KR950700174A - 기계 진동을 이용한 동작센서(movement sensor using mechanical vibrations) - Google Patents

Abstract

센서팁(42), 센서팁으로부터 변환기 수단(43)으로 진동을 전달하기 위한 수단(41), 동작이 일어날 때 최종진동을 전기적으로 측정하고 출력신호를 생산하는 변화기 수단을 갖춘 프로세스장치를 위한 동작센서(40), 수단(70)은 각각의 소정의 주파수의 상하에서 출력신호를 필터링하고, 출력신호가 소정의 주파구사이에 놓여 있을 때 동작측정신호를 생산하기 위해 제공될 수 있다.

Description

기계 진동을 이용한 동작센서(MOVEMENT SENSOR USING MECHANICAL VIBRATIONS)

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 제1실시예의 단면이고, 제3도는 제2실시예의 측면도이며, 제6도(A)는 종이 시트와 작업중인 제3실시예의 센서부분의 도식측면도이며, 제6도(B)는 제6도(A)를 확대한 도면이다.

Claims (12)

1. 센서팁과, 센서팁으로부터 변환기 수단에 진동을 전달하기 위한 수단 및, 동작이 일어날 때 최종진동을 전기적으로 측정하고 출력신호를 생산하는 변환기 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 프로세스 장치를 위한 동작센서.
2. 제1항에 있어서, 각각의 소정의 주파수의 상하에서 출력신호를 필터링하고 출력신호가 소정의 주파수사이에 놓여 있을 때 동작측정신호를 생산하기 위한 수단을 더 구비한 것을 특징으로 하는 동작센서.
3. 제1항에 있어서, 1000Hz 이하의 출력신호를 필터링하고 출력신호가 1000Hz 이상에 놓여 있을 때 동작측정신호를 생산하기 위한 수단을 더 구비한 것을 특징으로 하는 동작센서.
4. 제1항 내지 제3항의 어느 한 항에 있어서, 변환기 수단이 압전기적 변환기를 포함한 것을 특징으로 하는 센서.
5. 제4항에 있어서, 변환기 수단이 센서팁이 그것의 일단상에 놓여진 팔과, 그 팔상에서 인장력의 변화와 따라서 센서팁의 진동을 감지하기 위해 팔위에 놓여진 압전기적 변환기를 포함한 것을 특징으로 하는 센서.
6. 제5항에 있어서, 압전기적 변환기는 팔을 따라 길게 뻗어 있는 것을 특징으로 하는 센서.
7. 제1항 내지 제6항의 어느 한 항에 있어서, 표면위에 장치의 움직임전에 장치와 표면사이에 접촉을 감지하기 위해 적용된 것을 특징으로 하는 센서.
8. 제1항 내지 제7항의 어느 한 항에 있어서, 표면위에서 센서동작의 속도를 측정하기 위한 수단을 포함한 것을 특징으로 하는 센서.
9. 제1항 내지 제3항의 어느 한 항에 있어서, 진동이 변환기를 구성하는 마이크로폰에 의해 측정되는 것을 특징으로 하는 센서.
10. 제9항에 있어서, 음향적 도파관이, 장치가 그에 대해 움직여 지는 한 표면에 접촉하고 있는 프로세스 장치를 지지하기 위한 수단으로부터 마이크로폰으로 공기 진동을 이끌기 위해 사용된 것을 특징으로 하는 센서.
11. 제1항 내지 제10항의 어느 한 항에 있어서, 팁이 15∼40㎛사이의 평균알갱이 크기의 입자를 구비한 표면을 갖춘 것을 특징으로 하는 센서.
12. 제11항에 있어서, 팁이 약 250㎛의 반경의 굽은 표면은 갖춘 것을 특징으로 하는 센서.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.