PL209126B1 - Sposób regulacji natężenia przepływu płynów i regulator natężenia przepływu płynów - Google Patents

Sposób regulacji natężenia przepływu płynów i regulator natężenia przepływu płynów

Info

Publication number
PL209126B1
PL209126B1 PL368704A PL36870404A PL209126B1 PL 209126 B1 PL209126 B1 PL 209126B1 PL 368704 A PL368704 A PL 368704A PL 36870404 A PL36870404 A PL 36870404A PL 209126 B1 PL209126 B1 PL 209126B1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
flow rate
flow
sensor
reverse counter
thermal
Prior art date
Application number
PL368704A
Other languages
English (en)
Other versions
PL368704A1 (pl
Inventor
Alina Magońska
Zbigniew Magoński
Original Assignee
Inst Tech Elektronowej
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Inst Tech Elektronowej filed Critical Inst Tech Elektronowej
Priority to PL368704A priority Critical patent/PL209126B1/pl
Publication of PL368704A1 publication Critical patent/PL368704A1/pl
Publication of PL209126B1 publication Critical patent/PL209126B1/pl

Links

Landscapes

  • Flow Control (AREA)

Description

Opis wynalazku
Przedmiotem wynalazku jest sposób regulacji natężenia przepływu płynów i regulator natężenia przepływu płynów, umożliwiający zarówno kontrolę przepływu gazów, jak i cieczy o niskich temperaturach wrzenia.
We współczesnych procesach technologicznych kontrola przepływu mediów jest powszechnie stosowana. Dotyczy to w szczególności takich gałęzi wytwórczości, jak przemysł chemiczny, przemysł farmaceutyczny. Precyzyjna kontrola domieszek jest niezbędna w przemyśle elektronicznym, gdzie domieszki materiałów półprzewodnikowych są wprowadzane z fazy gazowej.
Z amerykańskiego opisu patentowego nr US 5 303 731 znany jest regulator przepływu cieczy, w którym czujnik ciś nienia mierzy różnicę ciś nień powstałą wskutek przepływu cieczy przez długą kapilarę. Obwód elektroniczny porównuje sygnał z różnicowego czujnika ciśnienia z sygnałem zadającym i odpowiednio steruje zaworem elektromagnetycznym.
Z patentu amerykańskiego nr US 5 911 238 znany jest termiczny przepływomierz oraz masowy kontroler natężenia przepływu przeznaczony do pracy z toksycznymi płynami. Przepływomierz oprócz czujnika termicznego w postaci kapilary oraz zaworu elektromagnetycznego zawiera przetworniki A/D i D/A oraz mikroprocesorowy kontroler, który linearyzuje charakterystykę czujnika przepływu oraz przechowuje dane kalibracyjne umożliwiające przeskalowanie przepływomierza dla innych płynów.
Niedogodnością rozwiązania według patentu nr US 5 303 731 jest znaczny spadek ciśnienia na kapilarze, której długość wynosi 24 cale, przy średnicy wewnętrznej 0,325 mm. Dodatkową niedogodnością jest konieczność precyzyjnej stabilizacji temperatury z uwagi na silną zależność lepkości cieczy i tym samym spadku ciś nienia na kapilarze od temperatury.
Z kolei regulatory według patentu nr US 5 911 238 nie nadają się do kontroli natężenia przepływu cieczy o niskich temperaturach wrzenia z uwagi na dość wysokie temperatury wewnątrz czujnika termicznego, wymagają stosowania układów linearyzujących charakterystykę czujnika przepływu, co z kolei utrudnia kompensację dryftów temperaturowych. Osobnym problemem jest elektromagnetyczny zawór regulacyjny, od którego wymaga się dużej liniowości i małej bezwładności, co w konsekwencji sprowadza się do tego, że dla każdego typu regulatora konieczne jest bardzo staranne dobranie właściwego zaworu.
W rozwiązaniu według wynalazku wyeliminowano wymienione wady. W regulatorze przepływu płynów zastosowano znany z polskiego opisu patentowego nr 179 157 termorezystancyjny miernik natężenia przepływu zrealizowany w postaci samobalansującego się mostka termicznego, w którym grzewcze i kompensujące termorezystory umiejscowione są na wspólnym podłożu, natomiast sam mostek termiczny jest integralną częścią termicznego modulatora sigma delta.
Istota sposobu regulacji natężenia przepływu płynów polega na tym, że za pomocą układu cyfrowego dokonuje się obliczenia różnicy dostarczonych impulsów elektrycznych ze źródła zadającego i impulsów wyjś ciowych czujnika przepływu w postaci samobalansującego się mostka termicznego i w zależności od wyniku porównania steruje się pracą silnika krokowego, który za pośrednictwem przekładni mechanicznej dokonuje przemieszczenia elementu dławiącego w zaworze regulacyjnym. Ponadto wewnątrz czujnika przepływu, w jego obszarach pomiarowych, utrzymuje się niezmienny rozkład temperatury niezależnie od natężenia przepływu, przy czym maksymalny przyrost temperatury płynu wewnątrz czujnika jest mniejszy od 5°K.
Istota regulatora przepływu płynów według wynalazku polega na tym, że ma termiczny czujnik przepływu zrealizowany w postaci samobalansującego się mostka termicznego, przy czym sam mostek termiczny jest integralną częścią termicznego modulatora sigma delta, z którego sygnał wyjściowy doprowadzony jest do wejścia licznika rewersyjnego, podczas gdy drugie wejście licznika rewersyjnego połączone jest ze źródłem sygnału zadającego, natomiast co najmniej dwa wyjścia licznika rewersyjnego połączone są poprzez obwód logiczny z silnikiem krokowym, którego wirnik poprzez przekładnię mechaniczną łączy się z elementem dławiącym zaworu regulacyjnego.
Przedmiot wynalazku w przykładzie wykonania uwidoczniono na rysunku, na którym fig. 1 przedstawia schemat blokowy regulatora przepływu płynów, a fig. 2 przedstawia stany przejściowe regulatora przepływu płynów przy dochodzeniu do zadanej wartości natężenia przepływu.
W układzie regulatora przepływu płynów czujnik przepływu 1 połączony jest z wejściem zliczającym w dół licznika rewersyjnego 2, natomiast wejście zliczające w górę połączone jest z źródłem sygnału zadającego. Wyjścia licznika rewersyjnego 2 poprzez układ logiczny 3 oraz sterownik 4 połąPL 209 126 B1 czone są z silnikiem krokowym 5. Silnik krokowy 5 poprzez przekładnię mechaniczną 6 połączony jest z ruchomym elementem dławiącym 7 zaworu regulacyjnego 8.
Regulator według wynalazku charakteryzuje się dużą szybkością reakcji na nagłe zmiany zadanej wartości przepływu. Przy nagłych zmianach wielkości zadającej regulator dochodzi do stanu ustalonego bez przesterowań. Ponieważ prędkość obrotowa silnika krokowego jest proporcjonalna do wielkości sygnału błędu w miarę zbliżania się do zadanej wartości natężenia przepływu szybkość zmiany położenia zaworu ulega zmniejszeniu. Szybkość dochodzenia regulatora do równowagi można ustalać poprzez dobór przekładni mechanicznej jak również, co jest znacznie bardziej wygodne, poprzez zmianę współczynnika podziału przez licznik rewersyjny.
Chwilową wartość natężenia przepływu podczas dochodzenia do równowagi można wyrazić jako:
Up(t) = f,(t) = KJfz W fs(t) t •dt (1) 0 Wp gdzie:
fz - częstotliwość zadająca, fs - częstotliwość sygnału wyjściowego z czujnika,
Wp - współczynnik podziału ustalony przez licznik rewersyjny,
K- współczynnik normujący, określający zależność pomiędzy położeniem dławika zaworu a natężeniem przepływu wyrażonym w postaci częstotliwości.
Rozwiązaniem równania (1) jest funkcja:
rk · t21 fs(t) = fz - f,-exp[—] (2)
2Wp
Przebieg tej funkcji przedstawia krzywa „a” na fig. 2. Fig. 2 przedstawia także rzeczywiste, zmierzone stany przejściowe regulatora przy dochodzeniu do zadanej wartości natężenia przepływu, przy czym krzywa „b” określa stan przejściowy dla współczynnika podziału przez licznik rewersyjny równego 256, natomiast krzywa „c” określa stan przejściowy dla współczynnika podziału równego 8196.
Szybkość dochodzenia regulatora przepływu płynów do wartości zadanej może być ustalana poprzez dobór parametrów mechanicznych na przykład przekładnia śrubowa lub programowo, przez zmianę współczynnika podziału przez licznik rewersyjny. Stosunkowo niewielkie rozbieżności pomiędzy obliczonym stanem przejściowym a rzeczywistym dochodzeniem do równowagi wynikają ze znacznego oddzielenia zaworu od czujnika. Fakt, że zawór znajduje się przed czujnikiem oznacza, że nawet po zupełnym zamknięciu zaworu przez czujnik przez pewien czas przepływ będzie miał miejsce; wynika to z nieuchronnej chwilowej różnicy ciśnień pomiędzy miejscem wypływu płynu, a ciśnieniem płynu tuż za zaworem. Rozbieżności te mogą być znacznie większe, jeżeli w kanałach prowadzących płyn zagnieżdżą się gazy. Źródłem zakłóceń jest także sam zawór regulacyjny. Ruchomy element regulacyjny powoduje zmianę objętości płynu w zaworze; z tego też względu, odmiennie niż w regulatorach dla gazów, zawór regulacyjny umiejscowiono przed czujnikiem. Dzięki temu przy zamykaniu zaworu znacznie większa część płynu wypychana jest do źródła zasilającego. Tym nie mniej, podczas zamykania następuje chwilowy wzrost ciśnienia. Efekt ten uwidacznia krzywa „c” na fig. 2, gdzie impulsy domykające zawór powodują chwilowy, skokowy wzrost natężenia przepływu.
Regulacja za pośrednictwem silnika krokowego jest bardzo korzystna, ponieważ pozwala na swobodny dobór zaworów i stosunkowo niskie wymagania w stosunku do tego elementu. Jedynym wymogiem, który musi koniecznie być spełniony jest proporcjonalna zależność pomiędzy zmianą położenia elementu dławiącego przepływ, a natężeniem przepływu. Liniowość charakterystyki zaworu, aczkolwiek bardzo korzystna, nie musi być spełniona dla poprawnej pracy regulatora.
Ponieważ liniowość regulatora uzależniona jest jedynie od liniowości czujnika przepływu, jak również maksymalna szybkość reakcji regulatora na nagłe zmiany natężenia przepływu zależna jest od parametrów czujnika przepływu, realizacja regulatora nie wymaga procesu kalibracji i strojenia.
Dodatkowe korzystne cechy regulatora to możliwość pracy przy bardzo niskich różnicach ciśnień oraz niski przyrost temperatury wewnątrz czujnika < 4°K, co umożliwia kontrolę przepływu cieczy o niskich temperaturach wrzenia, takich jak: pentan, aceton, alkohole.

Claims (3)

Zastrzeżenia patentowe
1. Sposób regulacji natężenia przepływu płynów, znamienny tym, że za pomocą układu cyfrowego dokonuje się obliczenia różnicy dostarczonych impulsów elektrycznych ze źródła zadającego i impulsów wyjś ciowych czujnika przepływu w postaci samobalansującego się mostka termicznego i w zależności od wyniku porównania steruje się pracą silnika krokowego, który za pośrednictwem przekładni mechanicznej dokonuje przemieszczenia elementu dławiącego zaworu regulacyjnego.
2. Sposób regulacji natężenia przepływu według zastrz. 1, znamienny tym, że wewnątrz czujnika przepływu, w jego obszarach pomiarowych, utrzymuje się niezmienny rozkład temperatury niezależnie od natężenia przepływu, przy czym maksymalny przyrost temperatury płynu wewnątrz czujnika jest mniejszy od 5°K.
3. Regulator regulacji natężenia przepływu płynów, znamienny tym, że ma termiczny czujnik przepływu zrealizowany w postaci samobalansującego się mostka termicznego, przy czym sam mostek termiczny jest integralną częścią termicznego modulatora sigma delta, z którego sygnał wyjściowy doprowadzony jest do wejścia licznika rewersyjnego (2), podczas gdy drugie wejście licznika rewersyjnego (2) połączone jest ze źródłem sygnału zadającego, natomiast co najmniej dwa wyjścia licznika rewersyjnego (2) połączone są poprzez obwód logiczny (3) i sterownik (4) z silnikiem krokowym (5), którego wirnik poprzez przekładnię mechaniczną (6) łączy się z elementem dławiącym (7) zaworu regulacyjnego (8).
PL368704A 2004-06-23 2004-06-23 Sposób regulacji natężenia przepływu płynów i regulator natężenia przepływu płynów PL209126B1 (pl)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL368704A PL209126B1 (pl) 2004-06-23 2004-06-23 Sposób regulacji natężenia przepływu płynów i regulator natężenia przepływu płynów

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL368704A PL209126B1 (pl) 2004-06-23 2004-06-23 Sposób regulacji natężenia przepływu płynów i regulator natężenia przepływu płynów

Publications (2)

Publication Number Publication Date
PL368704A1 PL368704A1 (pl) 2005-12-27
PL209126B1 true PL209126B1 (pl) 2011-07-29

Family

ID=37495818

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL368704A PL209126B1 (pl) 2004-06-23 2004-06-23 Sposób regulacji natężenia przepływu płynów i regulator natężenia przepływu płynów

Country Status (1)

Country Link
PL (1) PL209126B1 (pl)

Also Published As

Publication number Publication date
PL368704A1 (pl) 2005-12-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5868159A (en) Pressure-based mass flow controller
US11416011B2 (en) Pressure-type flow control device and flow control method
JP4594728B2 (ja) より高い正確度の圧力に基づく流れコントローラ
KR100427563B1 (ko) 병렬분류형 유체공급장치와, 이것에 사용하는 유체가변형압력식 유량제어방법 및 유체가변형 압력식 유량제어장치
EP1386203B1 (en) Mass flow meter systems and methods
KR101391198B1 (ko) 질량 유량 제어기를 위한 제어기 이득 스케쥴링
KR890005283B1 (ko) 유량제어장치
WO2002052363A1 (en) Pressure-based mass flow controller system
TWI796417B (zh) 具有絕對和差分壓力變換器之質量流量控制器及其相關方法
KR20070110499A (ko) 유량 레인지 가변형 유량 제어 장치
CN108475077B (zh) 气体不敏感的质量流量控制系统和方法
KR102237868B1 (ko) 압력 둔감형 자기 검증 질량 유량 컨트롤러를 제공하는 시스템 및 방법
JP7752036B2 (ja) 流量制御装置、流量制御方法、及び、流量制御装置用プログラム
KR102842871B1 (ko) 질량유량, 밀도, 온도 또는 유속의 측정 시스템 및 방법
PL209126B1 (pl) Sposób regulacji natężenia przepływu płynów i regulator natężenia przepływu płynów
WO2025038383A1 (en) Method and apparatus for automatic self calibration of mass flow controller
US20100012027A1 (en) Device for injecting liquid precursors into a chamber in pulsed mode with measurement and control of the flowrate
JPH0472717A (ja) 半導体製造装置
Liso et al. A new differential pressure sensor based mass flow controller for advanced semiconductor processing
RU2208826C2 (ru) Устройство для регулирования расхода газа
WO2025211124A1 (ja) 流量測定装置および流体制御装置
ERK et al. 7.5 Regulators—Flow
Fisher Characteristics of Common Process Control Systems
Lotters Model-Based Multi-Gas/Multi-Range Mass Flow Controllers With Single Gas Calibration and Tuning

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Decisions on the lapse of the protection rights

Effective date: 20140623