JP4333701B2 - 搬送システム - Google Patents

Description

本発明は、半導体基板や液晶表示板などを製造する工場において、その素材となる平板状ワーク（半導体ウエハや、ガラス板）にクリーンルーム内で種々の加工処理を施す際に、平板状ワークを一枚ずつトレイに収容した状態で複数枚単位で、又は、一枚単位で搬送する搬送システムに関する。

半導体基板や液晶表示板などを製造する工場においては、その素材となる平板状ワーク（半導体ウエハや、ガラス板）の平面状態を極力維持すると共に、損傷を与えないようにするため、また、取扱スペースの節約の点から積み上げを可能とすると共にその積み上げ高さをできるだけ小さくするために、この平板状ワーク（以後、単に「ワーク」とも言う。）を収容するトレイが提案されている。

また、この段積みされたトレイを収容する格納容器も提案されており、その一例として、特許文献１には、半導体ウエハを、トレイに一枚ずつ収容して、このトレイを複数段積みして収容する格納容器が提案されている。

しかしながら、この特許文献１には、このように段積みされたトレイを格納容器（以後、本発明においては、「ポッド」と称する。）に収容するためのトレイ出し入れ手段や、段積みされたトレイを各加工処理のために一枚ずつ段ばらししたり、加工処理後のワークを収容したトレイをまた積み上げるための手段の記載はなかった。

一方、前記工場においては、生産効率の向上の点から、クリーン度を維持しつつ、上記トレイの特徴を生かしたトレイ出し入れ手段や、トレイ段積み段ばらし手段などによるクリーンルーム内でのトレイ取扱の自動化の要請は高く、また、これらのトレイ取扱手段は、多品種小ロットへの対応を可能とし、搬送効率の向上にも対応できるものであることが要請されている。
特開２００５−１９１４１９号公報（図１〜図４）

本願発明は、上記問題を解決しようとするものであり、クリーン度を維持しながら、トレイ単位での取扱の自動化、多品種小ロットへの対応、搬送効率の向上を可能とする搬送システムを提供することを課題としている。

請求項１記載の搬送システムは、複数段積みされたトレイを密閉収容したポッドを搬送するポッド搬送手段と、トレイを搬送するトレイ搬送手段と、このトレイ搬送手段と前記ポッド搬送手段との間に、トレイを複数段積みし、あるいは複数段積みされたトレイを段ばらしするトレイ段積み段ばらし手段とを設け、
前記ポッド搬送手段は、工程間搬送スペースでポッドを搬送するものであり、前記トレイ搬送手段は、前記工程間搬送スペースよりクリーン度の高い工程内搬送スペースで並設されている複数の加工処理ステーションに対してトレイを搬送するものであることを特徴とする。

請求項１記載の搬送システムは、加えて、前記工程内搬送スペースと前記工程間搬送スペースとの境界上に、前記ポッド搬送手段で搬送されたポッドが載置され、
前記境界上に載置されたポッドに複数段積みされたトレイを該ポッドから、前記工程間搬送スペースに対して出し入れするトレイ出し入れ手段を備え、前記トレイ段積み段ばらし手段は、前記トレイ出し入れ手段と前記トレイ搬送手段との間に設けられ、
前記ポッドは、段積みされたトレイを載せる底蓋と、この段積みされトレイを載せた底蓋を上方から覆う上殻とを備え、前記トレイ出し入れ手段は、工程間搬送スペース側である前記上殻に対して、前記底蓋を工程内搬送スペース側との間で上下させるものであり、このトレイ出し入れ手段による前記底蓋の上下の間、前記上殻は、前記工程間搬送スペースと前記工程内搬送スペースとを遮蔽することを特徴とする。

請求項２記載の搬送システムは、請求項１に従属し、上殻の下部開口部内縁と底蓋の外縁との間には、自由な空気の流通を阻止しない程度の隙間があり、底蓋はこの隙間を開閉するエアーチューブシール手段を備えていることを特徴とする。

請求項１記載の搬送システムよれば、複数段積みされたトレイを密閉収容したポッドを搬送するポッド搬送手段と、トレイを搬送するトレイ搬送手段と、このトレイ搬送手段と前記ポッド搬送手段との間に、トレイを複数段積みし、あるいは複数段積みされたトレイを段ばらしするトレイ段積み段ばらし手段とを設け、前記ポッド搬送手段は、工程間搬送スペースでポッドを搬送するものであり、前記トレイ搬送手段は、前記工程間搬送スペースよりクリーン度の高い工程内搬送スペースで並設されている複数の加工処理ステーションに対してトレイを搬送するので、搬送スペースのクリーン度に対応させた効率のよい搬送が可能となる。

請求項１記載の搬送システムによれば、加えて、前記工程内搬送スペースと前記工程間搬送スペースとの境界上に、前記ポッド搬送手段で搬送されたポッドが載置され、
前記境界上に載置されたポッドに複数段積みされたトレイを該ポッドから、前記工程間搬送スペースに対して出し入れするトレイ出し入れ手段を備え、前記トレイ段積み段ばらし手段は、前記トレイ出し入れ手段と前記トレイ搬送手段との間に設けられ、
前記ポッドは、段積みされたトレイを載せる底蓋と、この段積みされトレイを載せた底蓋を上方から覆う上殻とを備え、前記トレイ出し入れ手段は、工程間搬送スペース側である前記上殻に対して、前記底蓋を工程内搬送スペース側との間で上下させるものであり、このトレイ出し入れ手段による前記底蓋の上下の間、前記上殻は、前記工程間搬送スペースと前記工程内搬送スペースとを遮蔽するので、それぞれの搬送スペースのクリーン度の相互の影響を回避しながら、必要に応じて、トレイの枚葉搬送と、バルク搬送とを選択することができる。

請求項２記載の搬送システムによれば、請求項１の効果に加え、上殻の下部開口部内縁と底蓋の外縁との間には、自由な空気の流通を阻止しない程度の隙間があり、底蓋はこの隙間を開閉するエアーチューブシール手段を備えているので、段積みされたトレイを容易に出し入れすることができ、また、上殻と底蓋との間に互換性があり、多品種小ロット対応を可能とし、搬送効率を向上させることができる。

以下に、本発明の実施の形態（実施例）について、図面を用いて説明する。

図１（ａ）は、本発明の搬送システムの一例を示す全体配置図、（ｂ）は（ａ）の要部断面図である。
この搬送システム５０は、半導体基板や液晶表示板などを製造する工場において、その素材となる平板状ワーク（半導体ウエハや、ガラス板）にクリーンルーム内で種々の加工処理を施す際に、平板状ワークを一枚ずつトレイに収容した状態で複数枚単位で、又は、一枚単位で搬送するものである。

なお、以下では、半導体基板を製造する工場において、円形の半導体ウエハである平板状ワークＷ（以下、単に「ワーク」とも言う。）を同様に円形形状のトレイ１に収容して取り扱う例を説明するが、本発明の対象とする平板状ワーク、トレイの形状などはこれらに限定されるものではない。

搬送システム５０は、ワークＷを一枚ずつ収容したトレイ１と、このトレイ１を複数段積みしたものを載置する底蓋２と、このトレイ１を複数段積みした状態の底蓋２に対して気密に上方から設置される上殻３（底蓋２と上殻３とから構成されるトレイ収納容器をポッド５とする。）と、このポッド５を搬送するポッド搬送手段１０と、複数段積みされたトレイをポッドに対して出し入れするトレイ出し入れ手段２０と、トレイを搬送するトレイ搬送手段３０と、トレイ段積み段ばらし手段４０とを備えている。

図中で、符号Ｓは、この搬送システム５０が設置され、半導体製造工程の各加工処理のうちの一つを受け持つ加工処理ステーションであり、図中下段左端より、反時計回りに各ステーションを、Ｓ（１）、・・・、Ｓ（４）、Ｓ（５）などと表記する。
この加工処理ステーションＳでは、トレイ１からワークＷを取り出して、所定の加工処理を施したのち、また、トレイ１に戻すようにしている。
トレイ１、底蓋２と上殻３とから構成されるポッド５については、図２を用いて後に詳述する。

ポッド搬送手段１０は、各加工処理工程間を、ある程度のまとまりをもってワークＷ、つまり、トレイ１を搬送するもので、具体的には、上述したように、ワークＷを一枚づつ収容したトレイ１を複数段積みしたもの１Ｍを収容したポッド５を搬送するものである。
このポッド搬送手段１０は、床面走行の台車タイプであって、決められた走行路６と、この走行路７を自動制御されて走行する複数の台車７とを備えている。

したがって、このポッド搬送手段１０は、工程間搬送スペースＣ１という、クリーン度の比較的低いクリーン環境の中で用いられるものであるが、ワークＷとトレイ１は、気密なポッド５に収容された状態で搬送されるので、クリーン度の低い工程間搬送スペースＣ１中のパーテイクル（ダストなどの粒子を言う。）に汚染されることがない。
なお、ポッド搬送手段としては、ここでは床面走行の台車タイプを例示したが、これに限らず、天井走行タイプや、コンベア式であってもよい。
トレイ出し入れ手段２０については、図３を用いて、後に詳述する。

トレイ搬送手段３０は、各加工処理ステーションＳ（１）〜Ｓ（８）にトレイ１を搬送するトレイ搬送手段３０Ａと、トレイ段積み段ばらし手段４０からトレイ搬送手段３０Ａへトレイ１を搬送するトレイ搬送手段３０Ｂと、トレイ搬送手段３０Ａからトレイ段積み段ばらし手段４０へとトレイ１を搬送するトレイ搬送手段３０Ｃとを備えている。

このトレイ搬送手段３０は、ローラコンベアや、ベルトコンベアなどを用いると良いが、これらの限らず、クリーン環境下で、トレイ１を曲線部を含めてスムーズに搬送できるものであれば良い。
なお、トレイ搬送手段３０で搬送するトレイ１は、一枚ずつであってもよく（枚葉搬送）、複数段積みされた状態であっても良い。
トレイ段積み段ばらし手段４０については、図４を用いて、後に詳述する。

なお、トレイ出し入れ手段２０、トレイ搬送手段３０、トレイ段積み段ばらし手段４０が設けられたスペースは、各加工処理ステーションＳ（１）〜Ｓ（８）内と同様に、ポッド搬送手段１０が設けられたクリーン度の低い工程間搬送スペースＣ１に比べて、よりクリーン度の高い空間であり、工程内搬送スペースＣ０と称する。

図２（ａ）は、図１のポッドの横断面を概念的に示す図、（ｂ）は（ａ）の縦断面を概念的に示す図、（ｃ）は（ａ）のポッドの底蓋閉止状態の要部詳細図、（ｄ）は同底蓋開放状態の要部詳細図である。これより既に説明した部分には、同じ符号を付して重複説明を省略する。

ポッド５を構成する底蓋２は、正方形の板状であり、その上に複数段積みされたトレイ１を載置することが出来、その４辺外縁にそって、エアーチューブシール手段４が設けられている。

エアーチューブシール手段４は、前記４辺外縁に沿って、一辺の一部が開口した四角筒を巻き付けた収容筒体４ａと、この収容筒体４ａに収容され、収縮・膨張するエアーチューブ４ｂと、このエアーチューブ４ｂの収縮・膨張に伴って、その突起部４ｄが収容筒体４ａの開口部分対して、内側位置と突出した位置とに移動するシール体４ｃとを備えている。

底蓋２の下側、つまり、トレー１を載置する側とは反対側には、ポッド５を上下に積み重ねる際に、ポッド５相互間の水平方向の位置決めをするための嵌め込み凹所２ａが設けられている。この嵌め込み凹所２ａは、ポッド５を上下に積み重ねる必要がない場合には、不要のものである。

上殻３は、トレイ１収納状態のポッド５を上下に積み重ねても耐え得る強度を持った構造体であり、また、それ自身、気密を維持できるものである。
上殻３の下部開口部は、エアーチューブシール手段４を含めた底蓋２の外縁に沿う形状ではあるが、この下部開口部内縁と、蓋２の外縁との間には、自由な空気の流通を阻止しない程度の隙間があり、この隙間は、エアーチューブシール手段４によって開閉されるようになっている。

上殻３の上縁には、上記底蓋２の嵌め込み凹所２ａに対応して、ポッド５を上下に積み重ねる際に、ポッド５相互間の水平方向の位置決めをするための嵌め込み凸所３ａが設けられている。この嵌め込み凸所３ａも、ポッド５を上下に積み重ねる必要がない場合には、不要のものである。

上殻３の側面には、外側に張り出した取手５ａが設けられている。この取手５ａは、底蓋２以外の部分で、ポッド５を持ち上げたりする場合に用いられるもので、例えば、収容したトレイ１を含めたポッド５の重量がそれほど重くない場合には、現場で、人手で持ち上げるのに都合が良い。しかしながら、この取手５ａは、その必要がない場合には不要のものである。

上殻３の高さは、ポッド５の中に収容すべきトレイ１の段積み枚数に対応させて自由に変えることができる。この際、底蓋２（エアーチューブシール手段４を含む。）との間には上記隙間があるので、同じ底蓋２にどの上殻３でも使用可能で、底蓋２に依存しないで、その高さを変えることができ、ポッド５の高さ、つまり、トレイ１の収容枚数の自由度が高くなる。

このような自由度の高さは、従来用いられていた、トレイを用いずに、ワークを載置する複数の棚板を設けた側面開口式のカセットでは、対応不可能なものである。

また、ここで用いるトレイ１は、図４で後述するような構造により、上記従来方式のカセットに比べ、ワークＷ間の積み上げ高さを数分の一程度に小さくすることができるものであり、従来の同じ枚数のワークＷを収容するための、上殻３の高さを数分の一程度とすることができる。

ここで、本発明の搬送システムの発明者は、このようなトレイ１の特徴を生かして、単に上殻３の高さを従来のカセットと同様にして、トレイ１（ひいては、ワークＷ）の収容枚数を増やすのではなく、より少ない枚数を基本単位として、一つのポッド５に収容可能として、多量搬送の場合には、このポッド５自身を、上述の嵌め込み凹所２ａ、嵌め込み凸所３ａなどを設けて、多段積み上げ可能とすることを着想したものである。

そのようにすると、より小分けの搬送が可能であり、多品種小ロット対応が可能となり、搬送効率が向上する。
つまり、本発明のポッド５は、上記のようなトレイ１を複数段積み載置する底蓋２と、それに対して、エアーチューブシール手段４により互換性がありながら、機密性を保つ上殻３との組み合わせで、上記のように、多品種小ロット対応を可能とし、搬送効率を向上させることを可能とするものである。

図３（ａ）、（ｂ）は、図１のトレイ出し入れ手段の作用効果を説明する図である。
本発明においては、ポッド５から、トレイ１Ｍを出し入れするトレイ出し入れ手段２０は、ポッド５自身が、上述したように、底蓋２にトレイ１を複数段積み載置し、上殻３に対しては、エアーチューブシール手段４によって、容易にシール解除と抵抗無く離脱が可能なものであるので、図１（ｂ）でも解るように、トレイ出し入れ手段２０は、この底蓋２を昇降させる非常に簡単な構造のもので足りる。

ここでは、より具体的にその構造を示しており、トレイ出し入れ手段２０は、通常、クリーンルームで用いることが可能な昇降手段１２の上部に、ポッド５の底蓋２に合わせたポッド受板１１を載置したものである。
ポッド受板１１は、底蓋２に嵌め込み凹所２ａがある場合には、これに嵌合する嵌め込み突起１１ａを設けるのがよく、その場合には、トレイ出し入れ手段２０とポッド５との間の水平方向の位置決めがより確実になる。

また、このトレイ出し入れ手段２０は、クリーン度の低い工程間搬送スペースＣ１とクリーン度の高い工程内搬送スペースＣ０とを隔てる隔壁ＣＡの水平部分に設けられ、その開口部１３に、ポッド受板１１が嵌まり込むようになっている。
この開口部１３の周辺には、ここに載置されるポッド５の上殻３の下縁部分を押さえる、進退可能な押さえ板１４が設けられている。

さて、このような構成のトレイ出し入れ手段２０は、以下のように作用し、効果を発揮する。
隔壁ＣＡのトレイ出し入れ手段２０が設けられている部分に、ポッド５が載置されると、押さえ板１４で上殻３が固定される。この状態は、トレイ出し入れ手段２０のポッド受板１１にポッド５の底蓋２が載置されている状態でもある。

ついで、エアーチューブシール手段４によって、底蓋２と上殻３との間のシールが解除され、底蓋２が抵抗無く上殻３に対して離脱が可能な状態となる。この状態を示すのが図３（ａ）である。

ここで昇降手段１２によって、ポッド受板１１を下げれば、図３（ｂ）の状態となり、底蓋２上に段積みされたトレイ１Ｍは、取り出され、クリーン度の高い工程内搬送スペースＣ０内に収容された状態となる。つまり、このトレイ出し入れ手段２０は、ごく容易にトレイ１をポッド５から出し入れすることができる。

この際、底蓋２の下降に伴い、上殻３の下方開口が開放されることとなり、上殻３内が負圧となりやすくなるが、収縮したエアーチューブシール手段４と上殻３との間には空気の流通に抵抗を与えない程度の隙間があるので、この負圧発生を押さえることができ、まだ、上殻３内にあるトレイ１Ｍ、ひいてはそれぞれのトレイ１に収容されたワークＷにこの負圧によって生じる気流に乗って付着する可能性のあるパーテイクルの付着を抑制することができる。

また、この気流は、クリーン度の高い工程内搬送スペースＣ０側から発生するので、よりパーテイクルの影響を少なくすることができる。

つまり、本発明のポッド５と、これに対応したポッド搬送手段１０とトレイ出し入れ手段２０とによれば、上述のポッド５の効果と、上述のクリーン度の低い工程間搬送スペースＣ１におけるポッド搬送手段１０の効果に加え、工程間搬送スペースＣ１から工程内搬送スペースＣ０へのトレイ出し入れ手段２０の上記効果を併せ発揮し、全体として、トレイ単位での取扱の自動化を可能とし、クリーンな状態で、トレイ１を効率よく搬送することができる。

なお、底蓋２が取り外された状態では、上殻３が、工程間搬送スペースＣ１と工程内搬送スペースＣ０との間の隔壁の役割を果たしており、両者間の空気の流通を阻止し、工程内搬送スペースＣ０のクリーン度が、工程間搬送スペースＣ１のクリーン度に影響されないようにしている。

また、この上殻３は、底蓋２に対して上述したように互換性があるので、この状態で待機して、加工処理が済んだトレイ１を複数段積みした底蓋２が準備できた場合には、その底蓋２がトレイ出し入れ手段２０により持ち上げられて、この外殻３に収容されて、ポッド５として、ポッド搬送手段１０の搬送対象となる。

こうして、本発明の互換性のある底蓋２と、上殻３とを組み合わせたポッド５と、この底蓋２だけを昇降させるトレイ出し入れ手段２０との組み合わせで、その互換性を利用した、柔軟性の高い搬送が可能となっている。

図４（ａ）は、図１のトレイ段積み段ばらし手段の平面図、（ｂ）は（ａ）の側面図、（ｃ）はトレイ段積み段ばらし手段がトレイを把持した状態の要部断面図である。

このトレイ段積み段ばらし手段４０は、トレイ１を一枚ずつ把持可能な一対のトレイ把持手段３１と、この一対のトレイ把持手段３１をその対向距離を可変に保持するスライド保持手段３２と、スライド保持手段３２を方向制御可能に、その一端に設置したフリーアーム３３と、このフリーアーム３３の基端を昇降可能に支持する昇降手段３４とを備えている。

また、このトレイ段積み段ばらし手段４０は、段積みされたトレイを載置した底蓋２を昇降可能に載置する底蓋昇降手段３５を備えているが、トレイ把持手段３１側が昇降可能であれば、この底蓋昇降手段３５は、昇降可能なものでなくとも良い。

ここで、トレイ段積み段ばらし手段４０を適用可能な本発明のトレイ１の要部構成について、図４（ｃ）を用いて説明する。このトレイ１は、本出願人による先願：特願２００５−２１４１５６号に記載されたトレイの要部を受け継ぐものである。

このトレイ１は、全体として、すそ広がりの円錐台形形状の鍔付き帽子様の形状をしており、その上辺部１ａの上ににワークＷを載置し、斜辺部１ｂで全体の構造的強度を保持し、下辺裾部１ｃでトレイ１の把持を可能とし、この下辺裾部１ｃに積み上げブロック体１ｄを組み付けたものである。

積み上げブロック体１ｄは、積み重ねるべき上下のトレイ１の積み上げブロック体１ｄとの位置決めのための嵌合突起１ｅ及び嵌合凹部１ｆと、上下のブロック体１ｄ間に所定の隙間を与える把持切欠部１ｇを備えている。

このトレイ１は、その積み上げについては、その上積みされるトレイ１の荷重を積み上げブロック体１ｄだけで受けるので、このトレイ１に載置されたワークＷには全然影響を与えない。

傾斜部１ｂでトレイ１の強度を保持しながら、この傾斜部１ｂが上下のトレイ１で相互に嵌まり込むので、ワークＷの積み上げた高さＨ１をトレイ１自身の高さＨ０より小さくできる。

傾斜部１ｂでトレイ１の強度が保持され、積み上げブロック体１ｄには把持切欠部１ｇがあるので、この部分に、トレイ把持手段３１の把持突起３１ａ、３１ｂを嵌まり込ませるだけで、トレイ１を変形させずに、ひいては、トレイ１に載置されたワークＷに悪影響を与えることなく、トレイ１を一つだけ把持することができる。

また、この際、把持したトレイ１の上に複数トレイ１が段積みされている場合でも、その影響を受けることなく、段積みされたままで、トレイ１を把持することができる。

更に、このような把持の方法が可能になることで、ワークＷを直接把持する場合には、その変形を少なくするため、ワークＷの全面を載せるように取り出し手段を出し入れする必要から、ワークＷの上下間にそのための隙間が必要であったのが、そのような隙間が全く必要なくなっている。

結果として、上述したように、このトレイ１を用いた場合、従来の直接ワークＷを各段に載置するカセットに比べ、積み上げ高さを数分の一とすることができるのである。

さて、上記の説明から自明のことであるが、このようなトレイ１を、トレイ段積み段ばらし手段４０で段積み、段ばらしする場合には、トレイ把持手段３１を所定の高さとし、その把持突起３１ａ、３１ｂがトレイ１の把持切欠部１ｇに入り込むようにして、一枚ずつトレイ１を把持した後、段積みし、段ばらしすれば良い。

この際、把持したトレイ１の上に段積みされているトレイ１の枚数によれば、２枚単位、３枚単位など任意の枚数で、段積み、段ばらしが可能である。

このトレイ段積み段ばらし手段４０は、トレイ搬送手段３０とポッド搬送手段１０との間に設けられているので、結果として、必要に応じて、トレイ１単位の搬送（一枚ずつの枚葉搬送を含む。）と、ポッド５によるバルク搬送（一定量纏めた搬送）を選択することができる。

なお、トレイ段積み段ばらし手段４０で、段積みされたトレイ１Ｍから、任意の上下位置のトレイ１を選択的に段ばらししたい場合には、トレイ段積み段ばらし手段４０を更に一台設置して、不要な上段の複数のトレイ１を一方のトレイ段積み段ばらし手段４０で取り上げた後に、他方のトレイ段積み段ばらし手段４０で必要な段数のトレイ１を把持し、段ばらしすればよい。

あるいは、一台の場合には、仮置き場所を作り、一時不要なトレイ１を退避させてから、必要なトレイ１を段ばらしするようにすればよい。

なお、本発明の搬送システムの発明思想は、従来、搬送側としては、クリーン度の低い工程間搬送スペースＣ１内に守備範囲が限定されていたのを、全体としての搬送のクリーン度の向上と効率化を図るため、その守備範囲をクリーン度の高い工程内搬送スペースＣ０にまで及ばせた点にも表れており、この点では、従来の搬送システムの殻を破る画期的なものである。

以上、実施例において本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示にすぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術、つまり、本願特許発明の技術的範囲には、各所に適宜記載しているように、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。

本発明の搬送システムは、クリーン度を維持しながら、トレイ単位での取扱の自動化、多品種小ロットへの対応、搬送効率の向上を可能とすることが要請される産業分野に用いることができる。

（ａ）は、本発明の搬送システムの一例を示す全体配置図、（ｂ）は（ａ）の要部断面図 （ａ）は、図１のポッドの横断面を概念的に示す図、（ｂ）は（ａ）の縦断面を概念的に示す図、（ｃ）は（ａ）のポッドの底蓋閉止状態の要部詳細図、（ｄ）は同底蓋開放状態の要部詳細図 （ａ）、（ｂ）は、図１のトレイ出し入れ手段の作用効果を説明する図 （ａ）は、図１のトレイ段積み段ばらし手段の平面図、（ｂ）は（ａ）の側面図、（ｃ）はトレイ段積み段ばらし手段がトレイを把持した状態の要部断面図

符号の説明

１ トレイ
２ 底蓋
３ 上殻
５ ポッド
１０ ポッド搬送手段
２０ トレイ出し入れ手段
３０ トレイ搬送手段
４０ トレイ段積み段ばらし手段
５０ 搬送システム

Claims (2)

1. 複数段積みされたトレイを密閉収容したポッドを搬送するポッド搬送手段と、トレイを搬送するトレイ搬送手段と、このトレイ搬送手段と前記ポッド搬送手段との間に、トレイを複数段積みし、あるいは複数段積みされたトレイを段ばらしするトレイ段積み段ばらし手段とを設け、
   前記ポッド搬送手段は、工程間搬送スペースでポッドを搬送するものであり、前記トレイ搬送手段は、前記工程間搬送スペースよりクリーン度の高い工程内搬送スペースで並設されている複数の加工処理ステーションに対してトレイを搬送するものであり、
   前記工程内搬送スペースと前記工程間搬送スペースとの境界上に、前記ポッド搬送手段で搬送されたポッドが載置され、
   前記境界上に載置されたポッドに複数段積みされたトレイを該ポッドから、前記工程間搬送スペースに対して出し入れするトレイ出し入れ手段を備え、前記トレイ段積み段ばらし手段は、前記トレイ出し入れ手段と前記トレイ搬送手段との間に設けられ、
   前記ポッドは、段積みされたトレイを載せる底蓋と、この段積みされトレイを載せた底蓋を上方から覆う上殻とを備え、前記トレイ出し入れ手段は、工程間搬送スペース側である前記上殻に対して、前記底蓋を工程内搬送スペース側との間で上下させるものであり、このトレイ出し入れ手段による前記底蓋の上下の間、前記上殻は、前記工程間搬送スペースと前記工程内搬送スペースとを遮蔽する搬送システム。
2. 上殻の下部開口部内縁と底蓋の外縁との間には、自由な空気の流通を阻止しない程度の隙間があり、底蓋はこの隙間を開閉するエアーチューブシール手段を備えている請求項１記載の搬送システム。

Images