KR20200075431A - 강판의 표면에 패턴을 형성하는 패턴 형성 장치 - Google Patents

강판의 표면에 패턴을 형성하는 패턴 형성 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명의 실시예에 따르면, 레이저를 이용하여 강판에 패턴을 형성하는 패턴 형성 장치가 공개된다. 본 발명의 실시예에 따른 패턴 형성 장치는 제1 레이저를 조사하는 레이저 발생기, 상기 제1 레이저를 복수개의 제2 레이저들로 분할하여 상기 강판으로 출력하는 광학계, 및 상기 레이저 발생기 및 상기 광학계를 제어하되, 상기 광학계를 회전시키거나, 상기 광학계를 상기 강판의 수직 방향인 제1축 방향으로 이동시키거나, 상기 광학계를 상기 강판의 폭 방향은 제2축 방향으로 이동시키는 패턴 제어기를 포함한다.

Description

강판의 표면에 패턴을 형성하는 패턴 형성 장치{A pattern forming apparatus for forming patterns on a surface of a steel sheet}
본 출원은 강판의 표면에 레이저 빔을 조사하여 비접촉 방식으로 강판 표면에 다양한 패턴을 형성하는 장치에 관한 것이다.
강판을 제작함에 있어서, 다양한 이유로 강판의 표면에 패턴을 형성하고 있다. 예를 들면, 심미감을 주기 위해 패턴을 형성할 수도 있고, 강판에 어떠한 특성(예를 들면, 소수성 등)을 부여하기 위해 패턴을 형성할 수도 있다. 이를 위해, 강판 제작 설비는 패턴 형성 장치를 포함한다.
일본 등록특허 제3999999호
본 발명의 실시예에 따르면, 레이저를 이용하여 강판에 패턴을 형성하는 패턴 형성 장치가 제공된다.
본 발명의 실시예에 따른 패턴 형성 장치는 레이저를 이용하여 강판에 패턴을 형성하는 패턴 형성 장치에 있어서, 제1 레이저를 조사하는 레이저 발생기, 상기 제1 레이저를 복수개의 제2 레이저들로 분할하여 상기 강판으로 출력하는 광학계, 및 상기 레이저 발생기 및 상기 광학계를 제어하되, 상기 광학계를 회전시키거나, 상기 광학계를 상기 강판의 수직 방향인 제1축 방향으로 이동시키거나, 상기 광학계를 상기 강판의 폭 방향은 제2축 방향으로 이동시키는 패턴 제어기를 포함한다.
본 발명의 실시예에 따른 패턴 형성 장치의 상기 패턴 제어기는 상기 제1 레이저의 세기를 조정하거나, 상기 레이저 발생기를 온 오프 시키거나, 상기 제1 레이저의 주파수를 조정할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 패턴 형성 장치의 상기 광학계는 상기 제1 레이저를 입사하고, 상기 제1 레이저를 서로 다른 복수개의 방향으로 회절시켜 복수개의 제3 레이저들로 분할하는 회절 광학계, 및 상기 복수개의 제3 레이저를 입사하고, 상기 복수개의 제3 레이저들 각각의 진행 방향을 변경시켜 서로 평행하게 진행하는 상기 제2 레이저를 형성하는 텔리 센트릭 광학계를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 패턴 형성 장치는 상기 강판을 강판의 길이 방향으로 이송하는 복수개의 롤들, 상기 강판의 움직임 또는 위치를 검출하는 센서부, 및 상기 센서부로부터 입력된 정보에 응답하여 상기 복수개의 롤들을 제어하는 제어부를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 패턴 형성 장치의 상기 센서부는 상기 강판의 움직임을 검출하고, 상기 강판의 움직임에 대한 정보인 움직임 정보를 출력하는 움직임 감지 센서를 포함하고, 상기 제어부는 상기 움직임 정보 및 강판의 두께에 대한 정보에 응답하여, 상기 복수개의 제2 레이저들의 진행 경로 상에서 상기 강판의 표면의 절대적인 위치가 일정한 범위내가 되도록 상기 복수개의 롤들 중 상기 복수개의 제2 레이저들의 진행 경로 상에 배치되는 롤의 위치를 제어하는 위치 제어기를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 패턴 형성 장치의 상기 센서부는 상기 복수개의 롤들 중 적어도 하나 이상의 롤의 중심으로부터 상기 강판의 폭방향의 중심까지의 거리 및 방향을 검출하고, 상기 거리 및 방향에 대한 정보인 중심 정보를 출력하는 중심 감지 센서를 더 포함하고, 상기 제어부는 상기 중심 정보에 응답하여 상기 강판의 폭방향의 중심과 상기 적어도 하나 이상의 롤의 중심 사이의 거리가 일정한 범위내가 되도록 상기 복수개의 롤들 중 적어도 하나 이상을 제어하는 중심 제어기를 더 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 제어부는 상기 중심 정보 및 상기 움직임 정보에 응답하여 제1 조정값 및 제2 조정값을 출력하는 연동 제어기를 더 포함하고, 상기 위치 제어기는 상기 제1 조정값에 응답하여 출력되는 제어 신호를 조정하고, 상기 중심 제어기는 상기 제2 조정값에 응답하여 출력되는 제어 신호를 조정할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 패턴 형성 장치의 상기 센서부는 상기 강판의 장력을 검출하고, 상기 강판의 장력에 대한 정보인 장력 정보를 출력하는 장력 감지 센서를 더 포함하고, 상기 제어부는 상기 장력 정보에 응답하여 상기 강판의 장력이 일정한 범위 내가 되도록 상기 복수개의 롤들 중 적어도 하나 이상을 제어하는 장력 제어기를 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 제어부는 상기 장력 정보 및 상기 움직임 정보에 응답하여 제1 조정값 및 제2 조정값을 출력하는 연동 제어기를 더 포함하고, 상기 위치 제어기는 상기 제1 조정값에 응답하여 출력되는 제어 신호를 조정하고, 상기 장력 제어기는 상기 제2 조정값에 응답하여 출력되는 제어 신호를 조정할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 패턴 형성 장치는 상기 강판에서 상기 복수개의 제2 레이저들에 의해 발생되는 오염물을 제거하는 오염물 제거기를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 패턴 형성 장치는 상기 강판과 상기 광학계 사이에 에어커튼을 형성하는 에어커튼 발생기를 더 포함할 수 있다.
따라서, 본 발명의 실시예에 따른 레이저 빔 조사 장치와 강판 사이의 간격을 일정하게 유지할 수 있으므로, 강판에 균일한 패턴을 형성할 수 있다. 또한, 강판의 표면에 다양한 패턴을 보다 쉽고 간단하게 형성할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 패턴 형성 장치의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1의 패턴 형성 장치의 광학계의 일실시예를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 3은 도 2의 광학계의 회절 광학계의 일실시예를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 4 내지 도 7 각각은 본 발명의 패턴 형성 장치를 이용하여 형성된 패턴들의 실시예들을 개략적으로 나타낸 것이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 형태들을 설명한다. 그러나, 본 발명의 실시형태는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명하는 실시 형태로 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 발명의 실시형태는 당해 기술분야에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 패턴 형성 장치의 구성을 개략적으로 나타낸 도면으로서, 본 발명의 일실시예에 따른 패턴 형성 장치는 복수개의 롤들(11, 12, 13, 14, 15, 16, 17), 복수개의 센서들(21, 22, 23), 및 복수개의 제어기들(31, 32, 33, 34)을 포함하는 강판 제어부, 레이저 발생기(41), 광학계(42), 패턴 제어부(43), 오염물 흡입기(50), 및 에어커튼 발생기(60)을 포함할 수 있다. 패턴 제어부(43)는 레이저 제어기(431) 및 광학계 제어기(432)를 포함할 수 있다.
도 1에서, 식별번호 1은 표면 처리 대상인 강판을, 식별번호 70은 강판 표면의 윤활유 등을 제거하는 탈지 설비를 나타낸다. 본 발명의 일실시예에 따르면, 강판(1)은 스테인레스(stainless) 강판일 수 있다.
복수개의 롤들(11, 12, 13, 14, 15, 16, 17)은 복수개의 제어기들(31, 32, 33, 34)의 제어에 따라 강판(1)의 위치를 제어한다. 구체적으로, 제1 롤(11) 및 제2 롤(12)은 센터 제어기(31)의 제어에 따라 강판(1)을 강판의 진행 방향에 수직인 방향으로 이동시킬 수 있다. 제1 롤(11) 및 제2 롤(12)은 센터 제어기(31)의 제어에 따라 좌우의 높낮이가 변경될 수 있다. 제3 롤(13) 및 제4 롤(14)은 장력 제어기(32)의 제어에 따라 강판에 걸리는 장력을 변화시킬 수 있다. 제3 롤(13) 및 제4 롤(14)은 장력 제어기(32)의 제어에 따라 상호간의 거리가 변화하는 방향으로 움직일 수 있다. 경우에 따라, 제3 롤(13) 및 제4 롤(14)의 위치가 모두 조정될 수도 있고, 제3 롤(13) 및 제4 롤(14) 중 어느 하나는 고정될 수도 있다. 제5 롤(15), 제6 롤(16), 및 제7 롤(17)은 위치 제어기(33)의 제어에 따라 가공될 강판(1)의 표면의 절대적인 위치가 일정한 범위 내가 되도록 할 수 있다. 이때, 제5 롤(15) 및 제7 롤(17)은 고정되고, 제6 롤(16)의 위치가 조정될 수 있다.
복수개의 센서들(21, 22, 23) 각각은 강판(1)의 상태를 센싱하고, 센싱된 정보를 제어기들(31, 32, 33, 34)로 제공할 수 있다. 구체적으로, 제1 센서(21)는 강판(1)이 복수개의 롤들(11, 12, 13, 14, 15, 16, 17) 중 적어도 하나의 롤의 중심에서 얼마나 벗어나있는지를 검출하고, 이에 대한 정보인 제1 정보를 센터 제어기(31)로 출력할 수 있다. 여기서, 제1 정보는 롤의 중심으로부터 강판(1)의 중심까지의 거리 및 방향을 포함할 수 있다. 제2 센서(22)는 강판(1)에 걸리는 장력을 검출하고, 이에 대한 정보인 제2 정보를 장력 제어기(32)로 출력할 수 있다. 제3 센서(23)는 강판에서 발생하는 진동 등 강판의 움직임을 검출하고, 이에 대한 정보인 제3 정보를 위치 제어기(33)로 출력할 수 있다.
복수개의 제어기들(31, 32, 33, 34)은 센서들(21, 22, 23)로부터 제1 정보, 제2 정보, 및 제3 정보를 입력하고, 롤들(11, 12, 13, 14, 15, 16, 17) 중 적어도 하나 이상을 제어함으로써 강판(1)의 위치를 조정한다.
구체적으로, 센터 제어기(1)는 제1 센서(21)로부터 강판(1)의 중심이 롤의 중심에서 얼마나 벗어나있는지를 나타내는 정보인 제1 정보를 입력하고, 제1 정보와 연동 제어기(34)로부터 입력되는 제1 조정값에 응답하여 제1 롤(11) 및 제2 롤(12)을 조정할 수 있다. 센터 제어기(1)는 제1 롤(11) 및 제2 롤(12)의 좌우 높낮이를 조정하여 강판(1)(구체적으로 강판(1)의 폭방향의 중심)이 롤들의 중심과 일치하도록 강판(1)의 위치를 조정할 수 있다.
장력 제어기(32)는 강판(1)에 걸리는 장력에 대한 정보인 제2 정보를 입력하고, 제2 정보와 연동 제어기(34)로부터 입력되는 제2 조정값에 응답하여 제3 롤(13) 및/또는 제4 롤(14)을 조정할 수 있다. 장력 제어기(32)는 제3 롤(13) 및/또는 제4 롤(14)의 위치를 조정하여 강판(1)에 걸리는 장력을 원하는 범위 내로 조정할 수 있다.
위치 제어기(33)는 강판(1)에 발생되는 진동 등 강판의 움직임에 대한 정보인 제3 정보와 연동 제어기(34)로부터 입력되는 제3 조정값에 응답하여 제6 롤(16)의 위치를 조정할 수 있다. 이때, 위치 제어기(33)는 강판의 두께에 대한 정보를 추가적으로 고려하여 제6 롤(16)의 위치를 조정할 수도 있다. 위치 제어기(33)는 레이저가 조사되는 경로 상에 배치된 제6 롤(16)의 위치를 조정하여, 레이저가 조사되는 경로 상에서 강판(1)의 표면의 절대적인 위치를 원하는 범위 내로 조정할 수 있다. 이때, 위치 제어기(33)는 상기 강판(1)의 표면의 절대적인 위치가 실질적으로 고정되도록 제6 롤(16)의 위치를 제어할 수 있다.
연동 제어기(34)는 제1 센서(21), 제2 센서(22), 및 제3 센서(23)로부터 입력된 제1 정보, 제2 정보, 제3 정보에 응답하여 센터 제어기(31), 장력 제어기(32), 및 위치 제어기(33) 각각으로 제1 조정값, 제2 조정값, 및 제3 조정값을 출력한다. 제1 조정값, 제2 조정값, 및 제3 조정값 각각은 센터 제어기(31), 장력 제어기(32) 및 위치 제어기(33)의 출력을 일정 비율로 조정하는 값일 수 있다. 강판(1)은 복수개의 롤들(11, 12, 13, 14, 15, 16, 17)을 거쳐 이동하므로, 어느 하나의 롤의 이동으로 인해 강판의 위치가 변경될 경우, 다른 부분들에도 영향을 미치게 된다. 예를 들어, 제2 정보에 따라 장력 제어기(32)가 제3 롤(13) 및/또는 제4 롤(14)을 제어하여 장력을 조정하게 되면, 강판(1)은 장력 뿐만 아니라 중심 위치가 변경될 수도 있고, 제3 롤(13) 및/또는 제4 롤(14)의 움직임에 의해 강판의 진동 등의 움직임 및/또는 제6 롤(16)의 위치 변화 등도 발생될 수 있다. 이러한 점들을 고려하여, 연동 제어기는 제1 정보, 제2 정보, 및 제3 정보를 종합하고, 이에 따라 제어될 롤들의 위치 등을 고려하여, 제어기들(31, 32, 33) 각각의 출력값이 조정되도록 할 수 있다. 예를 들면, 장력 제어기(32)의 제어에 의한 전체적인 강판(1)의 위치 변화를 고려하여, 제어기들(31, 32, 33) 각각의 출력값이 일정한 비율로 증가하거나 감소하도록 제1 조정값, 제2 조정값, 및 제3 조정값을 출력할 수 있다.
상술한 바와 같이 강판(1)의 위치를 제어함으로써, 강판(1)에 진동 또는 기타 움직임이 발생하거나, 강판의 두께 변화가 발생하더라도, 강판(1)의 표면의 절대적인 위치가 고정될 수 있다. 나아가, 레이저가 조사되는 부분의 강판(1) 움직임 뿐만 아니라, 그 전단에서의 강판의 움직임까지도 고려하여 강판(1)의 위치가 조정되므로, 강판(1)의 표면의 위치를 보다 일정하게 유지될 수 있다. 따라서, 강판(1)에 패턴을 형성할 때, 원하는 형태의 패턴을 보다 정확하게 형성할 수 있다.
레이저 발생기(41)는 패턴 제어기(43)의 레이저 제어기(431)의 제어에 따라 레이저를 발생시킨다. 광학계(42)는 레이저 발생기(41)에서 발생된 레이저를 복수개로 분할할 수 있다. 또한, 광학계(42)는 패턴 제어기(43)의 광학계 제어기(432)의 제어에 따라 회전하거나, 상하로 움직이거나, 좌우로 움직임으로써, 강판(1)의 표면에 조사되는 레이저의 위치나 폭 등을 조정할 수도 있다.
패턴 제어기(43)의 레이저 제어기(431)는 레이저 발생기(41)를 제어하여 레이저 발생기(41)에서 출력되는 레이저의 세기 등을 조정할 수 있다. 레이저 제어기(431)는 레이저 발생기(41)의 동작을 온/오프하거나, 레이저 발생기(41)에서 조사되는 광의 세기를 조정하거나, 주파수 등을 제어할 수 있다.
패턴 제어기(43)의 광학계 제어기(432)는 광학계(42)를 제어하여 강판(1)의 표면에 다양한 형태의 패턴이 형성되도록 할 수 있다. 광학계 제어기(432)는 광학계(43)를 일정한 축을 기준으로 특정 각도로 회전시키거나, 광학계(43)를 상하로 움직여 광학계(43)와 강판(1) 사이의 거리를 변화시키거나, 광학ㄱ(43)를 좌우로 움직여 광학계(43)가 강판(1)의 폭방향으로 움직이도록 할 수 있다.
레이저 발생기(41), 광학계(42), 및 패턴 제어기(43)에 의해 형성될 수 있는 다양한 패턴들에 대해서는 도 3 내지 7을 참고하여 후술한다.
오염물 흡입기(50)는 레이저가 강판(1)에 조사될 때 발생되는 오염물질을 흡입하여 외부로 배출할 수 있다.
에어커튼 발생기(60)는 광학계의 전면에 에어커튼이 형성되도록 함으로써, 광학계 오염을 최소화할 수 있다.
도 2는 도 1의 패턴 형성 장치의 광학계(42)의 일실시예를 개략적으로 나타낸 도면으로서, 광학계(42)는 회절 광학계(421) 및 텔리 센트릭 광학계(422)를 포함할 수 있다.
회절 광학계(421)는 입사되는 하나의 레이저 광을 복수개의 레이저 광들로 분할하여 출력할 수 있다.
텔리 센트릭 광학계(422)는 입사되는 복수개의 레이저 광들이 서로 평행하게 조사되도록 레이저 광들의 경로를 조정할 수 있다.
도 3은 도 2의 광학계(42)의 회절 광학계(421)의 일실시예를 개략적으로 나타낸 도면으로서, (a)는 회절 광학계(421)의 사시도를, (b)는 회절 광학계(421)의 단면도를 각각 나타낸다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 회절 광학계(421)는 복수개의 볼록부를 가질 수 있다. 이때, 각 볼록부들의 높이는 λ/(n-1) (여기서, λ는 레이저 빔의 파장이고, n은 굴절률이다.) 일 수 있다.
도 4 내지 도 7 각각은 본 발명의 패턴 형성 장치를 이용하여 형성된 패턴들의 실시예들을 개략적으로 나타낸 것이다.
본 발명의 일실시예에 따른 패턴 형성 장치의 패턴 제어기(43)는 조사되는 레이저의 세기는 일정하게 유지하면서, 광학계(42)를 강판(1)의 폭방향으로 주기적으로 움직임으로써, 강판(1)의 표면에 도 4에 나타낸 형태의 패턴을 형성할 수 있다.
또한, 본 발명의 일실시예에 따른 패턴 형성 장치의 패턴 제어기(43)는 광학계(42)를 상하로 일정한 주기로 움직임으로써, 강판(1)의 표면에 도 5에 나타낸 형태의 패턴을 형성할 수 있다. 이때, 패턴 제어기(43)는 조사되는 레이저의 세기도 주기적으로 조정할 수 있다.
또한, 본 발명의 일실시예에 따른 패턴 형성 장치의 패턴 제어기(43)는 광학계(42)를 일정한 각도로 회전시킴으로써, 조사되는 복수개의 레이저들 사이의 간격을 조정하여 강판(1)의 표면에 도 6에 나타낸 형태의 패턴을 형성할 수 있다. 이때, 패턴 제어기(43)는 조사되는 레이저의 세기를 일정하게 유지할 수 있다.
또한, 본 발명의 일실시예에 따른 패턴 형성 장치의 패턴 제어기(43)는 레이저 발생기(41)를 일정한 패턴에 따라 온/오프 함으로써, 강판(1)의 표면에 도 7에 나타낸 형태의 패턴을 형성할 수 있다.
이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것은 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에게는 자명할 것이다.
1 : 강판
11, 12, 13, 14, 15, 16, 17 : 롤
21, 22, 23 : 센서 31 : 센터 제어기
32 : 장력 제어기 33 : 위치 제어기
34 : 연동 제어기 41 : 레이저 발생기
42 : 광학계 43 : 패턴 제어기
431 : 회절 광학계 432 : 텔리 센트릭 광학계
50 : 오염물 흡입기 60 : 에어커튼 발생기
70 : 탈지 장치

Claims (11)

  1. 레이저를 이용하여 강판에 패턴을 형성하는 패턴 형성 장치에 있어서,
    제1 레이저를 조사하는 레이저 발생기;
    상기 제1 레이저를 복수개의 제2 레이저들로 분할하여 상기 강판으로 출력하는 광학계; 및
    상기 레이저 발생기 및 상기 광학계를 제어하되, 상기 광학계를 회전시키거나, 상기 광학계를 상기 강판의 수직 방향인 제1축 방향으로 이동시키거나, 상기 광학계를 상기 강판의 폭 방향은 제2축 방향으로 이동시키는 패턴 제어기를 포함하는 패턴 형성 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 패턴 제어기는
    상기 제1 레이저의 세기를 조정하거나, 상기 레이저 발생기를 온 오프 시키거나, 상기 제1 레이저의 주파수를 조정하는 패턴 형성 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 광학계는
    상기 제1 레이저를 입사하고, 상기 제1 레이저를 서로 다른 복수개의 방향으로 회절시켜 복수개의 제3 레이저들로 분할하는 회절 광학계; 및
    상기 복수개의 제3 레이저를 입사하고, 상기 복수개의 제3 레이저들 각각의 진행 방향을 변경시켜 서로 평행하게 진행하는 상기 제2 레이저를 형성하는 텔리 센트릭 광학계를 포함하는 패턴 형성 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 패턴 형성 장치는
    상기 강판을 강판의 길이 방향으로 이송하는 복수개의 롤들;
    상기 강판의 움직임 또는 위치를 검출하는 센서부; 및
    상기 센서부로부터 입력된 정보에 응답하여 상기 복수개의 롤들을 제어하는 제어부를 포함하는 패턴 형성 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 센서부는 상기 강판의 움직임을 검출하고, 상기 강판의 움직임에 대한 정보인 움직임 정보를 출력하는 움직임 감지 센서를 포함하고,
    상기 제어부는 상기 움직임 정보 및 강판의 두께에 대한 정보에 응답하여, 상기 복수개의 제2 레이저들의 진행 경로 상에서 상기 강판의 표면의 절대적인 위치가 일정한 범위내가 되도록 상기 복수개의 롤들 중 상기 복수개의 제2 레이저들의 진행 경로 상에 배치되는 롤의 위치를 제어하는 위치 제어기를 포함하는 패턴 형성 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 센서부는 상기 복수개의 롤들 중 적어도 하나 이상의 롤의 중심으로부터 상기 강판의 폭방향의 중심까지의 거리 및 방향을 검출하고, 상기 거리 및 방향에 대한 정보인 중심 정보를 출력하는 중심 감지 센서를 더 포함하고,
    상기 제어부는 상기 중심 정보에 응답하여 상기 강판의 폭방향의 중심과 상기 적어도 하나 이상의 롤의 중심 사이의 거리가 일정한 범위내가 되도록 상기 복수개의 롤들 중 적어도 하나 이상을 제어하는 중심 제어기를 더 포함하는 패턴 형성 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제어부는
    상기 중심 정보 및 상기 움직임 정보에 응답하여 제1 조정값 및 제2 조정값을 출력하는 연동 제어기를 더 포함하고,
    상기 위치 제어기는 상기 제1 조정값에 응답하여 출력되는 제어 신호를 조정하고, 상기 중심 제어기는 상기 제2 조정값에 응답하여 출력되는 제어 신호를 조정하는 패턴 형성 장치.
  8. 제5항에 있어서,
    상기 센서부는 상기 강판의 장력을 검출하고, 상기 강판의 장력에 대한 정보인 장력 정보를 출력하는 장력 감지 센서를 더 포함하고,
    상기 제어부는 상기 장력 정보에 응답하여 상기 강판의 장력이 일정한 범위 내가 되도록 상기 복수개의 롤들 중 적어도 하나 이상을 제어하는 장력 제어기를 포함하는 패턴 형성 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 제어부는
    상기 장력 정보 및 상기 움직임 정보에 응답하여 제1 조정값 및 제2 조정값을 출력하는 연동 제어기를 더 포함하고,
    상기 위치 제어기는 상기 제1 조정값에 응답하여 출력되는 제어 신호를 조정하고, 상기 장력 제어기는 상기 제2 조정값에 응답하여 출력되는 제어 신호를 조정하는 패턴 형성 장치.
  10. 제1항에 있어서, 상기 패턴 형성 장치는
    상기 강판에서 상기 복수개의 제2 레이저들에 의해 발생되는 오염물을 제거하는 오염물 제거기를 더 포함하는 패턴 형성 장치.
  11. 제1항에 있어서, 상기 패턴 형성 장치는
    상기 강판과 상기 광학계 사이에 에어커튼을 형성하는 에어커튼 발생기를 더 포함하는 패턴 형성 장치.
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