PL105706B1 - Pompa jonowo-sorpcyjna - Google Patents

Pompa jonowo-sorpcyjna Download PDF

Info

Publication number
PL105706B1
PL105706B1 PL19502176A PL19502176A PL105706B1 PL 105706 B1 PL105706 B1 PL 105706B1 PL 19502176 A PL19502176 A PL 19502176A PL 19502176 A PL19502176 A PL 19502176A PL 105706 B1 PL105706 B1 PL 105706B1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
cathode
pump
plates
anode
ion
Prior art date
Application number
PL19502176A
Other languages
English (en)
Other versions
PL195021A1 (pl
Inventor
Wenancjusz Czarycki
Original Assignee
Os Bad Rozwojowy Tech Tele
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Os Bad Rozwojowy Tech Tele filed Critical Os Bad Rozwojowy Tech Tele
Priority to PL19502176A priority Critical patent/PL105706B1/pl
Publication of PL195021A1 publication Critical patent/PL195021A1/pl
Publication of PL105706B1 publication Critical patent/PL105706B1/pl

Links

Landscapes

  • Electron Tubes For Measurement (AREA)

Description

Przedmiotem wynalazku jest pompa jonowo-sorpcyjna z zimna katoda, zbudo¬ wana w ukladzie elektrod znanym pod nazwa u- kladu Peninga, która umozliwia odpompowanie resztek gazów a zwlaszcza wodoru w urzadzeniach 5 prózniowych.
Stan techniki. Pompa jonowo-sorpcyjna z zim¬ na katoda zbudowana w ukladzie elektrod Penin¬ ga sklada sie z anody wykonanej zwykle w po¬ staci krótkiego odcinka cienkosciennej rurki me- 10 talowej o przekroju kolowym lub dowodnego wie¬ lokata i z dwóch katod wykonanych z materialu pochlaniajacego gazy, zwykle z tytanu lufo z tan¬ talu w postaci plytek umieszczonych w niewiel¬ kiej odleglosci naprzeciwko obydwóch konców a- u nody. Zwykle pompa sklada sie z wiekszej liczby takich ukladów, przy czym rurki anody sa pola¬ czone ze soba wzdluz tworzacych i przedstawia¬ ja budowe komórkowa o ksztalcie zblizonych do plastra miodu, a katody wykonane w postaci jed- 20 nolitych plyt o wymiarach nie mniejszych niz kompletna anoda sa umocowane na plytach nos¬ nych i usytuowane w niewielkiej odleglosci z o- bydwóch stron komórkowej anody. Konstrukcja pompy jest umieszczona w próznioszczelnej obu- 25 dowie zaopatrzonej w przepust umozldwajacy do¬ prowadzenia do elektrod napiecia polaryzujacego a na obudowe jest nalozony magnes, który wy¬ twarza pole magnetyczne wspomagajace procesy jonizacji wewnatrz pompy. 30 Pompy jonowo-sorpcyjne z zimna katoda sa stosowane zarówno do pompowania gazów aktyw- - nych chemicznie jak i gazów szlachetnych.
Podczas pracy pompy anoda zostaje spolaryzo¬ wana dodatnio wzgledem katody napieciem, które umozliwia wystapienie wyladowan elektrycznych miedzy anada i katoda, powodujacych jonizacje gazów wewnatrz pompy.
Pod wplywem pola elektrycznego jony gazów podazaja wewnatrz pompy w kierunku plyt ka¬ tody i uderzaja w nie ze znaczna predkoscia wskutek czego bombardowany jonami material katody zostaje czesciowo rozpylony.
-Pochlanianie gazów szlachetnych w pompach jonowo-sorpcyjnych polega na wnikaniu szybko poruszajacych sie jonów tych gazów w material katody natomiast jony gazów aktywnych sa che¬ micznie wiazane przez rozpylony material kato¬ dy. W niektórych przypadkach zachodzi potrzeba pompowania gazów o duzej zawartosci wodoru lufo samego wodoru. W tych przypadkach wydajnosc rozpylania materialu katody przez jony wodoru jest stosunkowo mala a proces sorpcji nastepuje glównie droga dyfuzji wodoru w glab katod, przy czym miedzy wodorem i tytanem w katodzie za¬ chodza reakcje chemiczne. Przy duzej ilosci po¬ chlonietego wodoru w iplytach katod wytwarzaja sie znaczne naprezenia mechaniczne, plyty od¬ ksztalcaja sie a ponadto staja sie kruche, co po¬ woduje, ze czastki katod latwo odrywaja sie i p- 105 706105 706 3 padaja tworzac zwarcia miedzy 'katodami i anoda, co oczywiscie powoduje zla prace pompy.
Istota wynalazku. Celem wynalaziku jest unik¬ niecie niedogodnosci spowodowanych kruszeniem i odksztalcaniem sie katod przy pompowaniu wo¬ doru w pompie jonowo-sorpcyjnej z zimna katoda.
Istote wynalazku stanowi pompa jonowo-sorp- cy)na z zimna katoda zawierajaca w próznioszczel- nej obudowie cylidryczna anode o poprzecznym przekroju kolowym lub dowolnego wielokata, zlo¬ zona z jednego cylindra lub z wielu cylindrów stykajacych sie ze soba tworzacymi oraz z katody w postaci plytek tytanowych lub tantalowych u- mieszczonych w plaszczyznach prostopadlych w osi anody iprzy obydwóch jej koncach, w której plyt¬ ki katod luzno ulozone na metalowej plycie nos¬ nej sa osloniete i umocowane siatka wykonana z materialu odpornego na dzialanie wodoru na przy¬ klad ze stali lub z miedzi.
Pompa wedlug wynalazku wykazuje szereg za¬ let a zwlaszca uzycie katody w postaci plytek prowadzi do zwiekszenia powierzchni styku ma¬ terialu katody z gazami a tym samym prowadzi do zwiekszenia wydajnosci pompy a luzne uloze¬ nie tych plytek na plycie nosnej umozliwia swo¬ bodne odksztalcanie sie plytek katody pod wply¬ wem reakcji z wodorem a ponadto siarka zapo¬ biega wypadaniu wykruszonych czastek plytek ka¬ tody w przestrzen miedzy katoda i anoda a wiec zapobiega powstawaniu zwarc.
Objasnienie rysunku. Budowe pompy wyjasniono na przykladzie wykonania przedstawionym na ry¬ sunku, na którym fig. 1 przedstawia fragment pompy w przekroju w widoku z boku, a fig. 2 — plytki katody widoczne w przekroju wykonanym wzdluz linii A—A.
Przyklad wykonania. Srodkowa czesc pompy zajmuje wielokomórkowa anoda 1 zlozona z krót¬ kich odcinków cienkosciennych rurek metalowych zlaczonych ze soba wzdluz tworzacych. Z obydwu stron konców rurek anody znajduja sie plytki 2 katody, kazda o srednicy nieco mniejszej niz srednica rurki anody, co umozliwia zachowanie niewielkich luzów miedzy brzegami sasiednich ply¬ tek 2 katody. Plytki 2 katody sa luzno ulozone 4 na nosnej plycie 3 i przykryte siatka 4 przymoco¬ wana do nosnej plyty 3 za pomoca tasmowych za¬ wleczek 5 wcisnietych w otwory 6 wykonane w nosnej plycie 3. Wielkosc oczek siatki 4 jest tak dobrana, ze drobne czastki peknietych plytek 2 katody wypadaja przez nie i opadaja na dno pompy, natomiast czastki, które moglyby powodo¬ wac zwarcia miedzy anoda i katoda sa przez siat¬ ke zatrzymywane.
Dzialanie pompy zasadniczo nie odbiega od dzia¬ lania znanych pompy jonowo-sorpcyjnych, gdyz podzielenie plyt katody na plytki o srednicy nie¬ co mniejszej od srednicy rurek anody, jak rów¬ niez nieznaczne przesuniecia plytek katody wzgle- dem rurek anody, spowodowane luznym ulozeniem plytek katody, nie wplywa zasadniczo na rozklad pola w pompie, natomiast podzielenie plyty katody na mniejsze plytki, szczególnie w przypadku du¬ zych pomp zabezpiecza przed znacznym odksztal- ceniem sie katody. Siatka 4 skutecznie zabezpiecza' tytanowe plytki katody i uniemozliwia wypadanie wiekszych czastek w przestrzen miedzy anode i katode a tym samym zapobiega powstawaniom zwarc w pompie, co pozwala na uzycie jej do pompowania wodoru. Nosna plyta 3 jest wsuwana wewnatrz w obudowe pompy, co umozliwia okre¬ sowa wymiane popekanych plytek 2 katody po odjeciu siatki 4.

Claims (1)

1. Zastrzezenie patentowe Pompa jonowo-sorpcyjna z zimna katoda zawie¬ rajaca w próznioszczelnej obudowie cylindryczna anode o przekroju poprzecznym kolowym lub do- 35 wolnego wielokata, zlozona wiecej niz z jednego cylindra, które to cylindry stykaja sie ze soba tworzacymi oraz z katody w postaci tytanowych lub tantalowych plytek umieszczonych w plasz¬ czyznach prostopadlych w osi anody przy oby- 40 dwóch jej koncach, znamienna tym, ze plytki (2) katody sa luzno ulozone na metalowej plycie nos¬ nej (3) i sa osloniete i przymocowane do nosnej plyty {3) siatka (4) wykonana z materialu nie ulegajacego zmianom pod wplywem dzialania wo- 45 doru, na przyklad ze stali lub z miedzi.105 706
PL19502176A 1976-12-30 1976-12-30 Pompa jonowo-sorpcyjna PL105706B1 (pl)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL19502176A PL105706B1 (pl) 1976-12-30 1976-12-30 Pompa jonowo-sorpcyjna

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL19502176A PL105706B1 (pl) 1976-12-30 1976-12-30 Pompa jonowo-sorpcyjna

Publications (2)

Publication Number Publication Date
PL195021A1 PL195021A1 (pl) 1978-07-03
PL105706B1 true PL105706B1 (pl) 1979-10-31

Family

ID=19980274

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL19502176A PL105706B1 (pl) 1976-12-30 1976-12-30 Pompa jonowo-sorpcyjna

Country Status (1)

Country Link
PL (1) PL105706B1 (pl)

Also Published As

Publication number Publication date
PL195021A1 (pl) 1978-07-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0054621B1 (en) High temperature ion beam source
US5242768A (en) Three-dimensional woven fabric for battery
KR20130143621A (ko) 고체 전해질 기반 리튬 황 전지
DE1098667B (de) Ionen-Vakuumpumpe mit Glimmentladung
DE102009018028B3 (de) Elektrode für elektrolytische Prozesse und Redoxbatterien mit dieser
PL105706B1 (pl) Pompa jonowo-sorpcyjna
US4334829A (en) Sputter-ion pump for use with electron tubes having thoriated tungsten cathodes
GB2620769A (en) Sputter ion pump cathode
US3079456A (en) Deferred action battery
US3746474A (en) Ionic vacuum pump
US3688147A (en) Fluorescent symbol display tube having plural cathodes and/or vacuum anode insulation
US3107844A (en) Single cell vacuum apparatus
GB1594897A (en) Vacuum gap device
PL64672B1 (pl)
SU1088092A1 (ru) Магниторазр дное откачное устройство
US3546510A (en) Square cathode for ion getter pumps
US3217973A (en) Dual surface ionic pump with shielded anode support
DE1539144C3 (de) lonengetterpumpe
DE202005019323U1 (de) Lichtbogen-Löschkammer des Überstromselbstschalters
US10358713B2 (en) Surrounding field sputtering source
SU1008511A1 (ru) Электрическа ловушка
SU943920A1 (ru) Комбинированный магниторазр дный геттерно-ионный насос
WO2025214892A1 (de) Elektrode mit isolierbereichen zur verbesserung eines stromflusses innerhalb der elektrode
DE1950691U (de) Pumpanordnung mit hilfskathode fuer elektrische entladungsgefaesse.
US3364370A (en) Tubular cell anode for sputter ion pumps