Przedmiotem wynalazku jest sposób szlifowa¬ nia materialów pólprzewodnkowych i urzadzenie do szlifowania materialów pólprzewodnikowych.Wynalazek ma zastosowanie w procesie techno¬ logicznym wytwarzania elementów pólprzewodni¬ kowych, a zwlaszcza cienkowarstwowych detekto¬ rów promieniowania jonizujacego. Jednym z pod¬ stawowych wymogów w procesie wytwarzania e- lementów pólprzewodnikowych jest uzyskanie ply¬ tek o wysokiej jakosci wypolerowanej powierzchni.Znany jest sposób szlifowania i polerowania ma¬ terialów pólprzewodnikowych opisany w ksiazce pt. „Procesy technologiczne w.elektronice pólprze¬ wodnikowej" praca zbiorowa WNT 1973 str. 33. W sposobie tym* material pólprzewodnikowy obra¬ biany jest na obrotowej tarczy szlifierskiej ob¬ racajacej sie w plaszczyznie poziomej. Szlifowany material obracany jest dookola swej osi i docis¬ kany do obrotowej tarczy przez obciazanie ob¬ ciaznikami. Do dociskania szlifowanego materialu do obracajacej sie tarczy szlifierskiej stosowane sa tez systemy hydrauliczne.Znane sa urzadzenia do szlifowania i polerowa¬ nia materialów pólprzewodnikowych systemem „Lapmaster" opracowane przez brytyjska firme „Payne Products Internationar opisane w ksiaz¬ ce pt. „Procesy technologiczne w elektronice pól¬ przewodnikowej" praca zbiorowa WNT 1973 r. str. 33. Urzadzenia te zawieraja pozioma obrotowa tarcze1 szlifierska. Obrabiany material pólprzewod- 10 15 25 nikowy umieszczony jest na tarczy nosnej hadz w kasecie wewnatrz obrotowego pierscienia wzgled¬ nie przez luzne ulozenie w pierscieniach prowa¬ dzacych. Element z materialem pólprzewodniko¬ wym umieszczony jest na poziomej tarczy szli¬ fierskiej i utrzymywany przez dwa obrotowe kól¬ ka zwiazane na stale z obudowa urzadzenia., W sposobie wedlug wynalazku material pólprze¬ wodnikowy szlifowany jest na obrotowej tarczy szlifierskiej prze zdociskanie obracajacej sie .ma¬ trycy. Sile docisku obrabianego materialu do tar¬ czy szlifierskiej reguluje sie przez zmiane kata polozenia plaszczyzny tarczy szlifierskiej i przy¬ legajacej do niej matrycy.W urzadzeniu wedlug wynalazku obrotowa tar¬ cza szlifiersko-polerska umieszczona jest na plycie mocujacej zawieszonej na zawiasie. Nieruchoma czesc zawiasu zwiazana jest na stale ze wspor-, nikiem. Obrabiany material umieszczony jest w matrycy zawieszonej za pomoca paska napedowe¬ go na osi napedowej tarczy szlifierskiej. Matryca z obrabianym materialem opiera sie swoja po¬ wierzchnia cierna o tarcze szlifierska. Matryca z obrabianym materialem stanowi tuleje z nacie¬ tym na zewnetrznym obwodzie kanalem napedo¬ wym, a na plaszczyznie ciernej matrycy znajduje sie kanal pierscieniowy i kanaly promieniowe.Zastosowany system napedu tarczy i matrycy jest prosty w stosunku do znanych rozwiazan.Sposób wedlug wynalazku zapewnia mozliwosc 108 310108 310 plynnej i precyzyjnej regulacji docisku szlifowa¬ nego materialu co ma istotne znaczenie dla uzys¬ kania wysokiej jakosci polerowanej powierzchni o malej ilosci defektów krystalograficznych.Sposób wedlug wynalazku zapewnia ponadto mozliwosc uzyskania cienkich plytek o grubosci okolo 0,05 mm, a wiec cienszych niz znanymi spo¬ sobami.Wynalazek jest blizej objasniony w przykla¬ dzie wykonania odtworzonym na rysunku, na któ¬ rym fig. 1 przedstawia widok z boku urzadzenia do szlifowania i polerowania materialów pólprze¬ wodnikowych, a fig. 2 i 3 — odpowiednio prze¬ krój boczny i widok z góry matrycy.W urzadzeniu wedlug wynalazku szlifowany ma¬ terial umieszczony jest w matrycy 5 napedzanej ruchem obrotowym poprzez pasek napedowy 6.Matryca opiera sie o obrotowa tarcze szlifierska 1, której kat nachylenia reguluje sie* wkretem 11.Moment obrotowy z silnika 9 umocowanego za pomoca osi 10 przenoszony jest poprzez kolo 12 do osi 7. Plyta mocujaca 2 zawieszona jest na za¬ wiasie 3. Nieruchoma czesc zawiasu przytwierdzo¬ na jest do wspornika 4. Matryca 5 zawiera prze¬ suwny walek 15 sluzacy do ustalenia grubosci szlifowanego materialu.W sposobie wedlug wynalazku ,po przeszlifowa- niu powierzchni ciernej matrycy przy wcisnietym walku 15, walek wyciaga sie na zadana odleglosc oraz wkleja sie obrabiany material. Matryce wie¬ sza sie nastepnie za pomoca paska 6 na osi 7. Po wlaczeniu napedu material szlifuje sie z zasto¬ sowaniem proszków szlifierskich z uzyciem wody.Zastrzezenia patentowe 1. Sposób szlifowania i polerowania materialów pólprzewodnikowych, w którym material jest szli¬ fowany na obrotowej tarczy szlifierskiej przez do¬ ciskanie obracajacej sie matrycy do tarczy, zna¬ mienny tym, ze sile docisku szlifowanego mate¬ rialu do tarczy szlifierskiej (1) zmienia sie przez zmiane kata polozenia plaszczyzny tarczy szli¬ fierskiej (1) i przylegajacej do rtiej matrycy (5). 2. Urzadzenie do szlifowania i polerowania ma¬ terialów pólprzewodnikowych zawierajace obroto¬ wa tarcze szlifierska umieszczona ha^ ijlycie mo¬ cujacej, znamienne tym, ze obrotowa tarcza szli- fiersko-polerska (1) umieszczona jest na plycie mo¬ cujacej (2), a plyta mocujaca zawieszona jest na zawiasie (3), którego nieruchoma czesc przytwier¬ dzona jest do wspornika (4), przy czym matryca (5) zawieszona jest za pomoca paska napedowego (6) na osi napedowej (7) tarczy szlifierskiej (1) i opiera sie powierzchnia cierna o te tarcze, na¬ tomiast matryca <5) stanowi tuleje z nacietym na zewnetrznej plaszczyznie ciernej kanalem napedo¬ wym (14) oraz na plaszczyznie ciernej kanalami pierscieniowymi-(13)-4- promieniowymi (8). 10 15 20 25108 310 Figi108 310 Fig 2 Fig 3 Bltk 1324/80 r. 120 egz. A4 Cena 45 zl PL