Przedmiotem wynalazku jest regulator temperatury o ciaglej regulacji stoso¬ wany przy procesach technologicznych produkcji i montazu elementów pólprzewodnikowych.Stan techniki. W dotychczasowych rozwiazaniach regulatorów stosuje sie uklady regulacji tempera¬ tury skladajace sie z bloku grzejnego, regulatora temperatury i elementu przelaczajacego. Sa to u- klady dwu- i trójistanowe. Podstawowym podzespo¬ lem ukladu jest element przelaczajacy, którym z reguly bywa stycznik, element o konstrukcji e- lektromechanicznej, która ogranicza jego szybkosc i ilosc przelaczen.Blok grzejny sklada sie ze stalowego korpusu w którym sa zamocowane elementy grzejne o du¬ zej koncentracji mocy. Sto-sowana tu dwu- i trój- stanowa regulacja temperatury bloku grzejnego powoduje duze wahania temperatury rzedu kilku¬ nastu stopni CaLsjusza oraz znaczne zmniejszenie trwalosci urzadzenia. Nalezy zaznaczyc, ze w tym ukladzie bloku grzejnego trwalosc elementów jest niewystarczajaca.Awaria opisanego wyzej regulatora temperatury np. wskutek przepalenia sie elementu grzejnego w dotychczasowych rozwiazaniach nie jest sygna¬ lizowana. W zwiazku z tym obsluga stanowiska spostrzega uszkodzenie z opóznieniem, co powoduje wykonanie pewnej ilosci braków. Obecnie na ryn¬ ku sa dostepne krajowe regulatory temperatury 10 15 20 25 30 dwu- i trójpolozeniowe typ RE-1, RE-2, RE-3, i RE-4 produkcji Lubelskich Zakladów Aparatury Elektrycznej „LUMEL". Nastawianie temperatury w wymienionych typach regulatorów dokonuje sie za pomoca potencjometrów obrotowych z doklad¬ noscia do +5°C, co stanowi zbyt duzy zakres nie¬ dokladnosci w procesach produkcyjnych elemen¬ tów pólprzewodnikowych.Stosowane clotychczas regulatory temperatury posiadaja wady takie jak mala trwalosc, niestabil¬ nosc pracy, zbyt szeroki zakres temperatury dzia¬ lania, brak sygnalizacji ostrzegajacej obsluge o a- warii urzadzenia.Istota wynalazku. Regulator temperatury o cia¬ glej regulacji sklada sie ze wzmacniacza wstep¬ nego, z czlonu dynamicznego, z tyrystorowego u- kladu wyzwalajacego i wezla sumacyjnego z cy¬ frowym- zadajnikiem temperatury z termo-elemen- tem.Wzmacniacz wstepny jest polaczony ze wzmac¬ niaczem odchylki górnej i ze wzmacniaczem od¬ chylki dolnej, które sa polaczone z ukladem sy¬ gnalizacji, przy czym wzmacniacze odchylki dol¬ nej i górnej sa sterowane potencjometrami. Uklad sygnalizacji jest polaczony z lampka sygnaliza¬ cyjna odchylki dolnej oraz z glosnikiem.Regulator temperatury wedlug wynalazku cha¬ rakteryzuje sie duza trwaloscia eksploatacyjna, 111 531111531 dokladna regulacja temperatury i stabilna pra¬ ca.Przyklad wykonania wynalazku. Regulator we¬ dlug wynalazku jest przedstawiony na rysunku w ukladzie blokowym. Regulator sklada sie z cyfro¬ wego zadajnika ZC temperatury i termoelementu.Zadajnik cyfrowy ZC wraz z termoelementem wy- sterowuje przez wezel sumacyjny S wzmacniacz wstepny WW. Wzmacniacz WW wstepny przeka¬ zuje wzmacniany sygnal wypadkowy do wskazni¬ ka uchybu M} wzmacniaczy odchylki górnej WOG i odchylki dolnej WOD od wartosci temperatury zadanej. Wskaznik uchybu M pokazuje odchylke od wartosci zadanej, w zakresie np. ±50°C. Umoz¬ liwia to ciagly odczyt aktualnej temperatury u- rzadzenia.Wzmacniacz odchylki górnej WOG w zaleznosci od nastawy NG dopuszczalnej odchylki tempera¬ tury „w góre" (w zakresie 10±50°C) wysteruje u- Klad sygnalizacji US; po przekroczeniu odchylki NG nastepuje zapalenie sie lampki sygnalizacyjnej LG i uruchomienie sygnalu akustycznego G. A- nalogicznie wzmacniacz odchylki dolnej WOD z nastawa ND sygnalizuja odchylenie temperatury „w dól" od wartosci zadanej, zapaleniem sie lamp¬ ki LD i wlaczeniem sygnalu dzwiekowego G.Czlon dynamiczny CzD przeksztalca sygnal u- chybu ze wzmacniacza wstepnego WW nadajac regulacji charakter proporcjonalno-calkujaco-róz- niczkujacy. Nastawy zakresów proporcjonalnosci 30 P, stalej\ calkowania I oraz stalej rózniczkowania D pobiera sie kazdorazowo w zaleznosci od stalych czasowych grzejnika.Uklad wyzwalajacy tyrystorowy UW generuje impulsy wyzwalajace tyrystory Th, które reguluja prad grzejnika, w zaleznosci od wielkosci sygnalu wyjsciowego czlonu dynamicznego CzD. Dla zmniejszenia zaklócen sieciowych, radioelektrycz¬ nych, tyrystory sa sterowane poprzez opuszczanie cykli — tak zwane sterowanie synkopowe.Zastrzezenie patentowe Regulator temperatury o ciaglej regulacji po¬ siadajacy wzmacniacz wstepny, czlon dynamicz¬ ny, tyrystorowy uklad wyzwalajacy, oraz wzmac¬ niacz wstepny, który jest polaczony poprzez wezel sumacyjny z cyfrowym zadajnikiem temperatury i z termoelementem, znamienny tym, ze wzmac¬ niacz wstepny (WW) jest polaczony ze wzmacnia¬ czem odchylki górnej (WOG) i ze wzmacniaczem odchylki dolnej (WOD), które sa polaczone z u- kladem sygnalizacji (US) przy czym wzmacniacz odchylki górnej (WOG) jest sterowany potencjo¬ metrem (NG) a wzmacniacz (WOD) potencjome¬ trem (ND), natomiast uklad sygnalizacji (US) jest polaczony z lampka sygnalizacyjna odchylki gór¬ nej (LG) i z lampka sygnalizacyjna odchylki dol¬ nej (LD) oraz glosnikiem (G).Dtt-3, zhm. 347/fii Cena 45 zl PL