KR20130118754A - 차량용 범용 압력 센서 - Google Patents

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Abstract

센서 하우징, 실리콘 압전 저항 감지 코어, 센서 코어 시트, 신호 조절 회로 및 차량 전자 장치 인터페이스를 포함하는 자동차용 범용 압력 센서가 제시된다. 실리콘 압전 저항 감지 코어, 센서 코어 시트 및 신호 조절 회로는 센서 하우징의 내부 공동에 배치된다. 센서 하우징은 차량 전자 장치 인터페이스에 설치되고, 실리콘 압전 저항 감지 코어는 실리콘 압전 저항 감지 소자 및 유리 링 쉬트를 포함한다. 실리콘 압전 저항 감지 소자는 유리 링 쉬트에 용접되어 고정된다. 절연 산화층이 실리콘 압전 저항 감지 소자 및 유리 링 쉬트의 한쪽 표면에 형성된다. 유리 링 쉬트의 다른 한쪽 표면은 센서 코어 시트에 구비되는 링 형상의 오목한 표면에 밀폐 고정된다. 센서 코어 시트는 센서 하우징의 압력 인넷에 밀폐 및 회전 고정되고, 그 후에 실리콘 압전 저항 감지 코어의 내부 도선은 센서 코어 시트의 링 형상의 오목한 표면의 중앙 구멍의 다른 단부를 통하여 중앙 구멍의 다른 한쪽 단부에 구비된 삽입 기판에 연결되고, 그 다음에 차량 전자 장치 인터페이스에 의해 신호 조절 회로를 통하여 인도된다.

Description

차량용 범용 압력 센서{UNIVERSAL PRESSURE SENSOR FOR AUTOMOBILE}
본 발명은 차량용 범용 압력 센서에 관한 것이고, 특히 실리콘계 MEMS 기술에 기반을 둔 차량용 범용 압력 센서에 관한 것이며, 센서는 다양한 차량 및 각각의 차량 시스템에서의 오일 압력, 가스 압력, 연료, 냉매, 액체 압력 등과 같은 매질의 압력 측정을 위해 사용될 수 있다.
자동차 전자 제어 시스템의 정보 소스의 하나로서, 자동차용 범용 압력 센서는 자동차 전자 제어 시스템의 중요한 부품이며, 또한 차량 전자 장치의 기술 분야에 대한 연구의 핵심적인 사항들 중의 하나이다. 자동차용 범용 압력 센서는 브레이크 시스템, 자동 변속기, 공조 시스템, 현가 장치, 엔진 오일 압력, 파워 전환 변속 시스템, 엔진 직접 분사 압력, LPG 시스템, CNG 시스템 및 자동차의 유사한 장치와 같은 부품의 제어 압력 측정을 위해 주로 사용된다.
1980년대에, 전형적인 자동차 고압 센서는 막 두께가 두꺼운 세라믹 기술을 사용하였으며, 다년간의 발전에 따라 근래에는 세라믹 코어를 제조하기 위한 비용이 현저하게 감소 되었으며 가격은 자동차에 적용하기 위한 요건을 충족시키고 있다. 그러나, 취성이 높기 때문에 세라믹 재료는 액체 압력 충격의 과부하에 대한 저항성이 열악(일반적으로 정적 압력의 단지 1.5 ~ 2 과부하 용량을 갖는다)하고, 진동 저항성이 열악하고, 신뢰성이 낮고, 출력 감도(2 mV/V)가 낮아서 세라믹 재료는 자동차에서의 압력 측정에 대한 높아진 요구를 충족시키지 못하므로 배제되고 있다.
1990년대에, 스트레인 기술을 사용한 자동차 고압 센서들이 또한 출현하였으며, 이러한 자동차 고압 센서는 코어 제조를 위한 저비용 특성을 여전히 유지하면서, 막 두께가 두꺼운 세라믹의 열악한 진동 저항의 문제를 해결하는 동시에 압력 충격 과부하에 대항하는 능력을 향상시켰다. 그러나, 센서의 구조적인 원리는 접착 금속 스트레인 기술을 사용하였기 때문에, 유기 접착제의 피로(fatigue)로 인한 전체 센서의 수명 단축이 초래되었으며, 접착제의 크립(creep)으로 인하여 사용 시간에 따라 측정 정확성이 저하되었으며, 한편 출력 감도는 여전히 낮았다.
최근에, 미국의 메저먼트 스페셜티즈 인코퍼레이티드(Measurement Specialties Inc.) 및 미국의 센사타(Sensata)는 접착 스트레인 게이지 기술을 고온 유리 분말 소결 실리콘 스트레인 게이지 기술로 대체함으로써 전술한 스트레인 기술에 대한 향상을 달성하였으며, 코어 제조 비용이 약간 증가하지만 이 기술은 경시적으로 변하는 센서의 측정 정확성의 문제 및 수명의 문제를 해결하는 동시에 실리콘 스트레인 게이지를 사용함으로써 출력 감도를 상당히 증가시킨다. 그러나, 유리 분말 소결 공정에서 유리 분말층의 두께로 인하여 면적은 상대적으로 크고, 유리 재료가 상대적으로 취약하기 때문에 급격한 압력 과부하 충격 및 온도 충격을 받을 때에 소결 유리층에서 파괴가 일어날 것이며, 작동 온도 범위가 단지 -20℃ 내지 80℃이므로, 이 기술은 여러 관점에서 자동차에서의 작동 요건을 충족시킬 수 없다. 또한, 이후의 단계에서, 전술한 스트레인 모드의 단점은 스트레인 모드에서 파생되는 스퍼터 박막 모드 범용 압력 센서에 의해서 해결되고, 작동 온도 범위는 자동차에서의 요건을 또한 충족시킬수 있고, 출력 감도는 5 mV/V에 도달할 수 있으며, 압력 과부하 충격의 저항성은 2배가 될 수 있다. 그러나, 이 기술은 상대적으로 높은 제조 비용 때문에 자동차 분야에 광범위하게 적용되어 보급될 수 없다.
유럽의 켈러(KELLER) 및 미국의 허니웰(Honeywell)과 같은 회사들은 MEMS 단결정 실리콘 감지 소자를 사용하고, 출력 감도는 20 mV/V에 도달할 수 있으며 압력 과부하 충격의 저항성은 3배가 될 수 있고, 자동차에 적용하는 것을 만족시킨다는 전제하에서 반도체 MEMS 공정을 이용함으로써 낮은 비용으로 감지 소자들의 배치 방식(batch) 제조가 달성되지만, 단결정 실리콘 범용 압력 센서 칩의 국제적으로 보편적인 설계는 후방 표면이 칩을 지지하며 전방 표면이 압력을 지탱하는 구조이고, 특히 측정 매질의 호환성 요건을 충족하기 위하여 복잡한 절연 오일 충전 용접 기술이 요구되기 때문에, 제품의 제조 비용은 상당히 증가하고, 따라서 자동차 분야에 광범위하게 적용되어 보급될 수 없다.
전술한 문제를 해결하기 위하여, 본 발명은 높은 측정 정확성 및 저비용의 특성을 갖는 자동차용 범용 압력 센서를 제공하는데, 이 센서는 오일 압력, 가스 압력, 연료, 냉매, 유체 압력 등과 같은 압력의 측정 요건을 충족시킬 수 있고 설치가 간편하고 신뢰성이 있다.
본 발명의 기술적인 해결 방안은 다음과 같이 달성된다. 자동차용 범용 압력 센서는 센서 하우징, 실리콘 압전 저항 감지 코어, 센서 코어 시트(core seat), 신호 조절 회로 및 차량 전자 장치 인터페이스를 포함하며, 실리콘 압전 저항 감지 코어, 센서 코어 시트 및 신호 조절 회로는 센서 하우징의 내부 공동(cavity)에 배치되고, 센서 하우징은 차량 전자 장치 인터페이스에 설치된다.
실리콘 압전 저항 감지 코어는 실리콘 압전 저항 감지 소자 및 유리 링(glass ring) 쉬트를 포함한다. 실리콘 압전 저항 감지 소자는 실리콘 산화물 층과 실리콘 질화물 층이 차례로 피복된 실리콘 필름 쉬트(film sheet)를 포함한다. 실리콘 압전 저항 감지 소자의 전방 표면의 중앙부에는 휘트스톤 브리지가 구비되는 한편, 실리콘 필름 쉬트가 전방 표면의 주위 부분에서 노출된 후에 실리콘 압전 저항 감지 소자는 열팽창 계수가 실리콘과 비슷한 유리 링 쉬트의 한쪽 표면에 견고하게 용접된다. 휘트스톤 브리지에 대한 스트레인 저항은 용접된 내부 도선을 통하여 인도된다. 절연 산화층이 실리콘 압전 저항 감지 소자 및 유리 링 쉬트의 전방 표면에 형성된다.
유리 링 쉬트의 다른 표면은 센서 코어 시트에 구비되는 링 형상의 오목한 표면에 밀폐 고정된다. 센서 코어 시트는 센서 하우징의 압력 인넷(pressure inlet)에 밀폐 및 회전 고정된다. 실리콘 압전 저항 감지 코어의 내부 도선은 센서 코어 시트의 링 형상의 오목한 표면의 중앙 구멍의 다른 단부를 통하여 중앙 구멍의 다른 한쪽 단부에 구비된 삽입 기판에 연결되고, 그 다음에 실리콘 압전 저항 감지 코어의 내부 도선은 신호 조절 회로를 통해 차량 전자 장치 인터페이스에 의해 인도된다.
센서 하우징은 센서 베이스(base) 및 센서 쉴드(shield)를 포함하는데, 센서 쉴드는 센서 베이스에 회전 고정되며 내부 공동을 형성한다. 센서 쉴드는 차량 전자 장치 인터페이스에 설치되고, 센서 베이스의 중앙부는 압력 인넷으로 작용하는 계단식 구멍을 구비하고, 센서 코어 시트는 나사 실런트(thread sealant)에 의해 센서 코어의 계단식 구멍에 회전 고정된다.
본 발명의 다른 향상으로서, 계단식 구멍의 둘레면은 링 형상 오목부를 구비하고, 링 형상 오목부에는 밀봉 O 링이 구비되는 한편, 센서 코어 시트는 센서 베이스의 계단식 구멍에 회전 고정되고, 센서 코어 시트가 밀봉 O 링을 밀착하여 누르며, 따라서 센서 코어 새시와 센서 베이스 간에 밀폐 고정이 달성된다.
본 발명의 다른 향상으로서, 신호 조절 회로를 구비한 신호 조절 회로 기판이 센서 하우징의 내부 공동에 고정되고, 신호 조절 회로는 신호 증폭 회로, 제로 위치 및 풀 스케일 출력 조절 회로, 제로 위치 및 감지 온도 계수 보상 회로, 비선형 트림 회로를 포함한다.
본 발명의 다른 향상으로서, 센서에 상응하는 압력 측정 범위는 0 ~ 0.5 MPa 내지 0 ~ 100 MPa이며, 둥글고 평평한 실리콘 필름 쉬트의 직경과 두께는 각각 2 mm ~ 4 mm와 0.22 ~ 0.91 mm이다.
본 발명의 다른 향상으로서, 유리 링 쉬트의 내벽과 센서 코어 시트의 중앙 구멍의 내벽에는 절연 표면으로서 접착 실리콘 고무가 구비된다.
본 발명의 다른 향상으로서, 센서 쉴드는 실런트에 의해 차량 전자 장치 인터페이스에 회전 고정되고, 센서 코어 시트와 센서 베이스 간의 링 형상 연결 이음매, 및 센서 쉴드와 센서 베이스 간의 링 형상 연결 이음매는 레이저 빔 또는 전자 빔에 의해 밀폐 용접된다.
본 발명의 다른 향상으로서, 센서 코어 시트, 센서 베이스 및 센서 하우징은 스테인리스 강 재료로 만들어진다.
본 발명의 다른 향상으로서, 파이렉스 7740 또는 GG-17 유리 링 쉬트가 유리 링 쉬트를 위해 사용된다.
본 발명의 유리한 기술적 효과는, 휘트스톤 브리지가 실리콘 압전 저항 감지 소자의 전방 표면에 제공되는 한편, 후방 표면은 압력 지탱 표면으로 작용하고, 이와 같이 함으로써 외부 매질의 압력이 압력 인넷을 통하여 들어오게 되고 실리콘 압전 저항 감지 소자의 후방 표면이 압력을 지탱하며, 따라서 외부 매질로부터의 충격이 감소하는 것이다.
또한, 실리콘 압전 저항 감지 소자는 유리 링 쉬트를 통하여 센서 코어 시트에 밀폐 고정되고, 차례로 센서 코어 시트는 센서 하우징의 압력 인넷의 내측에 밀폐 고정되는 한편, 센서 하우징은 센서 베이스와 센서 쉴드로 구성되고, 센서 쉴드는 센서 베이스에 회전 고정되며 내부 공동을 형성하고, 센서 쉴드는 차량 전자 장치 인터페이스에 설치되고, 압력 인넷으로서 계단식 구멍이 센서 베이스의 중앙부에 있으며, 센서 코어 시트는 나사 실런트에 의해 센서 베이스의 계단식 구멍에 회전 고정되고, 이와 같이 함으로써 다수의 조치에 의해 센서를 제조하는 한편 유리 링 쉬트, 센서 코어 시트, 센서 베이스 및 센서 쉴드 간의 밀봉 특성이 보장되고, 따라서 측정 신뢰성이 보장된다.
또한, 절연 산화층이 실리콘 압전 저항 감지 소자 및 유리 링 쉬트의 전방 표면에 형성되고, 따라서 측정 정확성이 향상되며, 신호 조절 회로를 도입함으로써 신호 증폭, 제로 위치 및 풀 스케일 출력 조절, 제로 위치 및 감지 온도 계수 보상 과 비선형 트리밍이 실현되고, 따라서 자동차 고압 측정의 요건을 완전히 충족시킨다.
본 발명의 전술한 목적, 특징 및 장점을 더욱 명확하고 쉽게 이해할 수 있도록, 첨부 도면과 관련하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명될 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예의 실리콘 압전 저항 감지 소자의 구조를 도시한 개략도이다.
도 2는 본 발명의 실리콘 압전 저항 감지 코어의 구조를 도시한 개략도이다.
도 3은 본 발명의 실시예의 실리콘 압전 저항 감지 코어 및 센서 코어 시트의 조립체를 도시한 개략도이다.
도 4는 본 발명의 실시예의 조립되었을 때 센서 코어 및 센서 베이스의 구조를 도시한 개략도이다.
도 5는 본 발명의 실시예의 자동차 범용 압력 센서의 구조를 도시한 개략도이다.
본 발명의 실시예들의 상세한 설명은 도 1, 도 2, 도 3, 도 4, 및 도 5를 각각 참조하여 이하에서 설명될 것이다.
차량 범용 압력 센서는 센서 하우징, 실리콘 압전 저항 감지 코어, 센서 코어 시트, 신호 조절 회로 및 차량 전자 장치 인터페이스를 포함한다. 실리콘 압전 저항 감지 코어, 센서 코어 시트 및 신호 조절 회로는 센서 하우징의 내부 공동에 배치된다. 센서 하우징은 차량 전자 장치 인터페이스에 설치되고, 신호 조절 회로를 구비한 신호 조절 회로 기판(101)은 센서의 내부 공동에 고정된다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 실리콘 압전 저항 코어는 압전 저항 감지 소자(1) 및 유리 링 쉬트(2)로 구성된다. 압전 저항 감지 소자는 둥근 형상의 평평한 실리콘 박막(11)을 포함하며, 그 전방 표면은 실리콘 산화물(SiO2) 층(12) 및 실리콘 질화물(Si3N4) 층(13)으로 피복되어 있다. 실리콘 압전 저항 감지 소자(1)의 전방 표면의 중앙부(즉, 실리콘 질화물 층(13) 표면)에는 휘트스톤 브리지가 구비되고, 실리콘 필름 쉬트가 전방 표면의 주위 부분에서 노출된 후에, 압전 저항 감지 소자(1)는 열팽창 계수가 실리콘과 유사한 유리 링 쉬트(2)에 견고하게 용접된다. 휘트스톤 브리지 상의 스트레인 저항(14)은 용접된 금실 내부 도선(15)을 통하여 인도되고, 후방 표면을 압력을 받게 되며, 따라서 외부 매질의 영향은 감소된다. 반도체 저온 양극 산화 절연 공정이 절연 산화층을 형성하도록 압전 저항 감지 소자(1) 및 유리 링 쉬트(2)의 전방 표면에 시행된다.
도 3에 도시된 바와 같이, 유리 링 쉬트(2)의 다른 표면(연마되지 않은 거친 표면, 도 3의 각도에서 보았을 때 상부 표면)은 에폭시 수지에 의해 센서 코어 시트(3)에 구비된 링 형상의 오목한 표면에 밀폐 고정된다. 압전 저항 감지 코어 몸체 상의 금실 내부 도선(15)은 센서 코어 시트(3)의 링 형상의 오목한 표면의 중앙 구멍의 한쪽 단부를 통하여 센서 코어 시트에 구비된 중앙 구멍의 다른 한쪽 단부의 삽입 기판으로 인도되고, 그 다음에 압전 저항 감지 코어 상의 금실 내부 도선(15)은 신호 조절 회로를 통하여 차량 전자 장치 인터페이스(7)에 의해 인출된다. 도 5에 도시된 바와 같이, 삽입 기판(4)은 센서 코어 시트(3) 상의 중앙 구멍의 한쪽 단부의 링 형상의 오목한 표면에 접착 결합되고, 인출 케이블 코어 와이어(8)를 통한 신호 조절 회로 기판(101)에 연결에 의해서 보내진다.
도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 센서 하우징은 센서 베이스(5) 및 센서 쉴드(6)로 구성된다. 센서 쉴드(6)는 센서 베이스(5)에 회전 고정되고 그 후에 내부 공동이 형성된다. 일 실시예에서, 센서 코어(3), 센서 베이스(5) 및 센서 쉴드는 스테인리스 강 재료로 만들어진다. 센서 쉴드(6)는 차량 전자 장치 인터페이스(7)에 설치된다. 압력 인넷으로서 계단식 구멍이 센서 베이스(5)의 중앙부에 구비되고, 센서 코어의 외부 나사산은 나사 실런트(10)에 의해 센서 베이스(5)의 계단식 구멍의 내부 나사산 홈에 회전 고정된다. 계단식 구멍의 둘레면은 밀봉 O 링(51)이 구비되는 링 형상 오목부를 구비한다. 센서 코어(3)가 센서 베이스(5)의 계단식 구멍에 회전 고정되는 한편, 센서 코어 시트(3)가 밀봉 O 링(51)을 밀착하여 누르며(밀착하여 조이고 밀봉될 때까지 조이기 위해 고정 토크 스패너가 사용될 수 있음), 이에 의해 센서 코어(3)와 센서 베이스(5) 간에 밀봉 고정이 달성된다.
센서의 신뢰성을 향상시키기 위하여, 유리 링 쉬트(2)의 내벽 및 센서 코어 시트(3)의 중앙 구멍의 내벽에는 절연 표면으로서 접착 실리콘 고무가 구비되고, 동시에 센서 코어 시트(3)와 센서 베이스(5) 간의 링 형상 연결 이음매(91), 및 센서 베이스(5)와 센서 쉴드(6) 간의 링 형상 연결 이음매(92)는 레이저 또는 전자를 이용하여 용접되고 밀봉되며, 따라서 높은 신뢰성을 갖는 3중의 복수 층 밀봉 구조가 형성된다.
신호 조절 회로를 구비한 신호 조절 회로 기판(101)이 센서의 내부 공동에 고정된다. 신호 조절 회로는 신호 증폭 회로, 제로 위치 및 풀 스케일 출력 조절 회로, 제로 위치 및 감지 온도 계수 보상 회로, 비선형 트림 회로를 구비한다. 센서에 상응하는 측정 범위는 0 ~ 0.5 MPa 내지 0 ~ 100 MPa이며, 실리콘 필름 쉬트(11)의 직경과 두께는 각각 2 mm ~ 4 mm와 0.22 ~ 0.91 mm이다.
센서의 측정 정확성을 향상시키기 위하여, 이 구조의 밀봉 특성은 특히 중요하며, 센서 쉴드(6)는 실런트에 의해 차량 전자 장치 인터페이스(7)에 회전 고정된다. 센서 코어 시트(3)와 센서 베이스(5) 간의 링 형상 연결 이음매(91), 및 센서 쉴드(6)와 센서 베이스(5) 간의 링 형상 연결 이음매는 레이저 또는 전자를 이용하여 밀폐 용접되며, 따라서 높은 신뢰성을 갖는 복수 층 밀봉 구조가 형성된다.
일 실시예에서, 유리 링 쉬트(2)는 파이렉스 7740 또는 GG-17 유리 링 쉬트를 사용하고, 파이렉스 유리 링은 코닝 사의 제품인데, 이 제품은 반도체 패킹을 위해 특별히 설계된 것이며 실리콘에 근접한 물리적 특성을 갖고 있으며, 중국에서 제조된 대체품이 GG-17 붕규산 유리(borosilicate glass)이다. 실리콘 압전 저항 감지 소자의 휘트스톤 브리지 부분은 "미니 동적 압전 저항 범용 압력 센서 및 그 제조 방법"(특허 번호 ZL200310106329.8)이라는 발명의 명칭을 갖는 중국 특허에 개시된 기술적 해결 방안을 이용하여 만들어진다.
저비용, 높은 정확성, 높은 신뢰성 및 긴 수명을 갖는 차량용 범용 압력 센서는 전술한 실시예에서 반도체 평면 집적 회로 기술, MEMS 기술 및 디지털 스마트 회로 기술를 조합함으로써 생성된다.
차량용 압력 센서는 의도한 기술에 기반을 두고 있으며, 그 주요 성능 지표는 다음과 같다.
1) 압력 측정 범위 : 0 ~ 0.5 내지 0 ~ 100 MPa;
2) 전원 및 신호 : 전원 5 V DC ± 0.5이고, 신호는 0 내지 5 V 사이의 임의 비율의 출력;
3) 작동 온도 구역 : -40 내지 125℃(장기간), -55 내지 135℃(4시간);
4) 정확성 수준 : A 레벨 전체 작동 온도 구역의 통합 오차는 1%FS보다 양호하고, B 레벨 전체 작동 온도 구역의 통합 오차는 0.5%FS보다 양호;
5) 충격 과부하 저항 용량 : 600%FS보다 높음;
6) 수명 : 107회의 압력 사이클;
7) 안정성 : 0.25%FS.
본 발명은 전술한 바와 같이 바람직한 실시예로 이미 설명하였지만, 실시예들은 본 발명을 제한하도록 의도한 것이 아니며, 당업자는 본 발명의 사상 및 범주에서 벗어나지 않고 개량 및 향상을 시킬 수 있고, 따라서 본 발명의 보호 범위는 청구범위에 의해 한정되어야 한다.
1 - 실리콘 압전 저항 감지 소자
11 - 둥글고 평평한 실리콘 필름 쉬트
12 - SiO2 층
13 - Si3N4 층
14 - 스트레인 저항
15 - 금실 내부 도선
2 - 유리 링 쉬트
3 - 센서 코어 시트
4 - 삽입 기판
5 - 센서 베이스
51 - 밀봉 O 링
6 - 센서 쉴드
7 - 차량 전자 장치 인터페이스
8 - 인출 케이블 코어 와이어
91, 92 - 링 형상 연결 이음매
10 - 나사 실런트
101 - 신호 조절 회로 기판

Claims (9)

  1. 센서 하우징, 실리콘 압전 저항 감지 코어, 센서 코어 시트, 신호 조절 회로 및 차량 전자 장치 인터페이스를 포함하는 차량용 범용 압력 센서로서, 실리콘 압전 저항 감지 코어, 센서 코어 시트 및 신호 조절 회로는 센서 하우징의 내부 공동에 배치되고, 센서 하우징이 차량 전자 장치 인터페이스에 설치되어 있는, 상기 차량용 범용 압력 센서에 있어서,
    실리콘 압전 저항 감지 코어는 실리콘 압전 저항 감지 소자(1) 및 유리 링 쉬트(2)를 포함하며, 실리콘 압전 저항 감지 소자(1)는 그 전방 표면에 실리콘 산화물 층(12)과 실리콘 질화물 층(13)이 차례로 피복된 실리콘 필름 쉬트(11)를 포함하며, 실리콘 압전 저항 감지 소자의 전방 표면의 중앙부에는 휘트스톤 브리지가 구비되는 한편, 실리콘 필름 쉬트가 전방 표면의 주위 부분에 노출된 후에 실리콘 압전 저항 감지 소자는 실리콘과 유사한 열팽창 계수를 갖는 유리 링 쉬트(2)의 한쪽 표면에 용접되어 고정되고, 휘트스톤 브리지에 대한 스트레인 저항(14)은 내부 도선(15)을 통하여 인도되고, 절연 산화층이 실리콘 압전 저항 감지 소자 및 유리 링 쉬트의 한쪽 표면에 형성되며,
    유리 링 쉬트(2)의 다른 한쪽 표면은 센서 코어 시트(3)에 구비되는 링 형상의 오목한 표면에 밀폐 고정되고, 센서 코어 시트(3)는 센서 하우징의 압력 인넷에 밀폐 및 회전 고정되고, 실리콘 압전 저항 감지 코어의 내부 도선(15)은 센서 코어 시트의 링 형상의 오목한 표면의 중앙 구멍의 한쪽 단부를 통하여 중앙 구멍의 다른 한쪽 단부에 구비된 삽입 기판(4)에 도달되고, 그 다음에 내부 도선은 차량 전자 장치 인터페이스(7)에 의해 신호 조절 회로를 통해 인도되며,
    센서 하우징은 센서 베이스(5) 및 센서 쉴드(6)를 포함하고, 센서 쉴드(6)는 센서 베이스(5)에 회전 고정되며 그 후에 내부 공동을 형성하고, 센서 쉴드는 차량 전자 장치 인터페이스(7)에 설치되고, 센서 베이스(5)의 중앙부는 압력 인넷으로서 계단식 구멍을 구비하고, 센서 코어 시트(3)는 나사 실런트에 의해 센서 베이스(5)의 계단식 구멍에 회전 고정되는 것을 특징으로 하는 차량용 범용 압력 센서.
  2. 제1항에 있어서,
    계단식 구멍의 둘레면은 링 형상 오목부를 구비하고, 링 형상 오목부에는 밀봉 O 링(51)이 구비되는 한편, 센서 코어 시트(3)는 센서 베이스(5)의 계단식 구멍에 회전 고정되고, 센서 코어 시트(3)가 밀봉 O 링(51)을 밀착하여 누르는 것을 특징으로 하는 차량용 범용 압력 센서.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    신호 조절 회로를 구비한 신호 조절 회로 기판(101)이 센서 하우징의 내부 공동에 고정되고, 신호 조절 회로는 신호 증폭 회로, 제로 위치 및 풀 스케일 출력 조절 회로, 제로 위치 및 감지 온도 계수 보상 회로, 비선형 트림 회로를 포함하는 것을 특징으로 하는 차량용 범용 압력 센서.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    센서의 압력 측정 범위는 0 ~ 0.5 MPa 내지 0 ~ 100 MPa인 것을 특징으로 하는 차량용 범용 압력 센서.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    센서의 직경과 두께는 각각 2 mm ~ 4 mm와 0.22 mm ~ 0.91 mm인 것을 특징으로 하는 차량용 범용 압력 센서.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    유리 링 쉬트(2)의 내벽과 센서 코어 시트(3)의 중앙 구멍의 내벽에는 절연 표면으로서 접착 실리콘 고무가 구비된 것을 특징으로 하는 차량용 범용 압력 센서.
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    센서 쉴드(6)는 실런트에 의해 차량 전자 장치 인터페이스(7)에 회전 고정되고, 센서 코어 시트(3)와 센서 베이스(5) 간의 링 형상 연결 이음매(91) 및 센서 쉴드(6)와 센서 베이스(5) 간의 링 형상 연결 이음매(92)는 레이저 빔 또는 전자 빔에 의해 밀폐 용접되는 것을 특징으로 하는 차량용 범용 압력 센서.
  8. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    센서 코어 시트, 센서 베이스 및 센서 쉴드는 스테인리스 강 재료로 만들어진 것을 특징으로 하는 차량용 범용 압력 센서.
  9. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    유리 링 쉬트(2)는 파이렉스(Pyrex) 7740 또는 GG-17 유리 링 쉬트를 사용한 것을 특징으로 하는 차량용 범용 압력 센서.
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