KR970077472A - 정전기 척에 의해 발생된 정전기력을 밸런싱하는 방법 및 장치 - Google Patents

정전기 척에 의해 발생된 정전기력을 밸런싱하는 방법 및 장치 Download PDF

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Abstract

척이 제품에 가하는 정전기력을 밸런싱하기 위한, 장치와 그와 관련한 방법을 포함하는 정정기 척, 보다 상세하게는, 그 내에 구현된 한 쌍의 동일 평면상의 전극을 가지는 척 몸체와 척 몸체의 지지표면상에 놓여진 다수의 전도성 지지부재들을 포함하는 웨이퍼 스페이싱 마스크를 포함하고 있는 정전기 척. 지지부재들은 척 몸체의 지지표면과 관련하여 공간상으로 떨어진 관계에 있는 웨이퍼, 혹은 다른 제품을 유지한다. 척내의 각각의 전극은 중앙 탭을 가지는 이중의 파워 서플라이의 단자에 각각 연결된다. 파워 서플라이의 중앙 탭은 웨이퍼 스페이싱 마스크에 연결된다. 그렇기 때문에, 정전기력에 있어서 변화를 일으킬 수 있는 유전체 두께에 있어서의 변동에 기인한 웨이퍼와 전극들사이의 간격의 변동, 웨이퍼 뒷면의 거침. 척 표면의 거침. 척 표면의 전도도 혹은 다른 물리적 변동들은 파워 서플라이의 중앙 탭에 연결된 스페이싱 마스크를 가짐으로써 밸런스된다.

Description

정전기 척에 의해 발생된 정전기력을 밸런싱하는 방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 바이어스되어 있는 정전기 척의 수직 횡단면도.

Claims (23)

  1. 적어도 두 개의 전극을 포함하며 표면을 가지는 척 몸체; 및 상기 척 몸체의 상기 표면위로 노출된 전도성 물질이며, 파워 서플라이에 연결을 위해 변화되는 웨이퍼 스페이싱 마스크를 포함하는 것을 특징으로 하는 제품을 유지하기 위한 2극의 정전기 척.
  2. 제1항에 있어서, 사이 웨이퍼 스페이싱 마스크는, 상기 척 몸체의 상기 표면에 관하여 공간상 떨어진 관계로 상기 제품을 지지하며, 적어도 하나는 파워 서플라이에 연결하기 위해 변화되는 다수의 지지부재들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 제품을 유지하기 위한 2극의 정전기 척.
  3. 제2항에 있어서, 상기 파워 서플라이에 연결하기 위해 변화되는 상기 지지부재는 상기 척 몸체의 가장자리 가까이에 배치되는 것을 특징으로 하는 제품을 유지하기 위한 2극의 정전기 척.
  4. 제3항에 있어서, 상기 다수의 지지부재들은 상기 파워 서플라이에 연결하기 위해 변화되는 지지부재들의 서브셋을 포함하는 것을 특징으로 하는 제품을 유지하기 위한 2극의 정전기 척.
  5. 제4항에 있어서, 상기 지지부재들의 서브셋내의 각각의 지지부재는 상기 척 몸체의 가장자리 가까이에 배치되어 상기 가장자리위에 걸쳐 있으며, 상기 서브셋내의 상기 지지부재의 제1부분은 상기 제품과 접촉하고 상기 서브셋내의 상기 지지부재의 제2부분은 상기 파워 서플라이에 연결하기 위해 수용되는 것을 특징으로 하는 제품을 유지하기 위한 2극의 정전기 척.
  6. 제5항에 있어서, 상기 지지부재들 서브셋내의 상기 지지부재들 각각은 상호 연결 트레이스에 의해 상호연결되는 것을 특징으로 하는 제품을 유지하기 위한 2극의 정전기 척.
  7. 제2항에 있어서, 상기 파워 서플라에 연결하기 위해 변화되는 적어도 하나의 상기 지지부재를 적어도 하나의 다른 지지부재에 연결하는 상호연결 트레이스를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 제품을 유지하기 위한 2극의 정전기 척.
  8. 적어도 두 개의 전극을 포함하고 표면을 가지는 척 몸체를 포함하는 2극의 정전기 척; 상기 척 몸체의 상기 표면위에 노출된 전도성 물질의 웨이퍼 스페이싱 마스크; 및 제1단자 및 제2단자 및 중앙 탭을 가지며, 상기 제1단자는 제2극의 정전기 척의 제1전극에 연결되고, 상기 제2단자는 상기 2극의 정전기 척의 제2전극에 연결되고 상기 중앙 탭은 상기 웨이퍼 스페이싱 마스크에 연결되어지는 이중의 파워 서플라이를 포함하는 것을 특징으로 하는 제품을 유지하기 위한 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 웨이퍼 스페이싱 마스크는, 상기 척 몸체의 상기 표면에 대하여 간격져 떨어진 관계에 있는 상기 제품을 지지하기 위한 다수의 지지부재들을 더 포함하며, 상기 다수의 지지부재들내의 상기 지지부재들중 적어도 하나는 상기 파워 서플라이에 연결되는 것을 특징으로 하는 제품을 유지하기 위한 장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 파워 서플라이에 연결되어 있는 상기 지지부재는 상기 척 몸체의 가장자리 가까이 배치되는 것을 특징으로 하는 제품을 유지하기 위한 장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 다수의 지지부재들은 상기 파워 서플라이에 연결하기 위하여 변화되어지는 지지부재들의 서브셋을 포함하는 것을 특징으로 하는 제품을 유지하기 위한 장치.
  12. 제11항에 있어서, 상기 지지부재들의 상기 서브셋내 각각의 지지부재는 상기 척 몸체의 가장자리 가까이 배치되고 가장자리 위에 걸쳐 있으며, 상기 서브셋내의 상기 지지부재의 제1부분은 상기 제품에 접촉하고 상기 서브셋내의 상기 지지부재의 제2부분은 상기 파워 서플라이에 연결되는 것을 특징으로 하는 제품을 유지하기 위한 장치.
  13. 제12항에 있어서, 상기 지지부재들 서브셋내의 상기 지지부재들의 각각은 상호연결 트레이스에 의해 상호연결되는 것을 특징으로 하는 제품을 유지하기 위한 장치.
  14. 제9항에 있어서, 상기 파워 서플라이에 연결되어 있는 상기 적어도 하나의 지지부재를 적어도 하나의 다른 지지부재에 연결하는 상호연결 트레이스를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 제품을 유지하기 위한 장치.
  15. 제19항에 있어서, 상기 이중의 파워 서플라이는 포지티브 단자와 네가티브 단자를 깆는 제1파워 서플라이; 및 포지티브 단자와 네가티브 단자를 가지는 제2파워 서플라이를 포함하며, 상기 제1파워 서플라이의 포지티브 단자는 상기 제1단자를 형성하고, 상기 제2파워 서플라이의 네가티브 단자는 상기 제2단자를 형성하며, 상기 제1파워 서플라이의 네가티브 단자와 상기 제2파워 서플라이의 포지티브 단자는 상기 중앙 탭을 형성하기 위하여 서로 연결되는 것을 특징으로 하는 제품을 유지하기 위한 장치.
  16. 제9항에 있어서, 상기 전극들과 상기 웨이퍼 스페이싱 마스크로부터 잔존한 전하를 방전하도록 상기 중앙 탭을 그라운드에 선택적으로 연결하기 위하여 상기 중앙 탭과 그라운드 사이에 연결된 디척킹 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 제품을 유지하기 위한 장치.
  17. 제9항에 있어서, 상기 전극들과 상기 웨이퍼 스페이싱 마스크로부터 잔존한 전하를 방전하도록 상기 제1 및 제2단자를 선택적으로 그라운드에 연결하기 위하여 상기 제2단자로부터 그라운드로 및 상기 제1단자로부터 그라운드를 연결된 디척킹 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 제품을 유지하기 위한 장치.
  18. 제9항에 있어서, 상기 전극들과 상기 웨이퍼 스페이싱 마스크로부터 잔존한 전하를 방전하도록 상기 제1 및 제2단자를 선택적으로 그라운드에 연결하기 위하여 상기 제2단자로부터 그라운드로, 상기 제1단자로부터 그라운드로 및 상기 중앙 탭으로부터 그라운드로 연결된 디척킹 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 제품을 유지하기 위한 장치.
  19. 척 몸체내에 삽입된 한 쌍의 전극과 상기 척 몸체의 지지표면상에 놓여진 전도성 웨이퍼 스페이싱 마스크를 가지는 정전기 척을 포함하며, 상기 정전기 척은 제1단자, 제2단자 및 중앙 탭을 가지는 이중의 파워 서플라이에 의해 구동되며, 여기에서 상기 제1단자는 상기 정전기 척의 제1전극에 연결되고, 상기 제2단자는 상기 정전기 척의 제2전극에 연결되고 상기 중앙 탭은 상기 웨이퍼 스페이싱 마스크에 연결되는 정전기 척 시스템에서, 상기 정전기 척상에 제품을 유지하기 위한 방법에 있어서, 상기 웨이퍼 스페이싱 마스크상에 제품을 위치 시키는 단계; 소정 전압을 상기 제1 및 제2전극에 가하기 위하여 상기 이중의 파워 서플라이를 액티베이팅하는 단계; 및 상기 중앙 탭에서의 전압과 상기 제1 및 제2전극에서의 상기 소정 전압사이의 전압차를 자동적으로 밸런싱하는 단계를 포함하고, 상기 전압 밸런싱은 상기 제품을 가로지르는 보존력을 밸런스하는 것을 특징으로 하는 상기 정전기 척상에 제품을 유지하기 위한 방법.
  20. 제19항에 있어서, 상기 정전기 척으로부터 상기 제품을 디척킹하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 정전기 척상에 제품을 유지하기 위한 방법.
  21. 제19항에 있어서, 상기 디척킹 단계는, 상기 이중의 파워 서플라이를 디액티베이팅하는 단계; 및 상기 제품과 상기 한 쌍의 전극상에 남아있는 잔존한 전하를 방전하기 위하여 상기 중앙 탭을 그라운드에 연결하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 정전기 척상에 제품을 유지하기 위한 방법.
  22. 제19항에 있어서, 상기 디척킹 단계는, 상기 이중의 파워 서플라이를 디액티베이팅하는 단계; 및 상기 제품과 상기 한 쌍의 전극상에 남아있는 잔존한 전하를 방전하기 위하여 상기 한 쌍의 전극을 그라운드에 연결하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 정전기 척상에 제품을 유지하기 위한 방법.
  23. 제7항에 있어서, 상기 디척킹 단계는, 상기 이중의 파워 서플라이를 디액티베이팅하는 단계; 및 상기 제품과 상기 한 쌍의 전극상에 남아있는 잔존한 전하를 방전하기 위하여 상기 중앙 탭과 상기 한 쌍의 전극을 그라운드에 연결하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 정전기 척상의 제품을 유지하기 위한 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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