KR20170051641A - 기판 이송 용기 저장 장치 - Google Patents

Abstract

기판 이송 용기를 수납하기 위한 복수의 선반들, 상기 복수의 선반들은 제 1 선반, 상기 제 1 선반 아래에 배치되는 제 2 선반을 포함하고, 상기 기판 저장 용기가 적재되는 공간을 제공하며 상기 제 1 및 제 2 선반들을 지지하는 프레임, 및 상기 적재 공간 내에 제공되어 상기 제 1 및 제 2 선반들의 일 측면들을 가로지르는 제 1 레버를 포함하는 기판 이송 용기 저장 장치를 제공하되, 상기 제 1 레버는 상기 프레임의 내측에 결합되고, 그의 길이 방향과 직교하는 제 1 회전축을 따라 회전하도록 구성되는 막대 형상의 몸체부, 상기 몸체부의 일단에 제공되고, 상기 제 2 선반의 상기 일 측면에 연결되는 제 1 연결 링크, 및 상기 몸체부의 타단에 연결되는 제 1 그립부를 포함하고, 상기 제 1 레버는 상기 제 1 그립부에 가해지는 외력에 의해 상기 제 1 회전축을 따라 회전하여 상기 제 2 선반을 수평 방향으로 직선 이동시킬 수 있다.

Description

기판 이송 용기 저장 장치{APPARATUS FOR LOADING SUBSTRATE STORAGE CONTAINER}

본 발명은 기판 이송 용기 저장 장치에 관한 것으로, 상세하게는 자동 반송 시스템의 기판 이송 용기 저장 장치에 관한 것이다.

반도체, 액정 등의 제조 설비에서, 공정에 사용되는 물품(예를 들어, 웨이퍼 또는 기판이 격납되어 있는 캐리어 등은 제조 프로세스에 따라 제조 장치와 보관 설비의 사이에서 반송된다. 이러한 제조 공정 내의 물품 반송을 위하여 자동 재료 취급 시스템(AMHS: Automated Material Handling System)이 제조 설비에서 주로 채용되어 있다. 반송 시스템으로서는, 천장에 매달린 궤도상을 주행해서 피반송물을 반송하는 OHT(Overhead Hoist Transport) 시스템과 OHS(Over Head Shuttle) 시스템 및 마루 위를 자동 주행하는 반송 대차를 채용한 반송 시스템을 포함하는, 궤도상을 주행하는 반송 대차에 의한 반송 시스템이 주류가 되고 있다.

캐리어 보관 설비는 선행 공정이 완료된 웨이퍼 또는 기판이 적재되어 있는 캐리어를 반입하여 일정시간 동안 보관하고 있다가 후속 공정을 진행될 때 외부로 반출시키는 설비로 스토커(stocker) 또는 버퍼(buffer)라고 불려진다.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 복 열의 피반송물 적재 공간을 갖는 기판 이송 용기 저장 장치를 제공하는데 있다.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이상에서 언급한 과제에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상술한 기술적 과제들을 해결하기 위한 본 발명의 실시예들에 따른 기판 이송 용기 저장 장치는 기판 이송 용기를 수납하기 위한 복수의 선반들, 상기 복수의 선반들은 제 1 선반, 상기 제 1 선반 아래에 배치되는 제 2 선반을 포함하고, 상기 기판 저장 용기가 적재되는 공간을 제공하며, 상기 제 1 및 제 2 선반들을 지지하는 프레임, 및 상기 적재 공간 내에 제공되어 상기 제 1 및 제 2 선반들의 일 측면들을 가로지르는 제 1 레버를 포함할 수 있다.

일 실시예에 따르면, 상기 제 1 레버는 상기 프레임의 내측에 결합되고, 그의 길이 방향과 직교하는 제 1 회전축을 따라 회전하도록 구성되는 막대 형상의 몸체부, 상기 몸체부의 일단에 제공되고, 상기 제 2 선반의 상기 일 측면에 연결되는 제 1 연결 링크, 및 상기 몸체부의 타단에 연결되는 제 1 그립부를 포함할 수 있다.

일 실시예에 따르면, 상기 제 1 레버는 상기 제 1 그립부에 가해지는 외력에 의해 상기 제 1 회전축을 따라 회전하여 상기 제 2 선반을 수평 방향으로 직선 이동시킬 수 있다.

일 실시예에 따르면, 상기 제 1 연결 링크는 상기 제 1 레버의 회전 운동을 상기 제 2 선반의 직선 운동으로 변환하도록 구성될 수 있다.

일 실시예에 따르면, 상기 제 2 선반은 상기 제 1 그립부에 외력이 인가되는 일 방향과 반대되는 방향으로 수평 이동하도록 구성될 수 있다.

일 실시예에 따르면, 상기 프레임은 제 1 수평 지지부, 상기 제 1 수평 지지부 아래에 배치되어 상기 제 1 선반을 아래로부터 지지하는 제 2 수평 지지부, 상기 제 2 수평 지지부 아래에 배치되어 상기 제 2 선반을 아래로부터 지지하는 제 3 수평 지지부, 및 상기 제 1 내지 제 3 수평 지지부의 가장자리를 따라 배치되어 상기 제 1 내지 제 3 수평 지지부를 지지하는 수직 지지부를 포함할 수 있다.

일 실시예에 따르면, 상기 제 2 선반이 수평 이동하는 경로를 제공하는 제 1 가이드 레일을 더 포함하되, 상기 제 1 가이드 레일은 상기 제 3 수평 지지부 상에 결합되어 상기 제 2 선반을 지지할 수 있다.

일 실시예에 따르면, 상기 프레임은 상기 제 2 선반이 수평 이동하는 방향의 일 측면이 개방될 수 있다.

일 실시예에 따르면, 상기 제 2 선반 아래에 배치되는 제 3 선반, 및 상기 적재 공간 내에 제공되어 상기 제 1 내지 제 3 선반들의 일 측면들을 가로지르는 제 2 레버를 더 포함할 수 있다.

일 실시예에 따르면, 상기 제 2 레버는 상기 프레임의 내측에 결합되고, 그의 길의 방향과 직교하는 제 2 회전축을 따라 회전하도록 구성되는 막대 형상의 몸체부, 상기 몸체부의 일단에 제공되고, 상기 제 3 선반의 상기 일 측면에 연결되는 제 2 연결 링크, 및 상기 몸체부의 타단에 연결되는 제 2 그립부를 포함할 수 있다.

일 실시예에 따르면, 상기 제 2 레버는 상기 제 2 그립부에 가해지는 외력에 의해 상기 제 2 회전축을 따라 회전하여 상기 제 3 선반을 수평 방향으로 직선 이동시킬 수 있다.

일 실시예에 따르면, 상기 제 2 연결 링크는 상기 제 2 레버의 회전 운동을 상기 제 3 선반의 직선 운동으로 변환하도록 구성될 수 있다.

일 실시예에 따르면, 상기 프레임은 제 1 수평 지지부, 상기 제 1 수평 지지부 아래에 배치되어 상기 제 1 선반을 아래로부터 지지하는 제 2 수평 지지부, 상기 제 2 수평 지지부 아래에 배치되어 상기 제 2 선반을 아래로부터 지지하는 제 3 수평 지지부, 상기 제 3 수평 지지부 아래에 배치되어 상기 제 3 선반을 아래로부터 지지하는 제 4 수평 지지부, 및 상기 제 1 내지 제 4 수평 지지부의 가장자리를 따라 배치되어 상기 제 1 내지 제 4 수평 지지부를 지지하는 수직 지지부를 포함할 수 있다.

일 실시예에 따르면, 상기 제 3 선반이 수평 이동하는 경로를 제공하는 제 2 가이드 레일을 더 포함하되, 상기 제 2 가이드 레일은 상기 제 4 수평 지지부 상에 결합되어 상기 제 3 선반을 지지할 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따른 기판 이송 용기 저장 장치는 복 열의 저장 공간을 제공한다. 따라서, 기판 이송 용기 저장 장치 내에 적재할 수 있는 피반송물의 양이 증가하며, 기판 이송 용기 저장 장치 내의 저장 공간이 수직으로 배치되는 단순 구조로써 반도체 제조 설비 내에 공간 효율이 향상될 수 있다.

또한, 기판 이송 용기 저장 장치의 하단 열은 반송부에 의해 피반송물을 반입/반출하기 위하여 하단 열의 선반이 기판 이송 용기 저장 장치 전방으로 돌출된다. 이때, 반송부의 구동력을 레버와 같은 동력 전달 기구를 통해 하단 열의 선반으로 전달하여 하단 열의 선반이 이동할 수 있다. 따라서, 하단열의 선반 각각에 선반의 이동을 위한 별도의 구동 장치들을 설치할 필요가 없고, 기판 이송 용기 저장 장치에 간단한 구조의 레버를 설치하는 것만으로 복 열의 저장 공간에 모두 피반송물을 적재할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시예들에 따른 기판 이송 용기 저장 장치의 일 예를 설명하기 위한 측면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 용기 저장 장치를 설명하기 위한 사시도이다.
도 3은 기판 이송 용기 저장 장치의 움직임을 설명하기 위한 측면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 기판 이송 용기 저장 장치를 설명하기 위한 사시도이다.
도 5는 본 발명의 실시예들에 따른 기판 이송 용기 저장 장치의 다른 예를 설명하기 위한 측면도이다.
도 6은 도 5에 도시된 기판 이송 용기 저장 장치를 설명하기 위한 사시도이다.
도 7은 기판 이송 용기 저장 장치의 움직임을 설명하기 위한 측면도이다.
도 8은 도 7에 도시된 기판 이송 용기 저장 장치를 설명하기 위한 사시도이다.

본 발명의 구성 및 효과를 충분히 이해하기 위하여, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 설명한다. 그러나 본 발명은, 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라, 여러 가지 형태로 구현될 수 있고 다양한 변경을 가할 수 있다. 단지, 본 실시예들의 설명을 통해 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위하여 제공되는 것이다. 당해 기술분야에서 통상의 기술을 가진 자는 본 발명의 개념이 어떤 적합한 환경에서 수행될 수 있다는 것을 이해할 것이다. 명세서 전문에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 ‘포함한다(comprises)’ 및/또는 ‘포함하는(comprising)’은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.

본 명세서에서 어떤 면(또는 층)이 다른 면(또는 층) 또는 기판상에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 면(또는 층) 또는 기판상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 면(또는 층)이 개재될 수도 있다.

본 명세서의 다양한 실시예들에서 제 1, 제 2, 제 3 등의 용어가 다양한 영역, 면들(또는 층들) 등을 기술하기 위해서 사용되었지만, 이들 영역, 면들이 이 같은 용어들에 의해서 한정되어서는 안 된다. 이들 용어들은 단지 어느 소정 영역 또는 면(또는 층)을 다른 영역 또는 면(또는 층)과 구별시키기 위해서 사용되었을 뿐이다. 따라서, 어느 한 실시예에서의 제 1 면으로 언급된 면이 다른 실시예에서는 제 2 면으로 언급될 수도 있다. 여기에 설명되고 예시되는 각 실시예는 그것의 상보적인 실시예들도 포함한다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호로 표시된 부분들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.

또한, 본 명세서에서 기술하는 실시예들은 본 발명의 이상적인 예시도인 단면도 및/또는 평면도들을 참고하여 설명될 것이다. 도면들에 있어서, 막 및 영역들의 두께는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. 따라서, 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시도의 형태가 변형될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니라 제조 공정에 따라 생성되는 형태의 변화도 포함하는 것이다. 예를 들면, 직각으로 도시된 식각 영역은 라운드지거나 소정 곡률을 가지는 형태일 수 있다. 따라서, 도면에서 예시된 영역들은 개략적인 속성을 가지며, 도면에서 예시된 영역들의 모양은 소자의 영역의 특정 형태를 예시하기 위한 것이며 발명의 범주를 제한하기 위한 것이 아니다.

본 발명의 실시예들에서 사용되는 용어들은 다르게 정의되지 않는 한, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 통상적으로 알려진 의미로 해석될 수 있다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 설명함으로써 본 발명을 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 실시예들에 따른 기판 이송 용기 저장 장치를 포함하는 기판 이송 용기 저장 장치를 설명하기 위한 측면도이다. 도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 용기 저장 장치를 설명하기 위한 사시도이다. 도 3은 기판 이송 용기 저장 장치의 움직임을 설명하기 위한 측면도이다. 도 4는 도 3에 도시된 기판 이송 용기 저장 장치를 설명하기 위한 사시도이다. 도시된 실시예들에서, 기판 이송 용기 저장 장치는 클린 룸 등의 건물 내에 설치되며, 제품 제조 환경 내의 다양한 워크 스테이션들 사이에서 반도체 웨이퍼나 레티클 등의 물품을 수납하는 FOUP(Front Opening Unified Pod)과 같은 피반송물을 자동 저장하도록 구성된다.

설명의 편의를 위하여, 기판 이송 용기 저장 장치(100)의 위치관계는 직교하는 3축, 즉, 천정(c)과 평행한 제 1 방향(D1)과 제 2 방향(D2), 및 높이 방향의 제 3 방향(D3)을 기준으로 설명한다.

도 1 및 도 2를 참조하여, 기판 이송 용기 저장 장치(100)는 천정(c)에 매달려 피반송물(f)을 반송하는 반송부(200)와 인접하게 배치되며, 반송부(200)로부터 피반송물(f)이 입/출고 될 수 있다.

기판 이송 용기 저장 장치(100)는 프레임(110), 적어도 하나의 제 1 선반(122), 적어도 하나의 제 2 선반(124) 및 제 1 레버(130)를 포함할 수 있다. 한편, 기판 이송 용기 저장 장치(100)는 지주 등에 의해 천정(c)에 매달릴 수 있다. 기판 이송 용기 저장 장치(100)는 천정(c)에 매달리는 것에 한정되지 않고, 벽면 또는 바닥에 고정될 수도 있다.

프레임(110)은 서로 독립된 복수 개의 저장 공간들을 가질 수 있다. 예를 들어, 프레임(110)은 그의 내부에 상하로 분리되는 제 1 및 제 2 공간(110a, 110b)을 가질 수 있다. 제 2 공간(110b)은 제 1 공간(110a)의 아래에 위치하며, 제 1 공간(110a) 및 제 2 공간(110b) 내에 피반송물(f)이 적재될 수 있다. 상세하게는, 프레임(110)은 제 1 수평 지지부(112a), 제 2 수평 지지부(112b), 제 3 수평 지지부(112c) 및 수직 지지부(114)를 포함할 수 있다. 제 2 수평 지지부(112b)는 제 1 수평 지지부(112a) 아래에 배치될 수 있으며, 제 3 수평 지지부(112c)는 제 2 수평 지지부(112b) 아래에 배치될 수 있다. 제 1 내지 제 3 수평 지지부(112a, 112b, 112c)의 가장자리를 따라 수직 지지부들(114)이 배치될 수 있다. 이때, 제 1 내지 제 3 수평 지지부(112a, 112b, 112c)는 수직 지지부들(114)에 의해 고정 및 지지될 수 있다. 제 1 내지 제 3 수평 지지부(112a, 112b, 112c)는 그의 중심부가 개방된 형태를 가질 수 있으며, 상세하게는 제 1 내지 제 3 수평 지지부(112a, 112b, 112c)는 사각링 형상을 가질 수 있다. 제 1 공간(110a)은 제 1 수평 지지부(112a), 제 2 수평 지지부(112b) 및 수직 지지부(114)에 의해 정의되며, 제 2 공간(110b)은 제 2 수평 지지부(112b), 제 3 수평 지지부(112c) 및 수직 지지부(114)에 의해 정의될 수 있다. 프레임(110)은 고정부(116)를 더 포함할 수 있다. 고정부(116)은 제 1 공간(110a)의 일 측에 배치되어, 제 2 방향(D2)으로 서로 인접한 수직 지지부(114)를 연결할 수 있다. 프레임(110)은 반송부(200)를 향하는 제 2 방향(D2)의 전면이 개방되어 있고, 개방된 전면을 통해 피반송물(f)이 제 1 및 제 2 공간(110a, 110b)에 입/출고될 수 있다. 여기서, 프레임(110)의 전면은 반송부(200)와 대향하는 면으로 정의된다.

제 1 공간(110a) 내에 적어도 하나의 제 1 선반(122)이 배치될 수 있다. 제 1 선반(122)은 제 1 공간(110a)의 바닥 면, 즉, 제 2 수평 지지부(112b) 상에 배치 배치되어 제 2 수평 지지부(112b)에 고정되어 있을 수 있다. 제 1 선반(122) 상에 피반송물(f)이 적재될 수 있다.

제 2 공간(110b) 내에 적어도 하나의 제 2 선반(124)이 배치될 수 있다. 제 2 선반(124)은 제 2 공간(110b)의 바닥 면, 즉, 제 3 수평 지지부(112c) 상에 배치될 수 있다. 제 2 선반(124) 상에 피반송물(f)이 적재될 수 있다. 제 2 선반(124)은 제 2 방향(D2)을 따라 수평 이동 할 수 있다. 즉, 제 2 선반(124)은 제 2 공간(110b)으로부터 전방으로 전진 이동 및 후진 이동 할 수 있다. 이때, 수평 이동된 제 2 선반(124)의 위치는 제 3 방향(D3)을 따라 반송부(200)의 아래일 수 있다. 제 2 선반(124)은 그의 일 측에 제 1 방향(D1)으로 돌출되는 결합 돌기(124a)를 가질 수 있다. 제 2 선반(124)의 수평 이동은 제 1 가이드 레일(142)에 의해 이루어질 수 있다.

제 1 가이드 레일(142)은 제 2 공간(110b)의 하부에 배치될 수 있다. 즉, 제 1 가이드 레일(142)은 제 3 수평 지지부(112c) 상에 배치되며, 가이드 레일(142)이 배치되는 위치는 제 3 수평 지지부(112c)와 제 2 선반(124) 사이일 수 있다. 이때, 제 1 가이드 레일(142)은 제 3 수평 지지부(112c)에 고정될 수 있다. 제 1 가이드 레일(142)은 제 2 선반(124)이 수평 이동하는 경로를 제공할 수 있다. 예를 들어, 제 1 가이드 레일(142)은 제 2 방향(D2)으로 신장될 수 있으며, 제 2 선반(124)은 제 1 가이드 레일(142)에 결합되어 제 2 방향(D2)으로 수평 이동될 수 있다. 본 발명의 실시예들에서는 제 2 선반(124)의 이동 경로가 제 1 가이드 레일(142)에 의해 제공되는 것을 개시하고 있으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 제 2 선반(124)의 이동 경로는 슬라이드 레일과 같은 경로 제공 기구에 의해 제공될 수도 있다.

제 1 및 제 2 선반들(122, 124)의 일 측에 제 1 레버(130)가 배치될 수 있다. 또는, 제 1 레버(130)는 복수 개로 제공되어 제 1 및 제 2 선반들(122, 124)의 일 측, 및 상기 일 측과 대향하는 타 측에 배치될 수도 있다. 제 1 레버(130)는 제 1 및 제 2 선반들(122, 124)과 이격되어 배치될 수 있다. 이는, 제 1 레버(130)의 움직임이 제 1 선반(122) 상 피반송물(f)의 반입(load)/반출(unload)에 간섭하지 않도록 하기 위함이다. 제 1 레버(130)는 프레임(110)의 내측에 연결될 수 있다. 제 1 레버(130)는 막대 형상의 몸체부(132), 및 고정부(116)에 결합되는 제 1 회전축(134)을 포함할 수 있다. 이때, 몸체부(132)는 그의 길이 방향과 직교하는 제 1 회전축(134)을 따라 회전할 수 있다. 제 1 레버(130)는 프레임(110)에 고정되는 것이 아니며, 프레임(110)에 연결된 상태에서 제 1 방향(D1)과 평행한 축을 중심으로 회전할 수 있다. 즉, 제 1 레버(130)의 제 1 회전축(134)은 프레임(110)에 회전 가능하게 고정되어 지렛점(fulcrum point)으로서 작용하는 부분으로, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 제 1 레버(130)가 원을 그리며 회전하도록 한다. 제 1 레버(130)는 그의 일 측에 배치되는 제 1 그립부(136)를 더 포함할 수 있다. 제 1 그립부(136)은 몸체부(132)로부터 상향 경사질 수 있으며, 제 1 선반(122) 상으로 돌출될 수 있다. 제 1 레버(130)의 다른 일 측은 제 2 선반(124)과 연결될 수 있다. 예를 들어, 제 1 레버(130)는 다른 일 측에 배치되는 제 1 연결 링크(138)를 포함하며, 제 1 연결 링크(138)를 통해 제 2 선반(124)의 일 측과 연결될 수 있다. 상세하게는, 제 1 연결 링크(138)는 몸체부(132)의 길이 방향으로 연장된 홈 형태를 가지며, 제 1 연결 링크(138) 내에 제 2 선반(124)의 결합 돌기(124a)가 삽입되어 이동할 수 있다. 제 1 연결 링크(138)는 제 1 레버(130)의 회전 운동을 제 2 선반(124)의 직선 운동으로 변환할 수 있다. 즉, 제 1 레버(130)가 회전 운동을 할 때, 제 1 레버(130)는 제 1 연결 링크(138)를 통하여 제 2 선반(124)을 제 2 방향(D2)으로 밀거나 당길 수 있다.

반송부(200)는 이송 레일(R)을 따라 주행하며 피반송물(f)을 운반 및 입/출고 시킬 수 있다. 예를 들어, 반송부(200)는 OHT(Overhead Hoist Transport) 시스템을 포함할 수 있다. 반송부(200)는 주행 기구(210), 암(arm, 220), 승강 기구(230) 및 파지 기구(240)를 구비할 수 있다.

주행 기구(210)는 이송 레일(R)에 결합될 수 있다. 주행 기구(210)는 이송 레일(R)을 따라 반송부(200)를 이동시킬 수 있다. 주행 기구(210)는 프레임(110)의 전방으로 이동할 수 있다. 또는, 주행 기구(210)는 제조 프로세스에 따라, 즉, MCS(Material Control System)와 같은 제어 시스템의 명령에 따라 다양한 워크 스테이션들 사이에서 이동할 수 있다.

주행 기구(210) 하에 암(220)이 배치될 수 있다. 암(220)은 제 2 방향(D2)으로 신장(elongate) 및 수축(contract)할 수 있다. 반송부(200)가 주행중인 경우, 암(220)은 반송부(200)의 주행에 간섭하지 않도록 반송부(200) 내로 수축되어 있을 수 있다. 반송부(200)가 프레임(110)의 전방에 정차하였을 경우, 암(220)은 신장되어 제 1 선반(122) 상으로 수평 이동할 수 있다. 예를 들어, 암(220)은 제 1 레버(130)를 향하여 수평 이동할 수 있다. 구체적으로, 암(220)은 제 1 레버(130)를 향하여 선회한 후, 신장 또는 수축할 수 있다. 도 3 및 도 4를 참조하여, 암(220)은 제 1 레버(130)를 회전시킬 수 있다. 예를 들어, 암(220)은 기판 이송 용기 저장 장치(100)의 일 측에 위치하는 제 1 레버(130)의 제 1 그립부(136)를 향하여 신장 또는 수축할 수 있고, 제 1 레버(130)의 제 1 그립부(136)를 밀거나 당길 수 있다. 이때, 제 1 레버(130)는 회전축(134)을 중심으로 회전하게 되며, 이는 제 1 연결 링크(138)를 통하여 제 2 선반(124)의 평행 이동을 유발할 수 있다. 도시된 예들에서는 암(220)이 신장(elongate) 또는 수축(contract)되는 것으로 설명하였으나, 제 2 방향(D2)을 따라 이송 레일(R)의 좌우 양측으로 수평 이동할 수 있는 다양한 수평 이동 수단을 포함할 수 있다.

다시 도 1 및 도 2를 참조하여, 주행 기구(210) 하에 승강 기구(230)가 배치될 수 있다. 승강 기구(230)는 그의 아래에 배치되는 파지 기구(240)를 승하강 시킬 수 있다. 예를 들어, 승강 기구(230)는 파지 기구(240)와 연결되어 있는 벨트나 와이어, 로프와 같은 호이스트(hoist) 부재를 이용하여 파지 기구(240)를 승하강 시킬 수 있다. 일 예로, 승강 기구(230)는 제 1 공간(110a) 내로 이동된 후, 파지 기구(240)를 제 1 선반(122) 상으로 하강시키거나 상승시킬 수 있다. 일 예로, 암(220)에 의해 제 2 선반(124)이 제 2 공간(110b)으로부터 기판 이송 용기 저장 장치(100) 전방으로 돌출된 이후, 승강 기구(230)는 파지 기구(240)를 제 2 선반(124) 상으로 하강시키거나 상승시킬 수 있다.

파지 기구(240)는 피반송물(f)을 파지할 수 있다. 일 예로, 파지 기구(240)는 척(chuck)을 포함할 수 있다. 파지 기구(240)는 척을 이용하여 피반송물(f) 상부의 플랜지(flange)와 같은 파지부를 척킹(chucking) 또는 해방할 수 있다. 암(220), 승강 기구(230) 및 파지 기구(240)에 의해 반송부(200)는 피반송물(f)을 그 바로 아래의 위치와 이송 레일(R)의 좌우 양측의 위치에서 기판 이송 용기 저장 장치(100)와 주고 받을 수 있다.

다른 실시예에 따르면, 반송부(200)는 커버를 더 포함할 수도 있다. 커버는 제 1 방향(D1)을 따라 반송부(200)의 양측에 배치되며, 피반송물(f)의 낙하를 방지하기 위하여 제공될 수 있다.

기판 이송 용기 저장 장치의 제 2 선반 상에 피반송물(f)을 반입(즉, 탑재) 및 반출(즉, 출고)하는 원리에 대하여, 도 3 및 도 4를 참조하여 설명한다.

제 2 선반(124)에서 피반송물(f)을 반출하는 동작은 다음과 같다. 공정 내 이송 레일(R)을 따라 주행한 반송부(200)는, 피반송물(f)이 적재된 기판 이송 용기 저장 장치(100)의 대향 위치에 정지한다. 반송부(200)는 암(220)을 신장시켜 제 1 레버(130)를 밀고, 제 1 레버(130)는 회전을 통해 제 2 선반(124)을 반송부(200)의 바로 아래의 위치로 수평 이동시킨다. 이후, 승강 기구(230)는 파지 기구(240)를 소정의 높이 위치까지 하강시키고, 파지 기구(240)는 피반송물(f)을 파지한다. 파지 기구(240)가 피반송물(f)을 파지한 후, 승강 기구(230)는 파지 기구(240)와 함께 피반송물(f)을 상승시켜 반송부(200) 내에 위치시킨다. 계속해서, 암(220)을 수축 또는 후퇴시켜 제 1 레버(130)를 당기고, 제 1 레버(130)는 회전을 통해 제 2 선반(124)을 제 2 공간(110b) 내로 복귀시킬 수 있다. 그 후, 반송부(200)는 피반송물(f)의 다음 반송 목적지를 향해 공정 내 이송 레일(R)을 따라 주행한다.

반송부(200)가 피반송물(f)을 제 2 선반(124)에 반입하는 경우, 피반송물(f)의 반입 동작은, 상기 설명한 반출 동작과 반대의 순서로 수행될 수 있다. 예를 들어, 공정 내 이송 레일(R)을 따라 주행한 반송부(200)는 피반송물(f)이 반입될 기판 이송 용기 저장 장치(100)의 대향 위치에 정지한다. 반송부(200)는 암(220)을 신장시켜 제 1 레버(130)를 밀고, 제 1 레버(130)는 회전을 통해 제 2 선반(124)을 반송부(200)의 바로 아래의 위치로 이동시킨다. 이후, 승강 기구(230)는 피반송물(f)을 파지하고 있는 파지 기구(240)를 소정의 높이 위치까지 하강시키고, 파지 기구(240)는 제 2 선반(124) 상에 피반송물(f)을 적재한다. 승강 기구(230)는 파지 기구(240)를 상승시켜 반송부(200) 내에 위치시킨다. 계속해서, 암(220)을 수축 또는 후퇴시켜 제 1 레버(130)를 당기고, 제 1 레버(130)는 회전을 통해 피반송물(f)이 적재된 제 2 선반(124)을 제 2 공간(110b) 내로 복귀시킬 수 있다. 그 후, 반송부(200)는 다음 목적지를 향해 공정 내 이송 레일(R)을 따라 주행한다.

본 발명에 의하면, 기판 이송 용기 저장 장치는 제 1 공간 및 제 2 공간를 갖는 복 열의 저장 공간을 제공한다. 따라서, 기판 이송 용기 저장 장치 내에 적재할 수 있는 피반송물의 양이 증가하며, 기판 이송 용기 저장 장치 내의 저장 공간이 수직으로 배치되는 단순 구조로써 반도체 제조 설비 내에 공간 효율이 향상될 수 있다.

또한, 프레임 내의 제 2 선반은 피반송물을 반입/반출하기 위하여 제 2 선반이 프레임 전방으로 돌출된다. 이때, 기판 이송 용기 저장 장치의 제 1 레버는 외부의 구동력을 제 2 선반으로 전달하여 제 2 선반이 프레임의 전방으로 돌출되도록 유도한다. 이러한 구성에서, 본 발명에 의하면, 제 2 적재부의 제 2 선반들 각각에 제 2 선반들을 돌출시키기 위한 별도의 구동 장치들을 설치할 필요가 없고, 기판 이송 용기 저장 장치에 간단한 구조의 레버를 설치하는 것만으로 복 열의 저장 공간에 모두 피반송물을 적재할 수 있다.

일 실시예에서는 2열의 적재 공간을 제공하는 기판 이송 용기 저장 장치를 개시하고 있으나, 본 발명이 이에 한정되지는 않는다. 다른 실시예에 따르면, 본 발명의 실시예들에 따른 기판 이송 용기 저장 장치는 2열 이상의 피반송물 적재 공간을 제공할 수 있다. 도 5는 본 발명의 실시예들에 따른 기판 이송 용기 저장 장치의 다른 예를 설명하기 위한 측면도이다. 도 6은 도 5에 도시된 기판 이송 용기 저장 장치를 설명하기 위한 사시도이다. 도 7은 기판 이송 용기 저장 장치의 움직임을 설명하기 위한 측면도이다. 도 8은 도 7에 도시된 기판 이송 용기 저장 장치를 설명하기 위한 사시도이다. 이하, 설명의 간소화를 위해 중복되는 설명은 생략한다.

도 5 및 도 6을 참조하여, 기판 이송 용기 저장 장치(100)는 제 3 선반(126) 및 제 2 레버(150)를 더 포함할 수 있다.

프레임(110)은 제 2 공간(110b) 아래에 배치되는 제 3 공간(110c)을 더 가질 수 있다. 제 3 공간(110c) 내에 피반송물(f)이 적재될 수 있다. 상세하게는, 프레임(110)은 제 4 수평 지지부(112d)를 더 포함할 수 있다. 제 4 수평 지지부(112d)는 제 3 수평 지지부(112c) 아래에 배치될 수 있으며, 제 1 내지 제 4 수평 지지부(112a, 112b, 112c, 112d)의 가장자리를 따라 수직 지지부들(114)이 배치될 수 있다. 이때, 제 1 내지 제 4 수평 지지부(112a, 112b, 112c, 112d)는 수직 지지부들(114)에 의해 고정 및 지지될 수 있다. 제 4 수평 지지부(112d)는 그의 중심부가 개방된 형태를 가질 수 있으며, 상세하게는 제 4 수평 지지부(112d)는 사각 링 형상을 가질 수 있다. 제 3 공간(110c)은 제 3 수평 지지부(112c), 제 4 수평 지지부(112d) 및 수직 지지부(114)에 의해 정의될 수 있다. 프레임(110)은 반송부(200)를 향하는 제 2 방향(D2)의 전면이 개방되어 있고, 개방된 전면을 통해 피반송물(f)이 제 1 내지 제 3 공간(110a, 110b, 110c)에 입/출고될 수 있다.

제 3 공간(110c) 내에 적어도 하나의 제 3 선반(126)이 배치될 수 있다. 제 3 선반(126)은 제 3 공간(110c)의 바닥 면, 즉, 제 4 수평 지지부(112d) 상에 배치될 수 있다. 제 3 선반(126) 상에 피반송물(f)이 적재될 수 있다. 제 3 선반(126)은 제 2 방향(D2)을 따라 수평 이동 할 수 있다. 즉, 제 3 선반(126)은 제 3 공간(110c)으로부터 전방으로 전진 이동 및 후진 이동 할 수 있다. 이때, 수평 이동된 제 3 선반(126)의 위치는 제 3 방향(D3)을 따라 반송부(200)의 아래일 수 있다. 제 3 선반(126)은 그의 일 측에 제 1 방향(D1)으로 돌출되는 결합 돌기(126a)를 가질 수 있다. 제 3 선반(126)의 수평 이동은 제 2 가이드 레일(144)에 의해 이루어질 수 있다.

제 1 내지 제 3 선반들(122, 124, 126)의 일 측에 제 2 레버(150)가 배치될 수 있다. 제 2 레버(150)는 제 1 내지 제 3 선반들(122, 124, 126)과 이격되어 배치될 수 있다. 이는, 제 2 레버(150)의 움직임이 제 1 및 제 2 선반(122, 124)상으로의 피반송물(f)의 반입/반출, 및 제 2 선반(124)의 수평 이동에 간섭하지 않도록 하기 위함이다. 제 2 레버(150)는 프레임(110)의 내측에 연결될 수 있다. 제 2 레버(150)는 막대 형상의 몸체부(152), 및 고정부(116)에 결합되는 제 2 회전축(154)을 포함할 수 있다. 이때, 몸체부(152)는 그의 길이 방향과 직교하는 제 2 회전축(154)을 따라 회전할 수 있다. 제 2 레버(150)는 프레임(110)에 고정되는 것이 아니며, 프레임(110)에 연결된 상태에서 제 1 방향(D1)과 평행한 축을 중심으로 회전할 수 있다. 즉, 제 2 레버(150)의 제 2 회전축(154)은 프레임(110)에 회전 가능하게 고정되어 지렛점(fulcrum point)으로서 작용하는 부분으로, 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 제 2 레버(150)가 원을 그리며 회전하도록 한다. 제 2 레버(150)는 그의 일 측에 배치되는 제 2 그립부(156)를 더 포함할 수 있다. 제 2 그립부(156)은 몸체부(152)로부터 상향 경사질 수 있으며, 제 1 선반(122) 상으로 돌출될 수 있다. 제 2 레버(150)의 다른 일 측은 제 2 선반(124)과 연결될 수 있다. 예를 들어, 제 2 레버(150)는 다른 일 측에 배치되는 제 2 연결 링크(158)를 포함하며, 제 2 연결 링크(158)를 통해 제 3 선반(126)의 일 측과 연결될 수 있다. 상세하게는, 제 2 연결 링크(158)는 몸체부(152)의 길이 방향으로 연장된 홈 형태를 가지며, 제 2 연결 링크(158) 내에 제 3 선반(126)의 결합 돌기(126a)가 삽입되어 이동할 수 있다. 제 2 연결 링크(158)는 제 2 레버(150)의 회전 운동을 제 3 선반(126)의 직선 운동으로 변환할 수 있다. 즉, 제 2 레버(150)가 회전 운동을 할 때, 제 2 레버(150)는 제 2 연결 링크(158)를 통하여 제 3 선반(126)을 제 2 방향(D2)으로 밀거나 당길 수 있다.

반송부(200)는 주행 기구(210), 암(arm, 220), 승강 기구(230) 및 파지 기구(240)를 구비할 수 있다.

암(220)은 주행 기구(210) 하에 배치되어, 제 2 방향(D2)으로 신장(elongate) 또는 수축(contract)할 수 있다. 예를 들어, 암(220)은 제 1 레버(130) 또는 제 2 레버(150)를 향하여 수평 이동할 수 있다. 구체적으로, 암(220)은 제 2 레버(150)를 향하여 선회한 후, 신장 또는 수축할 수 있다. 도 7 및 도 8을 참조하여, 암(220)은 제 2 레버(150)를 회전시킬 수 있다. 예를 들어, 암(220)은 기판 이송 용기 저장 장치(100)의 일 측에 위치하는 제 2 레버(150)의 제 2 그립부(156)를 향하여 신장 또는 수축할 수 있고, 제 2 레버(150)의 제 2 그립부(156)를 밀거나 당길 수 있다. 이때, 제 2 레버(150)는 제 2 회전축(154)을 중심으로 회전하게 되며, 이는 제 2 연결 링크(158)를 통하여 제 3 선반(126)의 평행 이동을 유발할 수 있다.

이상, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.

100: 이송 용기 저장 장치 110: 프레임
122: 제 1 선반 124: 제 2 선반
130: 제 1 레버 142: 제 1 가이드 레일
200: 반송부 210: 주행 기구
220: 암 230: 승강 기구
240: 파지 기구
f: 피반송물
c: 천정
R: 이송 레일

Claims (10)

1. 기판 이송 용기를 수납하기 위한 복수의 선반들, 상기 복수의 선반들은 제 1 선반, 상기 제 1 선반 아래에 배치되는 제 2 선반을 포함하고;
   상기 기판 저장 용기가 적재되는 공간을 제공하며, 상기 제 1 및 제 2 선반들을 지지하는 프레임; 및
   상기 적재 공간 내에 제공되어 상기 제 1 및 제 2 선반들의 일 측면들을 가로지르는 제 1 레버를 포함하되,
   상기 제 1 레버는:
   상기 프레임의 내측에 결합되고, 그의 길이 방향과 직교하는 제 1 회전축을 따라 회전하도록 구성되는 막대 형상의 몸체부;
   상기 몸체부의 일단에 제공되고, 상기 제 2 선반의 상기 일 측면에 연결되는 제 1 연결 링크; 및
   상기 몸체부의 타단에 연결되는 제 1 그립부를 포함하고,
   상기 제 1 레버는 상기 제 1 그립부에 가해지는 외력에 의해 상기 제 1 회전축을 따라 회전하여 상기 제 2 선반을 수평 방향으로 직선 이동시키는 기판 이송 용기 저장 장치.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 제 1 연결 링크는 상기 제 1 레버의 회전 운동을 상기 제 2 선반의 직선 운동으로 변환하도록 구성되는 기판 이송 용기 저장 장치.
3. 제 1 항에 있어서,
   상기 제 2 선반은 상기 제 1 그립부에 외력이 인가되는 일 방향과 반대되는 방향으로 수평 이동하도록 구성되는 기판 이송 용기 저장 장치.
4. 제 1 항에 있어서,
   상기 프레임은:
   제 1 수평 지지부;
   상기 제 1 수평 지지부 아래에 배치되어 상기 제 1 선반을 아래로부터 지지하는 제 2 수평 지지부;
   상기 제 2 수평 지지부 아래에 배치되어 상기 제 2 선반을 아래로부터 지지하는 제 3 수평 지지부; 및
   상기 제 1 내지 제 3 수평 지지부의 가장자리를 따라 배치되어 상기 제 1 내지 제 3 수평 지지부를 지지하는 수직 지지부를 포함하는 기판 이송 용기 저장 장치.
5. 제 1 항에 있어서,
   상기 제 2 선반이 수평 이동하는 경로를 제공하는 제 1 가이드 레일을 더 포함하되,
   상기 제 1 가이드 레일은 상기 제 3 수평 지지부 상에 결합되어 상기 제 2 선반을 지지하는 기판 이송 용기 저장 장치.
6. 제 1 항에 있어서,
   상기 프레임은 상기 제 2 선반이 수평 이동하는 방향의 일 측면이 개방된 기판 이송 용기 저장 장치.
7. 제 1 항에 있어서,
   상기 제 2 선반 아래에 배치되는 제 3 선반; 및
   상기 적재 공간 내에 제공되어 상기 제 1 내지 제 3 선반들의 일 측면들을 가로지르는 제 2 레버를 더 포함하되,
   상기 제 2 레버는:
   상기 프레임의 내측에 결합되고, 그의 길의 방향과 직교하는 제 2 회전축을 따라 회전하도록 구성되는 막대 형상의 몸체부;
   상기 몸체부의 일단에 제공되고, 상기 제 3 선반의 상기 일 측면에 연결되는 제 2 연결 링크; 및
   상기 몸체부의 타단에 연결되는 제 2 그립부를 포함하고,
   상기 제 2 레버는 상기 제 2 그립부에 가해지는 외력에 의해 상기 제 2 회전축을 따라 회전하여 상기 제 3 선반을 수평 방향으로 직선 이동시키는 기판 이송 용기 저장 장치.
8. 제 7 항에 있어서,
   상기 제 2 연결 링크는 상기 제 2 레버의 회전 운동을 상기 제 3 선반의 직선 운동으로 변환하도록 구성되는 이송 용기 저장 장치.
9. 제 7 항에 있어서,
   상기 프레임은:
   제 1 수평 지지부;
   상기 제 1 수평 지지부 아래에 배치되어 상기 제 1 선반을 아래로부터 지지하는 제 2 수평 지지부;
   상기 제 2 수평 지지부 아래에 배치되어 상기 제 2 선반을 아래로부터 지지하는 제 3 수평 지지부;
   상기 제 3 수평 지지부 아래에 배치되어 상기 제 3 선반을 아래로부터 지지하는 제 4 수평 지지부; 및
   상기 제 1 내지 제 4 수평 지지부의 가장자리를 따라 배치되어 상기 제 1 내지 제 4 수평 지지부를 지지하는 수직 지지부를 포함하는 기판 이송 용기 저장 장치.
10. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 3 선반이 수평 이동하는 경로를 제공하는 제 2 가이드 레일을 더 포함하되,
    상기 제 2 가이드 레일은 상기 제 4 수평 지지부 상에 결합되어 상기 제 3 선반을 지지하는 기판 이송 용기 저장 장치.

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