JPS6113680A - レーザーレゾネータの反射鏡のための調整装置 - Google Patents
レーザーレゾネータの反射鏡のための調整装置Info
- Publication number
- JPS6113680A JPS6113680A JP60136221A JP13622185A JPS6113680A JP S6113680 A JPS6113680 A JP S6113680A JP 60136221 A JP60136221 A JP 60136221A JP 13622185 A JP13622185 A JP 13622185A JP S6113680 A JPS6113680 A JP S6113680A
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- JP
- Japan
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- adjusting
- adjustment
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- external
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/086—One or more reflectors having variable properties or positions for initial adjustment of the resonator
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
- G02B7/1822—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors comprising means for aligning the optical axis
- G02B7/1824—Manual alignment
- G02B7/1825—Manual alignment made by screws, e.g. for laser mirrors
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はレーザーレゾネータの反射鏡のための調整装置
であって、反射鏡が支持体と一体に構成された調整ヘッ
ド内に受容されており、支持体と調整ヘッドとが合致す
る貫通孔を有しており、支持体と調整ヘッドとの間に半
径方向に向けられた、周囲を延びる外部切込み部が設け
られており、この調整ヘッドが三角形の各コーナに配置
された、支持体の端面側に作用する調整ねじを介してこ
の支持体に対して傾倒可能である形式のものに関する。
であって、反射鏡が支持体と一体に構成された調整ヘッ
ド内に受容されており、支持体と調整ヘッドとが合致す
る貫通孔を有しており、支持体と調整ヘッドとの間に半
径方向に向けられた、周囲を延びる外部切込み部が設け
られており、この調整ヘッドが三角形の各コーナに配置
された、支持体の端面側に作用する調整ねじを介してこ
の支持体に対して傾倒可能である形式のものに関する。
レーず−のレゾネータの反射鏡は簡単な手段で極めて正
確に互いに平行に調整され得なければならない。この時
一度与えられた調整は温度に対して極めて安定であるよ
うにしたい。レーず−レゾネータの反射鏡を調整するた
めには種々の調整装置が公知であり、ろう接されたか又
は溶接された金属ベローがよく用いられる。しかしなが
らこれはシール性の問題を生ぜしめる。
確に互いに平行に調整され得なければならない。この時
一度与えられた調整は温度に対して極めて安定であるよ
うにしたい。レーず−レゾネータの反射鏡を調整するた
めには種々の調整装置が公知であり、ろう接されたか又
は溶接された金属ベローがよく用いられる。しかしなが
らこれはシール性の問題を生ぜしめる。
さらにこのようなベローの柔らかさが比較的に大きいこ
とと横力に対する安定性が比較的に小さいことによって
安定性の問題が生じる。
とと横力に対する安定性が比較的に小さいことによって
安定性の問題が生じる。
従来の技術
ドイツ連邦共和国特許出願公開第５１３０４２０号明細
書によって公知であるこのような形式の調整装置におい
ては調整ヘッドと支持体とが一体成形されていて、かつ
、支持体と調整ヘッドとの間に半径方向に向けられた、
周囲を延びる外部切込み部が設けられている。一方の反
射鏡を他方の反射鏡に対して平行に調整することは支持
体の端面側に作用する、調整ヘッドに設けられた調整ね
じを介して行にわれる。この調整ねじによって調整ヘッ
ドは半径方向の外部切込み部が設けられていることに基
づいて支持一体に対して一倒可能である。このような形
式の調整装置は簡単で安定性のある構造を有している。
書によって公知であるこのような形式の調整装置におい
ては調整ヘッドと支持体とが一体成形されていて、かつ
、支持体と調整ヘッドとの間に半径方向に向けられた、
周囲を延びる外部切込み部が設けられている。一方の反
射鏡を他方の反射鏡に対して平行に調整することは支持
体の端面側に作用する、調整ヘッドに設けられた調整ね
じを介して行にわれる。この調整ねじによって調整ヘッ
ドは半径方向の外部切込み部が設けられていることに基
づいて支持一体に対して一倒可能である。このような形
式の調整装置は簡単で安定性のある構造を有している。
しかしながら半径方向の外部切込み部が設けられた調整
装置のこの太き々安定性は調整の際この切込み部の範囲
に過度に大きな地力を生ぜしめるという欠点を有してい
る。これは温度が変化する場合に最初の調整を変化させ
てしま゛う結果となる。
装置のこの太き々安定性は調整の際この切込み部の範囲
に過度に大きな地力を生ぜしめるという欠点を有してい
る。これは温度が変化する場合に最初の調整を変化させ
てしま゛う結果となる。
発明が解決しようとする問題点
それ故に本発明の課題は冒頭に述べた形式の調整装置を
改良して、必要な安定性と共に充分な弾性及び温度に対
する高い安定性を有するようにすることにある。
改良して、必要な安定性と共に充分な弾性及び温度に対
する高い安定性を有するようにすることにある。
問題点を解決するだめの手段
この課題は本発明によれば支持体も調整ヘッドも外部切
込み部に隣接する範囲にそれぞれ半径方向に向けられた
、周囲を延びる内部切込み部を有しており、この内部切
込み部が間に位置する外部切込み部からそれぞれ薄い、
プレート状の壁部によって隔てられているによって解決
された。
込み部に隣接する範囲にそれぞれ半径方向に向けられた
、周囲を延びる内部切込み部を有しており、この内部切
込み部が間に位置する外部切込み部からそれぞれ薄い、
プレート状の壁部によって隔てられているによって解決
された。
本発明の調整装置においては半径方向の外部切込み部の
他にさらに２つの半径方向の内部切込み部が設けられて
いるので、この調整装置の支持体及び調整ヘッドがＨ字
形に配置された切込み機構を構成している。この時、内
部切込み部を外部切込み部から隔てる壁部は２つのプレ
ート状のばねと同様に作用し、そのばね特性は皿ばねの
ばね特性と同じである。このようにして本発明の調整装
置においてはベローの利点、つまり軸方向の弾性が得ら
れると共にベローよりも高い横力に対する安定性が得ら
れる。さらに本発明の調整装置においては６つの調整ね
じによってプレート状のばねに軸方向のゾレローＹが与
えられる。これによって調整ヘッドは支持体に対して引
締められ、従って温度変化時における調整のずれ又は振
動負荷時における振動−が阻止される。それ故に本発明
の調整装置は温度に対する高い安定性を有する。しかも
ベローを有する調整装置に対して本発明による装置の調
整ヘッドが支持体の固定的な構成部材であることによっ
て、付加的な結合技術を必要としないので完全なシール
性が得られるという利点がある。
他にさらに２つの半径方向の内部切込み部が設けられて
いるので、この調整装置の支持体及び調整ヘッドがＨ字
形に配置された切込み機構を構成している。この時、内
部切込み部を外部切込み部から隔てる壁部は２つのプレ
ート状のばねと同様に作用し、そのばね特性は皿ばねの
ばね特性と同じである。このようにして本発明の調整装
置においてはベローの利点、つまり軸方向の弾性が得ら
れると共にベローよりも高い横力に対する安定性が得ら
れる。さらに本発明の調整装置においては６つの調整ね
じによってプレート状のばねに軸方向のゾレローＹが与
えられる。これによって調整ヘッドは支持体に対して引
締められ、従って温度変化時における調整のずれ又は振
動負荷時における振動−が阻止される。それ故に本発明
の調整装置は温度に対する高い安定性を有する。しかも
ベローを有する調整装置に対して本発明による装置の調
整ヘッドが支持体の固定的な構成部材であることによっ
て、付加的な結合技術を必要としないので完全なシール
性が得られるという利点がある。
特許請求の範囲第２項以下に記載の手段によっては特許
請求の範囲第１項に記載した特徴を有する本発明の有利
な実施態様が得られる。
請求の範囲第１項に記載した特徴を有する本発明の有利
な実施態様が得られる。
実施例
レーず一し・戸ネータの図示されていない第２の反射鏡
に対１−て平行に調節しようとする第１の反射鏡、例え
ば反射鏡８のための調整装置は任意の形状で形成するこ
とのできる支持体９、例えばプレート状のケーシング部
材又はレーデ〒の管状のレゾネータ支持体、及びこの支
持体と一体成形された、この支持体の端面側に設けられ
た調整ヘッド７を有している。この調整ヘッドは丸味付
けされたコーナを有するほぼ三角形のプレートとして構
成されている。この調整ヘットには反射鏡８が受容され
ていて、がっ、詳しくは図示されていないそれ自体公知
の形式で保持されている。支持体と調整ヘッドには合れ
だ、周囲を延びる外部切込み部３が設けられているので
、調整ヘッドはそれ自体公知の形式（ドイツ連邦共和国
特許出願公開第５１３０４２０号明細書）で構成された
、三角形のコーナに配置された、支持体の端面に作用す
る調整ねじ１０及びこれに所属する球１１を介してその
長手軸線で以って支持体若しくはその長手軸線に対して
傾倒可能である。支持体９も調整ヘッドも、すなわちそ
れらの貫通孔４は外部切込み部３に隣接する、外部切込
み部によって形成される端面範囲にそれぞれ１つの半径
方向に向けられた、周囲を延びる、すなわち支持体若し
くは調整ヘッドの長手軸線を環状に取囲む内部切込み部
１及び２を有している。この内部切込み部１．２はその
間に位置する外部切込み部３がらプレート状の壁部５若
しくは６によって隔てられている。゛従ってこの壁部は
２つの内部切込み部１，２、外部切込み部３、貫通孔４
及び２つのプレート状の、互いに結合されるばねによっ
て形成される。このばねは皿ばねと同じばね特性を有す
る。壁部６は調整ヘッドに直接的に結合されているか若
しくはこの調整ヘッドの構成部材である。外部切込み部
３と貫通孔４との間靜 を仕切る壁厚さは壁部３，４の厚さに相応する。、この
ようにしてＨ字形配置形式の切込み部が形成される。内
部切込み部１，２と外部切込み部３０幅すは同じであり
、内部切込み部１，２は貫通孔４の直径の２倍とほぼ同
じ直径を有している。
に対１−て平行に調節しようとする第１の反射鏡、例え
ば反射鏡８のための調整装置は任意の形状で形成するこ
とのできる支持体９、例えばプレート状のケーシング部
材又はレーデ〒の管状のレゾネータ支持体、及びこの支
持体と一体成形された、この支持体の端面側に設けられ
た調整ヘッド７を有している。この調整ヘッドは丸味付
けされたコーナを有するほぼ三角形のプレートとして構
成されている。この調整ヘットには反射鏡８が受容され
ていて、がっ、詳しくは図示されていないそれ自体公知
の形式で保持されている。支持体と調整ヘッドには合れ
だ、周囲を延びる外部切込み部３が設けられているので
、調整ヘッドはそれ自体公知の形式（ドイツ連邦共和国
特許出願公開第５１３０４２０号明細書）で構成された
、三角形のコーナに配置された、支持体の端面に作用す
る調整ねじ１０及びこれに所属する球１１を介してその
長手軸線で以って支持体若しくはその長手軸線に対して
傾倒可能である。支持体９も調整ヘッドも、すなわちそ
れらの貫通孔４は外部切込み部３に隣接する、外部切込
み部によって形成される端面範囲にそれぞれ１つの半径
方向に向けられた、周囲を延びる、すなわち支持体若し
くは調整ヘッドの長手軸線を環状に取囲む内部切込み部
１及び２を有している。この内部切込み部１．２はその
間に位置する外部切込み部３がらプレート状の壁部５若
しくは６によって隔てられている。゛従ってこの壁部は
２つの内部切込み部１，２、外部切込み部３、貫通孔４
及び２つのプレート状の、互いに結合されるばねによっ
て形成される。このばねは皿ばねと同じばね特性を有す
る。壁部６は調整ヘッドに直接的に結合されているか若
しくはこの調整ヘッドの構成部材である。外部切込み部
３と貫通孔４との間靜 を仕切る壁厚さは壁部３，４の厚さに相応する。、この
ようにしてＨ字形配置形式の切込み部が形成される。内
部切込み部１，２と外部切込み部３０幅すは同じであり
、内部切込み部１，２は貫通孔４の直径の２倍とほぼ同
じ直径を有している。
この調整ヘッド７の調整は既に述べた６つのねじ１０に
よって行なわれる。このねじは球１１を介して支持体９
を押し、この時、プレート状のばねである壁部５，６に
軸方向のプレロードを与える。これによって調整ヘッド
７は支持体９に対して引締められる。ねじ１０を適当に
調整することによって調整ヘッド７に設けられた反射鏡
８は任意の各位置で調整され、かつ高い正確性を以って
レーデ−レゾネータの図示されていない他方の反射鏡に
対して平行に調節され得る。
よって行なわれる。このねじは球１１を介して支持体９
を押し、この時、プレート状のばねである壁部５，６に
軸方向のプレロードを与える。これによって調整ヘッド
７は支持体９に対して引締められる。ねじ１０を適当に
調整することによって調整ヘッド７に設けられた反射鏡
８は任意の各位置で調整され、かつ高い正確性を以って
レーデ−レゾネータの図示されていない他方の反射鏡に
対して平行に調節され得る。
発明の効果
本発明の調整装置においては半径方向の外部切込み部の
他にさらに２つの半径方向の内部切込み部が設けられて
いるので、この調整装置の支持体及び調整ヘッドがＨ字
形に配置された切込み機構を構成している。この時、内
部切込み部を外部切込み部から隔てる壁部は２つのプレ
ート状のばねと同様に作用し、そのばね特性は皿ばねの
ばね特性と同じである。このようにして本発明の調整装
置においてはベローの利点、つまり軸方向の弾性が得ら
れると共にベローよりも高い横力に対する安定性が得ら
れる。さらに本発明の調整装置においては６つの調整ね
じによってプレート状のばねに軸方向のプレロードが与
えられる。これによって調整ヘッドは支持体に対して引
締められ、従って温度変化時における調整のずれ又は振
動負荷時における振動が阻止される。それ故に本発明の
調整装置は温度に対する高い安定性を有する。しかもベ
ローを有する調整装置に対して本発明による装置の調整
ヘッドが支持体の固定的な構成部材であることによって
付加的な結合技術を必要としないので完全なシール性が
得られる。
他にさらに２つの半径方向の内部切込み部が設けられて
いるので、この調整装置の支持体及び調整ヘッドがＨ字
形に配置された切込み機構を構成している。この時、内
部切込み部を外部切込み部から隔てる壁部は２つのプレ
ート状のばねと同様に作用し、そのばね特性は皿ばねの
ばね特性と同じである。このようにして本発明の調整装
置においてはベローの利点、つまり軸方向の弾性が得ら
れると共にベローよりも高い横力に対する安定性が得ら
れる。さらに本発明の調整装置においては６つの調整ね
じによってプレート状のばねに軸方向のプレロードが与
えられる。これによって調整ヘッドは支持体に対して引
締められ、従って温度変化時における調整のずれ又は振
動負荷時における振動が阻止される。それ故に本発明の
調整装置は温度に対する高い安定性を有する。しかもベ
ローを有する調整装置に対して本発明による装置の調整
ヘッドが支持体の固定的な構成部材であることによって
付加的な結合技術を必要としないので完全なシール性が
得られる。
のＩ−１線による断面図、第２図はこの調整装置を端面
側から見た図である。
側から見た図である。
１．２・・・内部切込み部、３・・・外部切込み部、４
・・・貫通孔、５，６・・・壁部、７・・・調整ヘッド
、８・・・反射鏡、９・・・支持体、１０・・・ねじ、
１１・・・球、１２・・壁厚さ く１１）
・・・貫通孔、５，６・・・壁部、７・・・調整ヘッド
、８・・・反射鏡、９・・・支持体、１０・・・ねじ、
１１・・・球、１２・・壁厚さ く１１）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、レーザーレゾネータの反射鏡のための調整装置であ
つて、反射鏡が支持体と一体に構成された調整ヘッド内
に受容されており、支持体と調整ヘッドとが合致する貫
通孔を有しており、支持体と調整ヘッドとの間に半径方
向に向けられた、周囲を延びる外部切込み部が設けられ
ており、この調整ヘッドが三角形の各コーナに配置され
た、支持体の端面側に作用する調整ねじを介してこの支
持体に対して傾倒可能である形式のものにおいて、 支持体（９）も調整ヘッド（７）も外部切 込み部（３）に隣接する範囲にそれぞれ半径方向に向け
られた、周囲を延びる内部切込み部（１若しくは２）を
有しており、この内部切込み部（１、２）が間に位置す
る外部切込み部（３）からそれぞれ薄い、プレート状の
壁部（５若しくは６）によつて隔てられていることを特
徴とする、レーザーレゾネータの反射鏡のための調整装
置。 ２、前記外部切込み部（３）と貫通孔（４）とを仕切る
壁厚さ（１２）が壁部（５、６）の厚さに相応する、特
許請求の範囲第１項記載の調整装置。 ３、前記内部切込み部（１、２）と外部切込み部（３）
の幅（ｂ）が同じである、特許請求の範囲第１項又は第
２項記載の調整装置。 ４、前記内部切込み部（１、２）が同じ直径を有してい
る、特許請求の範囲第１項から第５項までのいずれか１
項記載の調整装置。 ５、前記内部切込み部（１、２）の直径が貫通孔（４）
の直径の２倍にほぼ等しい、特許請求の範囲第１項から
第４項までのいずれか１項記載の調整装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3423381.4 | 1984-06-25 | ||
| DE3423381 | 1984-06-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6113680A true JPS6113680A (ja) | 1986-01-21 |
Family
ID=6239094
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60136221A Pending JPS6113680A (ja) | 1984-06-25 | 1985-06-24 | レーザーレゾネータの反射鏡のための調整装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4638486A (ja) |
| EP (1) | EP0166028A3 (ja) |
| JP (1) | JPS6113680A (ja) |
| NO (1) | NO852469L (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62158855U (ja) * | 1986-03-28 | 1987-10-08 | ||
| JPS633171U (ja) * | 1986-06-25 | 1988-01-11 |
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| US6859482B1 (en) | 2000-02-22 | 2005-02-22 | Tuilaser Ag | Modular gas laser discharge unit |
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