 대하여 출납하는 트레이 출납수단과, 이 포드를 반송하는 포드 반송수단을 설치한 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
제1항에 있어서, 트레이를 반송하는 트레이 반송수단과, 이 트레이 반송수단과 포드 반송수단 사이에, 트레이를 복수단 적층하거나, 혹은 복수단 적층된 트레이를 단분해하는 트레이단 적층단 분해수단을 설치한 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
제1항 또는 제2항에 있어서, 포드는 복수단 적층된 트레이를 그 바닥덮개에 적재하는 구성이며, 트레이 출납수단은 상기 포드의 상부 셸에 대하여 상대적으로 상기 바닥덮개를 승강시키는 것임을 특징으로 하는 반송 시스템.