KR970063473A - 반도체설비용 온도조절장치 및 반도체 가공설비 - Google Patents

반도체설비용 온도조절장치 및 반도체 가공설비 Download PDF

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Abstract

냉각수를 이용한 신규한 반도체설비용 온도조절장치가 개시되어 있다.
본 발명은, 온도를 조절하고자 하는 가공설비에 연결되며, 외부에서 냉각수를 공급받아 상기 가공설비의 공정챔버 내에 순환되는 유체로부터 상기 냉각수로 공정에너지를 간접 열전달방식에 의해 이동시키는 열교환기로 이루어진다.
따라서, 프레온 가스를 사용하지 않아 환경파괴에 대응할 수 있으며, 단순한 구조로써 생산성 향상을 도모할 수 있다는 효과가 있다.

Description

반도체설비용 온도조절장치 및 반도체 가공설비
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 따른, 반도체 건식식각설비의 공정챔버 온도를 조절하기 위한 온도조절장치의 개략적인 구조도이다.

Claims (6)

  1. 온도를 조절하고자 하는 가공설비에 연결되며, 외부에서 냉각수를 공급받아 상기 가공설비의 공정챔버 내에 순환되는 유체로부터 상기 냉각수로 공정에너지를 간접 열전달방식에 의해 이동시키는 열교환기를 구비하여 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체설비용 온도조절장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 열교환기는 상기 냉각수가 들어가고 빠져나오는 양끝의 판 사이에 상기 유체가 유동할 수 있는 압력판이 온도에 따라 몇 장으로 구성되어 있는 구조로 되어 있는 것을 특징으로 하는 상기 반도체설비용 온도 조절장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 가공설비는 건식식각설비인 것을 특징으로 하는 상기 반도체설비용 온도조절장치.
  4. 유체를 저장하는 물탱크; 상기 물탱크로부터 유체를 펌핑하여 공정챔버 내를 순환시키는 펌프; 및 외부에서 냉각부를 공급받아 상기 공정챔버 내에서 순환되는 유체로부터 상기 냉각수로 공정에너지를 간접 열전달방식에 의해 이동시키는 열교환기 : 를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 가공설비.
  5. 제4항에 있어서, 상기 열교환기는 상기 냉각수가 들어가고 빠져나오는 양끝의 판 사이에 상기 유체가유동할 수 있는 압력판이 온도에 따라 몇 장으로 구성되어 있는 구조로 되어 있는 것을 특징으로 하는 상기 반도체 가공설비.
  6. 제4항에 있어서, 상기 유체의 온도를 조절하기 위하여 상기 물탱크에 연결된 가열기, 상기 펌핑된 유체가 상기 공정챔버로 공급되도록 그 유동을 조절하는 조정밸브, 및 상기 유체가 물탱크로부터 열교환기로 역류되는 것을 방지하도록 상기 열교환기와 물탱크 사이에 설치된 역류방지밸브를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 상기 반도체 가공설비.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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