KR20170077807A - Industrial robot - Google Patents

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KR20170077807A
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야스유키 기타하라
켄이치로오 가네코
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니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤
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Abstract

산업용 로봇이 내장되어 사용되는 반도체 제조 시스템 등의 제조 시스템의 택트 타임을 단축하는 것이 가능한 산업용 로봇을 제공한다.
산업용 로봇(1)은, 4개의 핸드(3 내지 6)와, 핸드(3 내지 6)가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 아암(7)을 구비하고 있고, 핸드(3 내지 6)는, 핸드(3 내지 6)의 기단측이 상하 방향으로 겹치도록 아암(7)에 연결됨과 함께, 아암(7)에 대하여 개별적으로 회동 가능하게 되어 있다. 핸드(3 내지 6) 중 가장 위에 배치되는 핸드(3) 및 위에서부터 두번째에 배치되는 핸드(4)의, 반송 대상물(2)을 유지하는 유지부(30)는, 반송 대상물(2)의 단부면이 맞닿는 맞닿음면을 갖는 단부면 맞닿음 부재와, 반송 대상물(2)의 단부면이 맞닿음면에 압박되도록 반송 대상물(2)을 누르는 압박 기구를 구비하고 있다. 남은 2개의 핸드(5, 6)의, 반송 대상물(2)을 유지하는 유지부(45)는, 반송 대상물(2)을 흡인하여 유지하는 흡인 구멍(46)을 구비하고 있다.Provided is an industrial robot capable of shortening a tact time of a manufacturing system such as a semiconductor manufacturing system in which an industrial robot is incorporated.
The industrial robot 1 has four hands 3 to 6 and an arm 7 to which the hands 3 to 6 are rotatably connected to the distal end side. The proximal end sides of the arms 3 to 6 are connected to the arm 7 so as to be overlapped in the vertical direction and are individually rotatable with respect to the arm 7. [ The holding portion 30 for holding the conveying object 2 of the hand 3 disposed at the uppermost position among the hands 3 to 6 and the hand 4 disposed at the second position from the top is disposed at the end of the conveying object 2 An end surface abutting member having an abutting surface abutting against the abutting surface and a pressing mechanism for pressing the abutment surface of the carrying object 2 against the abutting surface of the abutting surface of the carrying object 2. The holding portion 45 of the remaining two hands 5 and 6 holding the conveying object 2 has a suction hole 46 for sucking and holding the conveying object 2.

Description

산업용 로봇 {INDUSTRIAL ROBOT}INDUSTRIAL ROBOT

본 발명은 반도체 웨이퍼 등의 반송 대상물을 반송하는 산업용 로봇에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to an industrial robot that carries a carrying object such as a semiconductor wafer.

종래, 반도체 웨이퍼를 반송하는 산업용 로봇이 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇은, 반도체 웨이퍼가 탑재되는 제1 핸드 및 제2 핸드와, 제1 핸드 및 제2 핸드가 회동 가능하게 연결되는 아암과, 아암의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 본체부를 구비하고 있다. 제1 핸드와 제2 핸드는, 제1 핸드의 기단부와 제2 핸드의 기단부가 상하 방향으로 겹치도록, 아암의 선단측에 연결되어 있다. 또한, 이 산업용 로봇은, 아암에 대하여 제1 핸드를 회동시키는 제1 핸드 구동 기구와, 아암에 대하여 제2 핸드를 회동시키는 제2 핸드 구동 기구를 구비하고 있고, 제1 핸드와 제2 핸드는, 아암에 대하여 개별적으로 회동 가능하게 되어 있다.Conventionally, an industrial robot for transporting a semiconductor wafer is known (see, for example, Patent Document 1). The industrial robot disclosed in Patent Document 1 includes a first hand and a second hand on which a semiconductor wafer is mounted, an arm rotatably connected to the first hand and the second hand, and a main body . The first hand and the second hand are connected to the distal end side of the arm so that the proximal end of the first hand and the proximal end of the second hand overlap in the vertical direction. The industrial robot further includes a first hand driving mechanism for rotating the first hand with respect to the arm and a second hand driving mechanism for rotating the second hand with respect to the arm, , And can be rotated individually with respect to the arm.

특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇은, 반도체 제조 시스템에 내장되어 사용되고 있으며, 예를 들어 반도체 웨이퍼가 소정의 피치로 상하 방향으로 겹치도록 수용되는 카세트와, 반도체 웨이퍼가 상하 방향으로 겹치지 않도록 배치되는 처리 장치와의 사이에서 반도체 웨이퍼를 반송한다. 이 경우, 제1 핸드의 선단측과 제2 핸드의 선단측이 겹친 상태로 아암이 신축하여 카세트로부터 2매의 반도체 웨이퍼가 동시에 반출되고, 그 후, 제1 핸드 및 제2 핸드의 선단이 처리 장치측을 향하도록 본체부에 대하여 아암이 회동함과 함께, 제1 핸드의 선단측과 제2 핸드의 선단측이 이격되도록 제1 핸드 및 제2 핸드가 회동하고 나서, 아암이 신축하여 처리 장치에 2매의 반도체 웨이퍼가 동시에 반입된다.The industrial robot disclosed in Patent Document 1 is used in a semiconductor manufacturing system. For example, the industrial robot includes a cassette in which semiconductor wafers are stacked in a vertical direction at predetermined pitches, a processing device in which semiconductor wafers are stacked in a vertical direction And transports the semiconductor wafer therebetween. In this case, the arm expands and contracts with the leading end side of the first hand and the leading end side of the second hand overlapping, and the two semiconductor wafers are simultaneously carried out from the cassette. Thereafter, The arm is rotated with respect to the main body so as to face the apparatus side and the first hand and the second hand are rotated so that the tip end side of the first hand and the tip end side of the second hand are spaced apart, Two semiconductor wafers are simultaneously carried.

또한, 제1 핸드의 선단측과 제2 핸드의 선단측이 겹치지 않은 상태로 아암이 신축하여 처리 장치로부터 처리 후의 2매의 반도체 웨이퍼가 동시에 반출되고, 그 후, 제1 핸드 및 제2 핸드의 선단이 카세트측을 향하도록 본체부에 대하여 아암이 회동함과 함께, 제1 핸드의 선단측과 제2 핸드의 선단측이 겹치도록 제1 핸드 및 제2 핸드가 회동하고 나서, 아암이 신축하여 카세트에 2매의 반도체 웨이퍼가 동시에 반입된다.The arm is extended and contracted in a state in which the tip end side of the first hand and the tip end side of the second hand are not overlapped with each other so that the two semiconductor wafers after the processing are simultaneously carried out from the processing apparatus. The arm is rotated with respect to the main body portion so that the tip thereof faces the cassette side and the first hand and the second hand are rotated so that the tip side of the first hand and the tip side of the second hand overlap, Two semiconductor wafers are simultaneously carried in the cassette.

일본 특허 공개 제2012-66342호 공보Japanese Patent Laid-Open Publication No. 2012-66342

특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇이 내장되어 사용되는 반도체 제조 시스템에서는, 택트 타임의 단축화가 요구되고 있다. 따라서, 본 발명의 과제는, 산업용 로봇이 내장되어 사용되는 반도체 제조 시스템 등의 제조 시스템의 택트 타임을 단축하는 것이 가능한 산업용 로봇을 제공하는 데 있다.In the semiconductor manufacturing system in which the industrial robot described in Patent Document 1 is built and used, the tact time is required to be shortened. Accordingly, an object of the present invention is to provide an industrial robot capable of shortening a tact time of a manufacturing system such as a semiconductor manufacturing system in which an industrial robot is incorporated.

상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 산업용 로봇은, 반송 대상물이 탑재되는 4개의 핸드와, 4개의 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 아암과, 아암의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 본체부를 구비하고, 4개의 핸드는, 반송 대상물을 유지하는 유지부를 구비하고, 4개의 핸드의 기단측이 상하 방향으로 겹치도록 아암에 연결됨과 함께, 아암에 대하여 개별적으로 회동 가능하게 되어 있고, 4개의 핸드 중 가장 위에 배치되는 핸드와 위에서부터 두번째에 배치되는 핸드를 제1 핸드 쌍이라 하고, 남은 2개의 핸드를 제2 핸드 쌍이라 하면, 제1 핸드 쌍 및 제2 핸드 쌍 중 어느 한쪽을 구성하는 2개의 핸드의 유지부는, 반송 대상물의 단부면이 맞닿는 맞닿음면을 갖는 단부면 맞닿음 부재와, 반송 대상물의 단부면이 맞닿음면에 압박되도록 반송 대상물을 누르는 압박 기구를 구비하고, 제1 핸드 쌍 및 제2 핸드 쌍 중 어느 다른 쪽을 구성하는 2개의 핸드의 유지부는, 반송 대상물을 흡인하여 유지하는 흡인 구멍을 구비하는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problems, the industrial robot of the present invention comprises: four hands on which a carrying object is mounted; an arm rotatably connected to four ends of the hand; And the four hands are provided with a holding portion for holding the object to be carried. The base ends of the four hands are connected to the arm so as to overlap in the vertical direction, and are rotatable individually with respect to the arm. When the hand placed at the top of the hand and the hand placed at the second position from the top are referred to as a first hand pair and the remaining two hands are referred to as a second hand pair, any one of the first hand pair and the second hand pair The holding sections of the two hands are provided with an end face abutment member having a abutment face abutting against the end face of the object to be transported and an abutment face abutment member abutting against the abutment face of the abutment object A pressing mechanism provided and held in the first hand pair and a second pair of hand-2 constituting the other of which the hand-push portion, characterized in that it includes a suction hole for holding by suction the conveyed object.

본 발명에 있어서, 압박 기구는, 예를 들어 맞닿음면을 향하여 반송 대상물의 단부면을 누르는 압박부와, 압박부를 구동하는 에어 실린더와, 압박부의 움직임을 검지하는 검지 기구를 구비하고 있다.In the present invention, the pressing mechanism includes, for example, a pressing portion that presses the end face of the carrying object toward the abutment surface, an air cylinder that drives the pressing portion, and a detecting mechanism that detects the movement of the pressing portion.

본 발명의 산업용 로봇은, 기단측이 상하 방향으로 겹치도록 아암의 선단측에 연결되는 4개의 핸드를 구비하고 있고, 4개의 핸드는, 아암에 대하여 개별적으로 회동 가능하게 되어 있다. 그로 인해, 본 발명에서는, 예를 들어 산업용 로봇이 반도체 제조 시스템에 내장되어 사용되는 경우, 제1 핸드 쌍을 구성하는 2개의 핸드를 사용하여 카세트로부터 처리 전의 2매의 반도체 웨이퍼(반송 대상물)를 동시에 반출한 직후에, 제2 핸드 쌍을 구성하는 2개의 핸드를 사용하여 처리 후의 2매의 반도체 웨이퍼를 카세트에 동시에 반입하는 것이 가능하게 된다. 또한, 제2 핸드 쌍을 구성하는 2개의 핸드를 사용하여 처리 장치로부터 처리 후의 2매의 반도체 웨이퍼를 동시에 반출한 직후에, 제1 핸드 쌍을 구성하는 2개의 핸드를 사용하여 처리 전의 2매의 반도체 웨이퍼를 처리 장치에 동시에 반입하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 본 발명에서는, 산업용 로봇이 내장되어 사용되는 반도체 제조 시스템 등의 제조 시스템의 택트 타임을 단축하는 것이 가능하게 된다.The industrial robot of the present invention has four hands connected to the distal end side of the arm such that the base end side overlaps in the up and down direction, and the four hands are individually rotatable with respect to the arm. Therefore, in the present invention, for example, when an industrial robot is used in a semiconductor manufacturing system, two semiconductor wafers (carrying object) before processing are transferred from a cassette to two semiconductor wafers The two semiconductor wafers after the processing can be simultaneously carried in the cassettes by using the two hands constituting the second hand pair immediately after they are simultaneously carried out. Immediately after two processed semiconductor wafers are simultaneously carried out from the processing apparatus by using two hands constituting the second hand pair, two hands constituting the first hand pair are used and two It becomes possible to simultaneously bring the semiconductor wafer into the processing apparatus. Therefore, in the present invention, it becomes possible to shorten the tact time of a manufacturing system such as a semiconductor manufacturing system in which an industrial robot is incorporated.

여기서, 예를 들어 본 발명의 산업용 로봇이 반도체 제조 시스템에 내장되어 사용되는 경우, 일반적으로, 카세트에 반입되는 반도체 웨이퍼(반송 대상물)의 카세트 내에서의 위치 정밀도는 요구되지 않지만, 처리 장치에 반입되는 반도체 웨이퍼의 처리 장치 내에서의 위치 정밀도는 요구된다. 즉, 카세트에 대하여 반도체 웨이퍼를 고정밀도로 반입할 필요는 없지만, 처리 장치에 대하여 반도체 웨이퍼를 고정밀도로 반입할 필요가 있다. 또한, 반송 대상물을 유지하는 핸드의 유지부가, 반송 대상물의 단부면이 맞닿는 맞닿음면을 갖는 단부면 맞닿음 부재와, 반송 대상물의 단부면이 맞닿음면에 압박되도록 반송 대상물을 누르는 압박 기구를 구비하는 그립형 유지부인 경우, 반송 대상물의 단부면을 맞닿음면에 압박함으로써 핸드에 탑재되는 반송 대상물의 위치 정밀도를 높이는 것이 가능하게 되고, 그 결과, 처리 장치에 대하여 반도체 웨이퍼(반송 대상물)를 고정밀도로 반입하는 것이 가능하게 되지만, 핸드의 유지부가 반송 대상물을 흡인하여 유지하는 흡인 구멍을 구비하는 흡인형 유지부인 경우, 핸드에 탑재되는 반송 대상물의 위치 정밀도를 높이는 것은 곤란하며, 그 결과, 처리 장치에 대하여 반도체 웨이퍼(반송 대상물)를 고정밀도로 반입하는 것은 곤란하게 된다. 따라서, 본 발명에 있어서, 4개의 핸드의 유지부 모두가 그립형 유지부라면, 처리 장치에 대하여 반도체 웨이퍼를 고정밀도로 반입하는 것은 가능하다. 한편, 핸드의 유지부가 그립형 유지부인 경우에는, 예를 들어 에어 실린더용 공기 배관이나 검지 기구용 배선을 핸드의 유지부까지 깔 필요가 있기 때문에, 핸드의 유지부가 흡인형 유지부인 경우와 비교하여, 아암과 핸드의 연결 부분의 구성이 복잡하게 된다.Here, for example, when the industrial robot of the present invention is used in a semiconductor manufacturing system, positional accuracy in a cassette of a semiconductor wafer (carrying object) carried into a cassette is generally not required, The positional accuracy in the processing apparatus of the semiconductor wafer is required. That is, there is no need to bring the semiconductor wafer into the cassette with high accuracy, but it is necessary to bring the semiconductor wafer into the processing apparatus with high accuracy. It is also possible to provide a holding portion of a hand holding a carrying object, an end face abutting member having a abutting face abutting the end face of the carrying object, and a pressing mechanism pressing the carrying object so that the end face of the carrying object is pressed against the abutment face It is possible to increase the positional precision of the carrying object mounted on the hand by pressing the end face of the carrying object against the abutting face, and as a result, the semiconductor wafer (carrying object) It is difficult to increase the positional accuracy of the object to be carried on the hand when the holding portion of the hand is a suction-type holding portion having a suction hole for sucking and holding the object to be conveyed. As a result, It is difficult to bring the semiconductor wafer (the object to be transported) into the apparatus with high accuracy. Therefore, in the present invention, if all the holding portions of the four hands are grip-type holding portions, it is possible to bring the semiconductor wafer into the processing apparatus with high accuracy. On the other hand, when the holding portion of the hand is the grip-type holding portion, for example, the air piping for the air cylinder and the wiring for the detecting mechanism need to be laid to the holding portion of the hand, , The configuration of the connecting portion of the arm and the hand becomes complicated.

본 발명에서는, 제1 핸드 쌍 및 제2 핸드 쌍 중 어느 한쪽을 구성하는 2개의 핸드의 유지부는 그립형 유지부이고, 제1 핸드 쌍 및 제2 핸드 쌍 중 어느 다른 쪽을 구성하는 2개의 핸드의 유지부는 흡인형 유지부이다. 그로 인해, 본 발명에서는, 예를 들어 산업용 로봇이 반도체 제조 시스템에 내장되어 사용되는 경우, 그립형 유지부를 구비하는 2개의 핸드를 사용하여 카세트로부터 처리 전의 2매의 반도체 웨이퍼(반송 대상물)를 반출하고, 흡인형 유지부를 구비하는 2개의 핸드를 사용하여 처리 후의 2매의 반도체 웨이퍼를 카세트에 반입함과 함께, 흡인형 유지부를 구비하는 2개의 핸드를 사용하여 처리 장치로부터 처리 후의 2매의 반도체 웨이퍼를 반출하고, 그립형 유지부를 구비하는 2개의 핸드를 사용하여 처리 전의 2매의 반도체 웨이퍼를 처리 장치에 반입함으로써, 처리 장치에 대하여 반도체 웨이퍼를 고정밀도로 반입하는 것이 가능하게 된다. 또한, 본 발명에서는, 제1 핸드 쌍 및 제2 핸드 쌍 중 어느 다른 쪽을 구성하는 2개의 핸드의 유지부가 흡인형 유지부이기 때문에, 4개의 핸드의 유지부 모두가 그립형 유지부인 경우와 비교하여, 아암과 4개의 핸드의 연결 부분의 구성을 간소화하는 것이 가능하게 된다. 즉, 본 발명에서는, 처리 장치 등에 대하여 반송 대상물을 고정밀도로 반입하는 것이 가능해도, 아암과 4개의 핸드의 연결 부분의 구성을 간소화하는 것이 가능하게 된다.In the present invention, the holding portion of the two hands constituting either the first hand pair or the second hand pair is a grip-type holding portion, and the two hands constituting the other of the first hand pair and the second hand pair Is a suction-type holding portion. Therefore, in the present invention, for example, when an industrial robot is used in a semiconductor manufacturing system, two semiconductor wafers (carrying object) before processing are taken out of the cassette by using two hands having a grip- And two semiconductor wafers after the processing are carried into the cassette by using two hands having suction type holding portions and the two hands having suction type holding portions are used to transfer two semiconductor wafers It is possible to bring the semiconductor wafer into the processing apparatus with high precision by carrying two semiconductor wafers before the processing by using two hands having the grip type holding portion and carrying out the wafers. Further, in the present invention, since the holding portions of the two hands constituting the other of the first hand pair and the second hand pair are the suction-type holding portions, compared with the case where all the holding portions of the four hands are the grip- Thus, it is possible to simplify the configuration of the connecting portion of the arm and the four hands. In other words, according to the present invention, it is possible to simplify the configuration of the connecting portion of the arm and the four hands, although it is possible to carry the carrying object with high precision with respect to the processing apparatus and the like.

본 발명에 있어서, 4개의 핸드 중 가장 위에 배치되는 핸드를 제1 핸드라고 하고, 위에서부터 두번째에 배치되는 핸드를 제2 핸드라고 하고, 위에서부터 세번째에 배치되는 핸드를 제3 핸드라고 하고, 가장 밑에 배치되는 핸드를 제4 핸드라고 하면, 산업용 로봇은, 중공형으로 형성되고 제1 핸드의 기단측 부분의 하면측이 고정되는 제1 중공 회동축과, 중공형으로 형성되고 제1 중공 회동축의 외주측에, 또한 제1 중공 회동축과 동축 상에 배치됨과 함께 제2 핸드의 기단측 부분의 하면측이 고정되는 제2 중공 회동축과, 중공형으로 형성되고 제2 중공 회동축의 외주측에, 또한 제1 중공 회동축과 동축 상에 배치됨과 함께 제3 핸드의 기단측 부분의 하면측이 고정되는 제3 중공 회동축과, 중공형으로 형성되고 제3 중공 회동축의 외주측에, 또한 제1 중공 회동축과 동축 상에 배치됨과 함께 제4 핸드의 기단측 부분의 하면측이 고정되는 제4 중공 회동축을 구비하고, 제1 핸드 및 제2 핸드의 유지부는, 단부면 맞닿음 부재와 압박 기구를 구비하고, 제3 핸드 및 제4 핸드의 유지부는, 반송 대상물을 흡인하여 유지하는 것이 바람직하다.In the present invention, a hand disposed at the top of the four hands is referred to as a first hand, a hand disposed at the second position from the top is referred to as a second hand, a hand disposed at the third position from the top is referred to as a third hand, And the lower hand is referred to as a fourth hand, the industrial robot includes a first hollow pivot shaft formed in a hollow shape and fixed to a lower surface side of a base end side portion of the first hand, and a second hollow pivot shaft formed in a hollow shape, A second hollow rotary shaft disposed on the outer peripheral side of the first hollow rotary shaft and coaxial with the first hollow rotary shaft and fixed to the bottom side of the base end side portion of the second hand, And a third hollow rotary shaft disposed coaxially with the first hollow rotary shaft and fixed to the bottom side of the base end side portion of the third hand, and a third hollow rotary shaft disposed on the outer peripheral side of the third hollow rotary shaft , And the first hollow rotation And a fourth hollow pivot shaft disposed coaxially with the first hand and the bottom side of the base end portion of the fourth hand is fixed. The holding portion of the first hand and the second hand includes an end surface abutment member and a pressing mechanism And the holding section of the third hand and the fourth hand preferably sucks and holds the object to be carried.

이 경우에는, 예를 들어 제1 핸드 및 제2 핸드는, 반송 대상물이 탑재되는 탑재부와, 탑재부를 지지하는 지지부를 구비하고, 제1 핸드의 지지부는, 제1 핸드의 탑재부와 제1 핸드의 기단측 부분을 연결하고 있고, 제2 핸드의 지지부는, 제2 핸드의 탑재부와 제2 핸드의 기단측 부분을 연결하고 있고, 제1 핸드의 기단측 부분 및 지지부와, 제2 핸드의 기단측 부분 및 지지부와, 제3 핸드와, 제4 핸드는, 중공형으로 되어 있고, 제1 핸드의 지지부의 내부 및 제2 핸드의 지지부의 내부에는, 에어 실린더 및 검지 기구가 배치되고, 제1 핸드의 지지부의 내부에 배치되는 에어 실린더용 공기 배관 및 제1 핸드의 지지부의 내부에 배치되는 검지 기구용 배선은, 제1 중공 회동축의 내주측을 통과하여 제1 핸드의 기단측 부분의 내부로 인입되고, 제1 중공 회동축에는, 제1 중공 회동축의 직경 방향으로 관통하도록, 또한 제1 중공 회동축의 둘레 방향을 길이 방향으로 하는 슬릿형의 절결부가 형성되고, 절결부는, 제2 중공 회동축의 상단부보다 상측에 배치되고, 제2 핸드의 지지부의 내부에 배치되는 에어 실린더용 공기 배관 및 제2 핸드의 지지부의 내부에 배치되는 검지 기구용 배선은, 제1 중공 회동축의 내주측을 통과한 후, 절결부를 통과하여 제2 핸드의 기단측 부분의 내부로 인입되고, 제3 중공 회동축 및 제4 중공 회동축에는, 제3 핸드의 내부로 통하는 공기 구멍이 형성되고, 제4 중공 회동축에는, 제4 핸드의 내부로 통하는 공기 구멍이 형성되어 있다.In this case, for example, the first hand and the second hand include a mounting portion on which the object to be transported is mounted and a supporting portion for supporting the mounting portion, and the supporting portion of the first hand includes a mounting portion of the first hand, And the support portion of the second hand connects the mounting portion of the second hand and the base end portion of the second hand and connects the base end portion and the support portion of the first hand and the base end portion of the second hand The first hand and the fourth hand are hollow and the air cylinder and the detection mechanism are disposed inside the support portion of the first hand and in the support portion of the second hand, The air piping for the air cylinder disposed in the support portion of the first hand and the detection mechanism wiring arranged in the support portion of the first hand are passed through the inner peripheral side of the first hollow rotation shaft and are guided to the base end side portion of the first hand And the first hollow rotary shaft is provided with the first A slit-shaped cutout portion extending in the radial direction of the hollow shaft and extending in the circumferential direction of the first hollow shaft is formed, the cutout portion is disposed above the upper end of the second hollow shaft, The air piping for the air cylinder disposed inside the support portion of the second hand and the detection mechanism wiring disposed inside the support portion of the second hand pass through the inner peripheral side of the first hollow rotation shaft and then pass through the cutout portion An air hole communicating with the interior of the third hand is formed in the third hollow rotary shaft and the fourth hollow rotary shaft, and an air hole communicating with the fourth hollow rotary shaft is formed in the fourth hollow rotary shaft, And an air hole communicating with the inside is formed.

이와 같이 구성하면, 제1 중공 회동축의 내주측을 이용하여, 제1 핸드의 기단측 부분의 내부로 에어 실린더용 공기 배관 및 검지 기구용 배선을 까는 것이 가능하게 된다. 또한, 제1 중공 회동축의 내주측을 이용함과 함께 제1 중공 회동축에 형성되는 절결부를 이용하여, 제2 핸드의 기단측 부분의 내부로 에어 실린더용 공기 배관 및 검지 기구용 배선을 까는 것이 가능하게 된다. 또한, 제3 중공 회동축 및 제4 중공 회동축에 형성되는 공기 구멍에 의해 제3 핸드의 내부로 통하는 공기의 통로를 형성하는 것이 가능하게 되고, 그 결과, 제3 핸드의 흡인 구멍으로부터 공기를 흡인하는 것이 가능하게 된다. 또한, 제4 중공 회동축에 형성되는 공기 구멍에 의해 제4 핸드의 내부로 통하는 공기의 통로를 형성하는 것이 가능하게 되고, 그 결과, 제4 핸드의 흡인 구멍으로부터 공기를 흡인하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 제1 핸드 및 제2 핸드의 유지부가 흡인형 유지부로 되어 있고, 제3 핸드 및 제4 핸드의 유지부가 그립형 유지부로 되어 있는 경우와 비교하여, 아암과 4개의 핸드의 연결 부분의 구성을 간소화하는 것이 가능하게 된다.With this configuration, it is possible to use the inner circumferential side of the first hollow rotary shaft to cover the air pipe for air cylinder and the wiring for detecting mechanism into the base end side portion of the first hand. Further, by using the inner hollow portion of the first hollow rotary shaft and the notch formed on the first hollow rotary shaft, the air pipe for the air cylinder and the wiring for the detection mechanism are disposed inside the base end portion of the second hand Lt; / RTI > Further, it is possible to form a passage of air through the inside of the third hand by means of the air holes formed in the third hollow rotation shaft and the fourth hollow rotation shaft, and as a result, the air from the suction holes of the third hand It becomes possible to suck. Further, it is possible to form a passage of air through the fourth hand by the air hole formed in the fourth hollow rotation shaft, and as a result, it becomes possible to suck air from the suction hole of the fourth hand . Therefore, as compared with the case where the holding portions of the first hand and the second hand are the suction-type holding portions and the holding portions of the third hand and the fourth hand are the grip-type holding portions, Can be simplified.

이상과 같이, 본 발명에서는, 산업용 로봇이 내장되어 사용되는 반도체 제조 시스템 등의 제조 시스템의 택트 타임을 단축하는 것이 가능하게 된다.As described above, according to the present invention, it is possible to shorten the tact time of a manufacturing system such as a semiconductor manufacturing system in which an industrial robot is incorporated.

도 1은 본 발명의 실시 형태에 관한 산업용 로봇의 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시하는 산업용 로봇의 측면도이다.
도 3은 도 2에 도시하는 산업용 로봇의 손목부의 단면도이다.
도 4는 도 1에 도시하는 제1 핸드의 선단측 부분의 구성을 설명하기 위한 평면도이다.
도 5는 도 4의 E부의 확대도이다.
도 6은 도 3에 도시하는 제4 중공 회동축의 일부분의 단면도이다.
도 7은 도 3에 도시하는 축 지지 부재의 단면도이다.
도 8은 도 7의 F-F 방향에서 축 지지 부재의 일부를 도시하는 도면이다.
도 9는 도 1에 도시하는 산업용 로봇의 동작을 설명하기 위한 평면도이다.
도 10은 도 1에 도시하는 산업용 로봇의 동작을 설명하기 위한 평면도이다.1 is a plan view of an industrial robot according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a side view of the industrial robot shown in Fig. 1. Fig.
3 is a sectional view of a wrist portion of the industrial robot shown in Fig.
Fig. 4 is a plan view for explaining the configuration of the tip side portion of the first hand shown in Fig. 1. Fig.
5 is an enlarged view of part E of Fig.
6 is a cross-sectional view of a portion of the fourth hollow rotary shaft shown in Fig.
7 is a sectional view of the shaft supporting member shown in Fig.
8 is a view showing a part of the shaft supporting member in the FF direction in Fig.
Fig. 9 is a plan view for explaining the operation of the industrial robot shown in Fig. 1. Fig.
10 is a plan view for explaining the operation of the industrial robot shown in Fig.

이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시 형태를 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

(산업용 로봇의 개략 구성)(Rough configuration of industrial robot)

도 1은, 본 발명의 실시 형태에 관한 산업용 로봇(1)의 평면도이다. 도 2는, 도 1에 도시하는 산업용 로봇(1)의 측면도이다. 도 3은, 도 2에 도시하는 산업용 로봇(1)의 손목부(11)의 단면도이다.1 is a plan view of an industrial robot 1 according to an embodiment of the present invention. 2 is a side view of the industrial robot 1 shown in Fig. 3 is a sectional view of the wrist 11 of the industrial robot 1 shown in Fig.

본 형태의 산업용 로봇(1)은, 반송 대상물로서의 반도체 웨이퍼(2)를 반송하기 위한 수평 다관절형 로봇이다. 이 산업용 로봇(1)은, 반도체 웨이퍼(2)가 탑재되는 4개의 핸드(3 내지 6)와, 4개의 핸드(3 내지 6)가 회동 가능하게 연결되는 아암(7)과, 아암(7)의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 본체부(8)를 구비하고 있다. 이하의 설명에서는, 산업용 로봇(1)을 「로봇(1)」이라고 하고, 반도체 웨이퍼(2)를 「웨이퍼(2)」라고 한다.The industrial robot 1 of the present embodiment is a horizontal articulated robot for transporting a semiconductor wafer 2 as a carrying object. The industrial robot 1 includes four hands 3 to 6 on which a semiconductor wafer 2 is mounted, an arm 7 to which four hands 3 to 6 are rotatably connected, And a body portion 8 to which a proximal end side of the body portion 8 is rotatably connected. In the following description, the industrial robot 1 will be referred to as a robot 1 and the semiconductor wafer 2 will be referred to as a " wafer 2. "

4개의 핸드(3 내지 6)는, 4개의 핸드(3 내지 6)의 기단측이 상하 방향으로 겹치도록 아암(7)의 선단측에 연결되어 있다. 이하, 4개의 핸드(3 내지 6)를 구별하여 나타내는 경우에는, 4개의 핸드(3 내지 6) 중 가장 위에 배치되는 핸드(3)를 「제1 핸드(3)」라고 하고, 위에서부터 두번째에 배치되는 핸드(4)를 「제2 핸드(4)」라고 하고, 위에서부터 세번째에 배치되는 핸드(5)를 「제3 핸드(5)」라고 하고, 가장 밑에 배치되는 핸드(6)를 「제4 핸드(6)」라고 한다. 본 형태에서는, 제1 핸드(3)와 제2 핸드(4)에 의해 제1 핸드 쌍이 구성되어 있고, 제3 핸드(5)와 제4 핸드(6)에 의해 제2 핸드 쌍이 구성되어 있다.The four hands 3 to 6 are connected to the distal end side of the arm 7 such that the base ends of the four hands 3 to 6 overlap in the vertical direction. Hereinafter, when the four hands 3 to 6 are distinguished from each other, the hand 3 disposed at the top of the four hands 3 to 6 is referred to as a "first hand 3" The hand 4 to be disposed is referred to as a "second hand 4", the hand 5 disposed third from the top is referred to as a "third hand 5", and the hand 6 disposed at the bottom is referred to as " Fourth hand (6) ". In this embodiment, a first hand pair is constituted by the first hand 3 and the second hand 4, and a second hand pair is constituted by the third hand 5 and the fourth hand 6.

본체부(8)는, 대략 사각 기둥형으로 형성되어 있다. 본체부(8)의 내부에는, 아암(7)을 승강시키는 아암 승강 기구(도시 생략)가 수납되어 있다. 아암(7)은, 제1 아암부(9)와 제2 아암부(10)로 구성되어 있다. 제1 아암부(9) 및 제2 아암부(10)는, 중공형으로 형성되어 있다. 제1 아암부(9)의 기단측은, 본체부(8)에 회동 가능하게 연결되어 있다. 제2 아암부(10)의 기단측은, 제1 아암부(9)의 선단측에 회동 가능하게 연결되어 있다. 또한, 로봇(1)은, 본체부(8)에 대하여 제1 아암부(9)를 회동시키는 제1 아암 구동 기구(도시 생략)와, 제1 아암부(9)에 대하여 제2 아암부(10)를 회동시키는 제2 아암 구동 기구(도시 생략)를 구비하고 있다.The main body portion 8 is formed in a substantially quadrangular prism shape. An arm lifting mechanism (not shown) for lifting and lowering the arm 7 is accommodated in the main body 8. The arm 7 is composed of a first arm portion 9 and a second arm portion 10. The first arm portion 9 and the second arm portion 10 are formed in a hollow shape. The base end side of the first arm portion 9 is rotatably connected to the main body portion 8. The proximal end side of the second arm portion 10 is rotatably connected to the distal end side of the first arm portion 9. The robot 1 further includes a first arm driving mechanism (not shown) that rotates the first arm portion 9 with respect to the main body portion 8 and a second arm driving mechanism And a second arm driving mechanism (not shown) for rotating the second arm 10.

4개의 핸드(3 내지 6)는, 제2 아암부(10)의 선단측에 회동 가능하게 연결되어 있다. 핸드(3 내지 6)와 제2 아암부(10)의 연결부는, 손목부(11)로 되어 있다. 핸드(3 내지 6)는, 아암(7)에 대하여 개별적으로 회동 가능하게 되어 있다. 또한, 핸드(3 내지 6)는, 상하 방향으로 보았을 때 공통의 회동 중심(C1)(도 1 참조)을 중심으로 회동 가능하게 되어 있다. 본체부(8)와 제1 아암부(9)와 제2 아암부(10)와 핸드(3 내지 6)는, 상하 방향에 있어서, 하측으로부터 이 순서대로 배치되어 있다.The four hands (3 to 6) are rotatably connected to the distal end side of the second arm portion (10). The connecting portions of the hands (3 to 6) and the second arm portion (10) are wrist parts (11). The hands (3 to 6) are individually rotatable with respect to the arm (7). Further, the hands 3 to 6 are rotatable about a common pivotal center C1 (see Fig. 1) when viewed in the vertical direction. The main body portion 8, the first arm portion 9, the second arm portion 10 and the hands 3 to 6 are arranged in this order from the lower side in the vertical direction.

또한, 로봇(1)은, 제1 핸드(3)를 회동시키는 제1 핸드 구동 기구와, 제2 핸드(4)를 회동시키는 제2 핸드 구동 기구와, 제3 핸드(5)를 회동시키는 제3 핸드 구동 기구와, 제4 핸드(6)를 회동시키는 제4 핸드 구동 기구를 구비하고 있다. 제1 핸드 구동 기구는 모터(12)를 구비하고 있다. 제2 핸드 구동 기구는 모터(13)를 구비하고 있다. 또한, 제3 핸드 구동 기구는 모터(14)를 구비하고, 제4 핸드 구동 기구는 모터(15)를 구비하고 있다.The robot 1 also includes a first hand driving mechanism for rotating the first hand 3, a second hand driving mechanism for rotating the second hand 4, a second hand driving mechanism for rotating the third hand 5, A three-hand driving mechanism, and a fourth hand driving mechanism that rotates the fourth hand 6. The first hand driving mechanism is provided with a motor (12). The second hand driving mechanism is provided with a motor (13). Further, the third hand driving mechanism includes the motor 14, and the fourth hand driving mechanism includes the motor 15.

모터(12, 13)는, 제1 아암부(9)와 본체부(8)의 연결 부분에 배치되어 있다. 또한, 모터(12)와 모터(13)는 인접하도록 배치되어 있다. 모터(14, 15)는, 제2 아암부(10)의 기단측의 내부에 배치되어 있다. 또한, 모터(14)와 모터(15)는 인접하도록 배치되어 있다. 본 형태에서는, 모터(12, 13)가 제1 아암부(9)의 기단측에 배치되어 있기 때문에, 본체부(8)에 대한 제1 아암부(9)의 회동 시의 관성을 저감하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 본 형태에서는, 모터(14, 15)가 제2 아암부(10)의 기단측에 배치되어 있기 때문에, 제1 아암부(9)에 대한 제2 아암부(10)의 회동 시의 관성을 저감하는 것이 가능하게 되어 있다.The motors 12 and 13 are disposed at a connecting portion between the first arm portion 9 and the main body portion 8. The motor 12 and the motor 13 are disposed adjacent to each other. The motors 14 and 15 are disposed inside the base end side of the second arm portion 10. The motor 14 and the motor 15 are disposed adjacent to each other. In this embodiment, since the motors 12 and 13 are disposed on the base end side of the first arm portion 9, it is possible to reduce the inertia of the first arm portion 9 when the first arm portion 9 is rotated with respect to the main body portion 8 It is possible. In this embodiment, since the motors 14 and 15 are disposed on the base end side of the second arm portion 10, the inertia at the time of rotation of the second arm portion 10 relative to the first arm portion 9 Can be reduced.

또한, 제1 핸드 구동 기구는, 모터(12)의 동력을 제1 핸드(3)에 전달하기 위한 풀리(16) 및 벨트(17)(도 3 참조) 등을 구비하고 있다. 마찬가지로, 제2 핸드 구동 기구는, 모터(13)의 동력을 제2 핸드(4)에 전달하기 위한 풀리(18) 및 벨트(19)(도 3 참조) 등을 구비하고, 제3 핸드 구동 기구는, 모터(14)의 동력을 제3 핸드(5)에 전달하기 위한 풀리(20) 및 벨트(21)(도 3 참조) 등을 구비하고, 제4 핸드 구동 기구는, 모터(15)의 동력을 제4 핸드(6)에 전달하기 위한 풀리(22) 및 벨트(23)(도 3 참조) 등을 구비하고 있다.The first hand driving mechanism has a pulley 16 and a belt 17 (see Fig. 3) for transmitting the power of the motor 12 to the first hand 3, and the like. Similarly, the second hand driving mechanism includes a pulley 18 and a belt 19 (see Fig. 3) for transmitting the power of the motor 13 to the second hand 4, And a belt 21 (see Fig. 3) for transmitting the power of the motor 14 to the third hand 5 and the fourth hand driving mechanism includes a motor A pulley 22 and a belt 23 (see Fig. 3) for transmitting the power to the fourth hand 6, and the like.

(제1 핸드 및 제2 핸드의 구성)(Configuration of first hand and second hand)

도 4는, 도 1에 도시하는 제1 핸드(3)의 선단측 부분의 구성을 설명하기 위한 평면도이다. 도 5는, 도 4의 E부의 확대도이다.4 is a plan view for explaining the configuration of the tip side portion of the first hand 3 shown in Fig. 5 is an enlarged view of part E of Fig.

제1 핸드(3) 및 제2 핸드(4)는, 상하 방향으로 보았을 때 굴곡되도록 형성되어 있다. 구체적으로는, 제1 핸드(3) 및 제2 핸드(4)는, 상하 방향으로 보았을 때 소정의 각도로 1회 굴곡되도록 형성되어 있다. 또한, 제1 핸드(3) 및 제2 핸드(4)는, 상하 방향으로 보았을 때 소정의 축선을 대칭축으로 하는 대략 선 대칭으로 형성되어 있다. 즉, 상하 방향으로 보았을 때의 제1 핸드(3)의 굴곡 방향과 제2 핸드(4)의 굴곡 방향은 역방향으로 되어 있다.The first hand 3 and the second hand 4 are formed so as to bend when viewed in the vertical direction. Specifically, the first hand 3 and the second hand 4 are formed to be bent once at a predetermined angle when viewed in the vertical direction. The first hand 3 and the second hand 4 are formed to have a substantially line symmetry with a predetermined axis taken as an axis of symmetry when viewed in the vertical direction. That is, the bending direction of the first hand 3 and the bending direction of the second hand 4 are opposite to each other when viewed in the vertical direction.

제1 핸드(3)는, 기단측 부분(3a)과 선단측 부분(3b)에 의해 구성되어 있다. 또한, 제1 핸드(3)는, 상하 방향으로 보았을 때 기단측 부분(3a)과 선단측 부분(3b)이 이루는 각도가 둔각으로 되도록 1회 굴곡되어 있고, 전체로서 대략 L 형상(혹은 대략 「く」자 형상)으로 형성되어 있다. 선단측 부분(3b)은, 웨이퍼(2)가 탑재되는 탑재부로서의 웨이퍼 탑재부(3c)와, 웨이퍼 탑재부(3c)를 지지하는 지지부(3d)로 구성되어 있다. 지지부(3d)는, 기단측 부분(3a)과 웨이퍼 탑재부(3c)의 사이에 배치되어 있고, 기단측 부분(3a)과 웨이퍼 탑재부(3c)와 연결되어 있다. 웨이퍼 탑재부(3c)의 선단측은, 두갈래형으로 형성되어 있고, 상하 방향으로 보았을 때의 웨이퍼 탑재부(3c)의 형상은, 대략 Y 형상으로 되어 있다. 웨이퍼 탑재부(3c)는, 평판형으로 형성되어 있다. 기단측 부분(3a) 및 지지부(3d)는, 중공형으로 형성되어 있다. 또한, 기단측 부분(3a)의 내부는, 지지부(3d)의 내부로 통해 있다.The first hand 3 is constituted by a base end side portion 3a and a tip end side portion 3b. The first hand 3 is bent once so that the angle between the base end side portion 3a and the tip end side portion 3b becomes an obtuse angle when viewed in the up and down direction and is substantially L- Like shape). The tip side portion 3b is composed of a wafer mounting portion 3c as a mounting portion on which the wafer 2 is mounted and a supporting portion 3d for supporting the wafer mounting portion 3c. The support portion 3d is disposed between the base end portion 3a and the wafer mounting portion 3c and is connected to the base end portion 3a and the wafer mounting portion 3c. The front end side of the wafer mounting portion 3c is formed in a bifurcated shape, and the shape of the wafer mounting portion 3c in the vertical direction is substantially Y-shaped. The wafer mounting portion 3c is formed in a flat plate shape. The base end side portion 3a and the support portion 3d are formed in a hollow shape. The inside of the base end side portion 3a passes through the inside of the support portion 3d.

마찬가지로, 제2 핸드(4)는, 기단측 부분(4a)과 선단측 부분(4b)에 의해 구성되어 있다. 또한, 제2 핸드(4)는, 상하 방향으로 보았을 때 기단측 부분(4a)과 선단측 부분(4b)이 이루는 각도가 둔각으로 되도록 1회 굴곡되어 있고, 전체로서 대략 L 형상(혹은 대략 「く」자 형상)으로 형성되어 있다. 선단측 부분(4b)은, 웨이퍼(2)가 탑재되는 탑재부로서의 웨이퍼 탑재부(4c)와, 웨이퍼 탑재부(4c)를 지지하는 지지부(4d)로 구성되어 있다. 지지부(4d)는, 기단측 부분(4a)과 웨이퍼 탑재부(4c)의 사이에 배치되어 있고, 기단측 부분(4a)과 웨이퍼 탑재부(4c)와 연결되어 있다. 웨이퍼 탑재부(4c)는, 웨이퍼 탑재부(3c)와 동일 형상으로 형성되어 있다. 기단측 부분(4a) 및 지지부(4d)는, 중공형으로 형성되어 있다. 또한, 기단측 부분(4a)의 내부는, 지지부(4d)의 내부로 통해 있다.Similarly, the second hand 4 is constituted by the base end side portion 4a and the tip end side portion 4b. The second hand 4 is bent once so that the angle between the base end side portion 4a and the tip end side portion 4b becomes an obtuse angle when viewed in the up and down direction and is substantially L- Like shape). The tip side portion 4b is composed of a wafer mounting portion 4c as a mounting portion on which the wafer 2 is mounted and a supporting portion 4d for supporting the wafer mounting portion 4c. The support portion 4d is disposed between the base end portion 4a and the wafer mounting portion 4c and is connected to the base end portion 4a and the wafer mounting portion 4c. The wafer mounting portion 4c is formed in the same shape as the wafer mounting portion 3c. The base end side portion 4a and the support portion 4d are formed in a hollow shape. The inside of the base end side portion 4a passes through the inside of the support portion 4d.

제1 핸드(3) 및 제2 핸드(4)는, 웨이퍼(2)를 유지하는 유지부(30)를 구비하고 있다. 유지부(30)는, 도 4에 도시하는 바와 같이, 웨이퍼(2)의 단부면(외주면)이 맞닿는 맞닿음면(31a)을 갖는 단부면 맞닿음 부재(31)와, 웨이퍼(2)의 단부면이 맞닿음면(31a)에 압박되도록 웨이퍼(2)를 누르는 압박 기구(32)를 구비하는 그립형 유지부이다. 단부면 맞닿음 부재(31)는, 두갈래형으로 형성되는 웨이퍼 탑재부(3c, 4c)의 선단측의 상면에 고정되어 있다. 즉, 웨이퍼 탑재부(3c, 4c)에는, 2개의 단부면 맞닿음 부재(31)가 고정되어 있다. 또한, 웨이퍼 탑재부(3c, 4c)의 기단측의 상면의 2군데에는, 웨이퍼(2)가 적재되는 웨이퍼 적재 부재(33)가 고정되어 있고, 웨이퍼(2)는, 단부면 맞닿음 부재(31)와 웨이퍼 적재 부재(33)에 탑재된다.The first hand 3 and the second hand 4 are provided with a holding portion 30 for holding the wafer 2. 4, the holding portion 30 includes an end face abutment member 31 having an abutment face 31a abutting against the end face (outer circumferential face) of the wafer 2, And a pressing mechanism (32) for pressing the wafer (2) so that the end face is pressed against the abutment surface (31a). The end surface abutting member 31 is fixed to the upper surface of the tip end side of the wafer mounting portions 3c and 4c formed in a bifurcated shape. That is, two end face abutting members 31 are fixed to the wafer mounting portions 3c and 4c. A wafer mounting member 33 on which the wafer 2 is mounted is fixed at two places on the base end side of the wafer mounting portions 3c and 4c and the wafer 2 is mounted on the end face contacting member 31 And the wafer mounting member 33, as shown in Fig.

압박 기구(32)는, 맞닿음면(31a)을 향하여 웨이퍼(2)의 단부면(외주면)을 누르는 압박부(34)와, 압박부(34)를 구동하는 에어 실린더(35)와, 압박부(34)의 움직임을 검지하는 검지 기구(36)를 구비하고 있다. 압박부(34)는, 웨이퍼(2)의 단부면에 접촉하는 롤러(37)와, 롤러(37)를 회전 가능하게 유지하는 롤러 유지 부재(38)를 구비하고 있다. 검지 기구(36)는, 롤러 유지 부재(38)에 고정되는 검지판(39)과, 2개의 센서(40)를 구비하고 있다.The pressing mechanism 32 includes a pressing portion 34 for pressing the end face (outer peripheral face) of the wafer 2 toward the abutment face 31a, an air cylinder 35 for driving the pressing portion 34, And a detecting mechanism (36) for detecting the movement of the part (34). The pressing section 34 includes a roller 37 that contacts the end face of the wafer 2 and a roller holding member 38 that rotatably holds the roller 37. [ The detecting mechanism 36 includes a detecting plate 39 fixed to the roller holding member 38 and two sensors 40. [

롤러 유지 부재(38)는, 가늘고 긴 대략 직육면체형으로 형성되어 있다. 롤러 유지 부재(38)의 기단측은, 에어 실린더(35)의 로드에 고정되어 있다. 롤러(37)는, 롤러 유지 부재(38)의 선단측에 유지되어 있다. 이 롤러(37)는, 상하 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전 가능하게 되어 있다. 압박부(34)는, 도 5의 이점쇄선으로 나타내는 바와 같이 롤러(37)가 웨이퍼(2)의 단부면에 접촉하여 맞닿음면(31a)을 향하여 웨이퍼(2)를 압박하는 압박 위치와, 도 5의 실선으로 나타내는 바와 같이 롤러(37)가 웨이퍼(2)의 단부면으로부터 이격되도록 퇴피하는 퇴피 위치와의 사이에서 직선적으로 이동한다.The roller holding member 38 is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape. The base end side of the roller holding member 38 is fixed to the rod of the air cylinder 35. The roller 37 is held on the leading end side of the roller holding member 38. The roller 37 is rotatable in the axial direction of rotation in the vertical direction. The pressing portion 34 is located at the pressing position where the roller 37 contacts the end face of the wafer 2 and presses the wafer 2 against the abutment face 31a as indicated by the chain double- And a retreat position in which the roller 37 is retracted to be spaced from the end face of the wafer 2 as indicated by the solid line in Fig.

센서(40)는, 서로 대향하도록 배치되는 발광 소자와 수광 소자를 갖는 투과형의 광학식 센서이다. 검지판(39)에는, 센서(40)의 발광 소자와 수광 소자의 사이를 차단하기 위한 차광부(39a)가 형성되어 있다. 압박부(34)가 압박 위치에 있을 때에는, 2개의 센서(40) 중 한쪽 센서(40)의 발광 소자와 수광 소자의 사이가 차광부(39a)에 의해 가려지고, 압박부(34)가 퇴피 위치에 있을 때에는, 2개의 센서(40) 중 다른 쪽 센서(40)의 발광 소자와 수광 소자의 사이가 차광부(39a)에 의해 가려진다.The sensor 40 is a transmission type optical sensor having a light emitting element and a light receiving element arranged so as to face each other. The detecting plate 39 is provided with a light shielding portion 39a for shielding the light emitting element of the sensor 40 and the light receiving element. The light shielding portion 39a covers the space between the light emitting element and the light receiving element of one sensor 40 of the two sensors 40 when the pressing portion 34 is in the pressing position, The space between the light emitting element and the light receiving element of the other sensor 40 of the two sensors 40 is covered by the light shielding portion 39a.

에어 실린더(35)는, 중공형으로 형성되는 지지부(3d, 4d)의 내부에 배치되어 있다. 롤러 유지 부재(38)는, 롤러 유지 부재(38)의 선단측의 일부분을 제외하고, 지지부(3d, 4d)의 내부에 배치되어 있고, 검지판(39)은, 지지부(3d, 4d)의 내부에 배치되어 있다. 또한, 센서(40)는, 지지부(3d, 4d)의 내부에 배치되어 있다. 즉, 검지 기구(36)는, 지지부(3d, 4d)의 내부에 배치되어 있다. 또한, 도 5에 도시하는 바와 같이, 지지부(3d, 4d)의 내부에는, 직선적으로 이동하는 롤러 유지 부재(38)를 안내하기 위한 가이드 레일(41)이 고정되어 있다. 가이드 레일(41)에는, 롤러 유지 부재(38)의 하면측에 고정되는 가이드 블록(42)이 걸림 결합되어 있다.The air cylinder 35 is disposed inside the hollow support portions 3d and 4d. The roller holding member 38 is disposed inside the support portions 3d and 4d except for a part of the tip end side of the roller holding member 38. The detection plate 39 is disposed inside the support portions 3d and 4d, Respectively. Further, the sensor 40 is disposed inside the supports 3d and 4d. That is, the detecting mechanism 36 is disposed inside the supporting portions 3d and 4d. 5, guide rails 41 for guiding linearly moving roller holding members 38 are fixed in the support portions 3d and 4d. A guide block 42 fixed to the lower surface of the roller holding member 38 is engaged with the guide rail 41.

(제3 핸드 및 제4 핸드의 구성)(Configuration of Third Hand and Fourth Hand)

제3 핸드(5) 및 제4 핸드(6)는, 제1 핸드(3) 및 제2 핸드(4)와 마찬가지로, 상하 방향으로 보았을 때 굴곡되도록 형성되어 있다. 즉, 제3 핸드(5) 및 제4 핸드(6)는, 상하 방향으로 보았을 때 소정의 각도로 1회 굴곡되도록 형성되어 있다. 또한, 제3 핸드(5) 및 제4 핸드(6)는, 상하 방향으로 보았을 때 소정의 축선을 대칭축으로 하는 대략 선 대칭으로 형성되어 있고, 상하 방향으로 보았을 때의 제3 핸드(5)의 굴곡 방향과 제4 핸드(5)의 굴곡 방향은 역방향으로 되어 있다.The third hand 5 and the fourth hand 6 are formed so as to be bent in the vertical direction as in the first and second hands 3 and 4. That is, the third hand 5 and the fourth hand 6 are formed so as to be bent once at a predetermined angle when viewed in the vertical direction. The third hand 5 and the fourth hand 6 are formed in a substantially line symmetrical shape with a predetermined axis as a symmetry axis when viewed in the up-and-down direction. The third hand 5 and the fourth hand 6, The bending direction and the bending direction of the fourth hand 5 are opposite to each other.

제3 핸드(5)는, 기단측 부분(5a)과 선단측 부분(5b)에 의해 구성되어 있다. 또한, 제3 핸드(5)는, 상하 방향으로 보았을 때 기단측 부분(5a)과 선단측 부분(5b)이 이루는 각도가 둔각으로 되도록 1회 굴곡되어 있고, 전체로서 대략 L 형상(혹은 대략 「く」자 형상)으로 형성되어 있다. 선단측 부분(5b)은, 웨이퍼(2)가 탑재되는 웨이퍼 탑재부(5c)와, 웨이퍼 탑재부(5c)를 지지하는 지지부(5d)로 구성되어 있다. 지지부(5d)는, 기단측 부분(5a)과 웨이퍼 탑재부(5c)의 사이에 배치되어 있고, 기단측 부분(5a)과 웨이퍼 탑재부(5c)와 연결되어 있다.The third hand 5 is constituted by a base end side portion 5a and a tip end side portion 5b. The third hand 5 is bent once so that the angle between the base end side portion 5a and the tip end side portion 5b becomes obtuse when viewed in the up and down direction and is substantially L- Like shape). The distal end portion 5b is composed of a wafer mounting portion 5c on which the wafer 2 is mounted and a supporting portion 5d for supporting the wafer mounting portion 5c. The supporting portion 5d is disposed between the base end portion 5a and the wafer loading portion 5c and is connected to the base end portion 5a and the wafer loading portion 5c.

마찬가지로, 제4 핸드(6)는, 기단측 부분(6a)과 선단측 부분(6b)에 의해 구성되어 있다. 또한, 제4 핸드(6)는, 상하 방향으로 보았을 때 기단측 부분(6a)과 선단측 부분(6b)이 이루는 각도가 둔각으로 되도록 1회 굴곡되어 있고, 전체로서 대략 L 형상(혹은 대략 「く」자 형상)으로 형성되어 있다. 선단측 부분(6b)은, 웨이퍼(2)가 탑재되는 웨이퍼 탑재부(6c)와, 웨이퍼 탑재부(6c)를 지지하는 지지부(6d)로 구성되어 있다. 지지부(6d)는, 기단측 부분(6a)과 웨이퍼 탑재부(6c)의 사이에 배치되어 있고, 기단측 부분(6a)과 웨이퍼 탑재부(6c)와 연결되어 있다.Similarly, the fourth hand 6 is constituted by a base end side portion 6a and a tip end side portion 6b. The fourth hand 6 is bent once so that the angle between the proximal-side portion 6a and the distal-end-side portion 6b becomes obtuse when viewed in the up-and-down direction and is substantially L- Like shape). The distal end portion 6b is composed of a wafer mounting portion 6c on which the wafer 2 is mounted and a supporting portion 6d for supporting the wafer mounting portion 6c. The support portion 6d is disposed between the base end portion 6a and the wafer mounting portion 6c and is connected to the base end portion 6a and the wafer mounting portion 6c.

제3 핸드(5)는, 중공형으로 형성되어 있다. 즉, 기단측 부분(5a), 웨이퍼 탑재부(5c) 및 지지부(5d)는, 기단측 부분(5a)의 내부와 웨이퍼 탑재부(5c)의 내부와 지지부(5d)의 내부가 통하는 중공형으로 형성되어 있다. 마찬가지로, 제4 핸드(6)는, 중공형으로 형성되어 있다. 즉, 기단측 부분(6a), 웨이퍼 탑재부(6c) 및 지지부(6d)는, 기단측 부분(6a)의 내부와 웨이퍼 탑재부(6c)의 내부와 지지부(6d)의 내부가 통하는 중공형으로 형성되어 있다.The third hand 5 is formed in a hollow shape. That is, the base end portion 5a, the wafer mounting portion 5c, and the support portion 5d are formed into a hollow shape in which the inside of the base end side portion 5a, the inside of the wafer loading portion 5c, and the inside of the support portion 5d communicate with each other . Similarly, the fourth hand 6 is formed in a hollow shape. That is, the proximal portion 6a, the wafer mounting portion 6c, and the supporting portion 6d are formed into a hollow shape in which the interior of the proximal portion 6a, the interior of the wafer loading portion 6c, and the interior of the supporting portion 6d communicate with each other .

제3 핸드(5) 및 제4 핸드(6)는, 웨이퍼(2)를 유지하는 유지부(45)를 구비하고 있다. 유지부(45)는, 웨이퍼(2)를 흡인하여 유지하는 흡인 구멍(46)(도 1 참조)을 구비하고 있다. 즉, 제3 핸드(5) 및 제4 핸드(6)는, 흡인형 유지부(45)를 구비하고 있고, 웨이퍼(2)를 흡인하여 유지한다. 흡인 구멍(46)은, 웨이퍼 탑재부(5c, 6c)의 선단측에 형성되어 있다. 이 흡인 구멍(46)은, 중공형으로 형성되는 웨이퍼 탑재부(5c, 6c)의 내부로부터 상측으로 관통하도록 형성되어 있다. 웨이퍼 탑재부(5c)에 형성되는 흡인 구멍(46)에는, 후술하는 공기 배관(64)의 일단부가 연결되어 있다. 웨이퍼 탑재부(6c)에 형성되는 흡인 구멍(46)에는, 후술하는 공기 배관(62)의 일단부가 연결되어 있다.The third hand 5 and the fourth hand 6 are provided with a holding portion 45 for holding the wafer 2. The holding portion 45 has a suction hole 46 (see FIG. 1) for sucking and holding the wafer 2. That is, the third hand 5 and the fourth hand 6 are provided with the suction-type holding portion 45, and attract and hold the wafer 2. The suction holes 46 are formed at the tip ends of the wafer mounting portions 5c and 6c. The suction holes 46 are formed so as to penetrate upward from the inside of the wafer mounting portions 5c and 6c formed in a hollow shape. One end of an air pipe 64, which will be described later, is connected to the suction hole 46 formed in the wafer mounting portion 5c. One end of an air pipe 62, which will be described later, is connected to the suction hole 46 formed in the wafer mounting portion 6c.

(손목부의 구성)(Configuration of wrist part)

도 6은, 도 3에 도시하는 중공 회동축(54)의 일부분의 단면도이다. 도 7은, 도 3에 도시하는 축 지지 부재(55)의 단면도이다. 도 8은, 도 7의 F-F 방향에서 축 지지 부재(55)의 일부를 도시하는 도면이다.6 is a sectional view of a part of the hollow rotary shaft 54 shown in Fig. 7 is a sectional view of the shaft supporting member 55 shown in Fig. 8 is a view showing a part of the shaft supporting member 55 in the direction of F-F in Fig.

손목부(11)에는, 도 3에 도시하는 바와 같이, 중공형으로 형성되는 제1 중공 회동축으로서의 중공 회동축(51)과, 중공형으로 형성되고 중공 회동축(51)의 외주측에 배치됨과 함께 중공 회동축(51)과 동축 상에 배치되는 제2 중공 회동축으로서의 중공 회동축(52)과, 중공형으로 형성되고 중공 회동축(52)의 외주측에 배치됨과 함께 중공 회동축(51)과 동축 상에 배치되는 제3 중공 회동축으로서의 중공 회동축(53)과, 중공형으로 형성되고 중공 회동축(53)의 외주측에 배치됨과 함께 중공 회동축(51)과 동축 상에 배치되는 제4 중공 회동축으로서의 중공 회동축(54)이 배치되어 있다.As shown in Fig. 3, the wrist 11 is provided with a hollow pivot shaft 51 as a first hollow pivot shaft formed in a hollow shape, a hollow pivot shaft 51 disposed on the outer peripheral side of the hollow pivot shaft 51 And a hollow rotary shaft 52 as a second hollow rotary shaft disposed coaxially with the hollow rotary shaft 51. The hollow rotary shaft 52 is disposed on the outer peripheral side of the hollow rotary shaft 52, (53) which is disposed on the outer peripheral side of the hollow pivotal shaft (53) and which is formed coaxially with the hollow pivotal shaft (51), and a second pivotal shaft And a hollow rotary shaft 54 as a fourth hollow rotary shaft to be arranged.

중공 회동축(51 내지 54)은, 가늘고 긴 대략 원통형으로 형성되어 있고, 중공 회동축(51 내지 54)의 축 방향과 상하 방향이 일치하도록 배치되어 있다. 또한, 중공 회동축(51 내지 54)은, 상하 방향으로 보았을 때 공통의 회동 중심(C1)을 중심으로 회동 가능하게 되어 있다. 중공 회동축(51)의 길이는, 중공 회동축(52)의 길이보다 길게 되어 있다. 또한, 중공 회동축(52)의 길이는, 중공 회동축(53)의 길이보다 길게 되어 있고, 중공 회동축(53)의 길이는, 중공 회동축(54)의 길이 보다 길게 되어 있다. 또한, 중공 회동축(51)의 상단부, 중공 회동축(52)의 상단부, 중공 회동축(53)의 상단부 및 중공 회동축(54)의 상단부는, 상측에서부터 이 순서대로 배치되고, 중공 회동축(51)의 하단부, 중공 회동축(52)의 하단부, 중공 회동축(53)의 하단부 및 중공 회동축(54)의 하단부는, 하측에서부터 이 순서대로 배치되어 있다.The hollow rotary shafts 51 to 54 are formed in an elongated, generally cylindrical shape, and are arranged so that the axial direction of the hollow rotary shafts 51 to 54 coincides with the vertical direction. Further, the hollow rotary shafts 51 to 54 are rotatable about a common pivotal center C1 when viewed in the vertical direction. The length of the hollow rotary shaft 51 is longer than the length of the hollow rotary shaft 52. The length of the hollow pivot shaft 52 is longer than the length of the hollow pivot shaft 53 and the length of the hollow pivot shaft 53 is longer than the length of the hollow pivot shaft 54. The upper end of the hollow rotary shaft 51, the upper end of the hollow rotary shaft 52, the upper end of the hollow rotary shaft 53 and the upper end of the hollow rotary shaft 54 are arranged in this order from the upper side, The lower end of the hollow shaft 51, the lower end of the hollow shaft 52, the lower end of the hollow shaft 53 and the lower end of the hollow shaft 54 are arranged in this order from the bottom.

중공 회동축(51)의 상단부에는, 제1 핸드(3)의 기단측 부분(3a)의 하면측이 고정되고, 중공 회동축(52)의 상단부에는, 제2 핸드(4)의 기단측 부분(4a)의 하면측이 고정되고, 중공 회동축(53)의 상단부에는, 제3 핸드(5)의 기단측 부분(5a)의 하면측이 고정되고, 중공 회동축(54)의 상단부에는, 제4 핸드(6)의 기단측 부분(6a)의 하면측이 고정되어 있다. 중공 회동축(51)의 하단부측에는 풀리(16)가 고정되고, 중공 회동축(52)의 하단부측에는 풀리(18)가 고정되고, 중공 회동축(53)의 하단부측에는 풀리(20)가 고정되고, 중공 회동축(54)의 하단부측에는 풀리(22)가 고정되어 있다.The lower end of the base end side portion 3a of the first hand 3 is fixed to the upper end of the hollow rotary shaft 51 and the lower end portion of the base end side portion 3a of the second hand 4 is fixed to the upper end of the hollow rotary shaft 52. [ The bottom side of the base end portion 5a of the third hand 5 is fixed to the upper end of the hollow rotary shaft 53 and the lower end of the hollow rotary shaft 53 is fixed to the upper end of the hollow rotary shaft 53, And the bottom side of the base end side portion 6a of the fourth hand 6 is fixed. A pulley 16 is fixed to the lower end of the hollow rotary shaft 51. A pulley 18 is fixed to the lower end of the hollow rotary shaft 52. A pulley 20 is fixed to the lower end of the hollow rotary shaft 53 And a pulley 22 is fixed to the lower end side of the hollow pivot shaft 54.

도 3에 도시하는 바와 같이, 풀리(16, 18, 20, 22)는, 제2 아암부(10)의 선단측의 내부에 배치되어 있다. 즉, 중공 회동축(51 내지 54)의 하단부측 부분은, 제2 아암부(10)의 선단측의 내부에 배치되어 있다. 제2 아암부(10)의 선단측에는, 원통형으로 형성되고 중공 회동축(54)의 외주측에 배치됨과 함께 중공 회동축(51)과 동축 상에 배치되는 축 지지 부재(55)가 고정되어 있다. 축 지지 부재(55)는, 제2 아암부(10)의 상면측에 고정되어 있다.As shown in Fig. 3, the pulleys 16, 18, 20, and 22 are disposed inside the tip end side of the second arm portion 10, respectively. That is, the lower end portions of the hollow rotary shafts 51 to 54 are disposed inside the tip end side of the second arm portion 10. A shaft supporting member 55, which is formed in a cylindrical shape and disposed on the outer peripheral side of the hollow rotary shaft 54 and coaxially with the hollow rotary shaft 51, is fixed to the tip end side of the second arm portion 10 . The shaft supporting member 55 is fixed to the upper surface side of the second arm portion 10.

제1 핸드(3)의 기단측 부분(3a)의 하면측에는, 중공형으로 형성되는 기단측 부분(3a)의 내부가 중공 회동축(51)의 내주측에 통하도록 관통 구멍(3e)이 형성되어 있고, 기단측 부분(3a)의 내부와 중공 회동축(51)의 내주측은, 관통 구멍(3e)을 통하여 연결되어 있다. 제2 핸드(4)의 기단측 부분(4a)에는, 상하 방향으로 관통하는 관통 구멍(4e)이 형성되어 있다. 관통 구멍(4e)에는, 중공 회동축(51)의 상단부측 부분이 삽입 관통되어 있다. 제3 핸드(5)의 기단측 부분(5a)에는, 상하 방향으로 관통하는 관통 구멍(5e)이 형성되어 있다. 관통 구멍(5e)에는, 중공 회동축(51, 52)의 상단부측 부분이 삽입 관통되어 있다. 제4 핸드(6)의 기단측 부분(6a)에는, 상하 방향으로 관통하는 관통 구멍(6e)이 형성되어 있다. 관통 구멍(6e)에는, 중공 회동축(51 내지 53)의 상단부측 부분이 삽입 관통되어 있다.A through hole 3e is formed on the lower surface side of the proximal end side portion 3a of the first hand 3 such that the inside of the proximal portion 3a formed in a hollow shape communicates with the inner circumferential side of the hollow pivot shaft 51 And the inside of the base end side portion 3a and the inner circumferential side of the hollow rotary shaft 51 are connected through the through hole 3e. The base end portion 4a of the second hand 4 has a through hole 4e penetrating in the vertical direction. The upper end side portion of the hollow pivot shaft 51 is inserted through the through hole 4e. The base end portion 5a of the third hand 5 has a through hole 5e penetrating in the vertical direction. In the through hole 5e, upper end side portions of the hollow pivot shafts 51 and 52 are inserted. The base end portion 6a of the fourth hand 6 has a through hole 6e penetrating in the up and down direction. In the through hole 6e, upper end side portions of the hollow pivot shafts 51 to 53 are inserted.

제2 핸드(4)의 관통 구멍(4e)에 삽입 관통되는 중공 회동축(51)의 상단부측 부분에는, 중공 회동축(51)의 직경 방향에서 중공 회동축(51)을 관통하도록 형성됨과 함께 중공 회동축(51)의 둘레 방향을 길이 방향으로 하는 슬릿형 절결부(51a)가 형성되어 있다. 이 절결부(51a)는, 중공 회동축(52)의 상단부보다 상측에 배치되어 있다. 기단측 부분(4a)의 내부에는, 관형으로 형성되는 관형 부재(56)가 고정되어 있다. 관형 부재(56)는, 관형 부재(56)의 축 방향과 중공 회동축(51)의 직경 방향이 일치하도록 배치되어 있고, 관형 부재(56)의 일단부측 부분은, 중공 회동축(51)의 직경 방향에 있어서 절결부(51a)에 삽입 관통되어 있다. 관형 부재(56)의 일단부는, 중공 회동축(51)의 내주면보다 내주측에 배치되어 있다.The upper end portion of the hollow pivot shaft 51 inserted through the through hole 4e of the second hand 4 is formed to penetrate the hollow pivot shaft 51 in the radial direction of the hollow pivot shaft 51 A slit-shaped cutout portion 51a is formed in the circumferential direction of the hollow rotary shaft 51 in the longitudinal direction. The notched portion 51a is disposed above the upper end of the hollow pivot shaft 52. [ Inside the proximal side portion 4a, a tubular member 56 formed in a tubular shape is fixed. The tubular member 56 is arranged such that the axial direction of the tubular member 56 coincides with the radial direction of the hollow rotary shaft 51. The one end side portion of the tubular member 56 is located on the side of the hollow rotary shaft 51 And is inserted into the notch 51a in the radial direction. One end of the tubular member (56) is disposed on the inner peripheral side of the inner peripheral surface of the hollow rotary shaft (51).

축 지지 부재(55)에는, 축 지지 부재(55)의 하단부면으로부터 축 지지 부재(55)의 내주면에 통하는 2개의 공기 구멍(55a, 55b)이 형성되어 있다. 공기 구멍(55a, 55b)은, 축 지지 부재(55)의 하단부면의 외주측 부분으로부터 상측을 향하여 형성되는 세로 구멍과, 이 세로 구멍의 상단부로부터 축 지지 부재(55)의 내주면을 향하여 형성되는 가로 구멍으로 구성되어 있다. 도 7, 도 8에 도시하는 바와 같이, 공기 구멍(55a)과 공기 구멍(55b)은, 축 유지 부재(55)의 둘레 방향에 있어서 어긋나 있다. 또한, 공기 구멍(55a)의 가로 구멍과 공기 구멍(55b)의 가로 구멍은 상하 방향에 있어서 어긋나 있다.The shaft supporting member 55 is formed with two air holes 55a and 55b communicating with the inner peripheral surface of the shaft supporting member 55 from the lower end surface of the shaft supporting member 55. [ The air holes 55a and 55b are formed so as to extend from the outer peripheral side portion of the lower end surface of the shaft supporting member 55 toward the upper side and from the upper end of the vertical hole toward the inner peripheral surface of the shaft supporting member 55 And a horizontal hole. 7 and 8, the air hole 55a and the air hole 55b are shifted in the circumferential direction of the shaft holding member 55. As shown in Fig. The horizontal hole of the air hole 55a and the horizontal hole of the air hole 55b are offset in the vertical direction.

도 3에 도시하는 바와 같이, 공기 구멍(55b)의 하단부에는 조인트(57)가 고정되어 있고, 조인트(57)에는 공기 배관(58)의 일단부가 접속되어 있다. 공기 배관(58)의 타단부는, 예를 들어 본체부(8)의 내부에 배치되는 공기의 흡인 수단(도시 생략)에 접속되어 있다. 마찬가지로, 공기 구멍(55a)의 하단부에도 조인트(도시 생략)가 고정되어 있고, 이 조인트에는, 공기 배관(도시 생략)의 일단부가 접속되어 있다. 이 공기 배관의 타단부는, 예를 들어 본체부(8)의 내부에 배치되는 공기의 흡인 수단(도시 생략)에 접속되어 있다.3, a joint 57 is fixed to the lower end of the air hole 55b, and one end of the air pipe 58 is connected to the joint 57. As shown in Fig. The other end of the air pipe 58 is connected to air suction means (not shown) arranged inside the main body 8, for example. Similarly, a joint (not shown) is fixed to the lower end of the air hole 55a, and one end of an air pipe (not shown) is connected to this joint. The other end of the air pipe is connected to air suction means (not shown) arranged inside the main body 8, for example.

도 7에 도시하는 바와 같이, 축 지지 부재(55)의 내주면에는, 공기 구멍(55a)의 가로 구멍이 통하는 원환형의 공기 홈(55c)과, 공기 구멍(55b)의 가로 구멍이 통하는 원환형의 공기 홈(55d)이 형성되어 있다. 또한, 축 지지 부재(55)의 내주면의, 공기 홈(55c)의 상측, 공기 홈(55d)의 하측, 및 공기 홈(55c)과 공기 홈(55d)의 사이에는, O링(59)이 배치되는 원환형의 시일 배치 홈(55e)이 형성되어 있다. 이 O링(59)은, 공기 홈(55c, 55d)으로부터의 공기의 누설을 방지하는 기능을 하고 있다.7, an annular air groove 55c through which the horizontal hole of the air hole 55a communicates and an annular air groove 55c through which the horizontal hole of the air hole 55b communicates are formed on the inner peripheral surface of the shaft supporting member 55, An air groove 55d is formed. An O-ring 59 is formed on the inner peripheral surface of the shaft supporting member 55 on the upper side of the air groove 55c, the lower side of the air groove 55d, and the air groove 55c and the air groove 55d And an annular seal placement groove 55e is formed. The O-ring 59 has a function of preventing leakage of air from the air grooves 55c and 55d.

중공 회동축(54)에는, 중공 회동축(54)의 외주면으로부터 중공 회동축(54)의 내주면으로 통하는 공기 구멍(54a)이 형성되어 있다. 공기 구멍(54a)은, 상하 방향에 있어서 공기 홈(55c)과 동일한 높이에 배치되어 있고, 중공 회동축(54)의 외주면에 형성되는 공기 구멍(54a)의 일단부는, 공기 홈(55c)에 통해 있다. 도 6에 도시하는 바와 같이, 중공 회동축(54)의 내주면에는, 공기 구멍(54a)의 타단부가 통하는 원환형의 공기 홈(54b)이 형성되어 있다. 또한, 중공 회동축(54)의 내주면의, 공기 홈(54b)의 상측 및 공기 홈(54b)의 하측에는, O링(59)이 배치되는 원환형의 시일 배치 홈(54c)이 형성되어 있다. 이 O링(59)은, 공기 홈(54b)으로부터의 공기의 누설을 방지하는 기능을 하고 있다.The hollow pivot shaft 54 is formed with an air hole 54a extending from the outer circumferential surface of the hollow pivot shaft 54 to the inner circumferential surface of the hollow pivot shaft 54. [ One end of the air hole 54a formed in the outer circumferential surface of the hollow pivot shaft 54 is connected to the air groove 55c in the up- There is. 6, an annular air groove 54b through which the other end of the air hole 54a communicates is formed on the inner circumferential surface of the hollow rotary shaft 54. As shown in Fig. An annular seal arrangement groove 54c in which an O-ring 59 is disposed is formed on the inner circumferential surface of the hollow rotary shaft 54 on the upper side of the air groove 54b and the air groove 54b . The O-ring 59 has a function of preventing leakage of air from the air groove 54b.

또한, 중공 회동축(54)에는, 중공 회동축(54)의 외주면으로부터 중공 회동축(54)의 상단부면으로 통하는 공기 구멍(54d)이 형성되어 있다. 공기 구멍(54d)은, 중공 회동축(54)의 외주면으로부터 중공 회동축(54)의 직경 방향의 내측을 향하여 형성되는 가로 구멍과, 이 가로 구멍의 직경 방향 내측 단부로부터 상측을 향하여 형성되는 세로 구멍과, 이 세로 구멍의 상단부로부터 직경 방향의 외측을 향하여 형성되는 가로 구멍과, 이 가로 구멍의 직경 방향 외측 단부로부터 중공 회동축(54)의 상단부면을 향하여 형성되는 세로 구멍으로 구성되어 있다. 도 6에 도시하는 바와 같이, 공기 구멍(54a)과 공기 구멍(54d)은, 회동 중심축(54)의 둘레 방향에 있어서 어긋나 있다.An air hole 54d communicating with the upper end surface of the hollow pivot shaft 54 from the outer circumferential surface of the hollow pivot shaft 54 is formed in the hollow pivot shaft 54. [ The air hole 54d has a through hole formed from the outer circumferential surface of the hollow pivot shaft 54 toward the inside in the radial direction of the hollow pivot shaft 54 and a vertical hole formed upward from the radially inward end of the through hole 54d. And a longitudinal hole formed to extend from the radially outer end of the transverse hole toward the upper end surface of the hollow rotary shaft 54. As shown in Fig. As shown in Fig. 6, the air holes 54a and the air holes 54d are shifted in the circumferential direction of the pivot shaft 54. As shown in Fig.

공기 구멍(54d)의, 중공 회동축(54)의 외주면으로부터 중공 회동축(54)의 직경 방향의 내측을 향하여 형성되는 가로 구멍은, 상하 방향에 있어서 공기 홈(55d)과 동일한 높이에 배치되어 있고, 중공 회동축(54)의 외주면에 형성되는 이 가로 구멍의 일단부는, 공기 홈(55d)에 통해 있다. 공기 구멍(54d)의 상단부에는, 조인트(61)가 고정되어 있다. 조인트(61)는, 제4 핸드(6)의 기단측 부분(6a)의 내부에 배치되어 있다. 조인트(61)에는, 공기 배관(62)의 일단부가 접속되어 있다. 공기 배관(62)의 타단부는, 웨이퍼 탑재부(6c)에 형성되는 흡인 구멍(46)에 접속되어 있고, 공기 배관(62)은, 제4 핸드(6)의 내부에 깔려 있다.The horizontal hole formed in the air hole 54d from the outer peripheral surface of the hollow rotary shaft 54 toward the inner side in the radial direction of the hollow rotary shaft 54 is arranged at the same height as the air groove 55d in the vertical direction One end of the transverse hole formed on the outer circumferential surface of the hollow rotary shaft 54 passes through the air groove 55d. At the upper end of the air hole 54d, a joint 61 is fixed. The joint 61 is disposed inside the base end side portion 6a of the fourth hand 6. One end of the air pipe 62 is connected to the joint 61. The other end of the air piping 62 is connected to a suction hole 46 formed in the wafer mounting portion 6c and the air piping 62 is laid inside the fourth hand 6.

중공 회동축(53)에는, 중공 회동축(53)의 외주면으로부터 중공 회동축(53)의 상단부면으로 통하는 공기 구멍(53a)이 형성되어 있다. 공기 구멍(53a)은, 중공 회동축(53)의 외주면으로부터 중공 회동축(53)의 직경 방향의 내측을 향하여 형성되는 가로 구멍과, 이 가로 구멍의 직경 방향 내측 단부로부터 상측을 향하여 형성되는 세로 구멍과, 이 세로 구멍의 상단부로부터 직경 방향의 외측을 향하여 형성되는 가로 구멍과, 이 가로 구멍의 직경 방향 외측 단부로부터 중공 회동축(53)의 상단부면을 향하여 형성되는 세로 구멍으로 구성되어 있다.The hollow pivot shaft 53 is formed with an air hole 53a extending from the outer peripheral surface of the hollow pivot shaft 53 to the upper end surface of the hollow pivot shaft 53. [ The air hole 53a is formed by a lateral hole formed from the outer circumferential surface of the hollow rotary shaft 53 toward the inner side in the radial direction of the hollow rotary shaft 53 and a vertical hole extending from the radially inner end of the horizontal hole toward the upper side And a longitudinal hole formed from the radially outer end of the transverse hole toward the upper end surface of the hollow pivot shaft 53. As shown in Fig.

공기 구멍(53a)의, 중공 회동축(53)의 외주면으로부터 중공 회동축(53)의 직경 방향의 내측을 향하여 형성되는 가로 구멍은, 상하 방향에 있어서 공기 홈(54b)과 동일한 높이에 배치되어 있고, 중공 회동축(53)의 외주면에 형성되는 이 가로 구멍의 일단부는, 공기 홈(54b)에 통해 있다. 공기 구멍(53a)의 상단부에는, 조인트(63)가 고정되어 있다. 조인트(63)는, 제3 핸드(5)의 기단측 부분(5a)의 내부에 배치되어 있다. 조인트(63)에는, 공기 배관(64)의 일단부가 접속되어 있다. 공기 배관(64)의 타단부는, 웨이퍼 탑재부(5c)에 형성되는 흡인 구멍(46)에 접속되어 있고, 공기 배관(64)은, 제3 핸드(5)의 내부에 깔려 있다.The horizontal holes of the air holes 53a formed in the radial direction of the hollow rotary shaft 53 from the outer peripheral surface of the hollow rotary shaft 53 are arranged at the same height as the air grooves 54b in the vertical direction One end of the transverse hole formed on the outer circumferential surface of the hollow rotary shaft 53 passes through the air groove 54b. At the upper end of the air hole 53a, a joint 63 is fixed. The joint 63 is arranged inside the base end side portion 5a of the third hand 5. [ One end of the air pipe 64 is connected to the joint 63. The other end of the air piping 64 is connected to the suction hole 46 formed in the wafer mounting portion 5c and the air piping 64 is laid inside the third hand 5. [

제1 핸드(3)의 지지부(3d)의 내부에 배치되는 에어 실린더(35)용의 2개의 공기 배관(71) 및 지지부(3d)의 내부에 배치되는 검지 기구(36)용 배선(구체적으로는, 센서(40)용 배선)(72)은, 중공 회동축(51)의 내주측을 통과하여 제1 핸드(3)의 기단측 부분(3a)의 내부로 인입되어 있다. 구체적으로는, 본체부(8)로부터 인출되어, 아암(7)의 내부를 통과한 공기 배관(71) 및 배선(72)은, 중공 회동축(51)의 하단부로부터 상단부를 향하여 중공 회동축(51)의 내주측을 통과함과 함께, 관통 구멍(3e)을 통과하여 기단측 부분(3a)의 내부로 인입되어 있다. 또한, 기단측 부분(3a)의 내부로 인입된 공기 배관(71) 및 배선(72)은, 기단측 부분(3a)의 내부를 통과하여 지지부(3d)의 내부까지 깔려 있다. 또한, 2개의 공기 배관(71) 중 한쪽 공기 배관(71)은 급기용 배관이고, 다른 쪽 공기 배관(71)은 배기용 배관이다. 또한, 도 4, 도 5에서는, 배선(72)의 도시를 생략하였다.Two air pipes 71 for the air cylinder 35 disposed inside the support portion 3d of the first hand 3 and wiring for the detection mechanism 36 disposed inside the support portion 3d The wire 72 for the sensor 40 passes through the inner peripheral side of the hollow rotary shaft 51 and is drawn into the base end side portion 3a of the first hand 3. Concretely, the air pipe 71 and the wiring 72 which are drawn out from the main body 8 and pass through the inside of the arm 7 are connected to the hollow rotary shaft 51 from the lower end to the upper end of the hollow rotary shaft 51 51 and through the through hole 3e to the inside of the base end side portion 3a. The air pipe 71 and the wiring 72 drawn into the proximal side portion 3a pass through the inside of the proximal side portion 3a and extend to the inside of the supporting portion 3d. One of the two air pipes 71 is an air supply pipe, and the other air pipe 71 is an exhaust pipe. 4 and 5, the illustration of the wiring 72 is omitted.

제2 핸드(4)의 지지부(4d)의 내부에 배치되는 에어 실린더(35)용의 2개의 공기 배관(73) 및 지지부(4d)의 내부에 배치되는 검지 기구(36)용 배선(구체적으로는, 센서(40)용 배선)(74)은, 중공 회동축(51)의 내주측을 통과한 후, 관형 부재(56)를 통과하여 제2 핸드(4)의 기단측 부분(4a)의 내부로 인입되어 있다. 즉, 공기 배관(73) 및 배선(74)은, 중공 회동축(51)의 내주측을 통과한 후, 절결부(51a)를 통과하여 제2 핸드(4)의 기단측 부분(4a)의 내부로 인입되어 있다.Two air piping 73 for the air cylinder 35 disposed inside the support portion 4d of the second hand 4 and wiring for the detection mechanism 36 disposed inside the support portion 4d The wiring 74 for the sensor 40 passes through the inner peripheral side of the hollow rotary shaft 51 and then passes through the tubular member 56 to be connected to the base end side portion 4a of the second hand 4 And is drawn inward. That is, the air pipe 73 and the wiring 74 pass through the inner peripheral side of the hollow pivot shaft 51 and then pass through the cutout 51a to the portion of the base end side portion 4a of the second hand 4 And is drawn inward.

구체적으로는, 본체부(8)로부터 인출되어, 아암(7)의 내부를 통과한 공기 배관(73) 및 배선(74)은, 중공 회동축(51)의 하단부로부터 상단부측을 향하여 중공 회동축(51)의 내주측을 통과함과 함께, 관형 부재(56)를 통과하여 기단측 부분(4a)의 내부로 인입되어 있다. 또한, 기단측 부분(4a)의 내부로 인입된 공기 배관(73) 및 배선(74)은, 기단측 부분(4a)의 내부를 통과하여 지지부(4d)의 내부까지 깔려 있다. 또한, 2개의 공기 배관(73) 중 한쪽 공기 배관(73)은 급기용 배관이고, 다른 쪽 공기 배관(73)은 배기용 배관이다.Specifically, the air pipe 73 and the wiring 74, which are drawn out from the main body 8 and pass through the inside of the arm 7, extend from the lower end of the hollow pivot shaft 51 toward the upper end side, Passes through the inner peripheral side of the tubular member 51 and passes through the tubular member 56 and enters the base end side portion 4a. The air piping 73 and the wiring 74 drawn into the proximal side portion 4a pass through the inside of the proximal side portion 4a and extend to the inside of the supporting portion 4d. One of the two air pipes 73 is an air supply pipe, and the other air pipe 73 is an exhaust pipe.

상술한 바와 같이, 축 지지 부재(55)에는, 공기 구멍(55a)과, 공기 구멍(55a)의 가로 구멍이 통하는 공기 홈(55c)이 형성되어 있다. 또한, 중공 회동축(54)에는, 공기 홈(55c)과 동일한 높이에 배치되는 공기 구멍(54a)과, 공기 구멍(54a)이 통하는 원환형의 공기 홈(54b)이 형성되어 있다. 또한, 중공 회동축(53)에는, 공기 구멍(53a)이 형성되고, 공기 구멍(53a)의, 중공 회동축(53)의 외주면으로부터 중공 회동축(54)의 직경 방향의 내측을 향하여 형성되는 가로 구멍은, 상하 방향에 있어서 공기 홈(54b)과 동일한 높이에 배치되어 있다. 또한, 공기 구멍(53a)의 상단부에는, 제3 핸드(5)의 기단측 부분(5a)의 내부에 배치되는 조인트(63)가 고정되어 있다.As described above, the shaft support member 55 is provided with an air hole 55a and an air groove 55c through which the horizontal hole of the air hole 55a communicates. The hollow rotary shaft 54 is formed with an air hole 54a arranged at the same height as the air groove 55c and an annular air groove 54b communicating with the air hole 54a. The hollow pivot shaft 53 is formed with an air hole 53a and is formed in the radial direction of the hollow pivot shaft 54 from the outer peripheral surface of the hollow pivot shaft 53 of the air hole 53a The horizontal holes are arranged at the same height as the air grooves 54b in the vertical direction. A joint 63 disposed in the base end portion 5a of the third hand 5 is fixed to the upper end of the air hole 53a.

이와 같이, 중공 회동축(53, 54) 및 축 지지 부재(55)에는, 기단측 부분(5a)의 내부로 통하는 공기 구멍(53a, 54a, 55a)이 형성되어 있다. 또한, 공기 구멍(55a)의 하단부에는, 조인트 및 공기 배관을 통하여 공기의 흡인 수단이 접속되고, 공기 구멍(53a)의 상단부는, 조인트(63) 및 공기 배관(64)을 통하여, 웨이퍼 탑재부(5c)에 형성되는 흡인 구멍(46)에 연결되어 있고, 공기 구멍(53a, 54a, 55a), 공기 홈(54b, 55c), 조인트(63) 및 공기 배관(64) 등에 의해, 웨이퍼 탑재부(5c)에 형성되는 흡인 구멍(46)에서 웨이퍼(2)를 흡인하기 위한 공기의 흡인로(통로)가 형성되어 있다.As described above, the hollow pivotal shafts 53, 54 and the shaft supporting member 55 are formed with air holes 53a, 54a, 55a communicating with the inside of the base end side portion 5a. Air suction means is connected to the lower end portion of the air hole 55a through a joint and air piping and the upper end of the air hole 53a is connected to the wafer mounting portion 5c by means of the air holes 53a, 54a, 55a, the air grooves 54b, 55c, the joint 63 and the air piping 64, A suction path (passage) for air for sucking the wafer 2 is formed in the suction hole 46 formed in the suction hole 46. [

또한, 상술한 바와 같이, 축 지지 부재(55)에는, 공기 구멍(55b)과, 공기 구멍(55b)의 가로 구멍이 통하는 공기 홈(55d)이 형성되어 있다. 또한, 중공 회동축(54)에는, 공기 홈(55d)과 동일한 높이에 배치되는 가로 구멍을 갖는 공기 구멍(54d)이 형성되어 있다. 또한, 공기 구멍(54d)의 상단부에는, 제4 핸드(6)의 기단측 부분(6a)의 내부에 배치되는 조인트(61)가 고정되어 있다. 이와 같이, 중공 회동축(54) 및 축 지지 부재(55)에는, 기단측 부분(6a)의 내부로 통하는 공기 구멍(54d, 55b)이 형성되어 있다. 또한, 공기 구멍(55b)의 하단부에는, 조인트(57) 및 공기 배관(58)을 통하여 공기의 흡인 수단이 접속되고, 공기 구멍(54d)의 상단부는, 조인트(61) 및 공기 배관(62)을 통하여, 웨이퍼 탑재부(6c)에 형성되는 흡인 구멍(46)에 연결되어 있다. 즉, 공기 구멍(54d, 55b), 공기 홈(55d), 조인트(57, 61) 및 공기 배관(58, 62) 등에 의해, 웨이퍼 탑재부(6c)에 형성되는 흡인 구멍(46)에서 웨이퍼(2)를 흡인하기 위한 흡인로(통로)가 형성되어 있다.As described above, the shaft support member 55 is provided with an air hole 55b and an air groove 55d through which the horizontal hole of the air hole 55b communicates. An air hole 54d having a horizontal hole disposed at the same height as the air groove 55d is formed in the hollow rotary shaft 54. [ A joint 61 disposed inside the base end portion 6a of the fourth hand 6 is fixed to the upper end of the air hole 54d. As described above, the hollow pivot shaft 54 and the shaft supporting member 55 are provided with air holes 54d and 55b communicating with the inside of the base end side portion 6a. Air suction means is connected to the lower end portion of the air hole 55b through the joint 57 and the air pipe 58. The upper end of the air hole 54d is connected to the joint 61 and the air pipe 62, And is connected to a suction hole 46 formed in the wafer mounting portion 6c. That is, the suction holes 46 formed in the wafer mounting portion 6c are formed by the air holes 54d and 55b, the air grooves 55d, the joints 57 and 61, the air pipes 58 and 62, (Suction passage) for sucking the suction air.

또한, 본 형태에서는 공기 홈(55c)의 상측, 공기 홈(55d)의 하측, 및 공기 홈(55c)과 공기 홈(55d)의 사이에 배치되는 3개의 O링(59)과, 공기 홈(55c, 55d)에 의해, 회동 중심축(54)과 축 지지 부재(55)의 사이에 로터리 조인트(66)가 형성되어 있다. 또한, 공기 홈(54b)의 상하의 양측에 배치되는 2개의 O링(59)과, 공기 홈(54b)에 의해 회동 중심축(54)과 회동 중심축(53)의 사이에 로터리 조인트(67)가 형성되어 있다.In this embodiment, three O-rings 59 are disposed on the upper side of the air groove 55c, the lower side of the air groove 55d, and between the air groove 55c and the air groove 55d, The rotary joint 66 is formed between the rotary center shaft 54 and the shaft support member 55 by the rotary shafts 55a, 55b, 55c and 55d. The rotary joint 67 is provided between the rotary center shaft 54 and the rotary center shaft 53 by means of the two O-rings 59 disposed on the upper and lower sides of the air groove 54b and the air groove 54b. Respectively.

(산업용 로봇의 개략 동작)(Rough operation of industrial robot)

도 9, 도 10은, 도 1에 도시하는 로봇(1)의 동작을 설명하기 위한 평면도이다.Figs. 9 and 10 are plan views for explaining the operation of the robot 1 shown in Fig.

본 형태의 로봇(1)은, 반도체 제조 시스템에 내장되어 사용된다. 예를 들어, 로봇(1)은, 반도체 제조 시스템의 입구에 배치되어 있다. 이 경우, 로봇(1)은, 웨이퍼(2)가 소정의 피치로 상하 방향으로 겹치도록 수용되는 카세트(81)와, 웨이퍼(2)가 상하 방향으로 겹치지 않도록 배치되는 처리 장치(82)의 사이에서 웨이퍼(2)를 반송한다.The robot 1 of the present embodiment is used in a semiconductor manufacturing system. For example, the robot 1 is disposed at the entrance of the semiconductor manufacturing system. In this case, the robot 1 includes a cassette 81 accommodated in a manner such that the wafers 2 are stacked in a vertical direction at a predetermined pitch, and a processing device 82 arranged such that the wafers 2 do not overlap in the vertical direction The wafer 2 is transferred.

구체적으로는, 로봇(1)은, 도 9의 (A), (B)에 도시하는 바와 같이, 처리 장치(82)에서 처리되기 전의 처리 전의 2매의 웨이퍼(2)를 제1 핸드(3) 및 제2 핸드(4)에 의해 카세트(81)로부터 동시에 반출한다. 또한, 로봇(1)은, 2매의 웨이퍼(2)를 제1 핸드(3) 및 제2 핸드(4)에 의해 카세트(81)로부터 반출한 직후에, 도 9의 (C)에 도시하는 바와 같이, 처리 장치(82)에서 처리된 후의 처리 후의 2매의 웨이퍼(2)를 제3 핸드(5) 및 제4 핸드(6)에 의해 카세트(81)로 동시에 반입한다. 제1 핸드(3) 및 제2 핸드(4)가 카세트(81)로부터 웨이퍼(2)를 반출할 때에는, 제1 핸드(3)의 선단측과 제2 핸드(4)의 선단측이 상하 방향으로 겹쳐 있다. 또한, 제3 핸드(5) 및 제4 핸드(6)가 카세트(81)에 웨이퍼(2)를 반입할 때에는, 제3 핸드(5)의 선단측과 제4 핸드(6)의 선단측이 상하 방향으로 겹쳐 있다.Specifically, as shown in Figs. 9 (A) and 9 (B), the robot 1 moves the two wafers 2 before processing in the processing device 82 to the first hand 3 And the second hand 4 simultaneously from the cassette 81. Immediately after the two wafers 2 are taken out of the cassette 81 by the first hand 3 and the second hand 4, the robot 1 is moved to the position shown in Fig. 9C Two wafers 2 after processing in the processing unit 82 are simultaneously carried into the cassette 81 by the third hand 5 and the fourth hand 6 as shown in Fig. When the first hand 3 and the second hand 4 carry the wafer 2 out of the cassette 81, the leading end side of the first hand 3 and the leading end side of the second hand 4 move up and down . When the third hand 5 and the fourth hand 6 carry the wafer 2 into the cassette 81, the leading end side of the third hand 5 and the leading end side of the fourth hand 6 And overlap in the vertical direction.

또한, 로봇(1)은, 도 10의 (A)에 도시하는 바와 같이, 처리 장치(82)에서 처리된 후의 처리 후의 2매의 웨이퍼(2)를 제3 핸드(5) 및 제4 핸드(6)에 의해 처리 장치(82)로부터 동시에 반출한다. 또한, 로봇(1)은, 2매의 웨이퍼(2)를 제3 핸드(5) 및 제4 핸드(6)에 의해 처리 장치(82)로부터 반출한 직후에, 도 10의 (B), (C)에 도시하는 바와 같이, 처리 장치(82)에서 처리되기 전의 처리 전의 2매의 웨이퍼(2)를 제1 핸드(3) 및 제2 핸드(4)에 의해 처리 장치(82)로 동시에 반입한다. 제3 핸드(5) 및 제4 핸드(6)가 처리 장치(82)로부터 웨이퍼(2)를 반출할 때에는, 제3 핸드(5)의 선단측과 제4 핸드(6)의 선단측이 상하 방향으로 겹쳐 있지 않다. 제1 핸드(3) 및 제2 핸드(4)가 처리 장치(82)에 웨이퍼(2)를 반입할 때에는, 제1 핸드(3)의 선단측과 제2 핸드(4)의 선단측이 상하 방향으로 겹쳐 있지 않다.10 (A), the robot 1 moves the two wafers 2 after being processed by the processing device 82 to the third hand 5 and the fourth hand 6 from the processing apparatus 82 simultaneously. 10 (B), (B), and (C) immediately after the two wafers 2 are taken out of the processing device 82 by the third hand 5 and the fourth hand 6, The two wafers 2 before the processing before the processing in the processing device 82 are simultaneously carried in the processing device 82 by the first hand 3 and the second hand 4 as shown in Fig. do. When the third hand 5 and the fourth hand 6 carry out the wafer 2 from the processing apparatus 82, the tip end side of the third hand 5 and the tip end side of the fourth hand 6 are moved up and down Direction. When the first hand 3 and the second hand 4 carry the wafer 2 into the processing apparatus 82, the leading end side of the first hand 3 and the leading end side of the second hand 4 are moved up and down Direction.

(본 형태의 주된 효과)(Main effect of this embodiment)

이상 설명한 바와 같이, 본 형태의 로봇(1)은, 아암(7)의 선단측에 연결되는 4개의 핸드(3 내지 6)를 구비하고 있고, 4개의 핸드(3 내지 6)는, 아암(7)에 대하여 개별적으로 회동 가능하게 되어 있다. 그로 인해, 본 형태에서는, 상술한 바와 같이, 처리 장치(82)에서 처리되기 전의 처리 전의 2매의 웨이퍼(2)를 제1 핸드(3) 및 제2 핸드(4)를 사용하여 카세트(81)로부터 동시에 반출한 직후에, 처리 장치(82)에서 처리된 후의 처리 후의 2매의 웨이퍼(2)를 제3 핸드(5) 및 제4 핸드(6)를 사용하여 카세트(81)로 동시에 반입할 수 있다. 또한, 본 형태에서는, 상술한 바와 같이, 제3 핸드(5) 및 제4 핸드(6)를 사용하여 처리 후의 2매의 웨이퍼(2)를 처리 장치(82)로부터 동시에 반출한 직후에, 제1 핸드(3) 및 제2 핸드(4)를 사용하여 처리 전의 2매의 웨이퍼(2)를 처리 장치(82)로 동시에 반입할 수 있다. 따라서, 본 형태에서는, 로봇(1)이 내장되어 사용되는 반도체 제조 시스템의 택트 타임을 단축하는 것이 가능하게 된다.As described above, the robot 1 of this embodiment has four hands 3 to 6 connected to the distal end side of the arm 7, and the four hands 3 to 6 are connected to the arm 7 (Not shown). As a result, in the present embodiment, two wafers 2 before the processing before the processing in the processing apparatus 82 are transferred to the cassettes 81 (first and second hands) by using the first hand 3 and the second hand 4 The two wafers 2 after being processed by the processing device 82 are simultaneously carried into the cassette 81 by using the third hand 5 and the fourth hand 6 can do. In this embodiment, as described above, immediately after the two wafers 2 after the processing are simultaneously carried out from the processing apparatus 82 by using the third hand 5 and the fourth hand 6, Two wafers 2 before the processing can be simultaneously carried into the processing apparatus 82 by using the first hand 3 and the second hand 4. [ Therefore, in this embodiment, the tact time of the semiconductor manufacturing system in which the robot 1 is built can be shortened.

여기서, 일반적으로, 카세트(81) 중에서의 웨이퍼(2)의 배치 위치 정밀도는 요구되지 않지만, 처리 장치(82) 중에서의 웨이퍼(2)의 배치 위치 정밀도는 요구된다. 즉, 카세트(81)에 대하여 웨이퍼(2)를 고정밀도로 반입할 필요는 없지만, 처리 장치(82)에 대하여 웨이퍼(2)를 고정밀도로 반입할 필요가 있다. 본 형태에서는, 웨이퍼(2)의 단부면이 맞닿는 맞닿음면(31a)을 갖는 단부면 맞닿음 부재(31)와, 웨이퍼(2)의 단부면이 맞닿음면(31a)에 압박되도록 웨이퍼(2)를 누르는 압박 기구(32)를 갖는 그립형 유지부(30)를 구비한 제1 핸드(3) 및 제2 핸드(4)에 의해, 웨이퍼(2)가 카세트(81)로부터 반출됨과 함께 처리 장치(82)에 반입되고 있다. 그로 인해, 본 형태에서는, 처리 장치(82)에 반입되는 웨이퍼(2)를 제1 핸드(3) 및 제2 핸드(4)에 고정밀도로 탑재하는 것이 가능하게 되고, 그 결과, 처리 장치(82)에 대하여 웨이퍼(2)를 고정밀도로 반입하는 것이 가능하게 된다.In general, positioning accuracy of the wafer 2 in the cassette 81 is not required, but positioning accuracy of the wafer 2 in the processing device 82 is required. In other words, it is not necessary to bring the wafer 2 into the cassette 81 with high accuracy, but it is necessary to bring the wafer 2 into the processing apparatus 82 with high accuracy. The end face contact member 31 having the abutment face 31a abutting the end face of the wafer 2 and the abutment face 31a of the wafer abutting face 31a are pressed against the abutment face 31a of the wafer 2, The wafer 2 is carried out of the cassette 81 by the first hand 3 and the second hand 4 provided with the grip type holding portion 30 having the pressing mechanism 32 for pressing the wafer 2 And is carried into the processing device 82. Therefore, in the present embodiment, it is possible to mount the wafer 2 brought into the processing apparatus 82 to the first hand 3 and the second hand 4 with high accuracy, and as a result, the processing apparatus 82 It is possible to carry the wafer 2 with high accuracy.

또한, 흡인형 유지부(45)의 경우, 그립형 유지부(30)와 비교하여, 제3 핸드(5) 및 제4 핸드(6)에 탑재되는 웨이퍼(2)의 위치 정밀도는 저하되지만, 그립형 유지부(30)와 같이, 손목부(11)에 있어서 2개의 공기 배관(71, 73) 및 배선(72, 74)을 깔 필요가 없기 때문에, 손목부(11)의 구성을 간소화하는 것이 가능하게 된다. 본 형태에서는, 제3 핸드(5) 및 제4 핸드(6)가 흡인형 유지부(45)를 구비하고 있기 때문에, 제3 핸드(5) 및 제4 핸드(6)가 그립형 유지부(30)를 구비하고 있는 경우와 비교하여, 손목부(11)의 구성을 간소화하는 것이 가능하게 된다. 또한, 본 형태에서는, 흡인 구멍(46)을 갖는 흡인형 유지부(45)를 구비한 제3 핸드(5) 및 제4 핸드(6)에 의해, 웨이퍼(2)가, 처리 장치(82)로부터 반출됨과 함께, 카세트(81)에 반입되고 있지만, 카세트(81)에서는, 웨이퍼(2)의 반입 위치 정밀도가 요구되지 않기 때문에, 카세트(81)에 대한 웨이퍼(2)의 반입 위치에 기인하는 문제는 발생하기 어렵다.In the suction type holding portion 45, the positional accuracy of the wafer 2 mounted on the third hand 5 and the fourth hand 6 is lower than that of the grip-type holding portion 30. However, It is not necessary to cover the two air pipes 71 and 73 and the wirings 72 and 74 in the wrist portion 11 as in the grip type holding portion 30 so that the configuration of the wrist portion 11 is simplified Lt; / RTI > Since the third hand 5 and the fourth hand 6 are provided with the suction-type holding portion 45, the third hand 5 and the fourth hand 6 are held by the grip- 30, it is possible to simplify the configuration of the wrist portion 11. [0064] In this embodiment, the wafer 2 is held by the processing device 82 by the third hand 5 and the fourth hand 6 provided with the suction-type holding portion 45 having the suction hole 46, But the cassette 81 does not require the accuracy of the carrying position of the wafer 2 in the cassette 81 so that the position of the cassette 81 in the carrying position of the wafer 2 relative to the cassette 81 Problems are unlikely to occur.

또한, 본 형태에서는 그립형 유지부(30)를 갖는 제1 핸드(3) 및 제2 핸드(4)가, 흡인형 유지부(45)를 갖는 제3 핸드(5) 및 제4 핸드(6)보다 상측에 배치되어 있고, 중공 회동축(51)의 내주측을 이용하여 공기 배관(71, 73) 및 배선(72, 74)이 깔려 있기 때문에, 제3 핸드(5) 및 제4 핸드(6)가 제1 핸드(3) 및 제2 핸드(4)보다 상측에 배치되어 있는 경우와 비교하여, 손목부(11)의 구성을 간소화하는 것이 가능하게 된다.In this embodiment, the first hand 3 and the second hand 4 each having the grip-type holding portion 30 are arranged in the order of the third hand 5 and the fourth hand 6 having the suction- And the air pipes 71 and 73 and the wirings 72 and 74 are laid on the inner peripheral side of the hollow rotary shaft 51 so that the third hand 5 and the fourth hand It is possible to simplify the configuration of the wrist part 11 as compared with the case where the first and second hands 6 and 6 are disposed above the first and second hands 3 and 4.

(다른 실시 형태)(Other Embodiments)

상술한 형태는, 본 발명의 적합한 형태의 일례이기는 하지만, 이것에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에 있어서 여러 가지 변형 실시가 가능하다.Although the above-described embodiment is an example of a suitable form of the present invention, the present invention is not limited thereto, and various modifications may be made without departing from the scope of the present invention.

상술한 형태에서는, 제1 핸드(3) 및 제2 핸드(4)가 그립형 유지부(30)를 구비하고, 제3 핸드(5) 및 제4 핸드(6)가 흡인형 유지부(45)를 구비하고 있지만, 제1 핸드(3) 및 제2 핸드(4)가 흡인형 유지부(45)를 구비하고, 제3 핸드(5) 및 제4 핸드(6)가 그립형 유지부(30)를 구비하고 있어도 된다. 또한, 상술한 형태에서는, 모터(14, 15)는, 제2 아암부(10)의 기단측의 내부에 배치되어 있지만, 모터(14, 15)는, 제1 아암부(9)의 내부에 배치되어도 된다.The first hand 3 and the second hand 4 are provided with the grip type holding portion 30 and the third hand 5 and the fourth hand 6 are provided with the suction type holding portion 45 The first hand 3 and the second hand 4 are provided with the suction type holding portion 45 and the third hand 5 and the fourth hand 6 are held by the grip- 30 may be provided. Although the motors 14 and 15 are disposed inside the base end side of the second arm portion 10 in the above-described embodiment, the motors 14 and 15 are disposed inside the first arm portion 9 .

상술한 형태에서는, 아암(7)은, 제1 아암부(9) 및 제2 아암부(10)의 2개의 아암부에 의해 구성되어 있지만, 아암(7)은, 3개 이상의 아암부에 의해 구성되어도 된다. 또한, 상술한 형태에서는, 로봇(1)은, 웨이퍼(2)를 반송하기 위한 로봇이지만, 로봇(1)은, 액정용 유리 기판 등의 다른 반송 대상물을 반송하는 로봇이어도 된다.The arm 7 is constituted by two arm portions of the first arm portion 9 and the second arm portion 10 but the arm 7 is constituted by three or more arm portions . In the above-described embodiment, the robot 1 is a robot for transporting the wafer 2, but the robot 1 may be a robot for transporting another transport object such as a liquid crystal glass substrate.

1: 로봇(산업용 로봇)
2: 웨이퍼(반도체 웨이퍼, 반송 대상물)
3: 핸드(제1 핸드, 제1 핸드 쌍의 일부)
3a: 기단측 부분(제1 핸드의 기단측 부분)
3c: 탑재부
3d: 지지부
4: 핸드(제2 핸드, 제1 핸드 쌍의 일부)
4a: 기단측 부분(제2 핸드의 기단측 부분)
4c: 탑재부
4d: 지지부
5: 핸드(제3 핸드, 제2 핸드 쌍의 일부)
5a: 기단측 부분(제3 핸드의 기단측 부분)
6: 핸드(제4 핸드, 제2 핸드 쌍의 일부)
6a: 기단측 부분(제4 핸드의 기단측 부분)
7: 아암
8: 본체부
30: 유지부
31: 단부면 맞닿음 부재
31a: 맞닿음면
32: 압박 기구
34: 압박부
35: 에어 실린더
36: 검지 기구
45: 유지부
46: 흡인 구멍
51: 중공 회동축(제1 중공 회동축)
51a: 절결부
52: 중공 회동축(제2 중공 회동축)
53: 중공 회동축(제3 중공 회동축)
53a: 공기 구멍
54: 중공 회동축(제4 중공 회동축)
54a, 54d: 공기 구멍
71: 공기 배관(제1 핸드의 지지부의 내부에 배치되는 에어 실린더용 공기 배관)
72: 배선(제1 핸드의 지지부의 내부에 배치되는 검지 기구용 배선)
73: 공기 배관(제2 핸드의 지지부의 내부에 배치되는 에어 실린더용 공기 배관)
74: 배선(제2 핸드의 지지부의 내부에 배치되는 검지 기구용 배선)1: Robot (industrial robot)
2: Wafer (semiconductor wafer, conveyance object)
3: Hand (first hand, part of first hand pair)
3a: base-end side portion (base-end side portion of the first hand)
3c:
3d: Support
4: Hand (second hand, part of first hand pair)
4a: proximal side portion (proximal side portion of the second hand)
4c:
4d:
5: Hand (third hand, part of second hand pair)
5a: proximal side portion (proximal side portion of the third hand)
6: Hand (fourth hand, part of second hand pair)
6a: proximal side portion (proximal side portion of the fourth hand)
7:
8:
30:
31: end face abutment member
31a: abutment surface
32:
34:
35: Air cylinder
36: Detection mechanism
45:
46: suction hole
51: hollow shaft (first hollow shaft)
51a:
52: hollow shaft (second hollow shaft)
53: hollow shaft (third hollow shaft)
53a: air hole
54: hollow shaft (fourth hollow shaft)
54a, 54d: air holes
71: air piping (air piping for an air cylinder disposed inside the support portion of the first hand)
72: wiring (detection mechanism wiring arranged inside the support portion of the first hand)
73: air piping (air piping for the air cylinder disposed inside the support portion of the second hand)
74: wiring (detection-use wiring disposed inside the support portion of the second hand)

Claims (4)

반송 대상물이 탑재되는 4개의 핸드와, 4개의 상기 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 아암과, 상기 아암의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 본체부를 구비하고,
4개의 상기 핸드는, 상기 반송 대상물을 유지하는 유지부를 구비하고, 4개의 상기 핸드의 기단측이 상하 방향으로 겹치도록 상기 아암에 연결됨과 함께, 상기 아암에 대하여 개별적으로 회동 가능하게 되어 있고,
4개의 상기 핸드 중 가장 위에 배치되는 상기 핸드와 위에서부터 두번째에 배치되는 상기 핸드를 제1 핸드 쌍이라 하고, 남은 2개의 상기 핸드를 제2 핸드 쌍이라 하면,
상기 제1 핸드 쌍 및 상기 제2 핸드 쌍 중 어느 한쪽을 구성하는 2개의 상기 핸드의 상기 유지부는, 상기 반송 대상물의 단부면이 맞닿는 맞닿음면을 갖는 단부면 맞닿음 부재와, 상기 반송 대상물의 단부면이 상기 맞닿음면에 압박되도록 상기 반송 대상물을 누르는 압박 기구를 구비하고,
상기 제1 핸드 쌍 및 상기 제2 핸드 쌍 중 어느 다른 쪽을 구성하는 2개의 상기 핸드의 상기 유지부는, 상기 반송 대상물을 흡인하여 유지하는 흡인 구멍을 구비하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.And a main body portion to which the base end side of the arm is rotatably connected. The main body portion includes:
Wherein the four hands are provided with a holding portion for holding the carrying object, the base ends of the four hands are connected to the arm so as to overlap each other in the vertical direction, and are rotatable individually with respect to the arm,
The hand arranged at the top of the four hands and the second hand arranged at the second position from the top are referred to as a first hand pair and the remaining two hands are referred to as a second hand pair,
Wherein the holding portion of the two hands constituting either one of the first hand pair and the second hand pair includes an end face abutment member having an abutment surface abutting the end faces of the carrying object, And a pressing mechanism for pressing the carrying object so that the end face is pressed against the abutment face,
Wherein the holding portion of the two hands constituting the other of the first hand pair and the second hand pair has a suction hole for sucking and holding the carrying object. 제1항에 있어서, 상기 압박 기구는, 상기 맞닿음면을 향하여 상기 반송 대상물의 단부면을 누르는 압박부와, 상기 압박부를 구동하는 에어 실린더와, 상기 압박부의 움직임을 검지하는 검지 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.The press machine according to claim 1, wherein the pressing mechanism includes: a pressing portion that presses the end face of the carrying object toward the abutment surface; an air cylinder that drives the pressing portion; and a detecting mechanism that detects movement of the pressing portion Wherein the robot is a robot. 제2항에 있어서, 4개의 상기 핸드 중 가장 위에 배치되는 상기 핸드를 제1 핸드라고 하고, 위에서부터 두번째에 배치되는 상기 핸드를 제2 핸드라고 하고, 위에서부터 세번째에 배치되는 상기 핸드를 제3 핸드라고 하고, 가장 밑에 배치되는 상기 핸드를 제4 핸드라고 하면,
중공형으로 형성되고 상기 제1 핸드의 기단측 부분의 하면측이 고정되는 제1 중공 회동축과, 중공형으로 형성되고 상기 제1 중공 회동축의 외주측에, 또한 상기 제1 중공 회동축과 동축 상에 배치됨과 함께 상기 제2 핸드의 기단측 부분의 하면측이 고정되는 제2 중공 회동축과, 중공형으로 형성되고 상기 제2 중공 회동축의 외주측에, 또한 상기 제1 중공 회동축과 동축 상에 배치됨과 함께 상기 제3 핸드의 기단측 부분의 하면측이 고정되는 제3 중공 회동축과, 중공형으로 형성되고 상기 제3 중공 회동축의 외주측에, 또한 상기 제1 중공 회동축과 동축 상에 배치됨과 함께 상기 제4 핸드의 기단측 부분의 하면측이 고정되는 제4 중공 회동축을 구비하고,
상기 제1 핸드 및 상기 제2 핸드의 상기 유지부는, 상기 단부면 맞닿음 부재와 상기 압박 기구를 구비하고,
상기 제3 핸드 및 상기 제4 핸드의 상기 유지부는, 상기 반송 대상물을 흡인하여 유지하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.The hand according to claim 2, wherein the hand disposed at the top of the four hands is referred to as a first hand, the hand arranged second from the top is referred to as a second hand, Hand is referred to as a hand, and the hand arranged at the bottom is referred to as a fourth hand,
A first hollow rotary shaft formed in a hollow shape and fixed to a lower surface side of a base end side portion of the first hand, and a second hollow rotary shaft formed on the outer peripheral side of the first hollow rotary shaft, A second hollow rotary shaft disposed coaxially and fixed to a lower surface side of the base end side portion of the second hand, and a second hollow rotary shaft formed on the outer peripheral side of the second hollow rotary shaft, And a third hollow pivot shaft disposed coaxially with the third hollow pivot shaft and fixed to a lower surface side of the base end side portion of the third hand, and a second hollow pivot shaft formed on the outer peripheral side of the third hollow pivot shaft, And a fourth hollow rotary shaft disposed coaxially with the coaxial shaft and fixed to the bottom side of the base end side portion of the fourth hand,
Wherein the holding section of the first hand and the second hand includes the end face abutment member and the urging mechanism,
And the holding unit of the third hand and the fourth hand sucks and holds the object to be transported. 제3항에 있어서, 상기 제1 핸드 및 상기 제2 핸드는, 상기 반송 대상물이 탑재되는 탑재부와, 상기 탑재부를 지지하는 지지부를 구비하고,
상기 제1 핸드의 상기 지지부는, 상기 제1 핸드의 상기 탑재부와 상기 제1 핸드의 기단측 부분을 연결하고 있고,
상기 제2 핸드의 상기 지지부는, 상기 제2 핸드의 상기 탑재부와 상기 제2 핸드의 기단측 부분을 연결하고 있고,
상기 제1 핸드의 기단측 부분 및 상기 지지부와, 상기 제2 핸드의 기단측 부분 및 상기 지지부와, 상기 제3 핸드와, 상기 제4 핸드는, 중공형으로 되어 있고,
상기 제1 핸드의 상기 지지부의 내부 및 상기 제2 핸드의 상기 지지부의 내부에는, 상기 에어 실린더 및 상기 검지 기구가 배치되고,
상기 제1 핸드의 상기 지지부의 내부에 배치되는 상기 에어 실린더용 공기 배관 및 상기 제1 핸드의 상기 지지부의 내부에 배치되는 상기 검지 기구용 배선은, 상기 제1 중공 회동축의 내주측을 통과하여 상기 제1 핸드의 기단측 부분의 내부로 인입되고,
상기 제1 중공 회동축에는, 상기 제1 중공 회동축의 직경 방향으로 관통하도록, 또한 상기 제1 중공 회동축의 둘레 방향을 길이 방향으로 하는 슬릿형 절결부가 형성되고,
상기 절결부는, 상기 제2 중공 회동축의 상단부보다 상측에 배치되고,
상기 제2 핸드의 상기 지지부의 내부에 배치되는 상기 에어 실린더용 공기 배관 및 상기 제2 핸드의 상기 지지부의 내부에 배치되는 상기 검지 기구용 배선은, 상기 제1 중공 회동축의 내주측을 통과한 후, 상기 절결부를 통과하여 상기 제2 핸드의 기단측 부분의 내부로 인입되고,
상기 제3 중공 회동축 및 상기 제4 중공 회동축에는, 상기 제3 핸드의 내부로 통하는 공기 구멍이 형성되고,
상기 제4 중공 회동축에는, 상기 제4 핸드의 내부로 통하는 공기 구멍이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.4. The image forming apparatus according to claim 3, wherein the first hand and the second hand comprise a mounting portion on which the conveying object is mounted and a supporting portion for supporting the mounting portion,
The support portion of the first hand connects the mounting portion of the first hand and the base end portion of the first hand,
The support portion of the second hand connects the mounting portion of the second hand and the base end portion of the second hand,
The base end side portion and the support portion of the first hand, the base end side portion and the support portion of the second hand, the third hand, and the fourth hand are hollow,
The air cylinder and the detection mechanism are disposed inside the support portion of the first hand and inside the support portion of the second hand,
The air piping for the air cylinder disposed inside the support portion of the first hand and the detection mechanism wiring disposed inside the support portion of the first hand pass through the inner peripheral side of the first hollow rotary shaft Side portion of the first hand,
Wherein the first hollow rotary shaft is formed with a slit-shaped cutout portion penetrating in the radial direction of the first hollow rotary shaft and the circumferential direction of the first hollow rotary shaft in the longitudinal direction,
Wherein the notch portion is disposed on the upper side of the upper end of the second hollow rotary shaft,
The air piping for the air cylinder disposed inside the support portion of the second hand and the detection mechanism wiring disposed inside the support portion of the second hand are arranged so as to be spaced apart from each other Then passes through the notch portion and enters the base end portion of the second hand,
An air hole communicating with the inside of the third hand is formed in the third hollow rotary shaft and the fourth hollow rotary shaft,
And an air hole communicating with the inside of the fourth hand is formed in the fourth hollow rotary shaft.
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