KR20170091661A - 기판 캐리어 및 퍼지 챔버 환경 제어들을 이용하는 기판 프로세싱 시스템들, 장치, 및 방법들 - Google Patents

기판 캐리어 및 퍼지 챔버 환경 제어들을 이용하는 기판 프로세싱 시스템들, 장치, 및 방법들 Download PDF

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딘 씨. 루제크
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Abstract

팩토리 인터페이스, 캐리어 퍼지 챔버, 및 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들의 환경 제어를 포함하는 전자 디바이스 프로세싱 시스템들이 설명된다. 하나의 전자 디바이스 프로세싱 시스템은, 팩토리 인터페이스 챔버를 갖는 팩토리 인터페이스, 팩토리 인터페이스에 커플링된 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들, 및 팩토리 인터페이스, 캐리어 퍼지 챔버, 및 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들에 커플링되고, 적어도, 팩토리 인터페이스 챔버, 캐리어 퍼지 챔버, 및 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들 내의 환경을 제어하도록 작동가능한 환경 제어 시스템을 갖는다. 다수의 다른 양상들과 같이, 기판들을 프로세싱하기 위한 방법들이 설명된다.

Description

기판 캐리어 및 퍼지 챔버 환경 제어들을 이용하는 기판 프로세싱 시스템들, 장치, 및 방법들{SUBSTRATE PROCESSING SYSTEMS, APPARATUS, AND METHODS WITH SUBSTRATE CARRIER AND PURGE CHAMBER ENVIRONMENTAL CONTROLS}
관련 출원들
[0001] 본원은, 2015년 1월 28일자로 출원되고 발명의 명칭이 "SUBSTRATE PROCESSING SYSTEMS, APPARATUS, AND METHODS WITH SUBSTRATE CARRIER AND PURGE CHAMBER ENVIRONMENTAL CONTROLS"인 미국 가 출원 제 62/108,834 호(도켓 번호 22444/L2), 및 2014년 11월 25일자로 출원되고 발명의 명칭이 "SUBSTRATE PROCESSING SYSTEMS, APPARATUS, AND METHODS WITH SUBSTRATE CARRIER AND PURGE CHAMBER ENVIRONMENTAL"인 미국 가 출원 제 62/084,350 호(도켓 번호 22444/L)에 대해 우선권 및 그 이익을 주장하며, 이로써, 그러한 미국 가 출원들의 개시내용들은 본원에서 모든 목적들에 대해 인용에 의해 각각 포함된다.
분야
[0002] 실시예들은 전자 디바이스 제조에 관한 것이고, 더 구체적으로는, 기판 캐리어들 및 장비 전단 모듈(EFEM) 인터페이스들, 및 기판들을 프로세싱하는 장치, 시스템들, 및 방법들에 관한 것이다.
[0003] 반도체 컴포넌트 제조에서의 기판들의 프로세싱은 일반적으로, 다수의 프로세스 툴들에서 수행되고, 여기에서, 기판들은 기판 캐리어들(예컨대, 전방 개방형 통합 포드들 또는 FOUP들)에서 프로세스 툴들 사이에서 이동한다. FOUP들은 각각의 FOUP들 사이에서 기판들을 이송하도록 동작가능한 로드/언로드 로봇 및 프로세스 툴의 메인프레임의 하나 또는 그 초과의 로드 락들을 포함하는 EFEM(달리 "팩토리 인터페이스"라고 지칭됨)에 도킹될 수 있고, 그에 따라, 프로세싱을 위해 프로세스 툴의 이송 챔버로의 기판들의 통과를 허용할 수 있다. 기존의 기판 프로세싱 시스템들은 효율 및/또는 프로세스 품질 개선들로부터 이익을 얻을 수 있다.
[0004] 따라서, 기판들의 프로세싱에서 개선된 효율 및/또는 능력을 갖는 시스템들, 장치, 및 방법들이 요구된다.
[0005] 일 양상에서, 전자 디바이스 프로세싱 시스템이 제공된다. 전자 디바이스 프로세싱 시스템은, 팩토리 인터페이스 챔버를 포함하는 팩토리 인터페이스, 팩토리 인터페이스에 커플링된 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들, 및 팩토리 인터페이스 및 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들에 커플링되고, 팩토리 인터페이스의 팩토리 인터페이스 챔버 및 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들 내의 환경을 제어하도록 동작가능한 환경 제어 시스템을 포함한다.
[0006] 다른 양상에서, 전자 디바이스 프로세싱 시스템이 제공된다. 전자 디바이스 프로세싱 시스템은, 팩토리 인터페이스 챔버를 포함하는 팩토리 인터페이스, 팩토리 인터페이스에 커플링된 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들, 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들과 팩토리 인터페이스 챔버 사이의 캐리어 퍼지 챔버, 및 캐리어 퍼지 챔버 및 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들에 커플링되고, 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들 및 캐리어 퍼지 챔버 내의 환경을 제어하도록 동작가능한 환경 제어 시스템을 포함한다.
[0007] 방법 양상에서, 전자 디바이스 프로세싱 시스템 내에서 기판들을 프로세싱하는 방법이 제공된다. 방법은, 팩토리 인터페이스를 포함하는 팩토리 인터페이스를 제공하는 단계, 팩토리 인터페이스에 도킹된 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들을 제공하는 단계, 팩토리 인터페이스 챔버와 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들 사이에 캐리어 퍼지 챔버를 제공하는 단계, 및 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들 및 캐리어 퍼지 챔버 내의 환경 조건들을 제어하는 단계를 포함한다.
[0008] 또 다른 방법 양상에서, 전자 디바이스 프로세싱 시스템 내에서 기판들을 프로세싱하는 방법이 제공된다. 방법은, 팩토리 인터페이스 챔버를 포함하는 팩토리 인터페이스, 팩토리 인터페이스에 도킹된 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들, 및 팩토리 인터페이스 챔버 내의 하나 또는 그 초과의 캐리어 퍼지 챔버들을 제공하는 단계, 및 팩토리 인터페이스 챔버, 하나 또는 그 초과의 캐리어 퍼지 챔버들, 및 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들 내의 환경 조건들을 제어하는 단계를 포함한다.
[0009] 다른 양상에서, 전자 디바이스 프로세싱 시스템이 제공된다. 전자 디바이스 프로세싱 시스템은, 팩토리 인터페이스 챔버를 포함하는 팩토리 인터페이스, 팩토리 인터페이스에 커플링된 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들, 팩토리 인터페이스 챔버와 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들 사이의 캐리어 퍼지 챔버 ― 캐리어 퍼지 챔버는 도어 오프너 및 로드 포트 백 플레이트의 적어도 부분들에 의해 형성됨 ―, 및 특정한 환경 조건들이 만족될 때까지, 캐리어 퍼지 챔버를 퍼징하도록 구성 및 적응된 캐리어 퍼지 챔버 환경 제어 시스템을 포함한다.
[00010] 다수의 다른 양상들이 본 발명의 이러한 그리고 다른 실시예들에 따라 제공된다. 본 발명의 실시예들의 다른 특징들 및 양상들이 다음의 상세한 설명, 첨부된 청구항들, 및 첨부 도면들로부터 더 완전히 명백하게 될 것이다.
[00011] 아래에서 설명되는 도면들은 예시적인 목적들만을 위한 것이고, 반드시 실척대로 도시된 것은 아니다. 도면들은 임의의 방식으로 본 발명의 범위를 제한하도록 의도되지 않는다.
[00012] 도 1은 하나 또는 그 초과의 실시예들에 따른, 팩토리 인터페이스 환경 제어들, 캐리어 퍼지 챔버 환경 제어들, 및 기판 캐리어 환경 제어들을 포함하는 전자 디바이스 프로세싱 시스템의 개략적인 평면도를 예시한다.
[00013] 도 2는 하나 또는 그 초과의 실시예들에 따른 캐리어 퍼지 챔버 환경 제어 시스템의 부분적인 배면도를 예시한다.
[00014] 도 3은 하나 또는 그 초과의 실시예들에 따른 캐리어 환경 제어 시스템의 부분들의 부분적인 정면 단면도를 예시한다.
[00015] 도 4는 하나 또는 그 초과의 실시예들에 따른 환경 제어들을 포함하는 전자 디바이스 프로세싱 시스템의 개략적인 평면도를 예시한다.
[00016] 도 5는 하나 또는 그 초과의 실시예들에 따른, 전자 디바이스 프로세싱 시스템 내에서 기판들을 프로세싱하는 방법을 도시하는 흐름도를 예시한다.
[00017] 도 6은 하나 또는 그 초과의 실시예들에 따른 캐리어 퍼지 챔버 환경 제어들의 실시예를 포함하는 전자 디바이스 프로세싱 시스템의 다른 실시예의 측면 단면도를 예시한다.
[00018] 첨부 도면들에서 예시된 예시적인 실시예들이 이제 상세히 참조될 것이다. 가능한 경우에, 동일한 참조 번호들이 수개의 도면들 전반에 걸쳐 동일한 또는 유사한 부분들을 지칭하기 위해 도면들 전반에 걸쳐 사용될 것이다. 본원에서 설명되는 다양한 실시예들의 특징들은, 구체적으로 다르게 기재되지 않는 한, 서로 조합될 수 있다.
[00019] 기존의 전자 디바이스 제조 시스템들은, 비교적 더 높은 습도, 온도, 또는 다른 환경 인자들(예컨대, 너무 높은 산소(O2) 레벨, 또는 너무 높은 레벨들의 다른 화학 오염물질들)이 관찰되는 경우에, 문제를 겪을 수 있다. 특히, 비교적 높은 습도 레벨들, 비교적 높은 O2 레벨들, 또는 다른 오염물질들에 대한 기판들의 노출은, 몇몇 실시예들에서, 기판 특성들에 악영향을 미칠 수 있다.
[00020] 본 발명의 하나 또는 그 초과의 실시예들에 따르면, 개선된 기판 프로세싱을 제공하도록 적응된 전자 디바이스 프로세싱 시스템들이 제공된다. 본원에서 설명되는 시스템들 및 방법들은, 툴들 사이에서의 운송 중인 경우에, 그리고 또한, 팩토리 인터페이스와 인터페이싱하는 경우에, 기판들이 노출되는 환경 조건들을 제어함으로써, 기판들의 프로세싱에서 효율 및/또는 프로세싱 개선들을 제공할 수 있다. 팩토리 인터페이스는 (예컨대, 그러한 팩토리 인터페이스의 전방 표면에 도킹된) 그러한 팩토리 인터페이스의 벽에 도킹된 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들로부터 기판들을 수용하고, 로드/언로드 로봇은 팩토리 인터페이스의 다른 표면(예컨대, 팩토리 인터페이스의 후방 표면) 상에 커플링된 하나 또는 그 초과의 로드 락들에 기판들을 전달한다. 몇몇 실시예들에서, 하나 또는 그 초과의 환경 파라미터들(예컨대, 상대 습도, 온도, O2의 양, 비활성 가스의 양, 또는 다른 화학 오염물의 양)이 모니터링 및 제어되고, 팩토리 인터페이스의 팩토리 인터페이스 챔버에서의 환경에 관한 특정한 전제-조건들이 만족되지 않는 한, 팩토리 인터페이스에 도킹된 FOUP들 중 어느 것도 개방되지 않을 수 있다.
[00021] 게다가, 팩토리 인터페이스 내의 환경이 또한 제어된다. 요약하면, 하나의 프로세스 툴의 로드 락으로부터 다른 프로세스의 로드 락까지의 운송 경로를 따라, 처음부터 끝까지, 환경이 제어된다.
[00022] 본 발명의 예시적인 장치, 시스템, 방법 실시예들의 추가적인 세부사항들이 본원에서 도 1 내지 도 6을 참조하여 설명된다.
[00023] 도 1은 본 발명의 하나 또는 그 초과의 실시예들에 따른 전자 디바이스 프로세싱 시스템(100)의 예시적인 실시예를 예시하는 개략도이다. 전자 디바이스 프로세싱 시스템(100)은 이송 챔버(102)를 정의하는 하우징 벽들을 갖는 메인프레임 하우징(101)을 포함할 수 있다. 이송 로봇(103)(점선 원으로서 도시됨)이 이송 챔버(102) 내에 적어도 부분적으로 하우징될 수 있다. 이송 로봇(103)은 그러한 이송 로봇(103)의 동작을 통해 기판들을 목적지들에 배치하거나 또는 목적지들로부터 꺼내도록 구성 및 적응될 수 있다. 본원에서 사용되는 바와 같은 기판들은 실리카-함유 디스크들 또는 웨이퍼들, 패터닝된 웨이퍼들, 유리 플레이트들 등과 같은, 전자 디바이스들 또는 회로 컴포넌트들을 제조하기 위해 사용되는 물건을 의미할 것이다.
[00024] 도시된 실시예에서, 이송 로봇(103)은, 예컨대, 미국 특허 공개 번호 제 2010/0178147 호에서 개시된 로봇과 같은, 이송 챔버(102)에 커플링되고 이송 챔버(102)로부터 접근가능한 (도시된 트윈 챔버들과 같은) 다양한 챔버들을 서비싱하도록 적응된 임의의 적합한 타입의 로봇일 수 있다. 다른 로봇 타입들이 사용될 수 있다.
[00025] 이송 로봇(103)의 다양한 암 컴포넌트들의 모션은 제어기(125)로부터 커맨딩되는 바와 같은, 이송 로봇(103)의 복수의 구동 모터들을 포함하는 구동 어셈블리(미도시)로의 적합한 커맨드들에 의해 제어될 수 있다. 제어기(125)로부터의 신호들은 이송 로봇(103)의 다양한 컴포넌트들의 모션을 야기할 수 있다. 다양한 센서들, 예컨대 위치 인코더들 등에 의해 컴포넌트들 중 하나 또는 그 초과에 대해 적합한 피드백 메커니즘들이 제공될 수 있다.
[00026] 도시된 실시예에서의 이송 챔버(102)는 형상이 대체로 정사각형일 수 있거나 또는 약간 직사각형일 수 있다. 그러나, 다른 적합한 형상들의 메인프레임 하우징(101) 및 다수의 면들 및 프로세싱 챔버들이 가능하다. 기판들에 대한 목적지들은 제 1 프로세스 챔버 세트(108A, 108B)일 수 있고, 그러한 제 1 프로세스 챔버 세트(108A, 108B)는 그에 전달되는 기판들에 대해 프로세스를 수행하도록 구성될 수 있고 동작가능할 수 있다.
[00027] 기판 목적지들은 또한, 제 1 프로세스 챔버 세트(108A, 108B)와 대체로 대향할 수 있는 제 2 프로세스 챔버 세트(108C, 108D)일 수 있다. 제 2 프로세스 챔버 세트(108C, 108D)는 제 2 면에 커플링될 수 있고, 기판들에 대해 임의의 적합한 프로세스를 수행하도록 구성 및 적응될 수 있다. 마찬가지로, 기판 목적지들은 또한, 제 3 면에 커플링된 로드 락 장치(112)와 대체로 대향할 수 있는 제 3 프로세스 챔버 세트(108E, 108F)일 수 있다. 제 3 프로세스 챔버 세트(108E, 108F)는 기판들에 대해 임의의 적합한 프로세스를 수행하도록 구성 및 적응될 수 있다. 프로세스 챔버들(108A 내지 108F)에 의해 수행되는 프로세스는 플라즈마 기상 증착(PVD) 또는 화학 기상 증착(CVD), 에칭, 어닐링, 사전-세정, 금속 또는 금속 산화물 제거 등과 같은 임의의 적합한 프로세스일 수 있다. 다른 프로세스들이 그러한 프로세스 챔버들에서 기판들에 대해 수행될 수 있다.
[00028] 기판들은, 팩토리 인터페이스(114)의 표면(예컨대, 후방 벽)에 커플링된 로드 락 장치(112)를 통해, 팩토리 인터페이스(114)로부터 이송 챔버(102) 내로 수용될 수 있고, 또한, 팩토리 인터페이스(114)로 이송 챔버(102)에서 빠져나갈 수 있다. 로드 락 장치(112)는 하나 또는 그 초과의 로드 락 챔버들(예컨대, 예를 들어 로드 락 챔버들(112A, 112B))을 포함할 수 있다. 로드 락 장치(112)에 포함된 로드 락 챔버들(112A, 112B)은 단일 웨이퍼 로드 락(SWLL) 챔버들 또는 멀티-웨이퍼 로드 락 챔버들일 수 있다.
[00029] 팩토리 인터페이스(114)는 팩토리 인터페이스 챔버(114C)를 형성하는 측벽 표면들(전방, 후방, 2개의 측벽들, 상단, 및 바닥을 포함)을 갖는 임의의 인클로저일 수 있다. 하나 또는 그 초과의 로드 포트들(115)이 팩토리 인터페이스(114)의 표면들(예컨대, 전방 표면들) 상에 제공될 수 있고, 그러한 하나 또는 그 초과의 로드 포트들(115)에 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들(116)(예컨대, 전방 개방 통합 포드들 또는 FOUP들)을 수용하도록 구성 및 적응될 수 있다. 팩토리 인터페이스(114)는 팩토리 인터페이스 챔버(114C) 내에 통상적인 구성의 적합한 로드/언로드 로봇(117)(점선으로 도시됨)을 포함할 수 있다. 로드/언로드 로봇(117)은, 기판 캐리어들(116)의 도어들이 개방되면, 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들(116)로부터 기판들을 꺼내고, 기판들을 팩토리 인터페이스 챔버(114C)를 통해 그리고 하나 또는 그 초과의 로드 락 챔버들(112A, 112B) 내로 피드하도록 구성될 수 있고 작동가능할 수 있다. 이송 챔버(102)와 팩토리 인터페이스 챔버(114C) 사이의 기판들의 이송을 허용하는 로드 락 장치(112)의 임의의 적합한 구성이 사용될 수 있다.
[00030] 이송 챔버(102)는 다양한 프로세스 챔버들(108A 내지 108F)에 대한 입구/출구에서 슬릿 밸브들을 포함할 수 있다. 마찬가지로, 하나 또는 그 초과의 로드 락 장치(112)에서의 로드 락 챔버들(112A, 112B)은 내측 및 외측 로드 락 슬릿 밸브들을 포함할 수 있다. 슬릿 밸브들은, 다양한 프로세스 챔버들(108A 내지 108F) 및 로드 락 챔버들(112A, 112B)로 그리고 그로부터 기판들을 배치 또는 꺼내는 경우에, 개방 및 폐쇄되도록 적응된다. 슬릿 밸브들은 L-모션 슬릿 밸브들과 같은 임의의 적합한 통상적인 구성으로 이루어질 수 있다.
[00031] 도시된 실시예에서, 환경 제어 시스템(126)이 제공된다. 환경 제어 시스템(126)은 팩토리 인터페이스 챔버(114C)에 환경-제어되는 분위기를 제공하는 팩토리 인터페이스 환경 제어 시스템(126A)을 팩토리 인터페이스 챔버(114C)에 제공할 수 있다. 특히, 팩토리 인터페이스 환경 제어 시스템(126A)은 팩토리 인터페이스(114)에 커플링되고, 팩토리 인터페이스 챔버(114C) 내의 환경 조건들을 모니터링 및/또는 제어하도록 작동가능하다. 몇몇 실시예들에서 그리고 특정한 시점들에서, 팩토리 인터페이스 챔버(114C)는 비활성 가스 공급부(118A)로부터 아르곤(Ar), 질소(N2), 또는 헬륨(He)과 같은 비활성 가스를 내부에 수용할 수 있다. 다른 실시예들에서 또는 다른 시점들에서, 공기 공급부(118B)로부터 공기(예컨대, 필터링된 공기)가 제공될 수 있다.
[00032] 더 상세히, 팩토리 인터페이스 환경 제어 시스템(126A)은, 팩토리 인터페이스 챔버(114C) 내의 환경의,
1) 상대 습도(RH),
2) 온도(T),
3) O2의 양, 또는
4) 비활성 가스의 양, 또는
5) 화학 오염물(예컨대, 아민들, 염기(base)들, 상당한 양의 하나 또는 그 초과의 휘발성 유기 화합물(VOC) 등)의 양
중 적어도 하나를 제어할 수 있다.
팩토리 인터페이스 챔버로의 또는 그로부터의 가스 유량, 또는 챔버 압력, 또는 양자 모두와 같은 팩토리 인터페이스 챔버(114C)의 다른 환경 조건들이 모니터링 및/또는 제어될 수 있다.
[00033] 환경 제어 시스템(126)은 제어기(125)를 포함한다. 제어기(125)는, 다양한 센서들(예컨대, 상대 습도 센서, 산소 센서, 화학 컴포넌트 센서, 및/또는 온도 센서)로부터 입력들을 수용하고 하나 또는 그 초과의 밸브들을 제어하도록 구성 및 적응된 적합한 프로세서, 메모리, 및 전자 컴포넌트들을 포함할 수 있다. 제어기(125)는 폐쇄 루프 또는 다른 적합한 제어 체계를 실행할 수 있다. 일 실시예에서, 제어 체계는 팩토리 인터페이스 챔버(114C) 내로 도입되고 있는 가스의 유량을 변화시킬 수 있다. 다른 실시예에서, 제어 체계는, 팩토리 인터페이스 챔버(114C)의 조건들에 기초하여, 팩토리 인터페이스 챔버(114C) 내에 언제 기판들을 이송할지를 결정할 수 있다.
[00034] 하나 또는 그 초과의 실시예들에서, 환경 제어 시스템(126)은 팩토리 인터페이스 챔버(114C)에서 상대 습도(RH)를 감지함으로써 상대 습도(RH)를 모니터링할 수 있다. 팩토리 인터페이스 챔버(114C)는 그 내부에 하나 또는 그 초과의 센서들(130)을 포함할 수 있다. 예컨대, 하나 또는 그 초과의 센서들(130)은 팩토리 인터페이스 챔버(114C)에 상대 습도 센서를 포함할 수 있다. 습도 센서는 팩토리 인터페이스 챔버(114C)에서의 상대 습도(RH)를 감지하도록 구성 및 적응될 수 있다. 용량성-타입 센서와 같은 임의의 적합한 타입의 상대 습도 센서가 사용될 수 있다. 제어기(125)는 RH를 모니터링할 수 있고, 제어기(125)에 제공되는 측정된 RH 값이 미리 정의된 RH 임계 값을 초과하는 경우에, 팩토리 인터페이스(114)의 로드 포트들에 커플링된 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들(116)의 캐리어 도어들이 폐쇄된 상태로 유지된다.
[00035] 측정된 RH 값이 미리 정의된 RH 임계 값 아래로 떨어지는 경우에, 기판 캐리어들(116)의 캐리어 도어들이 개방될 수 있다. RH는 비활성 가스 공급부(118A)로부터 팩토리 인터페이스 챔버(114C) 내로의 적합한 양의 비활성 가스의 유동에 의해 낮아지게 될 수 있다. 본원에서 설명되는 바와 같이, 비활성 가스 공급부(118A)로부터의 비활성 가스는 아르곤, 질소 가스(N2), 헬륨, 또는 이들의 혼합물들일 수 있다. 건성 질소 가스(N2)의 공급은 상당히 효과적일 수 있다. 저 H2O 레벨들(예컨대, 5 ppm 미만)을 갖는 압축된 벌크 비활성 가스들이 비활성 가스 공급부(118A)로서 사용될 수 있다. 비활성 가스 공급부(118A)로부터의 공급되는 비활성 가스는 팩토리 인터페이스 챔버(114C)를 채울 수 있다.
[00036] 다른 양상에서, 환경 제어 시스템(126)은 하나 또는 그 초과의 센서(130)(예컨대, 상대 습도 센서)로 RH 값을 모니터링할 수 있고, 측정된 상대 습도 값이 미리-정의된 레퍼런스 상대 습도 값을 초과하는 경우에, 하나 또는 그 초과의 로드 락 장치(112)의 외측 로드 락 슬릿 밸브가 폐쇄된 상태로 유지된다. 하나 또는 그 초과의 로드 락 장치(112)는, RH 레벨이 미리-정의된 레퍼런스 RH 값 아래로 떨어질 때까지, 폐쇄된 상태로 유지될 수 있다. 위에서 논의된 바와 같이, RH는 비활성 가스 공급부(118A)로부터 팩토리 인터페이스 챔버(114C) 내로의 적합한 양의 비활성 가스의 유동을 개시하는, 제어기(125)로부터 환경 제어 시스템(126)으로의 제어 신호에 의해 낮아지게 될 수 있다.
[00037] 하나 또는 그 초과의 실시예들에서, 미리-정의된 레퍼런스 RH 값은, 전자 디바이스 프로세싱 시스템(100)에서 수행되고 있는 특정한 프로세스에 대해 용인가능한 습기의 레벨에 따라, 1000 ppm 미만의 습기, 500 ppm 미만의 습기, 또는 심지어, 100 ppm 미만의 습기일 수 있다.
[00038] 이전에-실패된 환경 전제조건들을 만족시키기 위해, 즉, 이전에-실패된 환경 전제조건들 아래로 떨어지기 위해, 비활성 가스(예컨대, 건성 N2 가스 또는 다른 비활성 가스)가 비활성 가스 공급부(118A)로부터 팩토리 인터페이스 챔버(114C) 내로 유동될 수 있다. 비활성 가스 공급부(118A)는, 예컨대, 압력 하의 비활성 가스의 적합한 캐니스터(canister)일 수 있다. 팩토리 인터페이스(114C) 내에 제공되는 비활성 가스의 유량들은 전달 라인 상의 적합한 유동 센서(미도시), 및/또는 팩토리 인터페이스 챔버(114C) 내에 위치된 압력 센서, 또는 이들 양자 모두에 의해 모니터링될 수 있다. 400 SLM 또는 그 초과의 유량들이, 제어기(125)로부터의 제어 신호들에 응답하여, 비활성 가스 공급부(118A)에 커플링된 밸브를 조정함으로써 제공될 수 있다. 약 500 Pa 초과의 압력들이 팩토리 인터페이스 챔버(114C) 내에서 유지될 수 있다. 팩토리 인터페이스 챔버(114C) 내로의 비활성 가스(예컨대, N2 또는 다른 비활성 가스)의 유동은 상대 습도(RH) 레벨을 낮아지게 하도록 동작하고, 하나 또는 그 초과의 로드 락 챔버들(112A, 112B)의 외측 로드 락 슬릿 밸브들 및/또는 캐리어 도어는 상대 습도 임계 값이 만족되는 경우에 개방될 수 있다. 이는, 로드 락 챔버들(112A, 112B)에서 빠져나가는 기판 캐리어들(116)에서 빠져나가는 기판들, 뿐만 아니라, 팩토리 인터페이스 챔버(114C)를 통과하는 임의의 기판들이 적합하게 낮은 습도 환경에만 노출되는 것을 보장하는 것을 돕는다.
[00039] 다른 예에서, 환경 전제조건들은, 예컨대, 팩토리 인터페이스 챔버(114C)에서의 측정된 산소(O2) 레벨이 미리 정의된 레벨 아래로 떨어지는 경우에, 만족될 수 있다. 산소(O2) 레벨은 하나 또는 그 초과의 센서들(130)에 의해, 예컨대 산소 센서에 의해 감지될 수 있다. 측정된 산소(O2) 레벨이 미리 정의된 산소 임계치 레벨(예컨대, 50 ppm 미만의 O2, 10 ppm 미만의 O2, 5 ppm 미만의 O2, 또는 심지어, 3 ppm 미만의 O2, 또는 한층 더 낮은 레벨) 아래로 떨어지는 경우에, 팩토리 인터페이스 챔버(114C)를 통해 기판 교환이 발생될 수 있다. 발생하는 프로세싱에 따라, 다른 적합한 산소 레벨 임계치들이 사용될 수 있다. 팩토리 인터페이스 챔버(114C)에서의 미리 정의된 산소 임계치 레벨이 만족되지 않는 경우에, 제어기(125)는 비활성 가스 공급부(118A)에 커플링된 밸브에 제어 신호를 개시할 것이고, 제어기(125)에 의해 결정되는 바와 같은 미리 정의된 산소 임계치 레벨이 만족될 때까지, 팩토리 인터페이스 챔버(114C) 내로 비활성 가스를 유동시킬 것이다.
[00040] 미리 정의된 산소 임계치 레벨이 만족되는 경우에, 하나 또는 그 초과의 로드 락 챔버들(112A, 112B)의 외측 로드 락 슬릿 밸브들 및/또는 캐리어 도어가 개방될 수 있다. 이는, 로드 락 챔버들(112A, 112B)에서 빠져나가는 기판 캐리어들(116)에서 빠져나가는 기판들, 뿐만 아니라, 팩토리 인터페이스 챔버(114C)를 통과하는 임의의 기판들이 비교적 낮은 산소 레벨들에 노출되는 것을 보장하는 것을 돕는다.
[00041] 다른 예에서, 환경 전제조건들은, 예컨대, 팩토리 인터페이스 챔버(114C)에서의 기판의 온도와 같은, 팩토리 인터페이스 챔버(114C)에서의 측정된 온도 레벨이 미리 정의된 온도 임계치 레벨(예컨대, 섭씨 100 도 미만, 또는 한층 더 낮은 레벨) 아래로 떨어지는 경우에, 만족될 수 있다. 하나 또는 그 초과의 실시예들에서, 하나 또는 그 초과의 센서들(130)은 팩토리 인터페이스 챔버(114C) 내에서 온도를 감지하도록 구성 및 적응된 온도 센서를 포함한다. 몇몇 실시예들에서, 온도 센서는, 기판이 팩토리 인터페이스 챔버(114C)를 통과하는 경우의 기판의 경로에 매우 가까이 배치될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 온도 센서는 기판이 냉각된 정도를 결정하기 위해 사용될 수 있는 레이저 센서와 같은 방향성 온도 센서일 수 있다. 미리 정의된 온도 임계치 레벨이 만족되면, 적합하게 냉각된 기판이 운송을 위해 기판 캐리어(116) 내에 로딩될 수 있다.
[00042] 다른 예에서, 환경 전제조건들은, 예컨대, 팩토리 인터페이스 챔버(114C)에서의 측정된 화학 오염물질 레벨이 미리 정의된 임계치 레벨 아래로 떨어지는 경우에, 만족될 수 있다. 하나 또는 그 초과의 실시예들에서, 하나 또는 그 초과의 센서들(130)은 팩토리 인터페이스 챔버(114C) 내에 포함된 하나 또는 그 초과의 화학 오염물질들(예컨대, 아민들, 염기들, 상당한 양의 하나 또는 그 초과의 휘발성 유기 화합물(VOC) 등)의 양을 감지하도록 구성 및 적응된 하나 또는 그 초과의 케미컬 센서들을 포함할 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 미리 정의된 케미컬 임계치 레벨이 만족되면, 기판들(245)이 기판 캐리어(116)로부터 언로딩될 수 있거나, 또는 그렇지 않으면, 팩토리 인터페이스 챔버(114C)를 통해 운송될 수 있다.
[00043] 몇몇 실시예들에서, 전자 디바이스 프로세싱 시스템(100)의 환경 제어 시스템(126)은 팩토리 인터페이스 챔버(114C)에 커플링된 공기 공급부(118B)를 포함할 수 있다. 공기 공급부(118B)는 팬 또는 공기 펌프에 의해 제공되는 필터링된 공기의 공급부일 수 있다. 공기 공급부(118B)는 적합한 도관들 및 하나 또는 그 초과의 밸브들에 의해 팩토리 인터페이스 챔버(114C)에 커플링될 수 있다. 환경 제어 시스템(126)은 팩토리 인터페이스 챔버(114C) 내의 또는 팩토리 인터페이스 챔버(114C)에서 빠져나가는 산소(O2)의 레벨을 감지하도록 구성 및 적응된 산소 센서를 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 오퍼레이터가 팩토리 인터페이스 챔버(114C)에 진입하기 위해 시도하고 진입 요청을 개시하는 경우에, 환경 제어 시스템(126)의 제어기(125)는, 비활성 가스 환경의 적어도 일부가 배기되고 공기로 대체되도록, 공기 공급부(118B)로부터의 공기의 유동을 개시할 수 있다. 팩토리 인터페이스 챔버(114C) 내에서 검출된 산소의 레벨이, 안전한 것으로 결정된 미리 결정된 산소 레벨 값에 도달하는 경우에, 접근 도어(142)를 폐쇄된 상태로 유지하는 도어 인터락(예컨대, 전기기계 락)은 접근 도어(142)가 개방되게(점선으로 도시된 바와 같음) 허용하도록, 그리고 따라서, 사람이 팩토리 인터페이스 챔버(114C)에 접근하게 허용하도록 언래치될 수 있다.
[00044] 전자 디바이스 프로세싱 시스템(100)의 환경 제어 시스템(126)은 또한, 비활성 가스 재순환을 포함할 수 있다. 특히, 비활성 가스는 팩토리 인터페이스(114)의 더 효율적인 환경 제어를 제공하기 위해 재활용 및 재사용될 수 있다. 예컨대, 도시된 실시예에서, 팩토리 인터페이스 챔버(114C)로부터의 비활성 가스는 팩토리 인터페이스 챔버(114C)로부터 배기 도관(150)에서 배기될 수 있고, 또한 미립자들을 필터링할 수 있는 습기-감소 필터일 수 있는 필터(152)를 통해 필터링될 수 있고, 그 후에, 팩토리 인터페이스 챔버 내로 다시 제공될 수 있다. 필터(152)는 흡수성 재료들의 다수의 층들을 포함할 수 있는 습기 흡수성 필터일 수 있다. 그러나, 콘덴서들 또는 다른 습기 제거 디바이스들과 같은, 습기 함유량을 감소시키기 위한 다른 메커니즘들 또는 디바이스들이 사용될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 비활성 가스가 또한 냉각될 수 있다. 하나 또는 그 초과의 실시예들에서, 필터(152)는 또한, 아민들, 염기들, 및/또는 하나 또는 그 초과의 VOC들과 같은 하나 또는 그 초과의 화학 오염물들을 필터링하는 것이 가능할 수 있다.
[00045] 도시된 실시예에서, 배기 순환 루트의 일부는 접근 도어(142)를 통할 수 있다. 예컨대, 팩토리 인터페이스 챔버(114C)로부터의 배기는 접근 도어(142)에 형성된 채널(예컨대, 덕트) 내로 진입할 수 있다. 채널은, 예컨대, 접근 도어(142)의 바닥에 또는 그 근처에 팩토리 인터페이스 챔버(114C)로부터의 입구를 가질 수 있다. 배기된 가스는, 몇몇 실시예들에서 팩토리 인터페이스 챔버(114C)의 상측 부분, 또는 팩토리 인터페이스(114)의 다른 부분 내에 있을 수 있는 필터(152)로 진행할 수 있다. 따라서, 채널은 배기 도관(150)의 일부일 수 있다.
[00046] 몇몇 실시예들에서, 예컨대, 비활성 가스 공급부(118A)로부터의 전달 라인에서의 유동 센서(미도시)의 사용에 의해, 비활성 가스 소비가 모니터링될 수 있고, 측정된 유량은 팩토리 인터페이스 챔버(114C) 내의 특정된 RH 값을 달성하기 위해 상관될 수 있다. 비활성 가스 소비의 양이 미리-설정된 제한 밖에 있는 경우에, 팩토리 린터페이스 챔버(114C)에서의 누설이, 예컨대, 오퍼레이터로의 메시지, 시각적인 표시자, 알람 등에 의해, 플래그될 수 있다. 선택적으로, 팩토리 인터페이스 챔버(114C) 내의 압력이 미리-설정된 제한 밖에(예컨대, 아래에) 있는 경우에, 팩토리 인터페이스 챔버(114C)에서의 누설이 위와 같이 플래그될 수 있다.
[00047] 도시된 실시예에서, 환경 제어 시스템(126)은 캐리어 퍼지 챔버 환경 제어 시스템(126B)을 포함할 수 있다. 캐리어 퍼지 챔버 환경 제어 시스템(126B)은 하나 또는 그 초과의 캐리어 퍼지 챔버들(154)에 비활성 가스의 유동을 제공한다.
[00048] 캐리어 퍼지 챔버 환경 제어 시스템(126B)은 비활성 가스 공급부(예컨대, 비활성 가스 공급부(118A) 및 그에 커플링된 복수의 공급 도관들(155) 및 밸브들을 포함한다. 복수의 공급 도관들(155) 및 밸브들은, 제어기(125)로부터의 제어 신호들에 응답하여, 특정한 시간들에서, 캐리어 퍼지 챔버들(154)에 비활성 가스를 공급한다. 예컨대, 비활성 가스의 공급은, 특정한 환경 전제조건들을 만족시키기 위해, 캐리어 퍼지 챔버(154) 내의 환경을 퍼징하도록, 기판 캐리어(116)의 캐리어 도어를 개방하기 직전에, 캐리어 퍼지 챔버(154)에 제공될 수 있다. 그러한 환경 전제 조건들은, 기판 캐리어(116)로부터 팩토리 인터페이스 챔버(114C) 내로의 기판들의 이송을 허용하기 위해 기판 캐리어를 개방하기 전에 만족될 수 있다.
[00049] 캐리어 퍼지 챔버 환경 제어 시스템(126B)의 동작 및 컴포넌트들 및 세부사항들이 이제, 도 2 및 도 3을 참조하여 설명될 것이다. 캐리어 퍼지 챔버 환경 제어 시스템(126B)은 챔버 퍼지 능력을 포함하는 각각의 기판 캐리어(116)를 위한 캐리어 퍼지 하우징(256)을 포함할 수 있다. 그러한 챔버 퍼지 능력은 기판 캐리어들(116)의 일부 또는 전부에 대해 포함될 수 있다. 캐리어 퍼지 하우징(256)은 각각의 캐리어 퍼지 챔버(154)의 부분을 형성한다. 캐리어 퍼지 하우징(256)은 팩토리 인터페이스(114)의 로드 포트 백 플레이트(258)의 내부 벽(257)(예컨대, 전방 벽)의 표면에 대하여 밀봉될 수 있고, 캐리어 퍼지 챔버(154)를 형성할 수 있다. 개스킷 또는 O-링과 같은 임의의 적합한 밀봉이 사용될 수 있다. 캐리어 퍼지 하우징(256)은, 캐리어 퍼지 챔버(154)가 공급 도관(155)으로부터 비활성 가스의 퍼징 유동을 수용하는 동안에, 내부 벽(257)의 표면에 대하여 밀봉된 상태로 유지된다. 비활성 가스는 캐리어 퍼지 챔버(154)를 퍼징하기 위해 적합한 유량(예컨대, 1 slm)으로 제공될 수 있다. 원하는 미리 정의된 레벨로 환경 조건들을 제어하기 위한 적합한 퍼지 후에, 캐리어 도어(216D)가 개방될 수 있다.
[00050] 명백해야 하는 바와 같이, 캐리어 퍼지 챔버 환경 제어 시스템(126B)은, 캐리어 도어(216D)를 개방할 시에, 캐리어 퍼지 챔버(154) 내에 기판 캐리어(116)의 캐리어 환경(262)을 수용하도록 적응된다. 캐리어 도어(216D)는 도어 오프너(265) 및 도어 리트랙션 메커니즘(267)의 동작을 통해 개방될 수 있다. 캐리어 도어(216D)가 개방되면, 바람직하지 않은 레벨들의 O2, 습기, 입자들, 또는 다른 휘발성 가스들을 포함할 수 있는 캐리어 환경(262) 및 재료들이 팩토리 인터페이스 챔버(114C)에 진입하지 않도록, 캐리어 퍼지 챔버(154)의 추가적인 퍼징이 발생될 수 있다. 캐리어 퍼지 챔버(154)의 퍼징은 특정한 환경 조건들이 만족되는 것을 보장하기 위해 계속될 수 있다. 캐리어 퍼지 챔버(154) 내로 비활성 가스를 공급하는 하나 또는 그 초과의 확산기들(259)이 공급 도관(155)으로부터의 출구들에 포함될 수 있다.
[00051] 다음으로부터 명백하게 될 바와 같이, 캐리어 환경 제어 시스템(126C)이 환경 제어 시스템(126)에 포함될 수 있고, 특정한 환경 조건들을 만족시키기 위해, 기판 캐리어(116) 내의 캐리어 환경(262)을 제어하도록 동작할 수 있다. 따라서, 캐리어 도어(216D)를 개방할 시에, 기판 캐리어(116) 내의 캐리어 환경(262)은 이미 환경 전제조건들을 만족시킬 수 있다. 따라서, 도어를 개방하고 기판들(245)을 언로딩하기 위한 시간이 단축될 수 있다.
[00052] 캐리어 퍼지 챔버(154) 및 캐리어 환경(262)에 대해 요구되는 환경 조건들은, 예컨대, 캐리어 퍼지 챔버(154) 및 캐리어 환경(262) 각각에 대해, 미리 정의된 상대 습도 RH 임계치 레벨, 및/또는 미리 정의된 O2 임계치 레벨, 및/또는 미리 정의된 화학 오염물질 임계치 레벨에 기초할 수 있다. 이러한 값들은 동일할 수 있거나 또는 상이할 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 미리 정의된 RH 임계치 레벨 미만의 상대 습도(예컨대, 약 5 % 습기 미만 - 약 50,000 ppm 미만)가, 캐리어 도어(216D)를 개방하고 캐리어 퍼지 하우징(256) 및 커플링된 캐리어 도어(216D)를 내부 벽(257)으로부터 리트랙팅하기 전에, 캐리어 퍼지 챔버(154) 및 캐리어 환경(262) 각각에서 추구될 수 있다. 내부 벽(257)으로부터 분리되면, 캐리어 퍼지 하우징(256)은 로드/언로드 로봇(117)(도 1에서 점선 박스로서 도시됨)이 기판들(245)에 접근하고 기판들(245)을 제거하게 허용하도록 낮아지게 될 수 있다. 산소 레벨이 환경 기준들인 경우에, 캐리어 도어(216D)를 개방하고 캐리어 퍼지 하우징(256)을 리트랙팅하고 낮아지게 하기 전에, 미리 정의된 임계치 레벨 미만의(예컨대, 약 500 ppm 미만의 O2) 캐리어 퍼지 챔버(154) 및 캐리어 환경(262)의 O2 임계치 레벨이 추구될 수 있다. 다른 미리 정의된 임계치 레벨들이 사용될 수 있다.
[00053] 화학 오염물질 레벨이 환경 기준들인 경우에, 캐리어 도어(216D)를 개방하고 캐리어 퍼지 하우징(256)을 리트랙팅하고 낮아지게 하기 전에, 미리 정의된 임계치 레벨 미만의 캐리어 퍼지 챔버(154) 및 캐리어 환경(262)의 화학 오염물질 임계치 레벨이 추구될 수 있다. 아민들, 염기들, 상당한 양의 하나 또는 그 초과의 휘발성 유기 화합물(VOC) 등과 같은 화학 오염물질들이 바람직하지 않을 수 있다.
[00054] 캐리어 퍼지 챔버(154)에서 이러한 임계치 레벨들의 일부 또는 전부를 달성하기 위해, 제어기(125)와 통신하는, 챔버 상대 습도 센서(276) 및/또는 챔버 산소 센서(278) 및/또는 하나 또는 그 초과의 케미컬 센서들(277)이 제공될 수 있다. 챔버 상대 습도 센서(276), 하나 또는 그 초과의 케미컬 센서들(277), 및/또는 챔버 산소 센서(278)는, 캐리어 퍼지 하우징(256)에 또는 상에 있을 수 있거나, 팩토리 인터페이스 챔버(114C) 내의 챔버 배기 도관(280)에 있을 수 있거나, 또는 심지어, 팩토리 인터페이스(114) 외부에 위치될 수 있다. 비활성 가스(예컨대, N2)에 의한 캐리어 퍼지 챔버(154)의 퍼징은, 센서들에 의해 실시되는 측정들에 기초하여 환경 전제조건들이 만족될 때까지 계속될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 이전에-수행된 실험들에 기초한, 특정한 미리-설정된 시간 또는 가스 볼륨에 대한 퍼징이, 환경 전제조건들이 만족된 것을 추정하기 위해 사용될 수 있다.
[00055] 더 상세히, 환경 제어 시스템(126)의 서브컴포넌트인 캐리어 환경 제어 시스템(126C)이 이제 설명될 것이다. 캐리어 환경 제어 시스템(126C)은 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들(116)에 커플링되고, 로드 포트(115)에 도킹될 시에, 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들(116) 내의 캐리어 환경(262)을 제어하도록 동작가능하다. 캐리어 환경 제어 시스템(126C)은 비활성 가스 공급부(118A)로부터 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들(116)로 비활성 가스를 제공하도록 구성되고 동작가능하다. 캐리어 도어(216D)를 개방하기 전에, 기판 캐리어(116)로부터 캐리어 환경(262)을 퍼징하기 위해 비활성 가스가 제공될 수 있다. 비활성 가스는, 예컨대, N2 가스, 아르곤, 또는 헬륨일 수 있다.
[00056] 캐리어 환경 제어 시스템(126C)은, 상대 습도 RH, 온도, 산소(O2)의 양, 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들(116) 내의 비활성 가스의 양, 및/또는 하나 또는 그 초과의 화학 오염물질들(예컨대, 아민들, 염기들, 상당한 양의 하나 또는 그 초과의 휘발성 유기 화합물(VOC) 등)의 양을 제어하도록 작동가능할 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들(116)에서 빠져나가는 산소 레벨, RH 레벨, 화학 오염 레벨들, 또는 조합들을 감지하도록 구성 및 적응된, 산소 센서, RH 센서, 화학 오염물질 센서, 또는 전술된 것의 조합들과 같은 센서(281)가 캐리어 배기 도관(268) 상에 제공될 수 있다.
[00057] 따라서, 전술한 바로부터, 제어기(125)가, 캐리어 퍼지 챔버(154), 또는 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들(116), 뿐만 아니라, 팩토리 인터페이스 챔버(114C) 내의, 상대 습도, O2의 양, 비활성 가스의 양, 또는 하나 또는 그 초과의 화학 오염물질들의 양 중 하나 또는 그 초과를 제어하도록 구성 및 적응될 수 있다. 전체적으로, 환경 제어 시스템(126)은 기판 캐리어(116)와 로드 락 장치(112) 사이의 모든 관련된 볼륨들의 환경 제어를 가능하게 하기 위해 퍼지 능력을 제공한다.
[00058] 캐리어 환경 제어 시스템(126C)의 세부사항들이 이제 추가로 설명될 것이다. 기판 캐리어(116)가 도킹 플랫폼(282) 상에 탑재됨에 따라, 기판 캐리어들(116) 각각에서의 개구들(283)이, 도킹 플랫폼(282)의 이동 부분(282M) 상에 제공될 수 있는 유입구 및 배출구 밀봉들(284)과 정렬될 수 있다. 퍼징은 기판 캐리어(116)가 도킹되자 마다, 그리고 심지어, 이동 부분(282M)이 로드 포트 백 플레이트(258)에 대하여 기판 캐리어(116)의 플랜지(216F)를 밀봉하기 위해 앞으로 이동하기 전에, 시작될 수 있다.
[00059] 퍼징은 비활성 가스 공급부(118A)로부터 캐리어 퍼지 도관들(155C)을 통해 비활성 가스의 유동을 제공함으로써 달성될 수 있다. 비활성 가스는 캐리어 환경(262)을 퍼징하기 위해 적합한 유량(예컨대, 75 slm)으로 제공될 수 있다. 원하는 미리 정의된 레벨로 환경 조건들을 제어하기 위한 적합한 퍼지 후에, 캐리어 도어(216D)가 개방될 수 있다. 캐리어 환경(262)의 유출은 체크 밸브 등을 포함할 수 있는 캐리어 배기 도관(268)을 통해 이루어질 수 있다. 체크 밸브는, 예컨대, 약 5 인치의 물과 같이 미리 정의된 압력에서 포핑(pop)하도록 세팅될 수 있다.
[00060] 몇몇 실시예들에서, 페이스 클램핑 시스템(271)(화살표로 표시됨)이, 예컨대 2개 또는 그 초과의 위치들(예컨대, 주변부 주위)에서 플랜지(216F)와 맞물리도록 포함될 수 있다. 페이스 클램핑 시스템(271)은 로드 포트 백 플레이트(258)에 대해 플랜지(216F)를 밀봉하도록 동작한다. 페이스 클램핑 시스템(271)의 클램프들을 위한 이상적인 위치들은 기판 캐리어(116)의 좌측 및 우측 상에 있다. 임의의 적합한 페이스 클램핑 시스템이 사용될 수 있다.
[00061] 동작 시에, 캐리어 퍼지 하우징(256)은 도어 오프너(265)를 둘러쌀 수 있다. 도어 오프너(265)는 캐리어 퍼지 하우징(256)의 내부 내에서 리트랙팅 가능하도록 적응된다. 도어 오프너(265)의 리트랙션은, 선형 슬라이드(269) 및 랙 및 피니언 메커니즘과 같은 도어 리트랙션 메커니즘(267)에 의해 이루어질 수 있다. 랙 및 피니언 메커니즘은 랙(272), 피니언(274), 및 피니언(274)에 커플링된 구동 모터(275)를 포함할 수 있다. 제어기(125)로부터 구동 모터(275)로의 구동 신호들은 캐리어 도어(216D)의 리트랙션, 및 캐리어 퍼지 챔버(154)(또한, 이전에 퍼징됨)에서의 환경과 캐리어 환경(262)(이전에 퍼징됨)의 혼합을 야기한다. 임의의 적합한 타입의 도어 언락 및 그래스프(grasp) 메커니즘(273)이 동작적인 바와 같이 캐리어 도어(216D)를 그래스프 및 개방하기 위해 도어 오프너(265) 상에서 사용될 수 있다.
[00062] 캐리어 퍼지 하우징(256)에 의한 내부 벽(257)으로부터의 리트랙션 및 그러한 내부 벽(257)에 대한 폐쇄(예컨대, 밀봉)가 하우징 구동 시스템(289)에 의해 제공될 수 있다. 슬라이드 메커니즘(290)은 엘리베이터(285)에 부착된 지지 프레임(291)에 관하여 내부 벽(257)을 향하는 그리고 그로부터 멀어지는 선형 모션을 허용한다. 하우징 구동 시스템(289)은 내부 벽(257)을 향하는 그리고 그로부터 멀어지는 모션을 야기하기 위해 적합한 모터 및 트랜스미션 메커니즘을 포함할 수 있다. 도시된 실시예에서, 캐리어 퍼지 하우징(256)에 커플링된 하우징 랙(386), 하우징 피니언(388), 및 하우징 구동 모터(392)를 포함하는 랙 및 피니언 메커니즘이 도시된다(도 3). 하우징 구동 모터(392)를 구동시키는 것은 엘리베이터(285) 및 내부 벽(257)에 관하여 내측으로 또는 외측으로 수평으로 캐리어 퍼지 하우징(256)을 병진이동시킨다.
[00063] 캐리어 퍼지 하우징(256)의 하강은 엘리베이터(285)에 의해 달성될 수 있다. 엘리베이터(285)는 캐리어 퍼지 하우징(256)의 수직 모션을 제공하기 위한 임의의 적합한 메커니즘 구성을 포함할 수 있다. 예컨대, 도시된 바와 같이, 엘리베이터(285)는 베어링 슬라이드(294), 레일(295), 및 탑재 블록들(295M)을 포함하는 선형 베어링 어셈블리(293)를 포함한다. 탑재 블록들(295M)은 내부 벽(257)에 레일(295)을 파스닝할 수 있다. 베어링 슬라이드(294)는 수직 액추에이터(296)에 파스닝될 수 있다. 수직 액추에이터 레일(297)이 또한 제공될 수 있고, 내부 벽(257)에 파스닝될 수 있다. 수직 액추에이터(296)의 작동은, 지지 프레임(291) 및 커플링된 캐리어 퍼지 하우징(256)을 상승 또는 하강시켜서, 수직 액추에이터 레일(297)에 관하여 수직 모션을 야기한다. 수직 액추에이터(296)는 유압식, 공압식, 전기식 등과 같은 임의의 적합한 액추에이터 타입일 수 있다. 따라서, 도어 그래스프 및 언락 메커니즘(273)이, 캐리어 환경 제어 시스템(126C)이 캐리어 환경(262)을 퍼징한 후에, 캐리어 도어(216D)를 그래스프 및 개방하고, 캐리어 퍼지 챔버 환경 제어 시스템(126B)이 환경 전제조건들을 만족시키기 위해 캐리어 퍼지 챔버(154)를 퍼징한다는 것이 명백해야 한다. 랙 및 피니언 메커니즘은 캐리어 도어(216D를 리트랙팅하고, 하우징 구동 시스템(289)은 캐리어 퍼지 하우징(256)을 리트랙팅하고, 엘리베이터(285)는 캐리어 퍼지 하우징(256) 및 캐리어 도어(216D)를 하강시키고, 그에 따라, 로드/언로드 로봇(117)이 기판 캐리어들(116)에서의 기판들(245)에 접근할 수 있다.
[00064] 이제 도 4를 참조하면, 기판 제조 시스템(400)이 도시된다. 기판 제조 시스템(400)은 이전에 설명된 바와 같은 전자 디바이스 프로세싱 시스템(100)을 포함한다. 제 2 전자 디바이스 프로세싱 시스템(100A)이 또한 제공되고, 그러한 제 2 전자 디바이스 프로세싱 시스템(100A)은 팩토리 인터페이스(114) 및 환경 제어 시스템(126)에 관하여 동일할 수 있지만, 그러한 제 2 전자 디바이스 프로세싱 시스템(100A)에서 발생하는 하나 또는 그 초과의 상이한 기판 프로세스들을 가질 수 있다. 프로세싱이 전자 디바이스 프로세싱 시스템(100)에서 완료되고, 기판 캐리어(116)가 기판들(245)로 채워짐에 따라, 캐리어 퍼지 하우징(256)이 재밀봉될 수 있고, 캐리어 도어(216D)(도 2)가 기판 캐리어(116) 상에 재설치될 수 있다. 그 후에, 기판 캐리어(116)는 운송 시스템(498)에 의해 (예컨대, 제 2 전자 디바이스 프로세싱 시스템(100A)에서의) 프로세싱을 위해 다음 스테이션 상에 로딩될 수 있고, 다음 스테이션으로 운반될 수 있다. 임의의 적합한 운송 시스템(498)이 기판 캐리어들(116)을 운송하기 위해 사용될 수 있다.
[00065] 운송 동안에, 기판 캐리어(116)는 내부에 제공된 비활성 가스 환경을 보유할 수 있다. 운송 전에 그리고 기판 캐리어(116)가 캐리어 도어(216D)의 재설치를 통해 폐쇄되면, 포스트 프로세스 퍼지가 발생될 수 있다. 도 2에서 도시된 바와 같이, 기판 캐리어(116)가 도킹 플랫폼(282)으로부터 분리되는 경우에 개구들(283)을 폐쇄하도록 동작하고 밀봉된 환경을 제공하는 밸브 어셈블리들(299)이 제공될 수 있다. 리드 밸브, 플래퍼 밸브, 덕빌 밸브, 엄브렐라 밸브, 볼 밸브, 돔 밸브 벨빌 밸브 등과 같은, 단-방향 작동하는 임의의 적합한 밸브 어셈블리(299)가 사용될 수 있다. 유입구는 단-방향 유입만을 허용하는 반면에, 배기는 단-방향 유출을 허용한다. 이러한 방식으로, 기판들(245)의 프로세싱 전반에 걸쳐, 즉, 전자 디바이스 프로세싱 시스템(100)에서의 프로세싱으로부터 제 2 전자 디바이스 프로세싱 시스템(100A)에서의 프로세싱까지, 기판들(245)에 환경 제어들이 제공될 수 있다.
[00066] 이제 도 5를 참조하면, 전자 디바이스 프로세싱 시스템(예컨대, 전자 디바이스 프로세싱 시스템(100)) 내에서 기판들을 프로세싱하는 하나의 방법이 설명될 것이다. 방법(500)은, 502에서, 팩토리 인터페이스 챔버(예컨대, 팩토리 인터페이스 챔버(114C))를 갖는 팩토리 인터페이스(예컨대, 팩토리 인터페이스(114))를 제공하는 단계, 및 504에서, 팩토리 인터페이스에 도킹된 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들(예컨대, 기판 캐리어들(116))을 제공하는 단계를 포함한다.
[00067] 방법(500)은, 506에서, 팩토리 인터페이스 챔버와 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들 사이에 캐리어 퍼지 챔버(예컨대, 캐리어 퍼지 챔버(154))를 제공하는 단계; 및, 508에서, 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들 및 캐리어 퍼지 챔버 내의 환경 조건들을 제어하는 단계를 포함한다.
[00068] 제어는 환경 제어 시스템(126)을 통해 환경 전제조건들을 만족시키기 위해 환경 조건들을 제어하는 것을 포함할 수 있다. 예컨대, 캐리어 퍼지 챔버(154) 및 기판 캐리어 내의 환경 전제조건들을 만족시키기 위해 환경 조건들을 제어하는 것은, 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어 도어들(예컨대, 캐리어 도어들(216D)) 중 임의의 하나의 개방하기 전에, 발생할 수 있다. 팩토리 인터페이스 챔버에서의 환경 조건들은 또한, 팩토리 인터페이스 환경 제어 시스템(126A)을 통해 환경 전제조건들을 만족시키도록 제어될 수 있다. 팩토리 인터페이스 챔버(114C) 내의 환경 조건들을 제어하는 것은, 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어 도어들(예컨대, 캐리어 도어들(216D)) 중 임의의 하나, 또는 하나 또는 그 초과의 로드 락 챔버들(예컨대, 로드 락 챔버들(112A, 112B)의 외측 로드 락 슬릿 밸브들) 중 임의의 하나를 개방하는 것을 허용하기 전에, 팩토리 인터페이스 챔버(114C)에서 환경 전제조건들을 만족시키는 것을 포함할 수 있다.
[00069] 도 6은 캐리어 퍼지 챔버 환경 제어 시스템(626B)의 다른 실시예를 예시한다. 이러한 실시예는, 도어 오프너(665)를 둘러싸는 이차 하우징(도 2 실시예의 캐리어 퍼지 하우징(256)과 같음)의 부가적인 복잡성 및 비용 없이, 도어 오프너(665)와 캐리어 도어(216D) 사이의 볼륨의 퍼징을 가능하게 한다. 캐리어 퍼지 챔버 환경 제어 시스템(626B)은 비활성 가스 공급부(예컨대, 비활성 가스 공급부(118A))에 커플링된 하나 또는 그 초과의 공급 도관들(155) 및 그에 커플링된 밸브들을 포함한다. 하나 또는 그 초과의 공급 도관들(155) 및 밸브들은, 제어기(예컨대, 제어기(125))로부터의 제어 신호들에 응답하여, 특정한 시간들에서, 하나 또는 그 초과의 캐리어 퍼지 챔버들(654)에 비활성 가스를 공급한다. 예컨대, 비활성 가스의 공급은, 캐리어 퍼지 챔버들(654)의 기존의 환경을 퍼징하기 위해, 기판 캐리어들(116)의 캐리어 도어들(216D) 각각을 개방하기 전에, 캐리어 퍼지 챔버들(654) 각각에 제공될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 캐리어 퍼지 챔버(654)가 특정한 환경 전제조건들을 만족시키기 위해 퍼징될 수 있다. 예컨대, 환경 전제조건들은 산소(O2)의 레벨들, 상대 습도(RH), 온도, 또는 위에서 설명된 하나 또는 그 초과의 화학 오염물질들의 레벨들일 수 있다. 그러한 환경 전제조건들은, 캐리어 도어(216D)를 개방하고, 기판 캐리어(116)로부터 팩토리 인터페이스 챔버(114C) 내로의 기판들(245)의 이송을 허용하기 전에 만족될 수 있다.
[00070] 캐리어 퍼지 챔버 환경 제어 시스템(626B)의 동작 및 컴포넌트들 및 세부사항들이 이제 도 6을 참조하여 설명될 것이다. 캐리어 퍼지 챔버 환경 제어 시스템(626B)은 그러한 챔버 퍼지 능력을 포함하는 각각의 기판 캐리어(116)를 위한 캐리어 퍼지 챔버(654)를 포함할 수 있다. 그러한 챔버 퍼지 능력은 기판 캐리어들(116)의 일부 또는 전부에 대해 포함될 수 있다. 로드 포트 백 플레이트(658) 및 도어 오프너(665)의 적어도 일부들 및 가능하게는 캐리어 도어(216D)의 일부가 각각의 캐리어 퍼지 챔버(654)의 일부를 형성할 수 있다. 도어 오프너(665)는 팩터리 인터페이스(114)의 로드 포트 백 플레이트(658)의 내부 벽(657)의 내부 표면(예컨대, 전방 벽)에 대하여 밀봉될 수 있고, 캐리어 퍼지 챔버(654)를 형성할 수 있다. 마찬가지로, 플랜지(216F)가 로드 포트 백 플레이트(658)의 외부 표면에 대하여 밀봉될 수 있다. 개스킷 또는 O-링과 같은 임의의 적합한 타입의 밀봉이 사용될 수 있다. 도어 오프너(665)는, 캐리어 퍼지 챔버(654)가, 로드 포트 백 플레이트(658)에 부분적으로 또는 완전히 형성될 수 있는 하나 또는 그 초과의 유입 통로들(660)을 통해 공급 도관(155)으로부터 비활성 가스의 퍼징 유동을 수용함에 따라, 내부 벽(657)의 표면에 대하여 밀봉된 상태로 유지된다. 비활성 가스는 캐리어 퍼지 챔버(654)를 퍼징하기 위해 적합한 유량(예컨대, 1 slm)으로 제공될 수 있다. 비활성 가스는, 또한 로드 포트 백 플레이트(658)에 부분적으로 또는 완전히 형성될 수 있는 유출 통로(661)를 통해 유출될 수 있다.
[00071] 캐리어 퍼지 챔버(654)의 퍼지 동안에, 캐리어 도어(216D)는 약간 크래킹되어 개방될 수 있고, 그에 의해, 캐리어 퍼지 챔버(654)로 캐리어 환경(262)이 새는 것을 허용할 수 있다. 원하는 미리 정의된 레벨로 환경 조건들을 제어하기 위한 적합한 퍼지 후에, 캐리어 도어(216D)는 완전히 개방될 수 있고, 도어 오프너(665)의 작동에 의해 이동될 수 있다.
[00072] 캐리어 퍼지 챔버(654)의 퍼지는, O2, 습기, 입자들, 또는 다른 휘발성 가스들의 바람직하지 않은 레벨들을 포함할 수 있는 캐리어 환경(262) 및 재료들(예컨대, 화학 오염물질들)이 팩토리 인터페이스 챔버(114C)에 진입하지 않도록 발생될 수 있다. 캐리어 퍼지 챔버(654)의 퍼징은 특정한 환경 조건들이 만족되는 것을 보장하도록 계속될 수 있다.
[00073] 위에서 논의되었던 바와 같이, 캐리어 환경 제어 시스템(126C)은 캐리어 퍼지 챔버 환경 제어 시스템(626B)과 조합되어 포함될 수 있고, 특정한 환경 조건들을 만족시키기 위해 기판 캐리어(116) 내의 캐리어 환경(262)을 제어하도록 동작할 수 있다. 따라서, 캐리어 도어(216D)를 개방할 시에, 기판 캐리어(116) 내의 캐리어 환경(262)은 이미 특정한 환경 전제조건들을 만족시킬 수 있다. 따라서, 도어를 개방하고 기판들(245)을 언로딩하기 위한 시간이 단축될 수 있다.
[00074] 게다가, 프로세싱 후에 그리고 운송 전에 기판 캐리어(116)에서의 기판들(245)의 로딩 시에, 캐리어 도어(216D)는 폐쇄될 수 있고, 캐리어 환경(262)이 포스트-프로세스 퍼징될 수 있다. 기판 캐리어(116)가 도킹 플랫폼(282)의 이동 부분(282M)의 유입구 및 배출구 밀봉들(284)로부터 분리되는 경우에, 개구들(283)을 폐쇄하고 밀봉된 환경을 제공하는 밸브 어셈블리들(299)이 제공될 수 있다.
[00075] 캐리어 퍼지 챔버 환경 제어 시스템(626B)은 캐리어 퍼지 챔버들(654) 내의 상대 습도 RH, 산소(O2)의 양, 온도, 비활성 가스의 양, 또는 하나 또는 그 초과의 화학 오염물질들(예컨대, 아민들, 염기들, 상당한 양의 하나 또는 그 초과의 VOC들) 등을 제어하도록 작동가능할 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 산소 센서, RH 센서, 화학 오염물질 센서 등과 같은 하나 또는 그 초과의 센서들(281)이 캐리어 배기 도관(268) 상에 제공될 수 있다. 하나 또는 그 초과의 센서들(281)은 캐리어 퍼지 챔버들(654)에서 빠져나가는 산소 레벨, RH 레벨, 온도, 위에서 설명된 바와 같은 화학 오염물질 레벨들, 또는 이들의 조합들을 감지하도록 구성 및 적응될 수 있다.
[00076] 캐리어 퍼지 챔버 환경 제어 시스템(626B)은 캐리어 환경 제어 시스템(126C)과 조합될 수 있거나, 또는 단독으로 사용될 수 있다. 예컨대, 캐리어 퍼지 챔버(654) 및 캐리어 환경(262)은 양자 모두, 캐리어 도어(216D)를 약간 크래킹 개방하고, 유입 통로(660)를 통해 퍼지 인을 개시하고 유출 통로(661)를 통해 퍼지 아웃을 개시함으로써, 캐리어 퍼지 챔버 환경 제어 시스템(626B)에 의해 퍼징될 수 있다.
[00077] 위에서 설명된 바와 같이, 엘리베이터(285)는, 로드/언로드 로봇(117)(도 1)이 기판 캐리어들(116)에서의 기판들(245)에 접근할 수 있도록, 도어 오프너(665), 및 도어 오프너(665)에 부착된 캐리어 도어(216D)를 하강 및 상승시킨다. 다른 적합한 엘리베이터 시스템들이 도어 오프너(665) 및 커플링된 캐리어 도어(216D)를 상승 및 하강시키기 위해 사용될 수 있다.
[00078] 전술한 설명은 본 발명의 단지 예시적인 실시예들을 개시한다. 본 발명의 범위 내에 속하는 위에서-개시된 장치, 시스템들, 및 방법들의 변형들은 당업자에게 쉽게 명백하게 될 것이다. 따라서, 본 발명이 예시적인 실시예들과 관련하여 개시되었지만, 다음의 청구항들에 의해 정의되는 바와 같은, 본 발명의 범위 내에 다른 실시예들이 속할 수 있다는 것이 이해되어야 한다.

Claims (15)

  1. 전자 디바이스 프로세싱 시스템으로서,
    팩토리 인터페이스 챔버를 포함하는 팩토리 인터페이스;
    상기 팩토리 인터페이스에 커플링된 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들; 및
    상기 팩토리 인터페이스 및 상기 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들에 커플링되고, 상기 팩토리 인터페이스의 팩토리 인터페이스 챔버 및 상기 하나 또는 그초과의 기판 캐리어들 내의 환경을 제어하도록 동작가능한 환경 제어 시스템
    을 포함하는,
    전자 디바이스 프로세싱 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 환경 제어 시스템은,
    상기 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들을 퍼징하기 위해, 비활성 가스를 제공하도록 동작가능한 캐리어 환경 제어 시스템; 및
    상기 팩토리 인터페이스 챔버에 비활성 가스를 제공하도록 동작가능한 팩토리 인터페이스 환경 제어 시스템
    을 포함하는,
    전자 디바이스 프로세싱 시스템.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 환경 제어 시스템은,
    상기 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들에 비활성 가스를 제공하도록 동작가능한 캐리어 환경 제어 시스템; 및
    상기 팩토리 인터페이스의 벽에 대해 밀봉된 캐리어 퍼지 챔버에 비활성 가스를 제공하도록 동작가능한 캐리어 퍼지 챔버 환경 제어 시스템
    을 포함하는,
    전자 디바이스 프로세싱 시스템.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 환경 제어 시스템은 상기 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들 및 상기 팩토리 인터페이스 챔버 내의 O2의 양 또는 비활성 가스의 양을 제어하도록 작동가능한,
    전자 디바이스 프로세싱 시스템.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들 또는 상기 팩토리 인터페이스 챔버의 상대 습도를 감지하도록 적응된 습도 센서를 포함하는,
    전자 디바이스 프로세싱 시스템.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들 또는 상기 팩토리 인터페이스 챔버의 산소 레벨을 감지하도록 적응된 산소 센서를 포함하는,
    전자 디바이스 프로세싱 시스템.
  7. 제 1 항에 있어서,
    제어기를 포함하며,
    상기 제어기는,
    상기 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들 또는 상기 팩토리 인터페이스 챔버 내의
    상대 습도,
    O2의 양,
    온도,
    비활성 가스의 양, 또는
    화학 오염물의 양
    중 하나 또는 그 초과를 제어하도록 구성 및 적응되는,
    전자 디바이스 프로세싱 시스템.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 환경 제어 시스템은,
    제어기; 및
    상기 제어기에 응답하고, 상기 팩토리 인터페이스의 상기 팩토리 인터페이스 챔버 및 상기 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들 내로 비활성 가스의 양을 유동시키도록 구성 및 적응된 비활성 가스 공급부
    를 포함하는,
    전자 디바이스 프로세싱 시스템.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 환경 제어 시스템은 상기 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들의 바닥에 커플링된 캐리어 환경 제어 시스템을 포함하는,
    전자 디바이스 프로세싱 시스템.
  10. 제 1 항에 있어서,
    특정한 환경 조건들이 만족될 때까지, 상기 캐리어 퍼지 챔버를 퍼징하도록 구성 및 적응된 캐리어 퍼지 챔버 환경 제어 시스템을 포함하는,
    전자 디바이스 프로세싱 시스템.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 캐리어 퍼지 챔버는 도어 오프너 및 로드 포트 백 플레이트의 적어도 부분들에 의해 형성되는,
    전자 디바이스 프로세싱 시스템.
  12. 전자 디바이스 프로세싱 시스템으로서,
    팩토리 인터페이스 챔버를 포함하는 팩토리 인터페이스;
    상기 팩토리 인터페이스에 커플링된 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들;
    상기 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들과 상기 팩토리 인터페이스 챔버 사이의 캐리어 퍼지 챔버; 및
    상기 캐리어 퍼지 챔버 및 상기 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들에 커플링되고, 상기 캐리어 퍼지 챔버 및 상기 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들 내의 환경을 제어하도록 동작가능한 환경 제어 시스템
    을 포함하는,
    전자 디바이스 프로세싱 시스템.
  13. 전자 디바이스 프로세싱 시스템 내에서 기판들을 프로세싱하는 방법으로서,
    팩토리 인터페이스 챔버를 포함하는 팩토리 인터페이스를 제공하는 단계;
    상기 팩토리 인터페이스에 도킹된 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들을 제공하는 단계;
    상기 팩토리 인터페이스 챔버와 상기 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들 사이에 캐리어 퍼지 챔버를 제공하는 단계; 및
    상기 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들 및 상기 캐리어 퍼지 챔버 내의 환경 조건들을 제어하는 단계
    를 포함하는,
    기판들을 프로세싱하는 방법.
  14. 전자 디바이스 프로세싱 시스템 내에서 기판들을 프로세싱하는 방법으로서,
    팩토리 인터페이스 챔버를 포함하는 팩토리 인터페이스, 상기 팩토리 인터페이스에 도킹된 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들, 및 상기 팩토리 인터페이스 챔버 내의 하나 또는 그 초과의 캐리어 퍼지 챔버들을 제공하는 단계; 및
    상기 팩토리 인터페이스 챔버, 상기 하나 또는 그 초과의 캐리어 퍼지 챔버들, 및 상기 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들 내의 환경 조건들을 제어하는 단계
    를 포함하는,
    기판들을 프로세싱하는 방법.
  15. 전자 디바이스 프로세싱 시스템으로서,
    팩토리 인터페이스 챔버를 포함하는 팩토리 인터페이스;
    상기 팩토리 인터페이스에 커플링된 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들;
    상기 팩토리 인터페이스 챔버와 상기 하나 또는 그 초과의 기판 캐리어들 사이의 캐리어 퍼지 챔버 ― 상기 캐리어 퍼지 챔버는 도어 오프너 및 로드 포트 백 플레이트의 적어도 부분들에 의해 형성됨 ―; 및
    특정한 환경 조건들이 만족될 때까지, 상기 캐리어 퍼지 챔버를 퍼징하도록 구성 및 적응된 캐리어 퍼지 챔버 환경 제어 시스템
    을 포함하는,
    전자 디바이스 프로세싱 시스템.
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