NO852469L - Justeringsinnretning for et reflektorspeil hos en laserresonator. - Google Patents

Justeringsinnretning for et reflektorspeil hos en laserresonator.

Info

Publication number
NO852469L
NO852469L NO852469A NO852469A NO852469L NO 852469 L NO852469 L NO 852469L NO 852469 A NO852469 A NO 852469A NO 852469 A NO852469 A NO 852469A NO 852469 L NO852469 L NO 852469L
Authority
NO
Norway
Prior art keywords
carrier part
adjustment device
adjustment
head
internal
Prior art date
Application number
NO852469A
Other languages
English (en)
Inventor
Willibald Dost
Hans Kreutzer
Original Assignee
Siemens Ag
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens Ag filed Critical Siemens Ag
Publication of NO852469L publication Critical patent/NO852469L/no

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/05Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
    • H01S3/08Construction or shape of optical resonators or components thereof
    • H01S3/086One or more reflectors having variable properties or positions for initial adjustment of the resonator
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/18Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
    • G02B7/182Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
    • G02B7/1822Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors comprising means for aligning the optical axis
    • G02B7/1824Manual alignment
    • G02B7/1825Manual alignment made by screws, e.g. for laser mirrors

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Lasers (AREA)

Description

Oppfinnelsen angår en justeringsinnretning for et reflektorspeil hos en laserresonator hvor reflektorspeilet opptas i et justerhode som er utformet i ett stykke med en bæredel, samtidig som bæredelen er utformet med en fluktende gjennomgangsåpning, der mellom bæredel og justerhode er anordnet en radialt rettet, omløpende, utvendig innskjæring mellom bæredelen og justerhodet, og justerhodet kan vippes i forhold til bæredelen ved hjelp av justerskruer som er anordnet på
det ved hjørnene av en trekant og virker mot den overforliggende flate på bæredelen.
Ved lasere må resonatorens optiske reversjonselementer kunne innjusteres mest mulig nøyaktig parallelt med hverandre med enkle midler. I den forbindelse bør den en gang innstilte justering være mest mulig temperaturstabil. For justering av reflektorspeil ved laserresonatorer er der blitt kjent forskjellige justeringsinnretninger. Ofte anvender man til formålet innloddede eller innsveisede metallbelger. Disse kan imidlertid medføre tetningsproblemer. Dessuten kan der på grunn av relativt stor mykhet og relativt liten sidestabilitet av slike belger opptre stabilitetsproblemer.
Fra DE-OS 31 30 420 er der kjent en justeringsinnretning av den innledningsvis nevnte art, hvor justerhodet og bæredelen er utført i ett stykke og der mellom bæredelen og justerhodet er utformet en radialt rettet, omløpende, utvendig innskjæring. Justering av et reflektorspeil i stilling parallelt med det annet reflektorspeil skjer i den forbindelse ved hjelp av justerskruer som sitter i justerhodet og virker mot den overforliggende flate på bæredelen, og ved hvis hjelp justerhodet kan vippes i forhold til bæredelen på grunn av den radiale utvendige innskjæring. Slike justeringsinnretninger har enkel og stabil oppbygning. En stor stabilitet av en justeringsinnretning som er forsynt med en utvendig radial innskjæring, kan imidlertid føre til at der under justeringen opptrer for store mekaniske spenninger i området for innskjæringen. Disse spenninger kan i tilfellet av en temperaturendring føre til en endring av den opprinnelig innjusterte stilling.
Til grunn for oppfinnelsen ligger derfor den oppgave
å utforme en justeringsinnretning av den innledningsvis nevnte art slik at den til tross for den nødvendige stabilitet opp-viser en tilstrekkelig aksial elastisitet og en høy temperatur-fasthet.
Denne oppgave blir ved en justeringsinnretning av den innledningsvis nevnte art ifølge oppfinnelsen løst ved at
både bæredelen og justerhodet i området for de flater som vender mot den utvendige innskjæring, er utformet med hver sin innvendige, radialtrettede og omløpende innskjæring,
og at de innvendige innskjæringer er skilt fra den mellomliggende utvendige innskjæring ved en tynn, skiveformet vegg.
Ved justeringsinnretningen ifølge oppfinnelsen finnes
der således foruten den utvendige, radiale innskjæring også
to innvendige, radiale innskjæringer, så justeringsinnret-ningens bæredel og justerhode får et H-lignende innskjærings-system. Samtidig virker de vegger som skiller de innvendige innskjæringer fra den utvendige innskjæring, som to skiveformede fjærer med lignende fjærkarakteristikk som tallerkenfjærer. På denne måte oppnår man ved justeringsinnretningen ifølge oppfinnelsen fordelen av en belg, altså den radiale elastisitet, kombinert med større sidestabilitet sammenholdt med en belg. Dessuten gir de tre justerskruer ved justeringsinnretningen ifølge oppfinnelsen de skiveformede fjærer en aksial forspenning. Det fører til at justerhodet trekkes mot bæredelen og det dermed blir forhindret at justeringen går tapt ved temperaturendringer, eller at der inntrer prelling i tilfellet av rystninger. Justeringsinnretningen ifølge oppfinnelsen har derfor også stor temperaturstabilitet. Slutte-lig oppnås sammenholdt med justeringsinnretninger med belger fordelen av absolutt tetthet, da justerhodet inngår som fast bestanddel av bæredelen og der således ikke behøves ekstra sk jøteteknikker.
Gunstige utformninger av gjenstanden for patentkrav
1 er angitt i de uselvstendige krav.
Et utførelseseksempel på en justeringsinnretning ifølge oppfinnelsen vil i det følgende bli beskrevet nærmere under henvisning til tegningen.
Fig. 1 viser justeringsinnretningen i snitt etter linjen I-l på fig. 2, og fig. 2 viser justeringsinnretningen fra forsiden.
Justeringsinnretningen for et reflektorspeil, f.eks.
et utkoblingsvindu 8 som skal innjusteres parallelt med et ikke vist annet reflektorspei1 hos en laserresonator, består av en bæredel 9 av vilkårlig form, f.eks. en skiveformet kapseldel eller en rørformet resonatorbærer hos laseren,
samt et justerhode 7 som er utformet i ett stykke med bæredelen og anordnet på forsiden av den, og som her er utformet som stort sett trekantet plate med avrundede hjørner. Justerhodet 7 opptar reflektorspeilet 8 og holder det på ikke nærmere vist i og for seg kjent måte. Bæredel og justerhode har en fluktende gjennomgangsåpning 4 for laserstrålen. Mellom den frie endeflate av bæredelen 9 og justerhodet 7 er der utformet en radialt rettet, omløpende, utvendig innskjæring 3, så justerhodet ved hjelp av justerskruer 10 som er utformet på i og for seg kjent måte (DE-OS 31 30 420) og sammen med tilhørende kuler 11 er anordnet i hjørnene av en trekant og virker mot forsiden av bæredelen, kan vippes med sin lengdeakse i forhold til bæredelen resp. til dennes lengdeakse.
Både bæredelen 9 og justerhodet 7, spesielt deres gjennomgangsåpning 4, er i området for de endeflater som grenser til og er tilveiebragt av den ytre innskjæring 3, utformet med hver sin innvendige, radialt rettede og omløpende innskjæring 1 resp. 2 som strekker seg sirkelformig rundt bæredelens resp. justerhodets lengdeakse, og som er skilt fra den mellomliggende utvendige innskjæring 3 ved en og en skiveformet vegg 5 resp. 6. Disse vegger danner således takket være de innvendige innskjæringer 1 og 2, den utvendige innskjæring 3 og gjennomgangsåpningen 4 to innbyrdes forbundne, skiveformede fjærer 5 og 6 som med hensyn til fjærkarakteristikk forholder seg som tallerkenfjærer, og hvorav fjæren 6 er direkte forbundet med resp. inngår i justerhodet 7. Den utvendige innskjæring 3 strekker seg inn mot gjennomgangsåpningen 4 under levning av en vegg 12 av tilsvarende tykkelse som fjærene 5, 6. Der fås på denne måte en H-formig utskåret system. Bredden b av innskjæringene 1, 2 og 3 er den samme, og de innvendige innskjæringer 1, 2 har samme diameter, som omtrent utgjør det dobbelte av diameteren av gjennomgangsåpningen 4.
Forskyvning av justerhodet 7 skjer ved hjelp av de alle-rede nevnte tre skruer 10, som via kulene 11 trykker mot bæredelen 9 og dermed meddeler de skiveformede fjærer 5 og 6 en aksial forspenning. Derved blir justerhodet 7 fjærbelastet mot bæredelen 9. Ved passende forskyvning av skruene 10 er det -mulig å justere reflektorspeilet 8 i justerhodet 7 til en hvilken som helst stilling og med stor nøyaktighet å stille det parallelt med det ikke viste annet speil hos laser-resonatoren.

Claims (5)

1. Justeringsinnretning for et reflektorspeil hos en laserresonator hvor reflektorspeilet opptas i et justerhode som er utformet i ett stykke med en bæredel, samtidig som bæredelen er utformet med en fluktende gjennomgangsåpning, der mellom bæredel og justerhode er anordnet en radialt rettet, omløpende, utvendig innskjæring mellom bæredelen og justerhodet, og justerhodet kan vippes i forhold til bæredelen ved hjelp av justerskruer som er anordnet på det ved hjørnene av en trekant og virker mot den overforliggende flate på bæredelen, karakterisert ved at både bæredelen (9) og justerhodet (7) i området for sine ovenfor hinannen liggende sider som grenser til den utvendige innskjæring (3), er utformet med hver sin innvendige, radialt rettede, omløpende innskjæring (1 resp. 2), og at de innvendige innskjæringer (1, 2) er skilt fra den mellomliggende, utvendige innskjæring (3) ved hver sin tynne, skiveformede vegg (5 resp. 6).
2. Justeringsinnretning som angitt i krav 1, karakterisert ved at den utvendige innskjæring (3) strekker seg inn mot gjennomgangsåpningen (4) under levning av en vegg (12) med tilsvarende tykkelse som de førstnevnte vegger (5,6).
3. Justeringsinnretning som angitt i krav 1 eller 2, karakterisert ved at innskjæringene (1,
2, 3) har samme bredde (b).
4. Justeringsinnretning som angitt i krav 1, 2 eller 3, karakterisert ved at de innvendige innskjæringer (1, 2) har samme diameter.
5. Justeringsinnretning som angitt i et av kravene 1-4, karakterisert ved at diameteren av de innvendige innskjæringer (1, 2) omtrent er lik det dobbelte av gjennomgangsåpningens (4) diameter.
NO852469A 1984-06-25 1985-06-19 Justeringsinnretning for et reflektorspeil hos en laserresonator. NO852469L (no)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3423381 1984-06-25

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NO852469L true NO852469L (no) 1985-12-27

Family

ID=6239094

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NO852469A NO852469L (no) 1984-06-25 1985-06-19 Justeringsinnretning for et reflektorspeil hos en laserresonator.

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4638486A (no)
EP (1) EP0166028A3 (no)
JP (1) JPS6113680A (no)
NO (1) NO852469L (no)

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB8605031D0 (en) * 1986-02-28 1986-04-09 Gec Avionics Fixed prealignment of laser optics
JP2512137Y2 (ja) * 1986-03-28 1996-09-25 日本電気株式会社 ガスレ−ザ発振器
JPS633171U (no) * 1986-06-25 1988-01-11
US4790642A (en) * 1986-12-01 1988-12-13 Gca Corporation/Tropel Division Integrated metrology for microlithographic objective reducing lens
DE3719745A1 (de) * 1987-06-12 1988-12-29 Siemens Ag Gaslaser mit einem gehaeuserohr und einer ueber dieses hinausragenden kapillare
US4946126A (en) * 1988-05-06 1990-08-07 Hughes Aircraft Company Self-locking fasteners and in articles supported thereby
EP0456875A1 (de) * 1990-05-18 1991-11-21 Siemens Aktiengesellschaft Wellenleiterlaser
US5155739A (en) * 1990-10-12 1992-10-13 Coherent, Inc. RF excited CO2 slab waveguide laser
US5400184A (en) * 1992-10-29 1995-03-21 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Kinematic high bandwidth mirror mount
US5596404A (en) * 1994-12-30 1997-01-21 Albion Instruments, Inc. Raman gas analysis system with flexible web and differential thread for precision optical alignment
US5590149A (en) * 1995-09-13 1996-12-31 Spectra-Physics Lasers, Inc. Mirror mount
US5703683A (en) * 1996-05-28 1997-12-30 Ohmeda Inc. Extruded wobble plate optical alignment device
JP3351339B2 (ja) * 1998-03-12 2002-11-25 住友電気工業株式会社 レーザ用曲率可変鏡
US6804284B1 (en) 2000-02-22 2004-10-12 Tuilaser Ag Optical element holding and extraction device
US6603790B1 (en) 2000-02-22 2003-08-05 Hans Kodeda Gas laser and a dedusting unit thereof
US6522679B1 (en) 2000-02-22 2003-02-18 Tuilaser Gas laser discharge unit
US6480517B1 (en) 2000-02-22 2002-11-12 Tuilaser Ag Shadow device for a gas laser
US6493375B1 (en) 2000-02-22 2002-12-10 Tuilaser Ag Adjustable mounting unit for an optical element of a gas laser
US6859482B1 (en) 2000-02-22 2005-02-22 Tuilaser Ag Modular gas laser discharge unit
US6782029B1 (en) 2000-02-22 2004-08-24 Tuilaser Ag Dedusting unit for a laser optical element of a gas laser and method for assembling
DE10061424A1 (de) * 2000-12-09 2002-06-13 Haas Laser Gmbh & Co Kg Laserverstärkersystem
RU2216082C1 (ru) * 2002-02-20 2003-11-10 Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт газоразрядных приборов "Плазма" Газовый лазер
RU2231880C1 (ru) * 2002-11-01 2004-06-27 Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт газоразрядных приборов "Плазма" Газовый лазер
EP1447064B1 (en) * 2003-02-12 2010-06-02 Coherent GmbH Kit-of-parts for surgically ablating eye tissue
DE10314772A1 (de) * 2003-03-31 2004-10-14 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung zum Justieren eines optischen Spiegels
DE102004014815A1 (de) * 2004-03-24 2005-10-06 Taufenbach, Norbert, Dipl.-Ing. Gas-Slablaser
RU2278454C1 (ru) * 2004-12-24 2006-06-20 Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт газоразрядных приборов "Плазма" (ОАО "Плазма") Газовый лазер
US20080177330A1 (en) * 2006-10-24 2008-07-24 Ralph James D Self-locking screws for medical implants
FR2931980A1 (fr) * 2008-05-29 2009-12-04 Denis Dutrop Dispositif d'alarme perimetrique avec reglage fin des elements optiques
DE102010003227A1 (de) 2010-03-24 2011-09-29 Universität Stuttgart Institut für Strahlwerkzeuge Lasersystem
US11670490B2 (en) * 2017-09-29 2023-06-06 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Integrated circuit fabrication system with adjustable gas injector

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3428915A (en) * 1965-02-15 1969-02-18 Raytheon Co Mirror supporting structure for lasers
US3478608A (en) * 1966-06-23 1969-11-18 Electro Optics Associates Aligning and mounting mechanism device
US3783407A (en) * 1972-09-26 1974-01-01 Coherent Radiation Labor Improved laser optical resonator
US3953113A (en) * 1974-11-08 1976-04-27 Liconix Laser mirror mounting device
JPS5380378U (no) * 1976-12-06 1978-07-04
NL7703686A (nl) * 1977-04-05 1978-10-09 Philips Nv Werkwijze voor het justeren van een optisch ele- ment van een gasontladingslaser en gasontladings- laser met een optisch element gejusteerd volgens deze werkwijze.
US4149779A (en) * 1977-11-10 1979-04-17 Xerox Corporation Internal laser mirror alignment fixture
US4448385A (en) * 1981-05-12 1984-05-15 Honeywell Inc. Stable alignment mechanism for laser mirrors
DE3130420C2 (de) * 1981-07-31 1986-12-18 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Justiervorrichtung für ein in einem Träger angeordnetes optisches Element einer optischen Anordnung
US4442524A (en) * 1982-06-03 1984-04-10 Spectra-Physics, Inc. Multiple lever apparatus for positioning an optical element

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6113680A (ja) 1986-01-21
EP0166028A3 (de) 1987-04-22
US4638486A (en) 1987-01-20
EP0166028A2 (de) 1986-01-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4638486A (en) Adjustment device for a reflector mirror of a laser resonator
US4099141A (en) Laser generator
US5530714A (en) External cavity laser
WO1988007276A1 (fr) Dispositif permettant de determiner la longueur d'onde d'un faisceau laser
KR860700296A (ko) 모듈러 안정화 시스템
JP2013161050A (ja) 光学素子ホルダ
US4037942A (en) Optical adjustment device
US3987373A (en) Laser having etalon assembly
US5121405A (en) Alignment control system for lasers
US3966309A (en) Adjustable mounting structure for optical device
SU591161A3 (ru) Частотно-стабилизированный газовый лазер
US4448385A (en) Stable alignment mechanism for laser mirrors
US3617926A (en) Laser using a cube corner reflector at one end of the discharge tube so that both cavity reflectors are at the other end to compensate for thermal distortion
US5523883A (en) Field adjustable beam splitter
GB2049267A (en) Laser apparatus
US3484715A (en) Temperature compensating mounting for laser reflectors
US4498184A (en) Jinc-trap resonator
JP2973550B2 (ja) レーザビーム走査光学装置
JPH1168248A (ja) 外部共振器型波長可変半導体レーザ光源
GB2157067A (en) Ring laser, in particular for a ring laser gyro
JPWO2017183210A1 (ja) レーザ装置
JP4306031B2 (ja) 光学機器の光学素子角度調整装置
EP0258371B1 (en) Lasers
JP2684910B2 (ja) レーザ発振器
US4342117A (en) Mirror mounting arrangement for a laser