NL7900298A - Mengsel voor het polijsten van silicium en germanium, werkwijze voor het polijsten van een oppervlak van silicium of germanium en voorwerp met een oppervlak van silicium of germanium, gepolijst met die werkwijze. - Google Patents

Mengsel voor het polijsten van silicium en germanium, werkwijze voor het polijsten van een oppervlak van silicium of germanium en voorwerp met een oppervlak van silicium of germanium, gepolijst met die werkwijze.

Info

Publication number
NL7900298A
NL7900298A NL7900298A NL7900298A NL7900298A NL 7900298 A NL7900298 A NL 7900298A NL 7900298 A NL7900298 A NL 7900298A NL 7900298 A NL7900298 A NL 7900298A NL 7900298 A NL7900298 A NL 7900298A
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
germanium
silicon
polishing
polished
procedure
Prior art date
Application number
NL7900298A
Other languages
English (en)
Dutch (nl)
Original Assignee
Grace W R & Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Grace W R & Co filed Critical Grace W R & Co
Publication of NL7900298A publication Critical patent/NL7900298A/xx

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P52/00—Grinding, lapping or polishing of wafers, substrates or parts of devices
    • H10P52/40—Chemomechanical polishing [CMP]
    • H10P52/402—Chemomechanical polishing [CMP] of semiconductor materials
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
    • C09K3/00—Materials not provided for elsewhere
    • C09K3/14—Anti-slip materials; Abrasives
    • C09K3/1454—Abrasive powders, suspensions and pastes for polishing
    • C09K3/1463—Aqueous liquid suspensions

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
NL7900298A 1978-01-16 1979-01-15 Mengsel voor het polijsten van silicium en germanium, werkwijze voor het polijsten van een oppervlak van silicium of germanium en voorwerp met een oppervlak van silicium of germanium, gepolijst met die werkwijze. NL7900298A (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US05/869,402 US4260396A (en) 1978-01-16 1978-01-16 Compositions for polishing silicon and germanium

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL7900298A true NL7900298A (nl) 1979-07-18

Family

ID=25353488

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL7900298A NL7900298A (nl) 1978-01-16 1979-01-15 Mengsel voor het polijsten van silicium en germanium, werkwijze voor het polijsten van een oppervlak van silicium of germanium en voorwerp met een oppervlak van silicium of germanium, gepolijst met die werkwijze.

Country Status (9)

Country Link
US (1) US4260396A (mo)
JP (1) JPS54128890A (mo)
BE (1) BE873482A (mo)
DE (1) DE2901401A1 (mo)
DK (1) DK15979A (mo)
FR (1) FR2414387A1 (mo)
GB (1) GB2013234B (mo)
IT (1) IT1110025B (mo)
NL (1) NL7900298A (mo)

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4474824A (en) 1978-05-24 1984-10-02 W. R. Grace & Co. Methods of preparing hydrous silica gels
US4792414A (en) * 1981-04-20 1988-12-20 Alcon Laboratories, Inc. Cleaning agent for optical surfaces
US5037484A (en) * 1981-04-20 1991-08-06 Alcon Laboratories, Inc. Cleaning agent for optical surfaces
US4493783A (en) * 1981-04-20 1985-01-15 Alcon Laboratories, Inc. Cleaning agent for optical surfaces
US4670060A (en) * 1981-04-20 1987-06-02 Alcon Laboratories, Inc. Cleaning agent for optical surfaces
JPS5935429A (ja) * 1982-08-12 1984-02-27 インタ−ナシヨナル　ビジネス　マシ−ンズ　コ−ポレ−シヨン 半導体ウエハの製造方法
DE3236180A1 (de) * 1982-09-30 1984-04-05 Akzo Gmbh, 5600 Wuppertal Mit tensid beladene kieselsaeure, verfahren zu deren herstellung und deren verwendung
JPS61136909A (ja) * 1984-12-04 1986-06-24 Mitsubishi Chem Ind Ltd 無水ケイ酸の水分散液組成物
US4752628A (en) * 1987-05-15 1988-06-21 Nalco Chemical Company Concentrated lapping slurries
EP0322721B1 (en) * 1987-12-29 1993-10-06 E.I. Du Pont De Nemours And Company Fine polishing composition for wafers
EP0371147B1 (en) * 1988-06-03 1993-05-19 Monsanto Japan Limited Abrasive composition for silicon wafer
US4867757A (en) * 1988-09-09 1989-09-19 Nalco Chemical Company Lapping slurry compositions with improved lap rate
FR2638756B1 (fr) * 1988-11-08 1992-04-24 Rhone Poulenc Chimie Suspension aqueuse stable de silice de precipitation
US5234493A (en) * 1988-11-08 1993-08-10 Rhone-Poulenc Chimie Stable, pumpable aqueous suspensions of precipitated silica particulates
US5352277A (en) * 1988-12-12 1994-10-04 E. I. Du Pont De Nemours & Company Final polishing composition
JP2714411B2 (ja) * 1988-12-12 1998-02-16 イー・アイ・デュポン・ドゥ・ヌムール・アンド・カンパニー ウェハーのファイン研摩用組成物
JPH0445231U (mo) * 1990-08-20 1992-04-16
CA2126137A1 (en) * 1993-06-23 1994-12-24 Robert Anthony Labrash Low misting sprayable dispersion of colloidal silica with xanthan gum
US5709593A (en) * 1995-10-27 1998-01-20 Applied Materials, Inc. Apparatus and method for distribution of slurry in a chemical mechanical polishing system
US5645736A (en) * 1995-12-29 1997-07-08 Symbios Logic Inc. Method for polishing a wafer
KR970042941A (ko) * 1995-12-29 1997-07-26 베일리 웨인 피 기계적 화학적 폴리싱 공정을 위한 폴리싱 합성물
WO1998047976A1 (de) * 1997-04-17 1998-10-29 Merck Patent Gmbh Pufferlösungen für suspensionen, verwendbar zum chemisch-mechanischen polieren
JPH10309660A (ja) * 1997-05-07 1998-11-24 Tokuyama Corp 仕上げ研磨剤
TW419518B (en) * 1998-02-20 2001-01-21 Ind Tech Res Inst Non-Newtonian-fluid-behaviored formulation
JP5017574B2 (ja) * 2001-05-25 2012-09-05 エア プロダクツ アンド ケミカルズ インコーポレイテッド 酸化セリウム研磨剤及び基板の製造方法
US6685540B2 (en) 2001-11-27 2004-02-03 Cabot Microelectronics Corporation Polishing pad comprising particles with a solid core and polymeric shell
US7405098B2 (en) * 2005-02-28 2008-07-29 Sharp Laboratories Of America, Inc. Smooth surface liquid phase epitaxial germanium
US20210332264A1 (en) * 2020-04-23 2021-10-28 Fujimi Corporation Novel polishing vehicles and compositions with tunable viscosity
CN115466573B (zh) * 2022-09-05 2024-02-20 广州飞雪芯材有限公司 一种用于单晶硅晶圆片的抛光液及其应用

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2765223A (en) * 1952-08-05 1956-10-02 Lea Mfg Company Buffing compositions
US3170273A (en) * 1963-01-10 1965-02-23 Monsanto Co Process for polishing semiconductor materials
US3275460A (en) * 1964-11-23 1966-09-27 Foseco Int Mold dressings for use in foundry practice
US3428464A (en) * 1965-02-02 1969-02-18 Alchem Ltd Refractory coating compositions
US3462251A (en) * 1965-10-08 1969-08-19 Ford Motor Co Aqueous based lapping composition
US3328141A (en) * 1966-02-28 1967-06-27 Tizon Chemical Corp Process for polishing crystalline silicon
US3429080A (en) * 1966-05-02 1969-02-25 Tizon Chem Corp Composition for polishing crystalline silicon and germanium and process
US3455705A (en) * 1968-03-07 1969-07-15 Du Pont Silicious compositions for coating heat sensitive surfaces
US3619962A (en) * 1969-09-25 1971-11-16 Gordon C Combe Metal cleaner
US3715842A (en) * 1970-07-02 1973-02-13 Tizon Chem Corp Silica polishing compositions having a reduced tendency to scratch silicon and germanium surfaces
US3817727A (en) * 1972-03-17 1974-06-18 Union Carbide Corp Abrasive polishing suspensions and method for making same
US3821008A (en) * 1972-03-20 1974-06-28 Gen Mills Chem Inc Suspending agent for refractory paints
DE2248719A1 (de) * 1972-10-04 1974-04-11 Alexandr Serafimowits Artjomow Poliermittel fuer oberflaechen von festen koerpern
GB1471278A (en) * 1973-07-06 1977-04-21 Colgate Palmolive Co Liquid abrasive compositions
US4038048A (en) * 1975-02-14 1977-07-26 Thrower Jr Herbert T Lapping composition containing a carboxy vinyl polymer
US4057939A (en) * 1975-12-05 1977-11-15 International Business Machines Corporation Silicon wafer polishing

Also Published As

Publication number Publication date
FR2414387A1 (fr) 1979-08-10
IT7919307A0 (it) 1979-01-15
DE2901401A1 (de) 1979-07-19
IT1110025B (it) 1985-12-23
GB2013234B (en) 1982-09-02
GB2013234A (en) 1979-08-08
JPS54128890A (en) 1979-10-05
DK15979A (da) 1979-07-17
JPS6114655B2 (mo) 1986-04-19
BE873482A (fr) 1979-05-02
US4260396A (en) 1981-04-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL7900298A (nl) Mengsel voor het polijsten van silicium en germanium, werkwijze voor het polijsten van een oppervlak van silicium of germanium en voorwerp met een oppervlak van silicium of germanium, gepolijst met die werkwijze.
NL7807260A (nl) Werkwijze voor de bereiding van polyester-aminoal- kylalkoxysilanen, alsmede hun toepassing voor de be- handeling van silicium bevattende materialen.
NL183091C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een slijplichaam.
NL7704116A (nl) Werkwijze voor de vervaardiging van een slijplichaam.
NL7700939A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een schuim- stoflichaam voor reinigen, schuren en/of po- lijsten.
NL7707999A (nl) Werkwijze voor het selectief bereiden van p.dial- kylbenzenen.
NL7901073A (nl) Werkwijze voor de winning van ethyleenoxyde.
NL175144B (nl) Inrichting voor het aanbrengen van bekledingsmateriaal op de omtrek van ronde voorwerpen.
NL7714199A (nl) Werkwijze voor de bereiding van chiraal gesub- stitueerde 2-imidazolin-5-onen.
NL7903117A (nl) Werkwijze voor de bereiding van aminen.
NL187624B (nl) Werkwijze voor de bereiding van onverzadigde koolwaterstoffen.
NL7804064A (nl) Werkwijze voor het zuiveren van silicium.
NL7904386A (nl) Werkwijze voor het polymeriseren van olefinen.
NL7705266A (nl) Werkwijze en inrichting voor de vervaardiging van samengestelde oppervlakte-elementen.
ATE6837T1 (de) Endbearbeitungswerkzeug.
NL186082B (nl) Werkwijze voor het vergroten van de reaktiviteit van perfluorhalogeenalkanen.
NL185502B (nl) Inrichting voor het slijpen van scharen.
NL7702828A (nl) Inrichting voor de mechanische oppervlak- behandeling van rijbaanoppervlakken.
NL7701998A (nl) Werkwijze voor het selectief groeien van microkristallijn silicium.
NL7701745A (nl) Inrichting voor het uitvoeren van een schuurbe- handeling op het buitenoppervlak van buisvormige vezelpijpisolatieprodukten.
NL7807046A (nl) Werkwijze voor de bereiding van diaminen.
NL7707626A (nl) Werkwijze voor het slijpen van diamanten en inrichting voor toepassing van deze werkwijze.
NL7902915A (nl) Werkwijze voor de bereiding van ketazine.
NL7901052A (nl) Werkwijze voor het opwerken van een koolwaterstof- mengsel.
NL7601491A (nl) Werkwijze voor de vervaardiging van opgeschuim- de oppervlaktebedekkingsmaterialen.

Legal Events

Date Code Title Description
BV The patent application has lapsed