NL2000449C2 - Werkwijze en inrichting voor het in een pers mechanisch bewerken van halfgeleider producten. - Google Patents

Description

Werkwijze en inrichting voor het in een pers mechanisch bewerken van halfgeleider producten

De onderhavige uitvinding heeft betrekking op een werkwijze en inrichting voor het in 5 een pers mechanisch bewerken van halfgeleider producten.

Bij de productie van halfgeleider producten is het gebruikelijk dat een groot aantal producten op een drager is verenigd in een gezamenlijk samenstel van halfgeleider producten (dat bijvoorbeeld ook wordt aangeduid als een “lead frame” of een “board”). 10 Na het voltooien van een deel van de productiestappen van de halfgeleider producten, zoals typisch het op de drager plaatsen van de elektronische componenten en het omhullen van de elektronische componenten, worden de samengebouwde halfgeleider producten van elkaar gescheiden door een separatiebewerking. Zo wordt bij de productie van halfgeleiders het ponsen of stansen van de drager (bijvoorbeeld in de 15 vorm van een strook plaatmateriaal) veelvuldig toegepast. Daarnaast kunnen er ook andere mechanische bewerkingen op de elektronische componenten worden uitgevoerd zoals bijvoorbeeld het vervormen van het dragermateriaal. Bij deze mechanische . bewerkingen dienen er lokaal veelal aanzienlijke krachten op het dragermateriaal uitgeoefend te worden (in de ordegrootte van duizenden kilo’s per cm2). Een ander 20 kenmerk van de mechanische bewerking van de halfgeleider producten is dat dit ook afval kan opleveren, bijvoorbeeld in de vorm van “schrot” (in het engels “slug”). De bestaande persen voor het mechanisch bewerken van halfgeleider producten zijn kostbaar en zijn tevens lawaaierig tijdens het gebruik (een geluidsdruk ruim boven 90 dB is gebruikelijk).

25

Doel van de onderhavige uitvinding is het verschaffen van een verbeterde werkwijze en een verbeterde inrichting voor het in een pers mechanisch bewerken van halfgeleider producten waarmee de mechanische bewerkingen ten opzichte van de stand der techniek relatief goedkoop en stil kunnen worden uitgevoerd.

30

De uitvinding verschaft daartoe een werkwijze voor het in een pers mechanisch bewerken van halfgeleider producten waarbij de onderlinge verplaatsing van de alzonderlijke persdelen tijdens het uitvoeren van een mechanische bewerking wordt aangedreven door een roterende beweging waarvan de verhouding van de afgelegde 2 weg tot de tijdsduur van de beweging varieert in de tijd. Een dergelijke roterende beweging wordt ook wel aangeduid als een niet-eenparig roterende beweging, dat wil zeggen dat de roterende beweging een niet-eenparige bewegingskarakteristiek kent. Ter verdere verduidelijking: een eenparige beweging (EB) wordt ook wel gedefinieerd als 5 een beweging waarbij de verhouding van de afgelegde weg tot de tijdsduur van de beweging constant is op elk ogenblik, hetgeen inhoudt dat de snelheid op elk ogenblik constant is. De onderlinge beweging van de bewerkingselementen is volgens de deskundige in het vakgebied tot op heden wenselijk vloeiend. Vloeiende bewegingen zijn immers snel en betrouwbaar te realiseren in vergelijking met niet-vloeiende 10 bewegingen. De afzonderlijke persdelen worden bij voorkeur ten opzicht van elkaar in hoofdzaak lineair verplaatst, en deze relatieve lineaire verplaatsing wordt dan doorgaans op economische wijze geïnitieerd door de niet-eenparig roterende beweging van bijvoorbeeld een elektromotor.

15 Wanneer een gewenste onderlinge beweging van de persdelen niet vloeiend volgens een sinusoïde verloopt (dat wil zeggen als de tweede afgeleide van de beweging naar de tijd, d2x/dt2, in ieder geval niet discontinue is) bestaat het (vooroordeel dat dit problemen oplevert bij een nauwkeurige besturing en er door de massatraagheid van de onderling verplaatsbare onderdelen een beperking optreedt ten aanzien van de mogelijke 20 bewerkingssnelheid. Een bekende voorkeurswaarde om de vloeiende beweging nader te preciseren volgens de stand der techniek is dat de ruk (“jerk”) van de bewerkingselementen in de tijd een constant verloop dient te bezitten, of nog meer bij voorkeur wordt beperkt tot waarden kleiner dan 200 m/s3. Daarnaast gaat de deskundige ervan uit dat de ten gevolge van de gebruikelijke omzetting van een eenparige roterende 25 aandrijving naar een lineaire verplaatsing toch al een sinusoïde-vormige bewegingskarakteristiek van de persdelen tot een zachte sluiting van de persdelen leidt. De onderhavige uitvinding verschaft echter het inzicht dat een niet-eenparig roterende aandrijving van de persdelen het belangrijk voordeel oplevert, in het bijzonder indien bij het tot op de kortste afstand benaderen van de afzonderlijke persdelen een nog grotere 30 vertraging optreedt dan met de sinusoïde-vormige bewegingskarakteristiek van de persdelen. Het contactmoment van de persdelen is in de praktijk niet gelegen in het dode punt (dat wil zeggen niet op de toppen of dalen van de bewegingskarakteristiek) maar op enige afstand van het dode punt. De oorzaak hiervan schuilt in het feit dat de met de persdelen verbonden werktuigen ook nog een “werkslag” dienen te maken. Zo 3 moeten bij het stansen bijvoorbeeld de stanselementen nog tot in de stansplaat worden gedrongen. Het gevolg hiervan is dat op het moment dat de persdelen - respectievelijk (wat hier in deze aanvrage aan gelijk gesteld wordt) het met elkaar in contact treden van de van de persdelen deel uitmaken, of daarmee gekoppelde, werktuigen - elkaar in 5 contact komen zij nog een aanzienlijke lineaire snelheid kunnen bezitten.

Het inzicht dat de onderhavige vinding verschaft is dat de bewegingskarakteristiek nu juist zo moet worden aangepast dat er reeds voor dat het dode punt van een sinusoïde wordt bereikt een behoefte is aan - meer dan volgens de gebruikelijke sinusoïde -10 versterkte vertraging. De variatie in de rotatiesnelheid van de aandrijving treed meer in het bijzonder op onder omstandigheden waarin de gemiddelde snelheid van opeenvolgende bewerkingen gelijk is. Dit wil zeggen dat er in het bijzonder naar wordt gestreefd binnen een enkele bewerkingscyclus zowel te vertragen als te versnellen. Hiermee wordt verder gespecificeerd dat het niet zozeer wijzigen in rotatiesnelheid 15 betreft over meerdere opvolgende bewerkingscycli maar naar vertraging en versnelling binnen een enkele bewegingscyclus. De toppen van de bewegingskarakteristiek kunnen zo worden “verbreed”. De pers blijkt aldus onverwacht veel stiller te lopen (in de praktijk blijkt een geluidsreductie met meer dan 20 dB haalbaar). De nadelen van een de niet-eenparig roterende aandrijving blijken niet op te wegen tegen de voordelen die dit 20 kan opleveren, in het bijzonder in omstandigheden waarbij de geluidsbelasting van de omgeving van een pers een belangrijke factor vormt. Hierbij dient met name gedacht te worden aan eisen die worden gesteld aan arbeidsomstandigheden. Een ander belangrijk voordeel is dat de pers doordat deze met minder grote snelheid sluit op deze wijze “soepeler” loopt hetgeen de slijtage van de gereedschappen reduceert. De van de 25 persdelen deel uitmakende gereedschappen komen immers met een lager dan gebruikelijke snelheid met elkaar in contact. Een verminderde slijtage is uiteraard voordelig omdat daardoor de gereedschappen minder onderhoud behoeven maar ook omdat daardoor de nuttige bedrijfstijd van de pers toeneemt. Daarnaast laat de onderhavige uitvinding ook hogere snelheden van de pers toe, hetgeen een zeer 30 belangrijk voordeel oplevert ten aanzien van de productiviteit van de machine. Een productiviteitstoename van 30 - 50% blijkt haalbaar te zijn.

De uitvinding verschaft tevens een werkwijze voor het in een pers mechanisch bewerken van halfgeleider producten waarbij de onderlinge verplaatsing van de 4 afzonderlijke persdelen waarbij tijdens het uitvoeren van de mechanisch bewerking van halfgeleider producten afVal ontstaat dat wordt opgevangen in een houder, waarbij overschrijding van ten minste één vulniveau van de houder automatisch wordt bewaakt. Dit is bijvoorbeeld mogelijk door middel van gewichtsbepaling van de houder met 5 inhoud. Het is van belang dat de houder tijdig wordt geleegd. Indien een houder wordt geleegd voordat deze een bepaalde minimum hoeveelheid afval bevat wordt er nodeloos werk verricht. Anderzijds kan het legen van een houder die een bepaald vulniveau heeft overschreden leiden tot ongewenste arbeidsomstandigheden en/of belemmering van de werking van de pers. Een automatische detectie van de beladingsgraad van de houder 10 kan hierbij uitkomst bieden. Omdat de houder doorgaans uitwisselbaar is en omdat er veelal ondermeer kleine verontreiniging (stof) in de houder aanwezig is, vormt met name een gewichtsdetectie een betrouwbare oplossing om te voorzien in een dergelijke detectie.

15 In een andere voorkeurswerkwijze wordt de kracht van de naar elkaar toe gerichte beweging van de persdelen door middel van een beveilingssysteem bewaakt om zo te voorkomen dat bij verkeerd geplaatste producten schade aan de inrichting (bijvoorbeeld de persdelen of de van de persdelen onderdeel uitmakende gereedschappen) ontstaat.

20 Evenzo is het voordelig indien de te bewerken halfgeleider producten mechanisch aan de pers worden toegevoerd op zodanige wijze dat de toevoer van de producten door middel van een krachtbegrenzing wordt gelimiteerd. De toevoer kan bijvoorbeeld verschillende bewegingscomponenten bezitten die ook afzonderlijk kunnen zijn begrensd. Denk hierbij bijvoorbeeld aan een haas-vormige toevoerbeweging met 25 afzonderlijke horizontale en verticale bewegingscomponenten; deze kunnen afzonderlijk van een krachtbegrenzing worden voorzien. Aldus wordt voorkomen dat er (aanzienlijke) schade ontstaat in het geval van het bijvoorbeeld foutieve toevoer van te bewerken onderdelen, foutieve onderdelen of anderszins voor het toevoeren belemmerende zaken. Nog een voordeel van de krachtbegrenzing is dat dit leidt tot een 30 verhoogde veiligheid van de operators; ook deze maatregel leidt tot verbeterde arbeidsomstandigheden.

Verder is het voordelig indien de positionering van productafhankelijke instellingen bijvoorbeeld onder tussenkomst van snelkoppelingen slechts mogelijk is in 5 voorkeurposities. Aldus is de kans op fouten bijvoorbeeld door verkeerde afstelling beperkt en kan er snel worden gewerkt.

Voor het nog verder beperken van de geluidsdruk is het voordelig indien de persdelen 5 op elkaar aansluiten onder tussenkomst van een veerkrachtig materiaal deel. Een dergelijke aansluiting wordt dan overigens wel in samenwerking met een vormvaste (nauwkeurig gedimensioneerde) aanslag die de eindmaat bepaald; het veerkrachtig materiaaldeel draagt dan zorg voor demping terwijl er toch een nauwkeurig eindmaat is bepaald.

10

De onderhavige uitvinding verschaft tevens een persinrichting voor het mechanisch bewerken van halfgeleider producten omvattende: een gestel, ten minste twee onderlinge lineair in het gestel verplaatsbare persdelen, een met het gestel samengebouwde roterende aandrijving, en een de aandrijving en ten minste één van de 15 persdelen verbindende overbrenging voor het omzetten van de roterende aandrijfbeweging in een lineaire beweging, waarbij de roterende aandrijving is voorzien van een besturing waardoor de rotatiesnelheid tijdens het aandrijven variabel is. Met een dergelijke inrichting kunnen de voordelen worden gerealiseerd zoals bovengaand reeds aangegeven, in het bijzonder kan een dergelijke inrichting relatief stil functioneren en 20 zal er minder mechanische slijtage plaatsvinden aan de specifieke bewegende delen van de inrichting.

In een voorkeursvariant omvat de inrichting tevens: een houder voor het opvangen van afval van de halfgeleider producten en detectiemiddelen voor het waarnemen van ten 25 minste één vulniveau van de afvalhouder. Dergelijke afvalhouders zijn doorgaans losneembaar om ze eenvoudig te kunnen legen. Door de detectie van de vulgraad kan worden voorkomen dat een houder zodanig gevuld raakt dat deze te zwaar wordt om (handmatig) te legen of dat deze zodanig vol raakt dat dit een goede werking van de pers gaat belemmeren. Naast het voordeel dat hierdoor de kans op te laat legen kan 30 worden verkleind is het ook mogelijke het maximale gewicht van een door een operator uit te nemen houder te beheersen. Ook deze maatregel leidt daarom tot verbeterde arbeidsomstandigheden.

6

In een voorkeursuitvoering omvatten de detectiemiddelen voor het waarnemen van ten minste één vulniveau van de afvalhouder een gewichtsdetector voor de houder. De kan voordelig zijn samengebouwd met het gestel van de pers. Omdat het afval stoffige is bijvoorbeeld visuele detectie moeilijk. Ook is het zo dat juist een overmatig gewicht een 5 factor is die de arbeidsomstandigheden negatief kan beïnvloeden wordt zo juist de waarde gemeten die van belang is. Door de detector samen te bouwen met het gestel kan een uitwisselbare houder eenvoudig zijn uitgevoerd en neemt de betrouwbaarheid van de inrichting toe.

10 In weer een andere voordelige uitvoeringsvariant is ten minste een de van persdelen onder tussenkomst van detectiesysteem met terugkoppeling naar de roterende aandrijving beveiligd. Een dergelijke detectie kan plaatsvinden onder tussenkomst van detectiepennen (“safety pins”). Voor de duidelijkheid wordt hier nogmaals gesteld dat onder het begrip “persdeel” wordt begrepen het niet uitwisselbare machinedeel in 15 combinatie met een uitwisselbaar daarmee verbonden gereedschapsdeel. Door de beveiliging wordt de kans beschadiging van de persdelen verder verkleind.

Ook voordelig is het indien de inrichting is voorzien van een op de persdelen aansluitende toevoer voor te bewerken halfgeleider producten, welke toevoer onder 20 tussenkomst van een krachtbegrenzing is aangedreven. Deze toevoer kan meerdere bewegingscomponenten bevatten die afzonderlijk zijn begrensd. Denk hierbij bijvoorbeeld aan een horizontale en een verticale bewegingscomponent van een “haasvormige” toevoerbeweging. Zoals reeds bovengaand aangegeven leidt een dergelijke begrenzing tot een verminderde kans op beschadiging van de inrichting (en de 25 producten) en geeft dit tevens het voordeel van een grotere veiligheid voor de operator.

In weer een andere voorkeursuitvoering is de inrichting is voorzien van ten minste één snelkoppeling voor het verplaatsen van een productafhankelijke instelbaar onderdeel van de inrichting. Op een vergelijkbare wijze is het voordelig indien de inrichting is 30 voorzien van ten minste één snelkoppeling voor het uitwisselen van een productafhankelijke onderdeel van de inrichting. Deze maatregelen vereenvoudigen een omstelling van de inrichting hetgeen zowel tot tijdwinst kan leiden als hetgeen voordelig is voor de arbeidsomstandigheden. Nog een voordeel is dat de betrouwbaarheid van juist instellingen hiermee toeneemt zonder daarbij in aanzienlijk 7 mate afhankelijk te zijn van de deskundigheid en vaardigheid van de betreffende operators.

Nog een andere voorkeursvariant van de pers is gekenmerkt doordat ten minste één van 5 de persdelen is voorzien van een naar een ander persdeel gekeerde zijde gelegen aanslag welke aanslag aan de contactzijde is voorzien van een veerkrachtig materiaaldeel. Dit veerkrachtig materiaaldeel is daarbij wenselijk in een vormvaste uitsparing geplaatst en bestaat verder uit een vol materiaaldeel dat aan de op het vormvaste materiaaldeel grenzende zijden is voorzien van tot onder het vormvaste materiaaldeel afgeschuinde 10 zijden. Aldus ontbreekt de volgens de stand der techniek gebruikelijke centrale opening in het veerkrachtige materiaaldeel. De rand(en) van het veerkrachtig materiaaldeel bieden in deze constructie nog enige ruimte voor het vervormen van het veerkrachtig materiaaldeel in de door het vormvaste materiaaldeel vrijgelaten ruimte.. Het veerkrachtig materiaaldeel is bij voorkeur echter zo groot dat het niet volledig tot in de 15 door het vormvaste materiaaldeel vrijgelaten ruimte worden gedrongen. Aldus wordt voorkomen dat het vormvaste materiaal op enig moment de eindmaat van de aanslag bepaald, door een nauwkeurige beheersing van de vorm en het volume van het veerkrachtige materiaaldeel. Naast het aldus verminderen van de geluidsdruk heeft een veerkrachtig materiaaldeel zonder centrale opening het voordeel dat een dergelijk 20 veerkrachtig materiaaldeel een langere levensduur heeft dan de materiaaldelen met een centrale opening.

De onderhavige uitvinding zal verder worden verduidelijkt aan de hand van de in navolgende figuren weergegeven niet-limitatieve uitvoeringsvoorbeelden. Hierin toont: 25 figuur 1 een perspectivisch aanzicht op een inrichting overeenkomstig de uitvinding, figuren 2A en 2B perspectivische aanzichten op onderdelen van de inrichting zoals getoond in figuur 1, in het bijzonder onderdelen in verband met de aandrijving van de inrichting, figuren 3 A en 3 B perspectivische aanzichten op onderdelen van de inrichting zoals 30 getoond in figuur 1, in het bijzonder onderdelen voor het verwijderen van afVal, en figuren 4A en 4B een perspectivisch aanzicht op een veerkrachtig aanslagdeel volgens de stand der techniek voorzien van een centrale opening dat in een vormvaste uitsparing is geplaatst en een veerkrachtig aanslagdeel volgens de uitvinding.

8

Figuur 1 toont een perspectivisch aanzicht op een persinrichting 1 voor het mechanisch bewerken van halfgeleider producten voorzien van een toevoerbaan 2 waarlang de te bewerken producten worden aangevoerd en een afvoerbaan 3 waarlangs de bewerkte, doorgaans opgedeelde, producten worden afgevoerd. De afvoerbaan 3 is voorzien van 5 een snelsluiting 4 waarmee met een enkele handeling toegang kan worden verkregen tot de afvoerbaan 3 om bijvoorbeeld een vastgelopen product te verwijderen of terug in het gelid te plaatsen. Met de snelsluiting 4 kan de afvoerbaan 3 vervolgens weer met een eenvoudige handeling worden teruggebracht is een afgeschermde toestand. Verder toont figuur 1 een elektromotor 5 die is verbonden met één van de persdelen 6, 7; een en 10 ander zal navolgend aan de hand van de figuren 2A en 2B meer in detail worden uitgeduid. Aan de persdelen 6, 7 kunnen verschillende, hier niet getoonde, bewerkingselementen worden gekoppeld; in het bijzonder wordt de inrichting 1 gebmikt in combinatie met een stans (“punch”) en stansplaat. De aandrijving 5 is zichtbaar omdat een deur 8 in een geopende stand is weergegeven. Daardoor is in de 15 figuur 1 ook de afvalcontainer 9, welke is voorzien van een handvat 10, zichtbaar. Bij bijvoorbeeld het stansen en verenkelen van producten kan afval naar de container 9 worden afgevoerd. Zodra deze is gevuld dient een operator de deur 8 te openen en de container 8 te vervangen of te legen. Dit zal verder worden verduidelijkt aan de hand van de figuren 3A en 3B. De persdelen 6, 7 zijn van de buitenwereld afgeschermd door 20 middel van een kap 11, bij opening waarvan een sensor wordt geactiveerd die de werking van de inrichting 1 stopt. De deur 8 en alle overige onderdelen zijn samengebouwd mat een gestel 12.

Figuur 2A toont een perspectivisch aanzicht op een uit het gestel 12 losgenomen deel 25 van de aandrijving en persdelen 6, 7 zoals deze onderdeel uitmaken van de inrichting 1 getoond in figuur 1. De elektromotor 5 is onder tussenkomst van een drijffol 26 en een drijfriem 20 gekoppeld met een drijfwiel 21 dat onder tussenkomst van, zie hiertoe figuur 2B, excenters 22 de verticale verplaatsing van het bovenste persdeel 7 aandrijft. De koppeling van de excenters 22 met het persdeel 7 kan worden beveiligd door een, 30 hier eveneens niet getoond, detectiesysteem waardoor kan worden ingegrepen op de elektromotor 5. Met een tweede aandrijving 27 wordt onder tussenkomst van een drijfriem 28 ten minste één mechanisme dat cam 24 volgt met een krachtbegrensde koppeling een, hier niet in detail getoond, toevoerelement intermitterend kan worden bewogen. Zo’n koppeling kan bijvoorbeeld magnetisch zijn uitgevoerd zodanig dat bij 9 het overschrijden van een bepaalde belasting de magneetkoppeling loskomt. Voor het herstellen van de koppeling behoeven dan slechts de onderdelen weer bij elkaar te worden gebracht. Een andere mogelijkheid is een verbindingspen met een bepaalde voorspanning in een koppelende positie te houden. Als de voorspanning op de pen 5 wordt overschreden door een belasting wordt de pen uit de koppelende positie gedrukt en is aldus de aandrijving ontkoppeld van het persdeel 7. Overigens is een krachtbegrensde aandrijving ook toepasbaar voor andere gedwongen bewegingen in de inrichting 1. In de figuur 2A is verder schematisch ook de besturing 25 van de elektromotoren 5 en 27 weergegeven waarmee ondermeer de niet-eenparige rotatie van 10 de motor 5 kan worden aangestuurd overeenkomstig de onderhavige uitvinding.

Figuur 3 A toont een perspectivisch aanzicht op de afvalcontainer 9 met handvat 10 die steunt op een weegstrip 30. Zoals ook figuur 3B toont is de weegstrip 30 samengebouwd met het gestel 12 van de inrichting 1 waarmee het gewicht van de 15 container 9 met inhoud kan worden bewaakt. Naar believen kan er in de container een onderdruk worden opgewekt door op een met de container 30 verbonden overloop 31 een afzuiging aan te sluiten. Afhankelijk van omstandigheden zoals de gevoeligheid van de te verwerken producten, de hoeveelheid en het type van de vrijkomende kleine deeltjes, de lokaal geldende normen en zo voorts, kan er ook voor worden gekozen de 20 overloop 31 vrij te laten communiceren met de omgeving.

Figuur 4A toont een eerste aanslag 40 volgens de stand der techniek die wordt gevormd door een vormvaste basis 41 met een nauwkeurig op maat geslepen contactzijde 42. Door de vormvaste basis 41 wordt een veerkrachtig materiaaldeel 43 gehouden op 25 zodanig wijze dat dit tot boven de contactzijde 42 uitkraagt. In het veerkrachtig materiaaldeel 43 is een centrale uitsparing 44 voorzien. Bij het met een overliggende tweede aanslag 45 in contact komen van de eerste aanslag 41 is het mede vanwege de centrale opening 44 in het veerkrachtig materiaaldeel 43 mogelijk dat het veerkrachtig materiaaldeel 43 zover wordt ingedrukt dat de tweede aanslag 45 in contact komt met 30 de op maat geslepen contactzijde 42; de aanslagmaat is aldus nauwkeurig bepaald. Een nadeel van de centrale opening 44 in het veerkrachtig materiaaldeel 43 is dat deze de levenduur en de vervormbaarheid van het veerkrachtig materiaaldeel 43 beperkt, maar belangrijker dat deze aanslag 40 bijdraagt in de geluidsproductie van een persinrichting.

10

De aanslag zoals in dwarsdoorsnede weergegeven in figuur 4B toont een vol veerkrachtig materiaaldeel 46 waarvan de op een vormvast aanslagdeel 47 grenzende zijden 48 zijn afschuind zodanig dat zij tot onder de meest uitkragende zijden 49 van het vormvaste materiaaldeel 47 reiken. Een centraal deel 50 van de contactzijde van het 5 veerkrachtige materiaaldeel 46 kraagt echter meer uit dan de meest uitkragende zijden 49 van het vormvaste materiaaldeel 47. Voordeel van de aanslag 51 zoals getoond in figuur 4B is dat hiermee het geluid van het sluiten van de persdelen kan worden gereduceerd zonder in te boeten in aanslagnauwkeurigheid. Voorwaarde daarbij is echter wel dat het volume van het veerkrachtige materiaaldeel 46 zo wordt gekozen dat 10 dit nooit volledig in het vormvaste materiaaldeel 47 kan worden gedrongen en de eindmaat wordt bepaald door het vormvaste materiaaldeel 47; de aanslag wordt immer gevormd door het veerkrachtige materiaaldeel 46. Uiteraard vormt daarbij de vormnauwkeurigheid van het veerkrachtige materiaaldeel 46 een kritische maat.

Claims (21)

1. Werkwijze voor het in een pers mechanisch bewerken van halfgeleider producten waarbij de onderlinge verplaatsing van de afzonderlijke persdelen tijdens het 5 uitvoeren van een mechanische bewerking wordt aangedreven door een roterende beweging waarvan de verhouding van de afgelegde weg tot de tijdsduur van de beweging varieert in de tijd.

2. Werkwijze volgens conclusie 1, met het kenmerk dat de gemiddelde snelheid 10 van opeenvolgende bewerkingen gelijk is.

3. Werkwijze volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk dat de roterende beweging binnen een enkele bewerkingscyclus zowel wordt vertraagd als versneld.

4. Werkwijze volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk dat de afzonderlijke persdelen ten opzichte van elkaar in hoofdzaak lineair verplaatst worden, welke relatieve lineaire verplaatsing wordt geïnitieerd door de niet-eenparig roterende beweging.

5. Werkwijze volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk dat de aandrijvende roterende beweging bij het tot op de kortste afstand benaderen van de afzonderlijke persdelen wordt vertraagd.

6. Werkwijze volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk dat tijdens 25 het uitvoeren van de mechanisch bewerking van halfgeleider producten afval ontstaat dat wordt opgevangen in een houder, waarbij overschrijding van ten minste één vulnivcau van de houder automatisch wordt bewaakt.

7. Werkwijze volgens conclusie 6, met het kenmerk dat het vulniveau van de 30 houder wordt bewaakt door gewichtsbepaling van de houder met inhoud.

8. Werkwijze volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk dat de kracht van de naar elkaar toe gerichte beweging van de persdelen door middel van een detectiesysteem wordt bewaakt.

9. Werkwijze volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk dat de te bewerken halfgeleider producten mechanisch aan de pers worden toegevoerd op zodanige wijze dat de toevoer van de producten door middel van een krachtbegrenzing 5 in ten minste één richting wordt gelimiteerd.

10. Werkwijze volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk dat de positionering van productafhankelijke instellingen slechts mogelijk is in voorkeurposities. 10

11. Werkwijze volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk dat de persdelen op elkaar aansluiten onder tussenkomst van een veerkrachtig materiaaldeel.

12. Pers inrichting voor het mechanisch bewerken van halfgeleider producten 15 omvattende: - een gestel, - ten minste twee onderlinge lineair in het gestel verplaatsbare persdelen, - een met het gestel samengebouwde roterende aandrijving, en - een de aandrijving en ten minste één van de persdelen verbindende overbrenging voor 20 het omzetten van de roterende aandrijfbeweging in een lineaire beweging, met het kenmerk dat de roterende aandrijving is voorzien van een besturing waardoor de rotatiesnelheid tijdens het aandrijven variabel is.

13. Pers inrichting volgens conclusie 12, met het kenmerk dat de inrichting tevens 25 omvat: een houder voor het opvangen van afval van de halfgeleider producten en detectiemiddelen voor het waarnemen van ten minste één vulniveau van de afvalhouder.

14. Persinrichting volgens conclusie 12, met het kenmerk dat de detectiemiddelen voor het waarnemen van ten minste één vulniveau van de afvalhouder een 30 gewichtsdetector voor de houder omvatten.

15. Persinrichting volgens conclusie 13 of 14, met het kenmerk dat de detectiemiddelen zijn samengebouwd met het gestel van de pers.

16. Persinrichting volgens een der conclusies 12-15, met het kenmerk dat de inrichting is voorzien van een detectiesysteem waardoor kan worden ingegrepen op de de aandrijving van ten minste een de van persdelen.

17. Persinrichting volgens een der conclusies 12-16, met het kenmerk dat de inrichting is voorzien van een op de persdelen aansluitende toevoer voor te bewerken halfgeleider producten, welke toevoer onder tussenkomst van een krachtbegrenzing is aangedreven.

18. Persinrichting volgens een der conclusies 12 - 17, met het kenmerk dat de inrichting is voorzien van ten minste één snelkoppeling voor het verplaatsen van een productafhankelijke instelbaar onderdeel van de inrichting.

19. Persinrichting volgens een der conclusies 12 - 18, met het kenmerk dat de 15 inrichting is voorzien van ten minste één snelkoppeling voor het uitwisselen van een productafhankelijke onderdeel van de inrichting.

20. Persinrichting volgens een der conclusies 12 - 19, met het kenmerk dat ten minste één van de persdelen is voorzien van een naar een ander persdeel gekeerde zijde 20 gelegen aanslag welke aanslag aan de contactzijde is voorzien van een veerkrachtig materiaal deel.

21. Persinrichting volgens conclusies 20, met het kenmerk dat het veerkrachtig materiaaldeel is een vormvaste uitsparing is geplaatst, uit een vol materiaaldeel bestaat 25 dat aan de op het vormvaste materiaaldeel grenzende zijden is voorzien van tot onder het vormvaste materiaaldeel afgeschuinde zijden.