KR20190108237A - 이에프이엠 - Google Patents

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KR20190108237A
KR20190108237A KR1020180029501A KR20180029501A KR20190108237A KR 20190108237 A KR20190108237 A KR 20190108237A KR 1020180029501 A KR1020180029501 A KR 1020180029501A KR 20180029501 A KR20180029501 A KR 20180029501A KR 20190108237 A KR20190108237 A KR 20190108237A
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Abstract

본 발명은 웨이퍼가 수납되는 웨이퍼 저장장치와 공정장비 사이에서의 웨이퍼 반송이 이루어지는 이에프이엠에 관한 것으로서, 특히, 배기부에 퓸 등 유해 물질의 침전을 방지하여, 웨이퍼 반송실 내의 청정도를 높게 유지시킴으로써, 웨이퍼 반송실 내부의 오염을 방지하는 이에프이엠에 관한 것이다.

Description

이에프이엠{EFEM, Equipment Front End Module}
본 발명은 웨이퍼가 수납되는 웨이퍼 저장장치와 공정장비 사이에서의 웨이퍼 반송이 이루어지는 이에프이엠에 관한 것이다.
반도체의 제조 공정에 있어서 수율이나 품질의 향상을 위해 청정한 클린룸 내에서의 웨이퍼의 처리가 이루어지고 있다. 그러나 소자의 고집적화나 회로의 미세화, 웨이퍼의 대형화가 진행됨에 따라 클린룸 내의 전체를 청정한 상태로 유지하는 것은 기술적 비용적으로 곤란하게 되었다.
따라서, 최근에는 웨이퍼 주위의 공간에 대해서만 청정도를 관리를 하게 되었으며, 이를 위해 풉(FOUP, Front-Opening Unified Pod)이라 불리는 밀폐식의 저장 포드의 내부에 웨이퍼를 저장하고, 웨이퍼의 가공을 행하는 공정장비와 풉 사이에서 웨이퍼의 전달을 행하기 위해, 이에프이엠(EFEM, Equipment Front End Module)이라 불리는 모듈을 이용하게 되었다.
이에프이엠은 웨이퍼 반송 장치가 구비된 웨이퍼 반송실을 구성하여 웨이퍼 반송실의 일측면에 풉이 결합되는 로드포트(Load Port)가 접속하고, 웨이퍼 반송실의 타측면에 공정장비가 접속된다. 따라서, 웨이퍼 반송장치가 풉 내부에 저장된 웨이퍼를 공정장비로 반송하거나 공정장비에서 가공 처리를 마친 웨이퍼를 웨이퍼 저장장치 내부로 반송한다.
위와 같은 이에프이엠에 관한 특허로는 일본등록특허 제4344593호(이하, '특허문헌 1'이라 한다)에 기재된 것이 공지되어 있다.
특허문헌 1의 이에프이엠(소환경 장치)는 밀폐된 미니 엔바이로먼트실과, 미니 엔바이로먼트실 상부에 설치되되, 질소 또는 아르곤이 주입되는 공급구가 구비된 팬필터유닛(FFU)과, 미니 엔바이로먼트실 내부에 설치되어 웨이퍼를 이송하는 이송기와, 이송기의 반송 암의 하방에 설치되어 복수의 개구부를 가지는 제1칸막이와, 제1칸막이 하부에 위치하는 제2칸막이와, 제1칸막이와 제2칸막이 사이에 형성된 공간과 연통되어 팬 필터 유닛으로 질소 또는 아르곤 가스를 순환시키는 순환로를 포함하여 구성된다.
전술한 구성을 갖는 특허문헌 1의 이에프이엠은 팬필터유닛에서 송출된 기체가 제1칸막이의 개구부를 통해 제1, 2칸막이 사이로 유동된 후, 순환로로 순환되게 된다.
그러나, 특허문헌 1의 경우, 제1칸막이가 평면 형상을 갖게 됨으로써, 제1칸막이에 웨이퍼의 퓸이 침전되어 잔존할 수 있다.
따라서, 기체가 미니 엔바이로먼트실에서 하강기류로 송출되어 순환할 때, 제1칸막이에 침전되어 잔존된 퓸이 미니 엔바이로먼트실 내에서 부유되어 웨이퍼 및 미니 엔바이로먼트실 내부 장비들의 오염 및 손상이 발생할 수 있다는 문제점이 있다.
일본등록특허 제4344593호
본 발명은 전술한 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로서, 배기부에 퓸 등 유해 물질의 침전을 방지하여, 웨이퍼 반송실 내의 청정도를 높게 유지시킴으로써, 웨이퍼 반송실 내부의 오염을 방지하는 이에프이엠을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 특징에 따른 이에프이엠은, 웨이퍼 수납용기와 공정챔버 사이에서의 웨이퍼 반송이 이루어지는 웨이퍼 반송실; 상기 웨이퍼 반송실 내에 가스를 송출하는 송출부; 및 상기 웨이퍼 반송실 내의 가스를 배기하는 배기부;를 포함하되, 상기 배기부는, 복수개의 배기구가 구비된 배기판;을 포함하고, 상기 배기판의 상면은 상기 웨이퍼 반송실의 하부 방향으로 볼록한 유선형 형상을 갖는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 유선형 형상은 상기 배기판의 중심점을 기준으로 상기 웨이퍼 반송실의 하부 방향으로 볼록한 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 배기판에는 상기 복수개의 배기구 각각의 상부와 연통되는 복수개의 경사부가 구비되고, 상기 복수개의 경사부는 상기 배기판의 하부로 갈수록 지름이 작아지고, 상기 배기판의 하부 방향으로 볼록한 유선형 형상을 갖는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 배기판에는 상기 복수의 배기구를 하나의 배기구로 구획하는 구획격벽이 구비되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 구획격벽의 상부는 상기 웨이퍼 반송실의 하부 방향으로 볼록한 유선형 형상을 갖는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 배기부는, 상기 배기판의 하부에 배치되며, 상기 복수개의 배기구와 연통되는 배기덕트;를 더 포함하되, 상기 배기덕트는 복수개가 구비되어, 상기 배기판을 복수개의 배기영역으로 구획하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 복수개의 배기덕트는 상기 배기판의 중앙영역에 위치하는 복수개의 배기구와 연통되는 중앙 배기덕트와, 상기 배기판의 전방영역에 위치하는 복수개의 배기구와 연통되는 전방 배기덕트와, 상기 배기판의 후방영역에 위치하는 복수개의 배기구와 연통되는 후방 배기덕트와, 상기 배기판의 좌측영역에 위치하는 복수개의 배기구와 연통되는 좌측 배기덕트와, 상기 배기판의 우측영역에 위치하는 복수개의 배기구와 연통되는 우측 배기덕트로 이루어지되, 상기 전방 배기덕트, 상기 후방 배기덕트, 상기 좌측 배기덕트 및 상기 우측 배기덕트는 상기 중앙 배기덕트의 둘레에 위치하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 배기부는, 상기 중앙 배기덕트, 상기 후방 배기덕트, 상기 좌측 배기덕트 및 상기 우측 배기덕트와 연통되는 포집박스;를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 이에프이엠에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.
배기판의 상면이 웨이퍼 반송실의 하부 방향으로 볼록하게 형성됨에 따라, 종래의 이에프이엠과 달리, 배기판의 상면에 퓸 등 유해물질이 침전되어 잔존하는 것을 방지할 수 있다.
배기판의 상면이 유선형 형상으로 형성됨에 따라, 송출부에서 송출된 가스가 배기판으로 배기될 때, 와류가 발생하는 것을 효과적으로 방지할 수 있다. 따라서, 송출부에서 송출되는 가스가 송출부에서 배기판으로 유동될 때 형성되는 하강기류는 난류(turblent flow) 형태가 아닌 층류(laminar flow) 형태로 유동할 수 있으며, 이를 통해, 웨이퍼 반송실 내의 가스의 송출 및 배기가 원할하게 유지될 수 있다.
배기구의 상부에 배기판의 하부 방향으로 볼록한 유선형 형상의 경사부가 연통됨에 따라, 웨이퍼 반송실 내의 가스가 배기구로 쉽게 가이드되어 유동될 수 있으며, 이를 통해, 퓸 등의 유해물질이 배기판에 잔존하는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
구획격벽을 통해 복수개의 배기구가 개별적으로 구획됨으로써, 웨이퍼 반송실 내부의 하강기류가 각각의 배기구로 가이드되어 원할하게 유동될 수 있다.
배기판이 복수개의 배기판의 결합으로 이루어짐에 따라 유선형 형상을 갖는 배기판의 제조를 쉽게 달성할 수 있으며, 유지보수 측면에서도 이점을 갖는다.
배기판, 배기덕트, 배기유로 및 포집박스의 구성을 통해 배기판의 배기영역이 복수개로 구획될 수 있으며, 이로 인해, 배기가 이루어지지 않는 사영역이 생기는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 이에프이엠에 공정챔버가 접속한 것을 도시한 평면도.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 이에프이엠에 로드 포트가 접속된 것을 도시한 사시도.
도 3 및 도 4는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 이에프이엠의 사시도.
도 5는 도 3의 배출부를 도시한 사시도.
도 6은 도 5의 분해도.
도 7(a)는 도 6의 배기판의 사시도.
도 7(b)는 도 7(a)의 배기판이 제1 내지 제4배기판으로 나눠진 것을 도시한 사시도.
도 8(a)는 도 7(a)의 배기판의 하부를 나타낸 사시도.
도 8(b)는 도 7(b)의 제1 내지 제4배기판의 하부를 나타낸 사시도.
도 9는 도 7(a)의 배기구의 단면도.
도 10은 도 5의 중앙 배기덕트, 전방 배기덕트, 후방 배기덕트, 좌측 배기덕트 및 우측 배기덕트를 나타낸 사시도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예들을 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 이에프이엠에 공정챔버가 접속한 것을 도시한 평면도이고, 도 2는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 이에프이엠에 로드 포트가 접속된 것을 도시한 사시도이고, 도 3 및 도 4는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 이에프이엠의 사시도이고, 도 5는 도 3의 배출부를 도시한 사시도이고, 도 6은 도 5의 분해도이고, 도 7(a)는 도 6의 배기판의 사시도이고, 도 7(b)는 도 7(a)의 배기판이 제1 내지 제4배기판으로 나눠진 것을 도시한 사시도이고, 도 8(a)는 도 7(a)의 배기판의 하부를 나타낸 사시도이고, 도 8(b)는 도 7(b)의 제1 내지 제4배기판의 하부를 나타낸 사시도이고, 도 9는 도 7(a)의 배기구의 단면도이고, 도 10은 도 5의 중앙 배기덕트, 전방 배기덕트, 후방 배기덕트, 좌측 배기덕트 및 우측 배기덕트를 나타낸 사시도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 이에프이엠(10)에 대해 설명한다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 이에프이엠(10)은, 웨이퍼 저장장치(20)와 공정장비(30) 사이에서의 웨이퍼 반송이 이루어지는 웨이퍼 반송실(100)과, 웨이퍼 반송실(100) 내에 가스를 송출하는 송출부(200)와, 웨이퍼 반송실(100)의 가스를 배기하는 배기부(300)를 포함하여 구성된다.
이에프이엠(10)의 내부의 가스는 후술할 불활성 가스를 포함한 이에프이엠(10) 내부의 모든 가스를 의미한다. 불활성 가스는 질소, 아르곤 등의 가스를 의미한다.
이에프이엠(10)의 전방면 측에는 복수개의 웨이퍼 저장장치(20)가 접속된 채 배열된다.
웨이퍼 저장장치(20)는 웨이퍼를 수납하는 풉(21)과, 그 상부에 풉(21)을 결합시켜 적재하는 로드포트(22)를 포함하여 구성된다.
풉(21)은 일측면에 개방되어 있으며, 상기 개방된 일측면을 통해 풉(21)의 내부에 복수개의 웨이퍼가 상, 하로 수납된다. 따라서, 웨이퍼 제조 공정에서 각 공정별로 웨이퍼의 이동시, 풉(21)을 통해 웨이퍼를 쉽게 옮길 수 있다.
로드포트(22)의 상부에는 풉(21)이 결합되어 적재된다. 따라서, 로드포트(22)가 이에프이엠(10)의 전방에 설치될 때, 풉(21)의 개방된 일측면은 웨이퍼 반송실(100)의 전면벽(110)에 형성된 전면벽 개구부(111)와 연통되며, 이를 통해, 풉(21)과 웨이퍼 반송실(100)은 연통 및 접속된다.
풉(21)과 로드포트(22)가 결합시 로드포트(22)의 가스 송출부를 통해 풉(21) 내부에 가스가 공급됨으로써, 풉(21) 내부에 수납된 웨이퍼의 청정도를 별도로 관리할 수 있다.
이에프이엠(10)의 후방면 측에는 웨이퍼를 가공하는 공정장비(30)가 접속되며, 이 경우, 공정장비(30)의 로드로크실(31)이 웨이퍼 반송실(100)의 후면벽(120)에 형성된 후면벽 개구부(121)와 연통됨으로써, 공정장비(30)가 이에프이엠(10)의 후방면 측에 접속된다.
공정장비(30)는 복수개가 이에프이엠(10)의 후방면 측에 접속될 수 있으며, 공정장비(30)는 다양한 구성을 갖을 수 있다.
일례로써, 공정장비(30)는 로드로크실(31)과 인접하여 공정장비 반송실(32)이 설치되고, 공정장비 반송실(32)과 인접하여 웨이퍼의 처리를 행하는 복수개의 공정유닛(33)이 설치되는 구성을 갖는다.
로드로크실(31)과 웨이퍼 반송실(100)의 후면벽(120) 사이에는 로드로크실 도어(31a)가 설치될 수 있으며, 로드로크실 도어(31a)를 개폐함으로써, 웨이퍼 반송실(100)과 로드로크실(31)이 연통되거나 차단될 수 있다.
공정장비 반송실(32)과 복수개의 공정유닛(33) 사이에는 각각 공정장비 반송실 도어(32a)가 설치될 수 있으며, 공정장비 반송실 도어(32a)를 개폐함으로써, 공정장비 반송실(32)과 복수개의 공정유닛(33) 사이를 연통하거나 차단할 수 있다.
공정장비 반송실(32)에는 공정장비 반송장치(34)를 사용하여, 로드로크실(31)과 복수개의 공정유닛(33) 사이에서 웨이퍼의 반송을 수행할 수 있다.
웨이퍼 반송실(100)
이하, 웨이퍼 반송실(100)에 대해 설명한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 웨이퍼 반송실(100)은 이에프이엠(10)의 전방에 접속된 웨이퍼 저장장치(20)와 이에프이엠(10)의 후방에 접속된 공정장비(30) 사이에서의 웨이퍼 반송이 이루어지는 공간을 제공하는 기능을 한다.
이러한 웨이퍼의 반송은 웨이퍼 반송실(100) 내부에 설치되는 반송장치(161)에 의해 수행된다.
도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 웨이퍼 반송실(100)의 상부에는 송출부(200)가 위치한다.
웨이퍼 반송실(100)의 하부, 즉, 웨이퍼 반송실(100)의 바닥에는 배기부(300)의 배기판(310)과 반송장치(161)가 설치되는 설치판(160)이 위치한다. 따라서, 웨이퍼 반송실(100)의 바닥면은 배기판(310)과 설치판(160)에 의해 이루어져 있다.
웨이퍼 반송실(100)에는 웨이퍼 반송실(100)의 둘레면을 이루는 복수개의 벽이 구비되며, 복수개의 벽 중 웨이퍼 저장장치(20) 또는 공정장비(30) 또는 퓸 제거장치 등이 접속되는 벽에는 개구부가 형성된다.
이하에서는, 하나의 예로서, 웨이퍼 반송실(100)의 둘레면을 이루는 복수개의 벽이 전면벽(110), 후면벽(120), 좌측면벽, 우측면벽을 포함한 것을 기준으로 설명한다.
또한, 개구부는 전면벽(110)에 형성되는 전면벽 개구부(111), 후면벽(120)에 형성되는 후면벽 개구부(121), 좌측면벽에 형성되는 좌측면벽 개구부, 우측면벽에 형성되는 우측면벽 개구부를 포함하는 것을 기준으로 설명한다.
웨이퍼 반송실(100)의 전방면은 전면벽(110)이 구비되고, 웨이퍼 반송실(100)의 후방면은 후면벽(120)이 구비되고, 웨이퍼 반송실(100)의 좌, 우측면 각각에는 좌, 우측면벽이 구비된다.
웨이퍼 반송실(100)은 그 둘레면이 전술한 전면벽(110), 후면벽(120), 좌측면벽 및 우측면벽에 의해 이루어져 있으며, 그 바닥면이 배기판(310)에 의해 이루어져 있다.
전면벽(110)에는 웨이퍼 저장장치(20)의 풉(21)과 접속되는 전면벽 개구부(111)가 형성되어 있으며, 후면벽(120)에는 공정장비(30)의 로드로크실(31)과 접속되는 후면벽 개구부(121)가 형성되어 있다.
또한, 좌측면벽 및 우측면벽에는 각각 좌측면벽 개구부와 우측면벽 개구부가 형성되어 있다.
이러한 좌측면벽 개구부 및 우측면벽 개구부에는 전술한 웨이퍼 저장장치(20), 공정장비(30) 및 웨이퍼의 퓸을 제거하는 별도의 퓸 제거 장치 중 적어도 어느 하나가 접속될 수 있다.
또한, 좌측면벽 개구부 및 우측면벽 개구부를 개폐하도록, 좌측면벽 및 우측면벽에는 각각 좌측면벽 도어(131a) 및 우측면벽 도어(141a)가 설치될 수 있다. 이 경우, 좌측면벽 도어(131a) 및 우측면벽 도어(141a)는 한 쌍으로 구비되어, 양측으로 여닫음으로써 개폐되는 구조로 구비될 수 있다.
전술한 바와 같이, 웨이퍼 반송실(100)은 전면벽(110), 후면벽(120), 좌측면벽 및 우측면벽이 구비됨에 따라 그 둘레면이 대략적으로 폐쇄된 구조를 갖게 된다.
송출부(200)
이하, 송출부(200)에 대해 설명한다.
도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 송출부(200)는 웨이퍼 반송실(100)의 상부에 위치하도록 배치되며, 웨이퍼 반송실(100) 내에 가스를 송출하는 기능을 한다.
이러한 송출부(200)에는 팬필터유닛(Fan Filter Unit, FFU)이 구비되어 있다.
팬필터유닛은 송풍팬과 송풍팬의 하부에 배치되는 필터를 포함하여 구성되며, 필터에 의해 필터링된 가스를 하부로 송출함으로써, 웨이퍼 반송실(100) 내부로 가스를 송출하여 하강기류를 생성하는 기능을 한다.
다시 말해, 송풍팬은 외부 가스 공급부에서 공급된 가스를 하부로 송출함으로써, 웨이퍼 반송실(100) 내부로 송출시키는 기능을 하므로, 이에프이엠(10)의 웨이퍼 반송실(100)에는 하강 기류가 발생하게 된다.
필터는 송풍팬의 하부에 위치하며, 가스에 포함된 이물질을 필터링하는 기능을 한다. 이 경우, 필터는 헤파 필터(HEPA Filter)가 사용될 수 있다.
배기부(300)
이하, 도 5 내지 도 10을 참조하여, 배기부(300)에 대해 설명한다.
배기부(300)는 웨이퍼 반송실(100)의 하부에 위치하며, 웨이퍼 반송실(100) 내부의 가스를 배기하는 기능을 한다.
배기부(300)에 의해 배기되는 가스는 송출부(200)에 의해 송출된 가스 및 웨이퍼에 잔존하는 퓸을 모두 포함한다.
도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 배기부(300)는 웨이퍼 반송실(100)의 바닥면 중 일부를 이루며 복수개의 배기구(311)가 구비된 배기판(310)과, 배기판(310)의 복수개의 배기구(311)와 연통되는 연통구(351)가 구비된 연통플레이트(350)와, 배기판(310)의 복수개의 배기구(311) 및 연통플레이트(350)의 복수개의 연통구(351)와 연통되는 배기덕트(320)와, 배기덕트(320)와 포집박스(330)를 연통시키는 배기유로(340)를 포함하여 구성된다.
배기판(310)은 웨이퍼 반송실(100)의 바닥면 중 일부를 이루며, 복수개의 배기구(311)가 구비되어 있다.
본 발명에서는 도 5에 도시된 바와 같이, 배기판(310)은 웨이퍼 반송실(100)에서 설치판(160)이 설치되지 않은 영역, 즉, 설치판(160)의 양측에 2개가 위치하게 된다. 따라서, 설치판(160)과 2개의 배기판(310)에 의해 웨이퍼 반송실(100)의 바닥면이 이루어져 있다.
배기판(310)의 상면은 웨이퍼 반송실(100)의 하부 방향으로 볼록한 유선형 형상을 갖는다. 이 경우, 유선형 형상은 배기판(310)의 중심점을 기준으로 웨이퍼 반송실의 하부 방향으로 볼록하게 형성된다.
다시 말해, 배기판(310)의 상면은 중앙으로 갈수록 웨이퍼 반송실(100)의 하부 방향으로 볼록한 형상을 갖게 됨으로써, 배기판(310)의 중앙 영역으로 갈수록 움푹 파여있는 형상을 갖게 된다.
전술한 배기판(310)의 상면 형상으로 인해, 송출부(200)에서 송출된 가스 및 퓸은 배기판(310)의 배기구(311)로 용이하게 유동될 수 있다. 따라서, 종래의 이에프이엠과 달리, 배기판(310)의 상면에 퓸 등 유해물질이 침전되어 잔존하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 배기판(310)의 상면이 유선형 형상으로 형성됨에 따라, 송출부(200)에서 송출된 가스가 배기판(310)으로 배기될 때, 와류가 발생하는 것을 효과적으로 방지할 수 있다. 따라서, 송출부(200)에서 송출되는 가스가 송출부(200)에서 배기판(310)으로 유동될 때 형성되는 하강기류는 난류(turblent flow) 형태가 아닌 층류(laminar flow) 형태로 유동할 수 있으며, 이를 통해, 웨이퍼 반송실(100) 내의 가스의 송출 및 배기가 원할하게 유지될 수 있다.
배기판(310)에는 복수개의 배기구(311)가 구비되며, 복수개의 배기구(311) 각각에는 도 7(a) 및 도 9에 도시된 바와 같이, 경사부(312)가 구비되어 있다.
복수개의 경사부(312)는 복수개의 배기구(311) 각각의 상부와 연통된다.
복수개의 경사부(312)는 배기판(310)의 하부로 갈수록 그 지름이 작아지게 형성되며, 배기판(310)의 하부 방향으로 볼록한 유선형 형상을 갖는다. 이러한 경사부(312)의 구조로 인해, 웨이퍼 반송실(100) 내의 가스는 배기구(311)로 쉽게 가이드되어 유동되며, 이를 통해, 퓸 등의 유해물질이 배기판(310)에 잔존하지 않게 된다.
배기판(310)에는 복수의 배기구(311)를 하나의 배기구로 구획하는 구획격벽(313)이 구비된다.
구획격벽(313)은 웨이퍼 반송실(100) 내의 하강기류, 즉, 웨이퍼 반송실(100)의 가스를 각각의 배기구(311)로 가이드하는 기능을 한다.
구획격벽(313)은 복수개의 배기구(311)의 사이에 전, 후 방향 및 좌, 우 방향으로 복수개가 구비된다. 따라서, 각각의 배기구(311)는 구획격벽(313)에 의해 둘러쌓이게 되며, 이를 통해 각각의 배기구(311), 즉, 하나의 배기구(311)는 개별적으로 구획될 수 있다.
구획격벽(313)의 상부는 배기판(310)의 유선형 형상과 대응되도록 웨이퍼 반송실의 하부 방향으로 볼록한 유선형 형상을 갖는다.
이처럼, 구획격벽(313) 또한, 유선형 형상을 갖음에 따라, 배기판(310)의 상부, 즉, 배기판(310)의 상면과 구획격벽(313)의 상부는 전체적으로 유선형 형상을 유지할 수 있다.
구획격벽(313)을 통해 복수개의 배기구(311)가 개별적으로 구획됨으로써, 웨이퍼 반송실(100) 내부의 하강기류가 각각의 배기구(311)로 가이드되어 원할하게 유동될 수 있다.
배기판(310)은 복수개의 배기판(310)의 결합으로 이루어질 수 있으며, 본 발명에서는 하나의 예로써, 도 7(b) 및 도 8(b)에 도시된 바와 같이, 배기판(310)이 제1 내지 제4배기판(310a, 310b, 310c, 310d)으로 이루어져 있다.
위와 같이, 배기판(310)이 제1 내지 제4배기판(310a, 310b, 310c, 310d)으로 이루어짐에 따라, 유선형 형상을 갖는 배기판(310)의 제조를 쉽게 달성할 수 있다는 장점이 있다. 또한, 이에프이엠(10)을 장기간 사용함에 따라, 제1 내지 제4배기판(310a, 310b, 310c, 310d) 중 어느 하나의 배기판이 손상된 경우 손상된 배기판만 교체함으로써, 유지보수 측면에서도 이점을 갖는다.
전술한 바와 같이, 배기판(310)의 상면의 형상이 유선형 형상을 갖게 됨에 따라, 도 8(a) 및 도 8(b)에 도시된 바와 같이, 배기구(311)의 위치에 따라 배기구(311)의 높이가 달라질 수 있다.
다시 말해, 배기판(310)의 상면 중 가장 높이가 낮은 영역, 즉, 가장 움푹 파여있는 중앙영역에 위치한 배기구(311)는 그 높이가 가장 낮으며, 배기판(310)의 상면 중 가장 높이가 높은 영역, 즉, 움푹 파여있지 않은 외각영역에 위치한 배기구(311)는 그 높이가 가장 높게 형성된다.
이처럼, 배기구(311)의 높이를 달리함으로써, 복수개의 배기구(311)의 위치에 상관없이 모든 배기구(311)가 연통플레이트(350)의 복수개의 연통구(351) 각각에 용이하게 연통될 수 있다.
연통플레이트(350)는 배기판(310)과 배기덕트(320)의 사이에 게재되며, 복수개의 배기구(311)와 대응되는 위치에 연통플레이트(350)의 상, 하면을 관통하는 복수개의 연통구(351)가 형성되어 있다.
복수개의 연통구(351)는 복수개의 배기구(311)와 같은 갯수로 형성되며, 복수개의 배기구(311)와 배기덕트(320)를 연통시키는 기능을 한다.
연통플레이트(350)가 배기판(310)과 배기덕트(320)의 사이에 게재됨에 따라, 배기덕트(320)의 배기구(311)가 배기덕트(320)의 배기덕트 구멍(321)에 삽입되는 것을 방지할 수 있으며, 이를 통해, 배기판(310)이 배기덕트(320)의 상부에 용이하게 배치될 수 있다. 다시 말해, 연통플레이트(350)는 배기판(310)과 배기덕트(320)의 정렬을 도와주는 기능을 하는 것이다.
배기덕트(320)는 연통플레이트(350)의 하부에 위치하며, 배기덕트(320)의 중앙에는 배기덕트 구멍(321)이 형성되어 있다.
배기덕트(320)의 배기덕트 구멍(321)은 복수개의 배기구(311) 및 복수개의 연통구(351)와 연통된다.
이 경우, 배기덕트 구멍(321)의 개구면적은 배기구(311)의 개구면적보다 크게 형성되며, 이를 통해, 하나의 배기덕트 구멍(321)에는 복수개의 배기구(311)가 연통될 수 있다.
배기덕트 구멍(321)은 배기덕트(320)의 중심점으로 갈수록 웨이퍼 반송실(100)의 하부로 볼록한 형상을 갖을 수 있다. 따라서, 배기덕트 구멍(321)으로 유동된 가스는 원활하게 배기유로(340)로 유동될 수 있다.
배기덕트(320)는 배기판(310)의 배기구(311)를 복수개의 배기영역으로 구획하여 배기하기 위해, 복수개가 구비될 수 있다.
본 발명에서는 하나의 예로써, 도 10에 도시된 바와 같이, 배기덕트(320)가 5개의 배기덕트(320), 즉, 중앙 배기덕트(320a), 전방 배기덕트(320b), 후방 배기덕트(320c), 좌측 배기덕트(320d) 및 우측 배기덕트(320e)로 이루어져 있다.
이 경우, 전방 배기덕트(320b), 후방 배기덕트(320c), 좌측 배기덕트(320d) 및 우측 배기덕트(320e)는 중앙 배기덕트(320a)를 둘러쌓도록 배치된다. 따라서, 전방 배기덕트(320b), 후방 배기덕트(320c), 좌측 배기덕트(320d) 및 우측 배기덕트(320e)는 중앙 배기덕트(320a)의 둘레에 위치한다.
중앙 배기덕트(320a)의 배기덕트 구멍(321)은 배기판(310)의 중앙영역에 위치하는 복수개의 배기구(311)와 연통된다. 따라서, 웨이퍼 반송실(100)의 가스 중 배기판(310)의 중앙영역으로 유동되는 가스는 중앙 배기덕트(320a)를 통해 포집박스(330)로 유동되어 배기된다.
전방 배기덕트(320b)의 배기덕트 구멍(321)은 배기판(310)의 전방영역에 위치하는 복수개의 배기구(311)와 연통된다. 따라서, 웨이퍼 반송실(100)의 가스 중 배기판(310)의 전방영역으로 유동되는 가스는 전방 배기덕트(320b)를 통해 포집박스(330)로 유동되어 배기된다.
후방 배기덕트(320c)의 배기덕트 구멍(321)은 배기판(310)의 후방영역에 위치하는 복수개의 배기구(311)와 연통된다. 따라서, 웨이퍼 반송실(100)의 가스 중 배기판(310)의 후방영역으로 유동되는 가스는 후방 배기덕트(320c)를 통해 포집박스(330)로 유동되어 배기된다.
좌측 배기덕트(320d)의 배기덕트 구멍(321)은 배기판(310)의 좌측영역에 위치하는 복수개의 배기구(311)와 연통된다. 따라서, 웨이퍼 반송실(100)의 가스 중 배기판(310)의 좌측영역으로 유동되는 가스는 좌측 배기덕트(320d)를 통해 포집박스(330)로 유동되어 배기된다.
우측 배기덕트(320e)의 배기덕트 구멍(321)은 배기판(310)의 우측영역에 위치하는 복수개의 배기구(311)와 연통된다. 따라서, 웨이퍼 반송실(100)의 가스 중 배기판(310)의 우측영역으로 유동되는 가스는 우측 배기덕트(320e)를 통해 포집박스(330)로 유동되어 배기된다.
전술한 중앙 배기덕트(320a), 전방 배기덕트(320b), 후방 배기덕트(320c), 좌측 배기덕트(320d) 및 우측 배기덕트(320e) 각각의 배기덕트 구멍(321)은 가스의 포집이 용이하도록 하부로 볼록한 형상을 갖는다. 따라서, 웨이퍼 반송실(100) 내부의 가스가 배기덕트 구멍(321)을 통해 후술할 제1 내지 제5배기유로(340a, 340b, 340c, 340d, 340e)로 용이하게 유동될 수 있다.
배기유로(340)는 배기덕트(320)를 포집박스(330)에 연통시키는 기능을 한다.
배기유로(340)는 중앙 배기덕트(320a)와 포집박스(330)를 연통시키는 제1배기유로(340a)와, 전방 배기덕트(320b)와 포집박스(330)를 연통시키는 제2배기유로(340b)와, 후방 배기덕트(320c)와 포집박스(330)를 연통시키는 제3배기유로(340c)와, 좌측 배기덕트(320d)와 포집박스(330)를 연통시키는 제4배기유로(340d)와, 우측 배기덕트(320e)와 포집박스(330)를 연통시키는 제5배기유로(340e)로 이루어질 수 있다.
포집박스(330)는 배기유로(340) 즉, 제1 내지 제5배기유로(340a, 340b, 340c, 340d, 340e)와 연통되어 있으며, 제1 내지 제5배기유로(340a, 340b, 340c, 340d, 340e)를 통해 유동된 웨이퍼 반송실(100) 내부의 가스를 최종적으로 포집하여 외부 배기부로 배기시키는 기능을 한다.
위와 같은 포집박스(330)의 구성을 통해, 하나의 외부 배기부로 이에프이엠(10)의 웨이퍼 반송실(100) 내부의 가스를 용이하게 배기시킬 수 있다.
배기부(300)의 배기판(310), 배기덕트(320), 배기유로(340) 및 포집박스(330)가 위와 같은 구성을 갖음에 따라, 배기판(310)의 배기영역이 복수개로 구획될 수 있으며, 이로 인해, 배기가 이루어지지 않는 사영역이 생기는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
따라서, 웨이퍼 반송실(100) 내부의 가스가 원활하게 배기됨으로써, 웨이퍼 반송실(100) 내부에 퓸 등의 유해물질이 잔존하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 전술한 구성을 통해, 배기판(310)을 통한 배기가 각 영역별로 이루어질 수 있으며, 나아가, 복수개의 배기덕트(320) 또는 복수개의 배기유로(340)에 개폐밸브 등의 개폐장치를 설치함으로써, 원하는 영역만 배기하는 개별 배기 제어를 쉽게 달성할 수도 있다.
전술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 통상의 기술자는 하기의 특허 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변형하여 실시할 수 있다.
10: 이에프이엠
20: 웨이퍼 저장장치 21: 풉
22: 로드포트
30: 공정장비 31: 로드로크실
31a: 로드로크실 도어 32: 공정장비 반송실
32a: 공정장비 반송실 도어 33: 공정유닛
34: 공정장비 반송장치
100: 웨이퍼 반송실 110: 전면벽
111: 전면벽 개구부 120: 후면벽
121: 후면벽 개구부 131a: 좌측면벽 도어
141a: 우측면벽 도어 160: 설치판
161: 반송장치
200: 송출부
300: 배기부 310: 배기판
310a: 제1배기판 310b: 제2배기판
310c: 제3배기판 310d: 제4배기판
311: 배기구 312: 경사부
313: 구획격벽 320: 배기덕트
320a: 중앙 배기덕트 320b: 전방 배기덕트
320c: 후방 배기덕트 320d: 좌측 배기덕트
320e: 우측 배기덕트 321: 배기덕트 구멍
330: 포집박스 340: 배기유로
340a: 제1배기유로 340b: 제2배기유로
340c: 제3배기유로 340d: 제4배기유로
340e: 제5배기유로 350: 연통플레이트
351: 연통구

Claims (8)

  1. 웨이퍼 수납용기와 공정챔버 사이에서의 웨이퍼 반송이 이루어지는 웨이퍼 반송실;
    상기 웨이퍼 반송실 내에 가스를 송출하는 송출부; 및
    상기 웨이퍼 반송실 내의 가스를 배기하는 배기부;를 포함하되,
    상기 배기부는, 복수개의 배기구가 구비된 배기판;을 포함하고,
    상기 배기판의 상면은 상기 웨이퍼 반송실의 하부 방향으로 볼록한 유선형 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 이에프이엠.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 유선형 형상은 상기 배기판의 중심점을 기준으로 상기 웨이퍼 반송실의 하부 방향으로 볼록한 것을 특징으로 하는 이에프이엠.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 배기판에는 상기 복수개의 배기구 각각의 상부와 연통되는 복수개의 경사부가 구비되고,
    상기 복수개의 경사부는 상기 배기판의 하부로 갈수록 지름이 작아지고, 상기 배기판의 하부 방향으로 볼록한 유선형 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 이에프이엠.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 배기판에는 상기 복수의 배기구를 하나의 배기구로 구획하는 구획격벽이 구비되는 것을 특징으로 하는 이에프이엠.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 구획격벽의 상부는 상기 웨이퍼 반송실의 하부 방향으로 볼록한 유선형 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 이에프이엠.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 배기부는,
    상기 배기판의 하부에 배치되며, 상기 복수개의 배기구와 연통되는 배기덕트;를 더 포함하되,
    상기 배기덕트는 복수개가 구비되어, 상기 배기판을 복수개의 배기영역으로 구획하는 것을 특징으로 하는 이에프이엠.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 복수개의 배기덕트는 상기 배기판의 중앙영역에 위치하는 복수개의 배기구와 연통되는 중앙 배기덕트와, 상기 배기판의 전방영역에 위치하는 복수개의 배기구와 연통되는 전방 배기덕트와, 상기 배기판의 후방영역에 위치하는 복수개의 배기구와 연통되는 후방 배기덕트와, 상기 배기판의 좌측영역에 위치하는 복수개의 배기구와 연통되는 좌측 배기덕트와, 상기 배기판의 우측영역에 위치하는 복수개의 배기구와 연통되는 우측 배기덕트로 이루어지되,
    상기 전방 배기덕트, 상기 후방 배기덕트, 상기 좌측 배기덕트 및 상기 우측 배기덕트는 상기 중앙 배기덕트의 둘레에 위치하는 것을 특징으로 하는 이에프이엠.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 배기부는,
    상기 중앙 배기덕트, 상기 후방 배기덕트, 상기 좌측 배기덕트 및 상기 우측 배기덕트와 연통되는 포집박스;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이에프이엠.
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