MD3018G2 - Газовый сенсор - Google Patents

Газовый сенсор Download PDF

Info

Publication number
MD3018G2
MD3018G2 MDA20050229A MD20050229A MD3018G2 MD 3018 G2 MD3018 G2 MD 3018G2 MD A20050229 A MDA20050229 A MD A20050229A MD 20050229 A MD20050229 A MD 20050229A MD 3018 G2 MD3018 G2 MD 3018G2
Authority
MD
Moldova
Prior art keywords
gas
semiconductor
gas sensor
onto
sensitive layer
Prior art date
Application number
MDA20050229A
Other languages
English (en)
Romanian (ro)
Other versions
MD3018F1 (en
Inventor
Вячеслав ПОПА
Ион ТИГИНЯНУ
Вячеслав УРСАКИ
Олеся ВОЛЧУК
Original Assignee
Институт Прикладной Физики Академии Наук Молдовы
Технический университет Молдовы
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Институт Прикладной Физики Академии Наук Молдовы, Технический университет Молдовы filed Critical Институт Прикладной Физики Академии Наук Молдовы
Priority to MDA20050229A priority Critical patent/MD3018G2/ru
Publication of MD3018F1 publication Critical patent/MD3018F1/xx
Publication of MD3018G2 publication Critical patent/MD3018G2/ru

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)

Abstract

Изобретение относится к области полупроводниковой техники, в частности к полупроводниковым газовым сенсорам резистивного типа.Полупроводниковый газовый сенсор включает подложку, на поверхности одной стороны которой расположен газочувствительный слой с нанесенными на него омическими металлическими контактами, а на поверхности противоположной стороны - нагреватель. Новизна изобретения заключается в том, что газочувствительный слой содержит участки с различной морфологией, обладающие преимущественной чувствительностью к разным газам.
MDA20050229A 2005-08-10 2005-08-10 Газовый сенсор MD3018G2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
MDA20050229A MD3018G2 (ru) 2005-08-10 2005-08-10 Газовый сенсор

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
MDA20050229A MD3018G2 (ru) 2005-08-10 2005-08-10 Газовый сенсор

Publications (2)

Publication Number Publication Date
MD3018F1 MD3018F1 (en) 2006-03-31
MD3018G2 true MD3018G2 (ru) 2007-01-31

Family

ID=36120089

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
MDA20050229A MD3018G2 (ru) 2005-08-10 2005-08-10 Газовый сенсор

Country Status (1)

Country Link
MD (1) MD3018G2 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
MD4347C1 (ru) * 2014-07-15 2015-11-30 Виорел ТРОФИМ Газовый сенсор на основе MoO3

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
MD4423C1 (ru) * 2015-01-13 2016-12-31 Василе ПОСТИКА Газовый сенсор на основе полупроводниковых оксидов (варианты)
MD4495C1 (ru) * 2016-09-09 2018-01-31 Николай АБАБИЙ Сенсор этанола на основе оксида меди

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3695848A (en) * 1970-04-07 1972-10-03 Naoyoshi Taguchi Gas detecting device
US4792433A (en) * 1982-08-27 1988-12-20 Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha CO gas detecting device and circuit for driving the same

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3695848A (en) * 1970-04-07 1972-10-03 Naoyoshi Taguchi Gas detecting device
US4792433A (en) * 1982-08-27 1988-12-20 Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha CO gas detecting device and circuit for driving the same

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
MD4347C1 (ru) * 2014-07-15 2015-11-30 Виорел ТРОФИМ Газовый сенсор на основе MoO3

Also Published As

Publication number Publication date
MD3018F1 (en) 2006-03-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2006091553A3 (en) Continuous-range hydrogen sensors
ATE555067T1 (de) Kratzfeste silikonbeschichtung für kochflächen aus glas oder glaskeramik
TW200723513A (en) An image sensing device and fabrication thereof
WO2007140051A3 (en) Method for making oxygen-reducing catalyst layers
WO2009049091A3 (en) Multifunctional potentiometric gas sensor array with an integrated temperature control and temperature sensors
TW200419862A (en) Semiconductor element and its manufacture
TW200725880A (en) Semiconductor piezoresistive sensor and operation method thereof
EA200501663A1 (ru) Способ покрытия субстратов материалом на основе углерода
DE502006004745D1 (de) Sensoranordnung zur temperaturmessung
TW200739706A (en) Method of polishing a semiconductor-on-insulator structure
TW200801468A (en) Printed circuit board with integral strain gage
TW200737550A (en) Semiconductor device and its manufacturing method, and display device and electronic appliance
MX2007004055A (es) Elemento de seguridad para un soporte de datos, soporte de datos con un elelmento de seguridad de esta clase, producto semimanufacturado para fabricar un soporte de datos y procedimiento para fabricar un soporte de datos.
MD3018G2 (ru) Газовый сенсор
ATE465136T1 (de) Heizelement und verfahren zur detektion von temperaturänderungen
EP1767934A3 (en) Hydrogen gas sensitive semiconductor sensor
MD3086G2 (ru) Полупроводниковый газовый сенсор
TWI256682B (en) Semiconductor device and manufacturing method for the same
TW200717713A (en) Advanced forming method and structure of a semiconductor device
WO2008123092A1 (ja) 可燃性ガスセンサ
WO2007003639A3 (fr) Substrat, notamment en carbure de silicium, recouvert par une couche mince de nitrure de silicium stoechiometrique, pour la fabrication de composants electroniques, et procede d'obtention d'une telle couche
DE602006000227D1 (de) Elektrodensubstrat, Detektionsvorrichtung mit dem Substrat, Kit mit der Detektionsvorrichtung und Detektionsverfahren unter Verwendung des Kits
GB0509213D0 (en) A method for creating a chemically patterned surface
MD2220C2 (ru) Гетеропереходный датчик токсических газов
WO2010057867A3 (de) Sensorelement mit substrat

Legal Events

Date Code Title Description
KA4A Patent for invention lapsed due to non-payment of fees (with right of restoration)
MM4A Patent for invention definitely lapsed due to non-payment of fees