KR970052889A - 반도체 제조장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼상에 감광액을 도포하는 감광액도포장치에 관한 것으로서, 그 구성은 공기를 유입하고 그리고 감광액분사노즐이 이송되는 유입구(15)와, 유입된 공기와 파티클을 배출시키는 유출구(16)를 구비하고, 스핀척(11)에 의해서 고정되고 그리고 따라 회전되는 웨이퍼(12)상에 감광액(13)을 도포하되, 상기 유입구 (15)를 통하여 상기 웨이퍼(12)의 중앙으로 공기를 분사시키는 에어공급노즐 (17)을 포함한다. 상술한 감광액도포장치에 의하면, 웨이퍼(12)의 전표면상에 균일한 공기압이 흐르도록 하여서 감광액(13)이 균일하게 도포될 수 있다.

Description

반도체 제조장치.

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 종래의 반도체 제조장치의 하나로서 감광액도포장치의 구조를 보여주고 있는 개략도.

Claims (2)

1. 공기를 유입하고 그리고 감광액분사노즐이 이송되는 유입구(15)와, 유입된 공기와 파티클을 배출시키는 유출구(16)를 구비하고, 스핀척(11)에 의해서 고정되고 그리고 따라 회전되는 웨이퍼(12)상에 감광액(13)을 도포하는 구조를 갖는 반도체 제조장치에 있어서, 상기 유입구(15)를 통하여 상기 웨이퍼(12)의 중앙으로 공기를 분사시키는 에어공급노즐(17)을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 에어공급노즐(17)은 상기 웨이퍼(12)의 직경보다 작은 직경을 갖는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.