KR970024331A - 레이저 용발에 의한 고정렬 초전도 박막 제조 장치 및 방법 - Google Patents
레이저 용발에 의한 고정렬 초전도 박막 제조 장치 및 방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 강자기장의 정렬 효과를 응용한 레이저 용발에 의한 고정렬 초전도 박막 제조 방치 및 방법에 관한 것으로, Tesla 단위의 강력한 자계를 발생시키는 전자석을 기판 주변에 구비하여 용착되는 타케트 물질의 증기(YBCO) 즉 미세한 입자들을 기판 상에 재정렬시켜 용착되게 함으로써, 기판 상에 균일한 고정렬의 초전도 박막을 제조할 수 있어, 초전도 박막 표면의 거칠기를 현저히 개선할 수 있는 장점이 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 이저 용발법을 이용한 고온 초전도 박막 제조 장치의 개략적 구조도이다.
Claims (8)
- 타케트 물질을 용발시키기 위한 빔을 방출하는 광원과, 초전도 박막의 재료가 되는 타케트 및 상기 재료가 증착되어 상기 초전도 박막이 형성되는 기판과 이 기판을 가열하기 위한 히터가 마련된 진공 챔버를 구비한 고온 초전도 박막 제조 방치에 있어서, 상기 진공 챔버 내에 상기 광원으로부터 입사되는 빔이 상기 타케트 물질을 용발시켜 상기 기판에 증착되게 할 때 상기 기판에 용착되는 상기 타케트 물질의 입자를 재정렬시켜 주기 위한 자계 발생 수단;을 구비하여 된 것을 특징으로 하는 레이저 용발에 의한 고정렬 초전도 박막 제조 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 광원은 엑시머 레이저인 것은 특징으로 하는 레이저 용발에 의한 고정렬 초전도 박막 제조 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 기판은 결정면이 (100)인 MgO 기판을 상기 타케트와 50∼70mm의 간격을 두고 서로 마주보게 배치된 것을 특징으로 하는 레이저 용발에 의한 고정렬 초전도 박막 제조 장치.
- 제1항, 제2항 및 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 자계 발생 수단은 상기 기판에 수직한 방향으로 자기장이 형성되도록 하는 코일을 상기 기판 주변에 구비한 전자석인 것을 특징으로 하는 레이저 용발에 의한 고정렬 초전도 박막 제조 장치.
- 제4항에 있어서, 상기 광원에서 상기 타케트로 조사되는 빔은 600∼800 mJ/pulse의 범위의 에너지를 갖는 것을 특징으로 하는 레이저 용발에 의한 고정렬 초전도 박막 제조 장치.
- 타케트 물질을 용발시키기 위한 빔을 방출하는 광원과, 초전도 박막의 재료가 되는 타케트와 상기 재료가 증착되어 상기 초전도 박막이 형성되는 기판과 이 기판을 가열하기 위한 히터와 자계 발생 수단이 마련된 진공 챔버를 구비한 고온 초전도 박막 제조 장치에 있어서, 상기 광원으로부터 방출되는 레이저 범으로 초전도 박막 재료인 상기 타케트 물질을 용발시켜 상기 기판 상에 초전도 박막을 용착하되, 이 때 자기장을 발생시켜 상기 용발된 타케트 물질의 입자들이 상기 기판상에 일정한 방향으로 정렬하도록 용착하는 단계; 상기 기판 상에 용착된 초전도 박막을 어닐링 하는 단계; 및 상기 어닐링된 상기 초전도 박막을 상온으로 냉각하는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 용발에 의한 고정렬 초전도 박막 제조 방법.
- 제6항에 있어서, 상기 용착하는 단계에서는 상기 기판의 온도를 700∼800℃로 유지하면서 상기 챔버 내부를 산소로서 180∼200 mTorr로 유지하여 5∼10분간 초전도 박막을 상기 기판 상에 용착하는 것을 특징으로 하는 레이저 용발에 의한 고정렬 초전도 박막 제조 방법.
- 제6항 또는 제7항에 있어서, 상기 어닐링 하는 단계에서는 상기 챔버 내부에 산소를 300 Torr 이상되도록 주입하여 550℃에서 45분을 유지하여 상기 기판 상에 용착된 초전도 박막을 어닐링 하는 것을 특징으로 하는 레이저 용발에 의한 고정렬 초전도 박막 제조 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950036852A KR970024331A (ko) | 1995-10-24 | 1995-10-24 | 레이저 용발에 의한 고정렬 초전도 박막 제조 장치 및 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950036852A KR970024331A (ko) | 1995-10-24 | 1995-10-24 | 레이저 용발에 의한 고정렬 초전도 박막 제조 장치 및 방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970024331A true KR970024331A (ko) | 1997-05-30 |
Family
ID=66583963
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| KR1019950036852A Withdrawn KR970024331A (ko) | 1995-10-24 | 1995-10-24 | 레이저 용발에 의한 고정렬 초전도 박막 제조 장치 및 방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970024331A (ko) |
-
1995
- 1995-10-24 KR KR1019950036852A patent/KR970024331A/ko not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 19951024 |
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| PG1501 | Laying open of application | ||
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