SU1008511A1 - Электрическа ловушка - Google Patents

Электрическа ловушка Download PDF

Info

Publication number
SU1008511A1
SU1008511A1 SU823383914A SU3383914A SU1008511A1 SU 1008511 A1 SU1008511 A1 SU 1008511A1 SU 823383914 A SU823383914 A SU 823383914A SU 3383914 A SU3383914 A SU 3383914A SU 1008511 A1 SU1008511 A1 SU 1008511A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
vessel
anode
trap
magnetic
annular cavity
Prior art date
Application number
SU823383914A
Other languages
English (en)
Inventor
Арнольд Самуилович Кузинец
Original Assignee
Ленинградское научно-производственное объединение "Буревестник"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ленинградское научно-производственное объединение "Буревестник" filed Critical Ленинградское научно-производственное объединение "Буревестник"
Priority to SU823383914A priority Critical patent/SU1008511A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1008511A1 publication Critical patent/SU1008511A1/ru

Links

Landscapes

  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)

Abstract

ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ ЛОВУШКА, содержаща  служащий катодом корпус с эходным и.выходным патрубками, анод .и магнитную систему, отличающа с  тем что, с целью повышени  улавливающей способности, она дополнительно содержит установленный в корпусе с образованием кольцевой полости охлаждаемлй сосуд, электрически св занный с корпусом, мгцнитна  система выполнена в виде кольцевых магнитов, размещенных в сосуде, обращенных друг к другу одноименными полюсами и разделенных немагнитными вставками, а анод расположен в кольцевой полости. сл с 00 сл

Description

Изобретен-ие относитс  к вакуумно технике, а именно к устройствам, предназначенным дл  улавливани  паров рабочих жидкостей вакуумных насосов . Известна электрическа  ловушка, содержаща  служащий катодом корпус входным и выходным патрубками, анод и магнитную систему 1. Недостатком известной ловушки  в л етс  низка  улавливающа  способность вследствие небольшой скорости адсорбции и полимеризации молекул углеводородов на поверхност х электродов . Цель изобретени  - повышение ула ливак цей способности ловушки. Указанна  цель достига;етс  тем, что электрическа  ловушка, содержаща  служащий катодом корпус с входным и выходным, патрубками, анод и магнитную систему, дополнительно содержит установленйый в корпусе с образованием кольцевой полости, охла даемый сосуд, электрически св занны с корпусом, магнитна  система выпол нена в виде кольцевых магнитов,размещенных в сосуде,; обращенных друг к другу одноименными полюсами и раз деленных немагнитными вставками, а анод расположен в кольцевой полости На чертеже схематически представ лена ловушка, продольный разрез. Электрическа  ловушка содержит служащий катодом корпус 1 с входным и выходным патрубками 2 и 3, анод 4 и магнитную систему. В корпусе 1 ус тановлен охлаждаемый сосуд 5, электрическй св занный с корпусом. МагjiHTHaH система выполнена в виде кольцевых магнитов б, размещенных в сосуде 5, обращенных друг к другу одноименныТЛИ полюсами и разделенных немагнитными вставками 7,а анод 4 расположен в кольцевой полости. Ловушка работает следующим образом . После предварительной откачки ловушки в сосуд 5 заливаетс  жидкий азот и подаетс  высокое напр жение (около 3-4 кВ) на электроды. При этом с поверхности катода (корпуса 1 и сосуда 5) эмиттируютс  электроны , которые под действием скрещенных электрического и магнитного полей движутс  по циклоидальным траектори м . Их путь удлин етс  вследствие применени  кольцевых магнитов б, образующих криволинейные магнитные пол . Ъвицу большого пути движени  электронов достигаетс  высока  эффективность ионизации газов в объеме ловушки . Бомбардировка ионами адсорбированных на катоде молёкул рабочих жидкостей вакуумных насосов приводит к их полимеризации, вследствие чего упругость паров углеводородов значительно , снижаетс . Кроме того, наличие. охлажденного сосуда 5 поввшает эффективность ловушки, так как скорость адсорбции на холодной поверхности молекул углеводородов возрастает. Предлагаема  электрическа  ловушка может использоватьс  как в форва-. куумных, так и в высоковакуумных системах .

Claims (1)

  1. ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ ЛОВУШКА, содержащая служащий катодом корпус с входным и.выходным патрубками, анод и магнитную систему, отличающаяся тем; что, с целью повышения улавливающей способности, она дополнительно содержит установленный в корпусе с образованием кольцевой полости охлаждаемой сосуд, электрически связанный с корпусом, магнитная система выполнена в виде кольцевых магнитов, размещенных в' сосуде, обращенных друг к другу одноименными полюсами и разделенных немагнитными вставками, а анод расположен в кольцевой полости.
    SU .„,1008511
SU823383914A 1982-01-19 1982-01-19 Электрическа ловушка SU1008511A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU823383914A SU1008511A1 (ru) 1982-01-19 1982-01-19 Электрическа ловушка

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU823383914A SU1008511A1 (ru) 1982-01-19 1982-01-19 Электрическа ловушка

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1008511A1 true SU1008511A1 (ru) 1983-03-30

Family

ID=20993079

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU823383914A SU1008511A1 (ru) 1982-01-19 1982-01-19 Электрическа ловушка

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1008511A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. Пипко А.и. и др. Конструирование и расчет вакуумных систем. М., Энерги , 1970, с. 230. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US2460175A (en) Ionic vacuum pump
US2925214A (en) Ionic vacuum pump
KR20030039327A (ko) 플라즈마 가속장치
DE69839937D1 (de) Plasmabehandlungsvorrichtung mit kombinierter anoden/ionen quelle
WO2001013100A2 (en) Method and apparatus for multiple frequency multipole
JPH0358140B2 (ru)
JP2012164660A (ja) 大電流シングルエンド直流加速器
US3112863A (en) Ion pump
US3216652A (en) Ionic vacuum pump
GB684710A (en) Improvements relating to high vacuum pumps
US3400882A (en) Ion pump
US3535054A (en) Cold-cathode discharge ion pump
US3428241A (en) High vacuum pump
US4687417A (en) High voltage feedthrough for ion pump
US3176906A (en) Ion pump
US4879017A (en) Multi-rod type magnetron sputtering apparatus
US3614264A (en) Ionization getter pump
US3324729A (en) Method and apparatus for detecting leaks
US2791371A (en) Radio frequency ion pump
JPS6331481Y2 (ru)
US3176907A (en) Ion pump
US3197122A (en) Ion pump
Tang et al. An electrostatic ion guide interface for combining electrospray with Fourier transform ion cyclotron resonance mass spectrometry
SU940263A1 (ru) Магниторазр дный насос
US3094639A (en) Glow discharge method and apparatus