KR950032012A - 실리카 유리 코팅 세라믹 기판 및 이의 제조방법 - Google Patents

실리카 유리 코팅 세라믹 기판 및 이의 제조방법 Download PDF

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KR950032012A
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히로시 모기
히로시 다무라
요시히로 구보따
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가네까와 지히로
신에쓰가가꾸고오교 가부시끼가이샤
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Abstract

반조체 장치의 제조공정에 사용되는 세라믹 히터, 정전 척등의 기판으로서 적절한 개선된 세라믹 기판이 제안된다. 본 발명의 세라믹 기판은 세라믹 판과 세라믹 판의 적어도 한쪽 표면상에 형성된 합성 융합 실리카 유리의 코팅층으로 구성되어 있는 일체형이며 전반적으로 편평한 표면을 가져서 본 발명의 실리카 유리 코팅 세라믹 기판은 표면으로부터 탈립하는 세라믹 입자 분말로의 오염 및 세라믹 표면상의 미세 구멍내에 침착되는 오염물로의 오염 위험이 없다. 본 발명의 실리카 유리 코팅 세라믹기판은; (a)세라믹 판의 표면을 연마하여 미세한 구멍은 있으나 전반적으로 편평한 세라믹 판을 형성하고; (b)기화성 규소 화합물의 불꽃 가수분해에 의해 형성된 실리카 미립을 전반적으로 편평한 표면에 침착시켜서 표면을 피복하고 구멍을 실리카 입자로 충진하고; (c)침착된 실리카 미립의 층을 유리화하여 투명한 융합 실리카 유리층을 형성하고; (d)유리화된 실리카 유리층의 표면을 표면조도 Ra가 0.3㎛이하이도록 연마함으로써 제조된다.

Description

실리카 유리 코팅 세라믹 기판 및 이의 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 세라믹 판의 양표면에 융합 실리카 유리의 코팅층을 갖는 본 발명의 융합 실리카 유리 코팅 세라믹 기판의 단면도이다. 제2도는 세라믹 판의 양쪽 표면에 융합 실리카 유리의 코팅층을 갖고 있으며, 각각이 연마되어 부분적으로 기판 표면이 노출되어 있는 본 발명의 융합 실리카 유리 코팅 세라믹 기판의 단면도이다.

Claims (5)

  1. (a)전반적으로 편평한 표면을 가지며, 표면상에 구멍이 있는, 질화 알루미늄, 산화 알루미늄, 질화붕소, 질화 규소, 사이알론, 및 질화 알루미늄과 질화 붕소의 콤포지트로 구성된 군으로부터 선택된 세라믹 물질로부터 제조된 세라믹 판; 및 (b)전반적으로 편평한 세라믹 핀의 적어도 한쪽 표면을 피복하고 표면상의 구멍을 충진하며, 표면 조도 Ra는 0.3㎛ 이하인 합성 융합 실리카 유리의 코팅층을 포함하는 일체형의 융합 실리카 유리 코팅 세라믹 기판.
  2. 제1항에 있어서, 합성 융합 실리카 유리의 코팅층이 0.1내지1000㎛ 의 두께를 갖는 융합 실리카 코팅세라믹 기판.
  3. (a)질화 알루미늄, 산화 알루미늄, 질화 붕소, 질화 규소, 사이알론, 및 질화 알루미늄과 질화 붕소의 콤포지트로 구성된 군으로부터 선택된 세라믹 물질 판의 적어도 한쪽 표면을 전반적으로 편평하나 구멍이 있는 표면으로 연마하고;(b)산수소 불꽃중에서 기화성 규소 화합물을 불꽃 가수분해하여 제조된 실리카 미립을 전반적으로 편평한 세라믹 판의 표면에 침착시켜서 세라믹 판상 표면의 구멍을 실리카 미립으로 충진하고;(c)세라믹 판의 표면에 침착되어 있으며 구멍을 충진하는 실리카 입자를 가열하여 유리화시켜서 세라믹 판과 일체인 융합 실리카 유리의 층을 형성하고;(d)융합 실리카 유리층의 표면을 표면 조도Ra가 0.3㎛이하이도록 연마하는 것으로 구성되는 융합 실리카 유리 코팅 세라믹 기판의 제조방법.
  4. 제3항에 있어서, 단계(c)의 가열온도가1200 내지 1600℃인 융합 실리카 유리코팅 세라믹 기판의 제조방법.
  5. 제3항에 있어서, 단계(d)에서 융합 실리카 유리 층의 표면 염마가 세라믹 물질 판의 표면이 적어도 부분적으로 노출되도록 수행되는 융합 실리카 유리 코팅 세라믹 기판의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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