PL217715B1

PL217715B1 - Sposób i układ z dwiema anodami do nadmiarowego napylania anodowego

Info

Publication number: PL217715B1
Application number: PL391856A
Authority: PL
Inventors: Goetz Teschner; Enno Mirring; Johannes Struempfel; Andreas Heisig
Original assignee: Ardenne Anlagentech Gmbh; Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh
Priority date: 2007-09-25
Filing date: 2008-09-25
Publication date: 2014-08-29
Also published as: PL391856A1; CH700002B1; US8980072B2; WO2009040406A2; DE112008002242A5; WO2009040406A3; US20100230275A1; DE112008002242B4

Abstract

Przedmiotem zgłoszenia jest sposób, w którym dwie przeciwległe do siebie anody są eksploatowane przemiennie jako anoda do wyładowania plazmy i jako katoda samooczyszczająca się i katoda do wyładowania plazmy jest powrotnie krótkotrwale przebiegunowywana, oraz układ zawierający katodę (3) oraz pierwszą i drugą anodę (12), które są zasilane napięciem za pomocą układu mostkowego typu H. Zasilanie prądem stałym jest zaprojektowane jako zasilanie prądem pulsacyjnym; przebiegunowanie napięcia katodowego spowodowane jest przez zasilanie prądem pulsacyjnym. W każdej chwili co najmniej jedna anoda ma potencjał dodatni, a tymczasowo podczas czasu trawienia druga anoda ma potencjał ujemny, a układ mostkowy typu H (V1 ... V4)jest tak połączony funkcjonalnie z zasilaniem prądem pulsacyjnym, że w każdej chwili co najmniej jedna anoda ma potencjał dodatni.

Description

Przedmiotem wynalazku jest sposób nadmiarowego napylania anodowego z układem dwuanodowym, według którego dwie przeciwległe anody działają naprzemienne jako anoda wyładowania plazmowego i jako katoda dla samooczyszczania podczas wytrawiania oraz katoda wyładowania plazmowego jest powrotnie przebiegunowywana na krótki czas celem zredukowania naładowania statycznego.

Przedmiotem wynalazku jest też układ z dwiema anodami do nadmiarowego napylania anodowego, mający komorę próżniową ze ścianką i umieszczoną w niej katodą oraz pierwszą i drugą anodą, które są sterowane za pomocą mostka typu H mającego pierwszą gałąź mostka i drugą gałąź mostka, przy czym obie gałęzie mostka tworzą razem na jednej stronie przyłącze plusowe i obie gałęzie mostka tworzą razem na drugiej stronie przyłącze minusowe.

W urządzeniu napylającym przy ciśnieniu kilku mikrobarów [ąbar] jest inicjowane wyładowanie w gazie między katodą i anodą. Materiał tarczowy, który stanowi wystawiona na wyładowanie gazowe powierzchnia katody, zużywa się w wyniku intensywnego bombardowania jonami. W procesie napylania katodowego powstaje chmura oparów materiału, która osadza się na wszystkich częściach komory próżniowej. W konstrukcji urządzeń napylających dąży się do tego, aby jak najwięcej tego odpylanego materiału było przejmowane przez podłoże i jak najmniej osiadało na anodach. Ponieważ często podczas wydzielania pyłu tworzą się zamierzenie lub niezamierzenie materiały słabo przewodzące bądź izolujące, to z czasem jest znacznie utrudniony przepływ prądu przez powlekaną powierzchnię anody, tak że jest zagrożona stabilność wyładowania w gazie, aż do całkowitego zaniku.

Stabilne długookresowo procesy, w których z ceramicznego materiału tarczowego są wydzielane z dużą prędkością rozpylania tlenki lub azotki, są wyzwaniem przy budowie urządzenia napylającego.

Z patentu US 6,183,605 znane jest wykorzystanie dwóch anod, które działają naprzemiennie jako anoda i jako katoda do samooczyszczania. Układ ten realizuje nadmiarowe napylanie anodowe, to jest napylanie katodowe z dodatkową anodą. Wadą tego rozwiązania jest brak sterowania wytrawianiem przy połączonej katodowo anodzie.

W zgłoszeniu PCT WO 2007/051461 opisano układ sterowania wytrawianiem. Przedstawiono tam dwie odmiany wykonania, z generatorem średniej częstotliwości lub z zasilaczem DC (zasilaczem prądu stałego), który rozdziela impulsowo moc na katodę i obie anody. Jedno z rozwiązań z zasilaczem prądu stałego przewiduje klasyczny mostek typu H z czterech przełączników, w szczególności z tranzystorów bipolarnych z izolowaną bramką (IGBT), które powodują po pierwsze zmianę biegunowości anod (elektrod) a po drugie krótkotrwałe przebiegunowanie katody celem odessania elektronów z resztkowej plazmy i celem rozładowania. Rozwiązanie to i jego przebiegi napięciowe przedstawiono na fig. 1 i fig. 2.

Przy tym dostępne w handlu zasilacze prądu stałego mogą być wykorzystane do pracy na zasadzie nadmiarowego napylania anodowego z dwiema anodami (układ dwuanodowy). Jednak potrzebne jest do tego użycie przełączników, które powodują sterowane przełączanie prądów na anodach, ale są chronione przed obciążeniem ze strony zasilaczy prądu stałego.

Z US 5,427,669 znany jest impulsowy zasilacz prądu stałego (zasilacz prądu impulsowego), który na krótki czas zmienia biegunowość katody tak, że powodowane jest rozładowanie ewentualnie naładowanej katody. Takie krótkotrwałe przebiegunowanie katody uzyskane w układzie wskutek wysokich wartości du/dt (gradient napięcia) powoduje niebezpieczne obciążenie stosowanych zwykle w mostkach przyłączeniowych przełączników półprzewodnikowych. Określenie krótkotrwałe oznacza w tym przypadku, że czas trwania impulsu przełączeniowego jest krótszy niż czas do następnego impulsu przełączeniowego, a więc czas występowania ujemnego napięcia katodowego.

Poza tym układ ten jest przewidziany wprawdzie do nadmiarowego napylania anodowego, ale nie jest stosowany przy układzie dwuanodowym.

Następne zagrożenie zasadniczo dla elementów półprzewodnikowych jako przełączników stanowi nagłe wygaszenie plazmy, na przykład z powodu zbyt niskiego ciśnienia. Taka sytuacja określana jako zanik mocy wywołuje ekstremalne przepięcia powodujące zniszczenie elementów półprzewodnikowych, gdy nie daje się ograniczyć napięć.

Tak więc zadaniem wynalazku jest poprawienie działania nadmiarowego napylania anodowego z dwiema anodami oraz zwiększenie zabezpieczenia elementów konstrukcyjnych.

Rozwiązanie tego zadania od strony sposobu przewiduje, że katoda i anody są zasilane z impulsowego zasilacza, zmianę biegunowości napięcia katodowego powoduje impulsowy zasilacz, w każdym momencie czasowym co najmniej jedna anoda ma dodatni potencjał i tymczasowo podczas

PL 217 715 B1 wytrawiania druga anoda ma ujemny potencjał. Tak więc w przeciwieństwie do stanu techniki jest możliwe wyładowanie katody przez zasilanie napięciem a także napylanie anodowe przy dwóch anodach.

W odmianie realizacji sposobu przewidziano, że napięcie na katodzie jest przebiegunowywane impulsem napięciowym z zasilacza impulsowego, przy czym czas trwania tego impulsu jest mniejszy niż połowa czasu do następnego impulsu, korzystnie jest mniejszy o rząd wielkości.

Napięcie katodowe może być wytwarzane asynchronicznie do wytwarzania napięć anodowych. Dzięki temu nie ma potrzeby dopasowania do siebie obu przebiegów czasowych, co pozwala zmniejszyć nakłady.

Ponieważ anody nie mogą znajdować się w tym samym miejscu w plazmie, to różni się tempo ich powlekania.

Dlatego anody wymagają zróżnicowanych szybkości wytrawiania. W odmianie wykonania sposobu jest taka możliwość, że mostek typu H jest sterowany tak, że czasy wytrawiania obu anod mają różne długości.

W przypadku materiałów z resztkową przewodnością unika się całkowitego wytrawiania na błyszcząco, ponieważ wiąże się z tym niebezpieczeństwo zużycia materiału anody. Czas wytrawiania jest nastawiany tak, że powstaje nieznaczna powłoka. Przy tym kryterium dla niezbędnego czasu wytrawiania jest powłoka anod, która jest widoczna na elektrodach poprzez barwy interferencyjne, tak że w odmianie realizacji wynalazku następuje zatrzymanie wytrawiania anod, gdy na anodach pojawiają się barwy interferencyjne.

W następnej odmianie sposobu według wynalazku przewidziano, że częstotliwość zmian między czasem wytrawiania i przykładaniem napięcia anodowego do anod mieści się w zakresie od 1 kHz do 10 kHz. Częstotliwość zmian między wytrawianiem a działaniem anodowym jest wyznaczana przez właściwości powłoki powstającej na anodzie. W przypadku gdy chodzi o słabo przewodzące warstewki, na przykład ZnO, to wystarczy częstotliwość zmian odpowiadająca kilku Hz. Gdy chodzi o warstewki o wysokich właściwościach izolujących, to potrzebna jest wówczas częstotliwość zmian rzędu kilkudziesięciu kHz. Częstotliwość musi być na tyle wysoka, żeby powstająca na anodzie warstwa nie doprowadzała jeszcze do całkowitej izolacji i nie uniemożliwiała wytrawiania. Z drugiej strony, w miarę wzrostu częstotliwości zmian, powstają niepotrzebne straty przełączeniowe w mostku typu H. Częstotliwość 40 kHz dla SiO2 jest dobrym kompromisem.

Rozwiązanie postawionego zadania od strony układu przewiduje, że zasilacz prądu stałego jest zaprojektowany jako zasilacz impulsowy i mostek typu H jest połączony z generatorem synchronizującym i jest połączony czynnie z zasilaczem impulsowym tak, że w każdym momencie czasowym co najmniej jedna anoda ma dodatni potencjał.

W odmianie ukształtowania układu według wynalazku przewidziano, że środkowy punkt pierwszej gałęzi mostka jest połączony z pierwszą anodą a środkowy punkt drugiej gałęzi mostka jest połączony z drugą anodą tak, że plusowe przyłącze mostka typu H jest połączone z plusowym wyjściem zasilacza impulsowego a minusowe przyłącze mostka typu H jest połączone z minusowym wyjściem zasilacza impulsowego dając napięcie powodujące oczyszczanie anod podczas wytrawiania.

Następne ukształtowanie przewiduje, że środkowy punkt pierwszej gałęzi mostka jest połączony poprzez pierwszą cewkę z pierwszą anodą a środkowy punkt drugiej gałęzi mostka jest połączony poprzez drugą cewkę z drugą anodą. Obie cewki służą do tłumienia ewentualnych oddziaływań wstecznych z plazmy anodowej na przełączniki.

Układ według wynalazku może być też ukształtowany tak, że między pierwszą anodę i ściankę komory jest włączony pierwszy układ szeregowy złożony z diody (Vhzh1) i rezystora (Rzh1) a między drugą anodę i ściankę komory jest włączony drugi układ szeregowy złożony z diody (Vhzh2) i rezystora (Rzh2). Te połączone układy dioda-rezystor Vzh1-Rzh1bądź Vzh2-Rzh2 służą po pierwsze jako pomoc przy wzbudzeniu, gdyż jest utrudnione wzbudzenie wyładowania w gazie w układzie z anodami nie widocznymi z katody, i po drugie razem z cewkami L2 i L3 tłumią dodatnie zasilanie drugostronne z plazmy.

W następnym ukształtowaniu wynalazku przewidziano, że plusowe wyjście zasilacza impulsowego jest połączone pojemnościowo przez kondensator z komorą próżniową, w szczególności ze ścianką komory. Dzięki temu zapobiega się występowaniu szkodliwych stanów nieustalonych (szczytów napięciowych) w gałęzi plusowej.

Inna odmiana ukształtowania przewiduje, że między plusowe przyłącze i minusowe przyłącze jest włączony kondensator, przy czym minusowe przyłącze jest połączone poprzez łańcuch prostowników i cewkę z minusowym wyjściem zasilacza impulsowego i między łańcuch prostowników oraz plusowe przyłącze jest włączony układ szeregowy złożony z kondensatora i rezystora, przy czym

PL 217 715 B1 przez cewkę, kondensator (C2) i rezystor jest utworzone połączenie tłumiące bardzo szybkie zmiany napięciowe.

Ponieważ praca ma odbywać się bez synchronizacji między układem wysterowania mostka H i zasilaczem impulsowym, to kondensator służy do naładowania poprzez łańcuch prostowników V11...V1n do napięcia szczytowego występującego na wyjściach zasilacza impulsowego. Połączenie L1 - R2 - C2 służy do tłumienia bardzo szybkich zmian napięciowych tak, że łańcuch prostowników V11...V1n jest chroniony przed bardzo szybkimi zmianami napięciowymi.

Wynalazek jest objaśniany poniżej na przykładzie realizacji przedstawionym na przynależnych rysunkach, na których:

fig. 1 przedstawia schematycznie strukturę porównywalnego układu według stanu techniki, fig. 2 - przebieg napięcia w czasie dla układu według fig. 1, fig. 3 - schemat układu według wynalazku i fig. 4 - przebieg w czasie potencjału anodowego i katodowego.

Do przełączania anod 1; 2 wykorzystuje się mostek typu H (V1...V4) z przełącznikami półprzewodnikowymi, jakie są stosowane obecnie w wielu prostownikach i zasilaczach prądowych.

Punkt środkowy każdej gałęzi mostka, na fig. 3 oznaczony przez A1 bądź A2, jest połączony poprzez cewki L2 lub L3 z pierwszą anodą 1 bądź drugą anodą 2. Obie cewki L2 i L3 służą do tłumienia ewentualnego wstecznego oddziaływania plazmy anodowej na przełączniki (V1...V4).

Połączenia dioda-rezystor Vzh1-Rzh1 bądź Vzh2-Rzh2 służą po pierwsze jako pomoc przy zapłonie, gdyż jest utrudnione wzbudzenie wyładowania w gazie w układzie z anodami 1; 2 nie widocznymi z katody 3, i po drugie razem z cewkami L2 i L3 tłumią dodatnie zasilanie drugostronne z plazmy.

Plusowe przyłącze 4 mostka typu H (V1...V4) jest połączone bezpośrednio z plusowym wyjściem 5 zasilacza impulsowego 6. Aby nie doszło do pojawienia się szkodliwych stanów nieustalonych (szczytów napięciowych) w gałęzi plusowej, połączono tą gałąź pojemnościowo poprzez blok kondensatorów C1 z komorą próżniową 7, a dokładniej ze ścianką 8. Kondensatory C1 muszą mieć dostatecznie małą indukcyjność własną, żeby nawet przy szybkich zmianach napięcia wyjściowego zasilacza impulsowego 6 występowały tylko niegroźne zmiany napięcia w gałęzi plusowej.

Minusowe przyłącze 9 mostka typu H (V1...V4) musi być zasilane napięciem, które powoduje oczyszczanie anod 1; 2 podczas wytrawiania.

Praca ma odbywać się bez synchronizacji między układem wysterowania mostka typu H (V1...V4) i zasilaczem impulsowym 6, wobec czego wprowadzono kondensator akumulacyjny C3, który został połączony z plusowym przyłączem 4 i minusowym przyłączem 9 mostka typu H (V1...V4). Ten kondensator C3 jest ładowany poprzez łańcuch prostowników V11...V1n do napięcia szczytowego, które występuje na wyjściowych zaciskach zasilacza impulsowego. Połączenie L1 - R2 - C2 służy do tłumienia bardzo szybkich zmian napięcia, tak że łańcuch prostowników V11...V1n jest zabezpieczony przed bardzo szybkimi zmianami napięcia.

W przypadku przepięcia na wyjściu zasilacza impulsowego 6 między plusowym wyjściem 5 i minusowym wyjściem 10 tego zasilacza impulsowego 6 nastąpiło by niedopuszczalnie wysokie naładowanie kondensatora C3. Z tego powodu równolegle do kondensatora C3 jest umieszczona ochrona przepięciowa 11, która wywołuje zapłon tyrystora 12, gdy napięcie na kondensatorze C3 przekracza nastawioną wartość progową. Tym samym następuje zwarcie zasilacza impulsowego 6 przez prostowniki V11...V1n i cewkę L1. To zwarcie wykrywa zasilacz impulsowy 6 i wyłącza prąd.

Układ wysterowania 13 mostka typu H (V1...V4) ma pewną cechę szczególną. Jak pokazuje wykres czasowy na fig. 4, musi być zawsze zapewnione połączenie co najmniej jednej anody 1; 2 z plusowym wyjściem 5 zasilacza impulsowego 6. Na wykresie tym widać, że bezpośrednio przed momentem czasowym 1 przez drugą anodę 2 płynie główny prąd wyładowania, podczas gdy pierwsza anoda 1 ma ujemny potencjał i tym samym jest oczyszczana. Do momentu czasowego 1 przełączniki V2 i V3 są przewodzące a V1 i V4 są zablokowane. W momencie czasowym 1 następuje zablokowanie przełącznika V2, tak że zmniejsza się ujemny potencjał na pierwszej anodzie 1 i z powodu braku połączenia elektrycznego przez krótki czas pierwsza anoda 1 przyjmuje potencjał, który jest zbliżony do potencjału plazmy. Po niepokazanym na rysunku opóźnieniu przełączenia, które wprowadzono celem uniknięcia problemów z przebiegiem procesów w mostku typu H wynikających z tolerancji elementów konstrukcyjnych, zaczyna przewodzić przełącznik V1. Teraz przewodzące są zarówno przełącznik V1 jak i przełącznik V3, tak że obie anody 1; 2 przewodzą prąd wyładowania. Można to zauważyć na podstawie spadku napięcia anodowego.

PL 217 715 B1

W momencie czasowym 2 zamyka się przełącznik V3 i zaczyna ponownie wzrastać napięcie anodowe, a po opóźnieniu przełączenia przewodzi V4, tak że zaczyna się proces wytrawiania na drugiej anodzie 2. W momencie czasowym 3 ponownie kończy się wytrawianie drugiej anody 2, przy czym następuje zamknięcie przełącznika V4 i po opóźnieniu przełączenia przewodzi V3, tak że znów przez obie anody 1; 2 płynie prąd wyładowania.

W momencie czasowym 4 do pierwszej anody 1 jest ponownie przyłożony ujemny potencjał, tak że jest ona wytrawiana do momentu czasowego 5.

Przebieg w momencie czasowym 5 odpowiada przebiegowi w momencie czasowym 1.

Ponieważ anody 1; 2 nie mogą znajdować się w tym samym miejscu w plazmie, to różnią się one tempem powlekania.

Tak więc anody 1; 2 wymagają zróżnicowanego tempa wytrawiania. Układ wysterowania 13 mostka typu H działa tak, że są nastawiane różne czasy wytrawiania w momentach czasowych 2-3 bądź momentach czasowych 4-5. Ze względu na przebiegi przełączania maksymalny czas wytrawiania jest nieco mniejszy niż maksymalny czas anodowy. Gdy skraca się czas wytrawiania, wydłuża się czas, w którym obie anody połączone równolegle działają jako anoda wyładowania.

Kryterium niezbędnego czasu wytrawiania jest powłoka anod 1; 2, która jest widoczna poprzez barwy interferencyjne na anodach 1; 2.

W przypadku materiałów z resztkową przewodnością unika się całkowitego wytrawiania na błyszcząco, ponieważ wiąże się z tym niebezpieczeństwo ubytku materiału anody. Czas wytrawiania jest nastawiany tak, aby powstawała nieznaczna powłoka, która pozwala na stabilną eksploatację między dwoma cyklami konserwacji.

Częstotliwość zmian między wytrawianiem i działaniem anodowym jest wyznaczana przez właściwości powłoki powstającej na anodzie 1; 2. Gdy chodzi o słabo przewodzące warstewki, na przykład ZnO, wtedy wystarcza częstotliwość zmian rzędu kilku Hz. Gdy warstewki mają wysokie właściwości izolujące, wówczas konieczna jest praca z częstotliwością zmian w zakresie kilkudziesięciu kHz. Częstotliwość ta musi być na tyle wysoka, żeby warstewka powstająca na anodzie 1; 2 nie prowadziła jeszcze do całkowitej izolacji i tym samym nie utrudniała wytrawiania. Z drugiej strony w miarę wzrostu częstotliwości zmian powstają niepotrzebne straty przełączeniowe w mostku typu H. Częstotliwość 40 kHz jest dobrym kompromisem dla SiO2.

W komorze próżniowej 7 została wytworzona próżnia za pomocą pompy próżniowej 14. Komora ta może zostać ponownie napowietrzona poprzez wlot gazu 15. Naprzeciw katody 3 jest umieszczone w komorze próżniowej 7 powlekane podłoże 16.

Wykaz odnośników

1	pierwsza anoda
2	druga anoda
3	katoda
4	plusowe przyłącze
5	plusowe wyjście
6	zasilacz impulsowy
7	komora próżniowa
8	ścianka komory
9	minusowe przyłącze
10	minusowe wyjście
11	ochrona przepięciowa
12	tyrystor
13	układ wysterowania, generator synchronizujący
14	pompa próżniowa
15	wlot gazu
16	podłoże
V1...V4	przełączniki mostka typu H
A1, A2	środkowe przyłącza mostka
L1...L3	cewki
C1...C3	pojemności, kondensatory
V1i--V1_n	diody
Vzh1, Vzh2	diody

R2, Rzh1, Rzh2 rezystory

PL 217 715 B1

Claims

Zastrzeżenia patentowe

1. Sposób nadmiarowego napylania anodowego z układem dwuanodowym, w którym dwie przeciwległe do siebie anody działają naprzemiennie jako anoda wyładowania plazmowego i jako katoda dla samooczyszczania podczas wytrawiania i katoda wyładowania plazmowego jest powrotnie przebiegunowywana na krótki czas celem zredukowania naładowania statycznego, znamienny tym, że katoda (3) i anody (1; 2) są zasilane z impulsowego zasilacza (6), zmianę biegunowości napięcia katodowego powoduje impulsowy zasilacz (6), a w każdym momencie czasowym co najmniej jedna anoda (1; 2) ma dodatni potencjał i chwilowo podczas wytrawiania druga anoda (1; 2) ma ujemny potencjał.
2. Sposób według zastrz. 1, znamienny tym, że napięcie na katodzie (3) jest przebiegunowywane impulsem napięciowym z zasilacza impulsowego (6), przy czym czas trwania tego impulsu jest mniejszy niż połowa czasu do następnego impulsu, korzystnie jest mniejszy o rząd wielkości.
3. Sposób według zastrz. 1 albo 2, znamienny tym, że napięcie katodowe jest wytwarzane asynchronicznie do wytwarzania napięć anodowych.
4. Sposób według jednego z zastrzeżeń 1 do 3, znamienny tym, że czasy wytrawiania obu anod (1; 2) mają różną długość.
5. Sposób według jednego z zastrz. 1 do 4, znamienny tym, że wytrawianie anod (1; 2) jest zatrzymywane, gdy na anodach (1; 2) pojawiają się barwy interferencyjne.
6. Sposób według jednego z zastrz. 1 do 5, znamienny tym, że częstotliwość zmian między czasem wytrawiania i przyłożeniem napięcia anodowego do anod (1; 2) mieści się w zakresie od 1 Hz do 10 kHz.
7. Układ do nadmiarowego napylania anodowego z dwiema anodami, mający komorę próżniową ze ścianką i umieszczoną w niej katodą oraz pierwszą i drugą anodą, które są sterowane za pomocą mostka typu H mającego pierwszą gałąź i drugą gałąź, przy czym obie gałęzie mostka tworzą razem na jednej stronie przyłącze plusowe i obie gałęzie mostka tworzą razem na drugiej stronie przyłącze minusowe, znamienny tym, że zasilacz prądu stałego stanowi zasilacz impulsowy (6) i mostek typu H (V1. . .V4) jest połączony z generatorem synchronizującym (13) i jest połączony czynnie z zasilaczem impulsowym (6) tak, że w każdym momencie czasowym co najmniej jedna anoda (1; 2) ma dodatni potencjał.
8. Układ według zastrz. 7, znamienny tym, że środkowy punkt (A1) pierwszej gałęzi mostka jest połączony z pierwszą anodą (1) a środkowy punkt (A2) drugiej gałęzi mostka jest połączony z drugą anodą (2), tak że plusowe przyłącze (4) mostka typu H jest połączone z plusowym wyjściem (5) zasilacza impulsowego (6) a minusowe przyłącze (9) mostka typu H jest połączone z minusowym wyjściem (10) zasilacza impulsowego dając napięcie powodujące oczyszczanie anod (1; 2) podczas wytrawiania.
9. Układ według zastrz. 7 albo 8, znamienny tym, że środkowy punkt (A1) pierwszej gałęzi mostka jest połączony poprzez pierwszą cewkę (L2) z pierwszą anodą (1) a środkowy punkt (A2) drugiej gałęzi mostka jest połączony poprzez drugą cewkę (L3) z drugą anodą (2).
10. Układ według jednego z zastrz. 7 do 9, znamienny tym, że między pierwszą anodę (1) i ściankę (8) komory jest włączony pierwszy układ szeregowy złożony z diody (Vhzh1) i rezystora (Rzh1), a między drugą anodę (2) i ściankę (8) komory jest włączony drugi układ szeregowy złożony z diody (Vhzh2) i rezystora (Rzh2).
11. Układ według jednego z zastrzeżeń 7 do 10, znamienny tym, że plusowe wyjście (5) jest połączone pojemnościowo przez kondensator (C1) z komorą próżniową (7), w szczególności ze ścianką (8) komory.
12. Układ według jednego z zastrz. 7 do 11, znamienny tym, że między plusowe przyłącze (4) i minusowe przyłącze (9) jest włączony kondensator (C3), przy czym minusowe przyłącze (9) jest połączone poprzez łańcuch prostowników (V1y · V1_n) i cewkę (L1) z minusowym wyjściem (10) zasilacza impulsowego (6) i między łańcuch prostowników (Vb. . .V1_n) oraz plusowe przyłącze (4) jest włączony układ szeregowy złożony z kondensatora (C2) i rezystora (R2), przy czym przez cewkę (L1), kondensator (C2) i rezystor (R2) jest utworzone połączenie L1-C2-R2 tłumiące bardzo szybkie zmiany napięciowe.