NO852469L - Justeringsinnretning for et reflektorspeil hos en laserresonator. - Google Patents
Justeringsinnretning for et reflektorspeil hos en laserresonator.Info
- Publication number
- NO852469L NO852469L NO852469A NO852469A NO852469L NO 852469 L NO852469 L NO 852469L NO 852469 A NO852469 A NO 852469A NO 852469 A NO852469 A NO 852469A NO 852469 L NO852469 L NO 852469L
- Authority
- NO
- Norway
- Prior art keywords
- carrier part
- adjustment device
- adjustment
- head
- internal
- Prior art date
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 239000002775 capsule Substances 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/086—One or more reflectors having variable properties or positions for initial adjustment of the resonator
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
- G02B7/1822—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors comprising means for aligning the optical axis
- G02B7/1824—Manual alignment
- G02B7/1825—Manual alignment made by screws, e.g. for laser mirrors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
Oppfinnelsen angår en justeringsinnretning for et reflektorspeil hos en laserresonator hvor reflektorspeilet opptas i et justerhode som er utformet i ett stykke med en bæredel, samtidig som bæredelen er utformet med en fluktende gjennomgangsåpning, der mellom bæredel og justerhode er anordnet en radialt rettet, omløpende, utvendig innskjæring mellom bæredelen og justerhodet, og justerhodet kan vippes i forhold til bæredelen ved hjelp av justerskruer som er anordnet på
det ved hjørnene av en trekant og virker mot den overforliggende flate på bæredelen.
Ved lasere må resonatorens optiske reversjonselementer kunne innjusteres mest mulig nøyaktig parallelt med hverandre med enkle midler. I den forbindelse bør den en gang innstilte justering være mest mulig temperaturstabil. For justering av reflektorspeil ved laserresonatorer er der blitt kjent forskjellige justeringsinnretninger. Ofte anvender man til formålet innloddede eller innsveisede metallbelger. Disse kan imidlertid medføre tetningsproblemer. Dessuten kan der på grunn av relativt stor mykhet og relativt liten sidestabilitet av slike belger opptre stabilitetsproblemer.
Fra DE-OS 31 30 420 er der kjent en justeringsinnretning av den innledningsvis nevnte art, hvor justerhodet og bæredelen er utført i ett stykke og der mellom bæredelen og justerhodet er utformet en radialt rettet, omløpende, utvendig innskjæring. Justering av et reflektorspeil i stilling parallelt med det annet reflektorspeil skjer i den forbindelse ved hjelp av justerskruer som sitter i justerhodet og virker mot den overforliggende flate på bæredelen, og ved hvis hjelp justerhodet kan vippes i forhold til bæredelen på grunn av den radiale utvendige innskjæring. Slike justeringsinnretninger har enkel og stabil oppbygning. En stor stabilitet av en justeringsinnretning som er forsynt med en utvendig radial innskjæring, kan imidlertid føre til at der under justeringen opptrer for store mekaniske spenninger i området for innskjæringen. Disse spenninger kan i tilfellet av en temperaturendring føre til en endring av den opprinnelig innjusterte stilling.
Til grunn for oppfinnelsen ligger derfor den oppgave
å utforme en justeringsinnretning av den innledningsvis nevnte art slik at den til tross for den nødvendige stabilitet opp-viser en tilstrekkelig aksial elastisitet og en høy temperatur-fasthet.
Denne oppgave blir ved en justeringsinnretning av den innledningsvis nevnte art ifølge oppfinnelsen løst ved at
både bæredelen og justerhodet i området for de flater som vender mot den utvendige innskjæring, er utformet med hver sin innvendige, radialtrettede og omløpende innskjæring,
og at de innvendige innskjæringer er skilt fra den mellomliggende utvendige innskjæring ved en tynn, skiveformet vegg.
Ved justeringsinnretningen ifølge oppfinnelsen finnes
der således foruten den utvendige, radiale innskjæring også
to innvendige, radiale innskjæringer, så justeringsinnret-ningens bæredel og justerhode får et H-lignende innskjærings-system. Samtidig virker de vegger som skiller de innvendige innskjæringer fra den utvendige innskjæring, som to skiveformede fjærer med lignende fjærkarakteristikk som tallerkenfjærer. På denne måte oppnår man ved justeringsinnretningen ifølge oppfinnelsen fordelen av en belg, altså den radiale elastisitet, kombinert med større sidestabilitet sammenholdt med en belg. Dessuten gir de tre justerskruer ved justeringsinnretningen ifølge oppfinnelsen de skiveformede fjærer en aksial forspenning. Det fører til at justerhodet trekkes mot bæredelen og det dermed blir forhindret at justeringen går tapt ved temperaturendringer, eller at der inntrer prelling i tilfellet av rystninger. Justeringsinnretningen ifølge oppfinnelsen har derfor også stor temperaturstabilitet. Slutte-lig oppnås sammenholdt med justeringsinnretninger med belger fordelen av absolutt tetthet, da justerhodet inngår som fast bestanddel av bæredelen og der således ikke behøves ekstra sk jøteteknikker.
Gunstige utformninger av gjenstanden for patentkrav
1 er angitt i de uselvstendige krav.
Et utførelseseksempel på en justeringsinnretning ifølge oppfinnelsen vil i det følgende bli beskrevet nærmere under henvisning til tegningen.
Fig. 1 viser justeringsinnretningen i snitt etter linjen I-l på fig. 2, og fig. 2 viser justeringsinnretningen fra forsiden.
Justeringsinnretningen for et reflektorspeil, f.eks.
et utkoblingsvindu 8 som skal innjusteres parallelt med et ikke vist annet reflektorspei1 hos en laserresonator, består av en bæredel 9 av vilkårlig form, f.eks. en skiveformet kapseldel eller en rørformet resonatorbærer hos laseren,
samt et justerhode 7 som er utformet i ett stykke med bæredelen og anordnet på forsiden av den, og som her er utformet som stort sett trekantet plate med avrundede hjørner. Justerhodet 7 opptar reflektorspeilet 8 og holder det på ikke nærmere vist i og for seg kjent måte. Bæredel og justerhode har en fluktende gjennomgangsåpning 4 for laserstrålen. Mellom den frie endeflate av bæredelen 9 og justerhodet 7 er der utformet en radialt rettet, omløpende, utvendig innskjæring 3, så justerhodet ved hjelp av justerskruer 10 som er utformet på i og for seg kjent måte (DE-OS 31 30 420) og sammen med tilhørende kuler 11 er anordnet i hjørnene av en trekant og virker mot forsiden av bæredelen, kan vippes med sin lengdeakse i forhold til bæredelen resp. til dennes lengdeakse.
Både bæredelen 9 og justerhodet 7, spesielt deres gjennomgangsåpning 4, er i området for de endeflater som grenser til og er tilveiebragt av den ytre innskjæring 3, utformet med hver sin innvendige, radialt rettede og omløpende innskjæring 1 resp. 2 som strekker seg sirkelformig rundt bæredelens resp. justerhodets lengdeakse, og som er skilt fra den mellomliggende utvendige innskjæring 3 ved en og en skiveformet vegg 5 resp. 6. Disse vegger danner således takket være de innvendige innskjæringer 1 og 2, den utvendige innskjæring 3 og gjennomgangsåpningen 4 to innbyrdes forbundne, skiveformede fjærer 5 og 6 som med hensyn til fjærkarakteristikk forholder seg som tallerkenfjærer, og hvorav fjæren 6 er direkte forbundet med resp. inngår i justerhodet 7. Den utvendige innskjæring 3 strekker seg inn mot gjennomgangsåpningen 4 under levning av en vegg 12 av tilsvarende tykkelse som fjærene 5, 6. Der fås på denne måte en H-formig utskåret system. Bredden b av innskjæringene 1, 2 og 3 er den samme, og de innvendige innskjæringer 1, 2 har samme diameter, som omtrent utgjør det dobbelte av diameteren av gjennomgangsåpningen 4.
Forskyvning av justerhodet 7 skjer ved hjelp av de alle-rede nevnte tre skruer 10, som via kulene 11 trykker mot bæredelen 9 og dermed meddeler de skiveformede fjærer 5 og 6 en aksial forspenning. Derved blir justerhodet 7 fjærbelastet mot bæredelen 9. Ved passende forskyvning av skruene 10 er det -mulig å justere reflektorspeilet 8 i justerhodet 7 til en hvilken som helst stilling og med stor nøyaktighet å stille det parallelt med det ikke viste annet speil hos laser-resonatoren.
Claims (5)
1. Justeringsinnretning for et reflektorspeil hos en laserresonator hvor reflektorspeilet opptas i et justerhode som er utformet i ett stykke med en bæredel, samtidig som bæredelen er utformet med en fluktende gjennomgangsåpning, der mellom bæredel og justerhode er anordnet en radialt rettet, omløpende, utvendig innskjæring mellom bæredelen og justerhodet, og justerhodet kan vippes i forhold til bæredelen ved hjelp av justerskruer som er anordnet på det ved hjørnene av en trekant og virker mot den overforliggende flate på bæredelen, karakterisert ved
at både bæredelen (9) og justerhodet (7) i området for sine ovenfor hinannen liggende sider som grenser til den utvendige innskjæring (3), er utformet med hver sin innvendige, radialt rettede, omløpende innskjæring (1 resp. 2),
og at de innvendige innskjæringer (1, 2) er skilt fra den mellomliggende, utvendige innskjæring (3) ved hver sin tynne, skiveformede vegg (5 resp. 6).
2. Justeringsinnretning som angitt i krav 1, karakterisert ved at den utvendige innskjæring (3) strekker seg inn mot gjennomgangsåpningen (4) under levning av en vegg (12) med tilsvarende tykkelse som de førstnevnte vegger (5,6).
3. Justeringsinnretning som angitt i krav 1 eller 2, karakterisert ved at innskjæringene (1,
2, 3) har samme bredde (b).
4. Justeringsinnretning som angitt i krav 1, 2 eller 3, karakterisert ved at de innvendige innskjæringer (1, 2) har samme diameter.
5. Justeringsinnretning som angitt i et av kravene 1-4, karakterisert ved at diameteren av de innvendige innskjæringer (1, 2) omtrent er lik det dobbelte av gjennomgangsåpningens (4) diameter.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3423381 | 1984-06-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| NO852469L true NO852469L (no) | 1985-12-27 |
Family
ID=6239094
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| NO852469A NO852469L (no) | 1984-06-25 | 1985-06-19 | Justeringsinnretning for et reflektorspeil hos en laserresonator. |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4638486A (no) |
| EP (1) | EP0166028A3 (no) |
| JP (1) | JPS6113680A (no) |
| NO (1) | NO852469L (no) |
Families Citing this family (31)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB8605031D0 (en) * | 1986-02-28 | 1986-04-09 | Gec Avionics | Fixed prealignment of laser optics |
| JP2512137Y2 (ja) * | 1986-03-28 | 1996-09-25 | 日本電気株式会社 | ガスレ−ザ発振器 |
| JPS633171U (no) * | 1986-06-25 | 1988-01-11 | ||
| US4790642A (en) * | 1986-12-01 | 1988-12-13 | Gca Corporation/Tropel Division | Integrated metrology for microlithographic objective reducing lens |
| DE3719745A1 (de) * | 1987-06-12 | 1988-12-29 | Siemens Ag | Gaslaser mit einem gehaeuserohr und einer ueber dieses hinausragenden kapillare |
| US4946126A (en) * | 1988-05-06 | 1990-08-07 | Hughes Aircraft Company | Self-locking fasteners and in articles supported thereby |
| EP0456875A1 (de) * | 1990-05-18 | 1991-11-21 | Siemens Aktiengesellschaft | Wellenleiterlaser |
| US5155739A (en) * | 1990-10-12 | 1992-10-13 | Coherent, Inc. | RF excited CO2 slab waveguide laser |
| US5400184A (en) * | 1992-10-29 | 1995-03-21 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Kinematic high bandwidth mirror mount |
| US5596404A (en) * | 1994-12-30 | 1997-01-21 | Albion Instruments, Inc. | Raman gas analysis system with flexible web and differential thread for precision optical alignment |
| US5590149A (en) * | 1995-09-13 | 1996-12-31 | Spectra-Physics Lasers, Inc. | Mirror mount |
| US5703683A (en) * | 1996-05-28 | 1997-12-30 | Ohmeda Inc. | Extruded wobble plate optical alignment device |
| JP3351339B2 (ja) * | 1998-03-12 | 2002-11-25 | 住友電気工業株式会社 | レーザ用曲率可変鏡 |
| US6804284B1 (en) | 2000-02-22 | 2004-10-12 | Tuilaser Ag | Optical element holding and extraction device |
| US6603790B1 (en) | 2000-02-22 | 2003-08-05 | Hans Kodeda | Gas laser and a dedusting unit thereof |
| US6522679B1 (en) | 2000-02-22 | 2003-02-18 | Tuilaser | Gas laser discharge unit |
| US6480517B1 (en) | 2000-02-22 | 2002-11-12 | Tuilaser Ag | Shadow device for a gas laser |
| US6493375B1 (en) | 2000-02-22 | 2002-12-10 | Tuilaser Ag | Adjustable mounting unit for an optical element of a gas laser |
| US6859482B1 (en) | 2000-02-22 | 2005-02-22 | Tuilaser Ag | Modular gas laser discharge unit |
| US6782029B1 (en) | 2000-02-22 | 2004-08-24 | Tuilaser Ag | Dedusting unit for a laser optical element of a gas laser and method for assembling |
| DE10061424A1 (de) * | 2000-12-09 | 2002-06-13 | Haas Laser Gmbh & Co Kg | Laserverstärkersystem |
| RU2216082C1 (ru) * | 2002-02-20 | 2003-11-10 | Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт газоразрядных приборов "Плазма" | Газовый лазер |
| RU2231880C1 (ru) * | 2002-11-01 | 2004-06-27 | Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт газоразрядных приборов "Плазма" | Газовый лазер |
| EP1447064B1 (en) * | 2003-02-12 | 2010-06-02 | Coherent GmbH | Kit-of-parts for surgically ablating eye tissue |
| DE10314772A1 (de) * | 2003-03-31 | 2004-10-14 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung zum Justieren eines optischen Spiegels |
| DE102004014815A1 (de) * | 2004-03-24 | 2005-10-06 | Taufenbach, Norbert, Dipl.-Ing. | Gas-Slablaser |
| RU2278454C1 (ru) * | 2004-12-24 | 2006-06-20 | Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт газоразрядных приборов "Плазма" (ОАО "Плазма") | Газовый лазер |
| US20080177330A1 (en) * | 2006-10-24 | 2008-07-24 | Ralph James D | Self-locking screws for medical implants |
| FR2931980A1 (fr) * | 2008-05-29 | 2009-12-04 | Denis Dutrop | Dispositif d'alarme perimetrique avec reglage fin des elements optiques |
| DE102010003227A1 (de) | 2010-03-24 | 2011-09-29 | Universität Stuttgart Institut für Strahlwerkzeuge | Lasersystem |
| US11670490B2 (en) * | 2017-09-29 | 2023-06-06 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Integrated circuit fabrication system with adjustable gas injector |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3428915A (en) * | 1965-02-15 | 1969-02-18 | Raytheon Co | Mirror supporting structure for lasers |
| US3478608A (en) * | 1966-06-23 | 1969-11-18 | Electro Optics Associates | Aligning and mounting mechanism device |
| US3783407A (en) * | 1972-09-26 | 1974-01-01 | Coherent Radiation Labor | Improved laser optical resonator |
| US3953113A (en) * | 1974-11-08 | 1976-04-27 | Liconix | Laser mirror mounting device |
| JPS5380378U (no) * | 1976-12-06 | 1978-07-04 | ||
| NL7703686A (nl) * | 1977-04-05 | 1978-10-09 | Philips Nv | Werkwijze voor het justeren van een optisch ele- ment van een gasontladingslaser en gasontladings- laser met een optisch element gejusteerd volgens deze werkwijze. |
| US4149779A (en) * | 1977-11-10 | 1979-04-17 | Xerox Corporation | Internal laser mirror alignment fixture |
| US4448385A (en) * | 1981-05-12 | 1984-05-15 | Honeywell Inc. | Stable alignment mechanism for laser mirrors |
| DE3130420C2 (de) * | 1981-07-31 | 1986-12-18 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Justiervorrichtung für ein in einem Träger angeordnetes optisches Element einer optischen Anordnung |
| US4442524A (en) * | 1982-06-03 | 1984-04-10 | Spectra-Physics, Inc. | Multiple lever apparatus for positioning an optical element |
-
1984
- 1984-12-11 EP EP84115142A patent/EP0166028A3/de not_active Withdrawn
-
1985
- 1985-03-28 US US06/717,106 patent/US4638486A/en not_active Expired - Fee Related
- 1985-06-19 NO NO852469A patent/NO852469L/no unknown
- 1985-06-24 JP JP60136221A patent/JPS6113680A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6113680A (ja) | 1986-01-21 |
| EP0166028A3 (de) | 1987-04-22 |
| US4638486A (en) | 1987-01-20 |
| EP0166028A2 (de) | 1986-01-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4638486A (en) | Adjustment device for a reflector mirror of a laser resonator | |
| US4099141A (en) | Laser generator | |
| US5530714A (en) | External cavity laser | |
| WO1988007276A1 (fr) | Dispositif permettant de determiner la longueur d'onde d'un faisceau laser | |
| KR860700296A (ko) | 모듈러 안정화 시스템 | |
| JP2013161050A (ja) | 光学素子ホルダ | |
| US4037942A (en) | Optical adjustment device | |
| US3987373A (en) | Laser having etalon assembly | |
| US5121405A (en) | Alignment control system for lasers | |
| US3966309A (en) | Adjustable mounting structure for optical device | |
| SU591161A3 (ru) | Частотно-стабилизированный газовый лазер | |
| US4448385A (en) | Stable alignment mechanism for laser mirrors | |
| US3617926A (en) | Laser using a cube corner reflector at one end of the discharge tube so that both cavity reflectors are at the other end to compensate for thermal distortion | |
| US5523883A (en) | Field adjustable beam splitter | |
| GB2049267A (en) | Laser apparatus | |
| US3484715A (en) | Temperature compensating mounting for laser reflectors | |
| US4498184A (en) | Jinc-trap resonator | |
| JP2973550B2 (ja) | レーザビーム走査光学装置 | |
| JPH1168248A (ja) | 外部共振器型波長可変半導体レーザ光源 | |
| GB2157067A (en) | Ring laser, in particular for a ring laser gyro | |
| JPWO2017183210A1 (ja) | レーザ装置 | |
| JP4306031B2 (ja) | 光学機器の光学素子角度調整装置 | |
| EP0258371B1 (en) | Lasers | |
| JP2684910B2 (ja) | レーザ発振器 | |
| US4342117A (en) | Mirror mounting arrangement for a laser |